JP3224316B2 - 二波長反射防止膜 - Google Patents
二波長反射防止膜Info
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Description
2倍高調波のように高出力で波長の異なる2つの光の反
射を防止する二波長反射防止膜に関するものである。
のように高出力で波長の異なる2つの光の反射を防止す
る二波長反射防止膜として、例えば、屈折率1.52の
基板上に屈折率1.82のλ/4膜、屈折率1.585
のλ/4膜、屈折率1.38のλ/4膜(λ=707n
m)の3層からなる二波長反射防止膜を設け、YAGレ
ーザの基本波(波長1064nm)と2倍高調波(波長
532nm)の2つの光の反射を防止する二波長反射防
止膜(THIN−FILM OPTICAL FILT
ERS 2nd edition;H.A.Macle
od Macmillan Publishing C
ompany NY p126参照)や、波長変換素子
KTP(KTiOPO4 結晶:屈折率可視域で1.7〜
1.85)にYAGレーザの基本波と2倍高調波の2つ
の光の反射を防止する二波長反射防止膜を設けたもの
(特開平2−247601号公報、特開平4−3338
34号公報参照)や、2つの光のうちの一方の反射防止
特性をくずさないための不関与層を用いて各光に対する
反射防止特性を有する2つの多層膜を組合わせたもの
(特開平2−127601号公報、特開平1−1677
01号公報参照)等が開発されている。これらは、3層
ないし5層のうちの一層に屈折率1.7より大きいY2
O3 やTiO2 等の高屈折率材料を用いるものであり、
このような高屈折率材料は一般に吸収が大きいためにレ
ーザ光等の高出力の光に対する耐久性が低い傾向があ
る。
の技術によれば、いずれも前述のように、3層ないし5
層からなる多層膜の一部に吸収が大きい高屈折率材料を
用いるものであるため、高出力のレーザ光に対する耐久
性が極めて低い。また、5層膜のように層数が多く、さ
らに、各層の光学膜厚がそれぞれ異なる場合などは製造
工程が複雑化するために製造コストが上昇する。
に鑑みてなされたものであり、高出力のレーザ光等の光
に対する耐久性にすぐれた安価な二波長反射防止膜を提
供することを目的とするものである。
めに本発明の二波長反射防止膜は、基本波長をλ 1 、該
基本波長の2倍高調波の波長をλ 2 としたとき、波長λ
1 の光および波長λ 2 の光に対して反射防止効果を有す
る二波長反射防止膜であって、基板上に、互いに屈折率
が異なり、かつ、全て屈折率1.7以下の材料で形成さ
れた3層以上の薄膜を積層して成り、各薄膜が以下の関
係式、 2/λ 0 =1/λ 1 +1/λ 2 から求められる中心波長λ 0 の1/4、またはその整数
倍に等しい光学膜厚を有す ることを特徴とする。
の材料のみを用いることによって、光の吸収を低減し、
高出力のレーザ光等に対する耐久性を向上させる。薄膜
の材料をAl2 O3 とSiO2 とMgF2 の組合わせ、
あるいはAl2 O3 とMgF2 の組合わせにすることに
より、2つの異る波長λ 1 、λ 2 の光に対してすぐれた
反射防止特性を有する二波長反射防止膜を実現できる。
各薄膜の光学膜厚が中心波長λ 0 の1/4またはその整
数倍であるために、製造工程が複雑化するおそれもな
い。
K7ガラス製の基板1の表面にMgF2 の薄膜(第1の
MgF 2 層)である第1層2a、Al2 O3 の薄膜であ
る第2層2b、SiO2 の薄膜である第3層2c、Mg
F2 の薄膜(第2のMgF 2 層)である第4層2dから
なる多層膜である4層膜2を設けたもので、各層の光学
膜厚はいずれも中心波長λ0 (709.3nm)の1/
4、すなわち177.4nmである。中心波長λ0 は、
Nd:YAGレーザの基本波の波長λ1 (1064n
m)と2倍高調波の波長λ2 (532nm)から以下の
式によって求められたものである。
00℃に加熱して行われた。
射率の分光特性を測定した結果を示す。この図から解る
ように、本実施例の二波長反射防止膜はNd:YAGレ
ーザの基本波と2倍高調波のそれぞれの波長1064n
mと532nmにおいて反射率が0.2%以下であり、
二波長反射防止膜としてすぐれた反射防止特性を有す
る。また、本実施例の二波長反射防止膜のレーザ耐力
(レーザ損傷しきい値)をパルス幅1nsのパルスN
d:YAGレーザを用いて測定したところ、基本波(1
