JPH01249330A - 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 - Google Patents
金属膜を含む反射防止膜付着透明体Info
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- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 title abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 34
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 10
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 9
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910000623 nickel–chromium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 abstract description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 6
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000006121 base glass Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
［従来の技術］
従来、光を吸収する金属層を有する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が３
０％〜８０％となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭８２−５８２０２で公知である。
この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、このような金属層を有する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の而と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を汀する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の而と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約１％程度にしか低下
できず、この金属層を汀する多層反射防止膜付着透明板
をＣＲＴ等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を０．６％程度にま
でしか下げることができなかった。
〔課題を解決するための手段コ
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が１．４
０〜１．７０の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が１．３７〜１．５０の屈折率で、１．９０×λ０／
４〜２．３０×λＯ／４（但しλＯは中心波長、以下同
じ）の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、２．００
〜２゜４０の屈折率で、０．０３×λ０／４〜１．９０
×λＯ／４の光学膜厚の高屈折率誘電体層と、１゜３７
〜１．５０の屈折率で、０．０８×λ０７４〜１．６０
×λＯ／４の光学膜厚の第２の低屈折りロム、ジルコニ
ウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、
及びステンレスのいずれか一つの金属層または合金層と
、１．３７〜１゜５０の屈折率で、０．７０×λ０／４
〜０．９７×λ０／４の光学膜厚の第３の低屈折率誘電
体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
されてなる。
０〜１．７０の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が１．３７〜１．５０の屈折率で、１．９０×λ０／
４〜２．３０×λＯ／４（但しλＯは中心波長、以下同
じ）の光学膜厚の第１の低屈折率誘電体層と、２．００
〜２゜４０の屈折率で、０．０３×λ０／４〜１．９０
×λＯ／４の光学膜厚の高屈折率誘電体層と、１゜３７
〜１．５０の屈折率で、０．０８×λ０７４〜１．６０
×λＯ／４の光学膜厚の第２の低屈折りロム、ジルコニ
ウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル・クロム合金、
及びステンレスのいずれか一つの金属層または合金層と
、１．３７〜１゜５０の屈折率で、０．７０×λ０／４
〜０．９７×λ０／４の光学膜厚の第３の低屈折率誘電
体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
されてなる。
本発明において、屈折率が１．４０〜１．７０の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において前記第１及び第２の低屈折率誘電
体層として、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）または酸
化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いるのが好まし
い。
体層として、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）または酸
化シリコン（Ｓｉ０２）のいずれかを用いるのが好まし
い。