064nm)に対するレーザ耐力は10.5J/cm
2 、2倍高調波(532nm)に対するレーザ耐力は
9.3J/cm2 と極めて高いことが判明した。
P結晶等の波長変換素子の窓や、波長変換後の二波長共
通の光学系のレンズ等に適している。
心波長λ0 (709.3nm)の1/3を中心波長とす
る2つの波長、266nmと212.7nmにおいても
反射防止特性を有する。波長266nmは前記Nd:Y
AGレーザの4倍高調波の波長であるから、本実施例の
二波長反射防止膜は前記レーザの基本波、2倍高調波お
よび4倍高調波に対してすぐれた反射防止特性を有する
三波長反射防止膜として用いることもできる。しかしな
がら4倍高調波に対する反射防止特性は極めて狭い波長
領域に限られるため、成膜時に高精度の膜厚制御を必要
とする。そこで本実施例の一変形例として本実施例と同
様の4層膜を紫外域まで透過率の高い合成石英基板上に
設けた。本変形例の二波長反射防止膜の反射率の分光特
性を測定した結果を図3に示す。この図から、本変形例
の二波長反射防止膜はNd:YAGレーザの4倍高調波
(266nm)に対しても反射率が0.6%以下であ
り、基本波と2倍高調波と4倍高調波に対してすぐれた
反射防止特性を有する三波長反射防止膜であることが解
る。
2)の基板と合成石英(中心波長λ 0 のときの屈折率
1.463)の基板のそれぞれの表面にAl2 O3 (中
心波長λ 0 のときの屈折率1.615)の薄膜である第
1層と、SiO2 (中心波長λ 0 のときの屈折率1.4
63)の薄膜である第2層と、MgF2 (中心波長λ 0
のときの屈折率1.378)の薄膜である第3層からな
る多層膜である3層膜を設け、BK7ガラス製の基板を
用いたものをサンプルA、合成石英の基板を用いたもの
をサンプルBとした。なお、サンプルA,Bともに、3
層膜の各層の光学膜厚(nd)は第1実施例と同じ中心
波長λ0 (709.3nm)の1/4、すなわち17
7.4nmとした。
光特性をそれぞれ曲線a,bで示す。この図から解るよ
うに、サンプルBすなわち合成石英を基板とするものは
Nd:YAGレーザの基本波(1064nm)と2倍高
調波(532nm)に対して反射率が0.6%以下であ
るが、サンプルAすなわち、BKガラス性の基板を用い
たものは反射率が0.8%程度である。
すぐれた二波長反射防止膜として、BKガラス製の基板
と合成石英の基板のそれぞれの表面にMgF2 の薄膜
(第1のMgF 2 層)である第1層と、Al2 O3 の薄
膜である第2層と、MgF2 の薄膜(第2のMgF
2 層)である第3層からなる多層膜である3層膜を設
け、BKガラス製の基板を用いたものをサンプルC、合
成石英の基板を用いたものをサンプルDとした。なお、
サンプルC,Dともに3層膜の第1層および第2層の光
学膜厚は中心波長λ0 (709.3nm)の1/2、す
なわち354.6nm、第3層の光学膜厚は中心波長λ
0 (709.3nm)の1/4、すなわち177.4n
mとした。
分光特性をそれぞれ曲線c,dで示す。この図から解る
ように、サンプルCはNd:YAGレーザの基本波の波
長λ1 (1064nm)と2倍高調波の波長λ2 (53
2nm)において反射率が0.2%以下であり、またサ
ンプルDの反射率もこれらの波長において0.3%以下
であり、極めてすぐれた二波長反射防止膜である。この
ように3層膜でも材料の組合わせを工夫することによ
り、充分な2波長反射防止特性を得ることができる。さ
らに、サンプルA〜Dのレーザ耐力をパルスNd:YA
Gレーザ(パルス幅1ns)を用いて測定したところ、
以下の表1に示すように、すべてのサンプルのレーザ耐
力が基本波で約11J/cm2 、2倍高調波で約10J
/cm2 と極めて高いことが判明した。なお、Al2 O
3 ,SiO2 およびMgF2 は、単層膜を成膜した場合
にそれぞれ極めて高いレーザ耐力を示す材料である。
率に応じて4層または5層の二波長反射防止膜を設け
る。まず、レーザ光の波長変換素子として用いられる非
線形光学材料であるKD2 PO4 結晶(DKDP)に第
1実施例と同じくMgF2 の薄膜(第1のMgF 2 層)
である第1層と、Al2 O3 の薄膜である第2層と、S
iO2 の薄膜である第3層と、MgF3 の薄膜(第2の
MgF 2 層)である第4層からなる多層膜である4層膜
を設け、これをサンプルEとした。Nd:YAGレーザ
の2倍高調波に対するKD2 PO4 結晶の屈折率は1.