更にまた、本発明において、前記第１及び第２の高屈折
率誘電層として、酸化チタン（Ｔｉ０２）、酸化タンタ
ル（Ｔａ２０５ ） 、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）
、チタン酸プラセオジム（ＰｒＴｉ０３）、酸化ハフニ
ウム（ＨｆＯ２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化スズ（Ｓ
ｎ０２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及び酸化イ
ンジウムと酸化スズとの混合物（ＩＴＯ）のいずれかを
用いることができる。
率誘電層として、酸化チタン（Ｔｉ０２）、酸化タンタ
ル（Ｔａ２０５ ） 、酸化ジルコニウム（Ｚｒ０２）
、チタン酸プラセオジム（ＰｒＴｉ０３）、酸化ハフニ
ウム（ＨｆＯ２）、硫化亜鉛（ＺｎＳ）、酸化スズ（Ｓ
ｎ０２）、酸化インジウム（Ｉｎ２０３）、及び酸化イ
ンジウムと酸化スズとの混合物（ＩＴＯ）のいずれかを
用いることができる。
酸化インジウムと酸化スズとの混合物としては酸化イン
ジウムと酸化スズとの重量比が９５＝５の割合のものを
用いるのが好ましい。
ジウムと酸化スズとの重量比が９５＝５の割合のものを
用いるのが好ましい。
［作 用］
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
［実施例１コ
以下、本発明の実施例について図面を引用して説明する
。
。
第１図において、１は屈折率が１４５１のガラス板であ
って、ガラス１の表面に反射防止膜７が形成された。反
射防止膜７はガラス板１側から、屈折率が１．３７で、
光学膜厚が２．２１×λＯ／４（但しλＯ” ５０４
ｎ ｍ ｓ以Ｆ同じ）のフッ化マグネシウム層２と、屈
折率が２．１５で、光学膜厚が０．４２×λ０／４のチ
タン酸プラセオジム層３と、［折率が１．３７で、光学
膜厚が１゜５２×λＯ／４のフッ化マグネシウム層４と
、膜厚が４４Ａのステンレス層５（ステンレスは７２ｍ
ｆｆ１％のニッケル、１６重量％のクロム、及び８重量
％の鉄の合金である）と、屈折率が１．３７で、光学膜
厚が０．９４×λＯ／４とからなり、各層は順次真空蒸
着法で形成された。
って、ガラス１の表面に反射防止膜７が形成された。反
射防止膜７はガラス板１側から、屈折率が１．３７で、
光学膜厚が２．２１×λＯ／４（但しλＯ” ５０４
ｎ ｍ ｓ以Ｆ同じ）のフッ化マグネシウム層２と、屈
折率が２．１５で、光学膜厚が０．４２×λ０／４のチ
タン酸プラセオジム層３と、［折率が１．３７で、光学
膜厚が１゜５２×λＯ／４のフッ化マグネシウム層４と
、膜厚が４４Ａのステンレス層５（ステンレスは７２ｍ
ｆｆ１％のニッケル、１６重量％のクロム、及び８重量
％の鉄の合金である）と、屈折率が１．３７で、光学膜
厚が０．９４×λＯ／４とからなり、各層は順次真空蒸
着法で形成された。
反射防止膜７を形成したガラス板１のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付台ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
スと同じ程度の屈折率を有する接着剤を用いて、ＣＲＴ
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付台ガラス板の反射特性を
第２図に、透過率特性を第３図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第１表に夫々示した。
第 １ 表
［実施例２］
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変えた。
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如く変えた。
すなわち、反射防止膜６は屈折率が１．３７で、光学膜
厚が１．９８×λ０／４のフッ化マグネシウム層２と、
屈折率が２．１５で、光学膜厚が１゜０９×λ０／４の
チタン酸プラセオジム層３と、屈折率が１．３７で、光
学膜厚が１．２０×λ０／４のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が５８Ａのステンレス層５と、屈折率が１．３
７で、光学膜厚が０．９２×λ０／４のフッ化マグネシ
ウム層６とからなり、これらの層はガラス板１上に順次
真空蒸着法により形成された。
厚が１．９８×λ０／４のフッ化マグネシウム層２と、
屈折率が２．１５で、光学膜厚が１゜０９×λ０／４の
チタン酸プラセオジム層３と、屈折率が１．３７で、光
学膜厚が１．２０×λ０／４のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が５８Ａのステンレス層５と、屈折率が１．３
７で、光学膜厚が０．９２×λ０／４のフッ化マグネシ
ウム層６とからなり、これらの層はガラス板１上に順次
真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり視感度反射率が０゜０８８％、視感度透過
率が３５％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり視感度反射率が０゜０８８％、視感度透過
率が３５％であった。
［実施例３コ
第１図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
であって、反射防止膜７の多層膜を以下の如くした。
すなわち、反射防止膜７は屈折率が１，３７で、光学膜
厚が２．０４×λ０／４のフッ化マグネシウム層２と、
屈折率が２．１５で、光学膜厚が１゜８４×λ０／４の
チタン酸プラセオジム層３と、屈折率が１．３７で、光
学膜厚が０．８５×λＯ／４のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が２６Ａのステンレス層５（ステンレスは７２
ｆｆｉ量％のニッケルと、１６重量％のクロムと８重量
％の鉄とからなる合金である）と、屈折率が１．３７で
、光学膜厚が０．７１×λ０／４のフッ化マグネシウム
層６とからなり、各層はガラス板１面上に順次真空蒸着
法で形成された。
厚が２．０４×λ０／４のフッ化マグネシウム層２と、
屈折率が２．１５で、光学膜厚が１゜８４×λ０／４の
チタン酸プラセオジム層３と、屈折率が１．３７で、光
学膜厚が０．８５×λＯ／４のフッ化マグネシウム層４
と、膜厚が２６Ａのステンレス層５（ステンレスは７２
ｆｆｉ量％のニッケルと、１６重量％のクロムと８重量
％の鉄とからなる合金である）と、屈折率が１．３７で
、光学膜厚が０．７１×λ０／４のフッ化マグネシウム
層６とからなり、各層はガラス板１面上に順次真空蒸着
法で形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜０７４％、視感度透
過率が６５％であった。
例１と同様にして光学特性を測定したところ、第１表に
示したとおり、視感度反射率が０゜０７４％、視感度透
過率が６５％であった。
［発明の効果］
以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、ＣＲＴ等の反射防止板として使用した場合に
は視感度反射率を０．１％以下のきわめて小さくするこ
とができる。
従って、ＣＲＴの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金層によりＣＲＴの蛍光面に入射する光
が吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
属層、または合金層によりＣＲＴの蛍光面に入射する光
が吸収されてコントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の低屈折率誘電体層、３：晶屈折
率誂電体層 、 ４：第２の低屈折率誘電体層、 ５：金属層または合金層、 ６：第３の低屈折率誘電体層、 ７：反射防止膜 第１図
射防止膜付着透明板の断面図、第２図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第３図はその透過率特性である。 １：透明板、２：第１の低屈折率誘電体層、３：晶屈折
率誂電体層 、 ４：第２の低屈折率誘電体層、 ５：金属層または合金層、 ６：第３の低屈折率誘電体層、 ７：反射防止膜 第１図
Claims (3)
- （１）屈折率が１．４０〜１．７０の透明基板の表面に
光の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板
において、該反射防止膜が１．３７〜１．５０の屈折率
で、１．９０×λ０／４〜２．３０×λ０／４（但しλ
０は中心波長、以下同じ）の光学膜厚の第１の低屈折率
誘電体層と、２．００〜２．４０の屈折率で、０．０３
×λ０／４〜１．９０×λ０／４の光学膜厚の高屈折率
誘電体層と、１．３７〜１．５０の屈折率で、０．０６
×λ０／４〜１．６０×λ０／４の光学膜厚の第２の低
屈折率誘電体層と、２６Å〜５８Åの厚みのチタン、ク
ロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケル
・クロム合金、及びステンレスのいずれか一つの金属層
または合金層と、１．３７〜１．５０の屈折率で、０．
７０×λ０／４〜０．９７×λ０／４の光学膜厚の第３
の低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明基板表
面から順次形成されてなる金属膜を含む反射防止膜付着
透明体。 - （２）前記第１、第２、及び第３の低屈折率誘電体層が
フッ化マグネシウム、または酸化シリコンのいずれかで
ある特許請求の範囲第１項に記載の金属膜を含む反射防
止膜付着透明体。 - （３）前記高屈折率誘電体層が酸化チタン、酸化タンタ
ル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセオジム、酸化ハ
フニウム、硫化亜鉛、酸化錫、酸化インジウム、及び酸
化インジウムと酸化錫との混合物（ＩＴＯ）のいずれか
である特許請求の範囲第１項、または第２項に記載の金
属膜を含む反射防止膜付着透明体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077883A JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63077883A JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01249330A true JPH01249330A (ja) | 1989-10-04 |
| JP2531734B2 JP2531734B2 (ja) | 1996-09-04 |
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ID=13646473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63077883A Expired - Lifetime JP2531734B2 (ja) | 1988-03-30 | 1988-03-30 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531734B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1988
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531734B2 (ja) | 1996-09-04 |
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