47であり、各層の光学膜厚は第1実施例と同様に中心
波長λ0 (709.3nm)の1/4とした。またβ−
BaB2 O4 結晶(BBO)にAl2 O3 の薄膜(第1
のAl 2 O 3 層)である第1層、MgF2 の薄膜(第1
のMgF 2 層)である第2層、Al2 O3 の薄膜(第2
のAl 2 O 3 層)である第3層、SiO2 の薄膜である
第4層、MgF2 の薄膜(第2のMgF 2 層)である第
5層からなる多層膜である5層膜を設け、これをサンプ
ルFとした。β−BaB2 O4 結晶の前記2倍高調波に
対する屈折率は1.66であり、各層の光学膜厚はサン
プルEと同じく中心波長λ0 の1/4とした。また、同
じくβ−BaB2 O4 結晶にSiO2 の薄膜(第1のS
iO 2 層)である第1層、MgF2 の薄膜(第1のMg
F 2 層)である第2層、Al2 O3 の薄膜である第3
層、SiO2 の薄膜(第2のSiO 2 層)である第4
層、MgF2 の薄膜(第2のMgF 2 層)である第5層
からなる多層膜である5層膜を設け、これをサンプルG
とした。各層の光学膜厚はサンプルE,Fと同じく中心
波長λ0 の1/4とした。さらに、KTiOPO4 結晶
(KTP)にAl2 O3 の薄膜である第1層、MgF2
の薄膜である第2層、Al2 O3 の薄膜である第3層、
SiO2 の薄膜である第4層、MgF2 の薄膜である第
5層からなる多層膜である5層膜を設け、これをサンプ
ルIとした。KTiOPO4 結晶の前記2倍高調波に対
する屈折率は1.78であり、各層の光学膜厚はサンプ
ルE〜Gと同じく中心波長λ0 の1/4とした。サンプ
ルEの反射率の分光特性を図6に曲線eで示し、サンプ
ルF,Gの反射率の分光特性を図7に曲線f,gで示
し、サンプルIの反射率の分光特性を図8に曲線iで示
す。またNd:YAGレーザの基本波(1064nm)
と2倍高調波(532nm)に対する各サンプルの反射
率は表2に示すようにいずれも0.3%以下であり、い
ずれも極めてすぐれた二波長反射防止膜であることが判
明した。
例の4層膜、3層膜と同様に極めて高いことが実験によ
って判明している。さらに、本実施例の基板の屈折率は
1.47〜1.78であるが、コンピュータによるシミ
ュレーションの結果、基板の屈折率が1.38から1.
85の範囲であれば、本実施例と同様に反射防止特性の
すぐれた二波長反射防止膜を得ることができることが判
明した。
で、以下に記載するような効果を奏する。
すぐれた安価な二波長反射防止膜を実現できる。
ある。
すグラフである。
れぞれの反射率の分光特性を示すグラフである。
れぞれの反射率の分光特性を示すグラフである。
示すグラフである。
れぞれの反射率の分光特性を示すグラフである。
示すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 基本波長をλ 1 、該基本波長の2倍高調
波の波長をλ 2 としたとき、波長λ 1 の光および波長λ
2 の光に対して反射防止効果を有する二波長反射防止膜
であって、基板上に、互いに屈折率が異なり、かつ、全
て屈折率1.7以下の材料で形成された3層以上の薄膜
を積層して成り、各薄膜が以下の関係式、 2/λ 0 =1/λ 1 +1/λ 2 から求められる中心波長λ 0 の1/4、またはその整数
倍に等しい光学膜厚を有す ることを特徴とする二波長反
射防止膜。 - 【請求項2】 基板側から順にλ 0 /2の光学膜厚を有
する第1のMgF 2 層、λ 0 /2の光学膜厚を有するA
l 2 O 3 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する第2のMgF
2 層を積層して成る請求項1記載の二波長反射防止膜。 - 【請求項3】 基板側から順にλ 0 /4の光学膜厚を有
する第1のMgF 2 層、λ 0 /4の光学膜厚を有するA
l 2 O 3 層、λ 0 /4の光学膜厚を有するSiO 2 層、
λ 0 /4の光学膜厚を有する第2のMgF 2 層を積層し
て成る請求項1記載の二波長反射防止膜。 - 【請求項4】 基板側から順にλ 0 /4の光学膜厚を有
する第1のAl 2 O 3 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する
第1のMgF 2 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する第2の
Al 2 O 3 層、λ 0 /4の光学膜厚を有するSiO
2 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する第2のMgF 2 層を
積層して成る請求項1記載の二波長反射防止膜。 - 【請求項5】 基板側から順にλ 0 /4の光学膜厚を有
する第1のSiO 2 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する第
1のMgF 2 層、λ 0 /4の光学膜厚を有するAl 2 O
3 層、λ 0 /4の光学膜厚を有する第2のSiO 2 層、
λ 0 /4の光学膜厚を有する第2のMgF 2 層を積層し
て成る請求項1記載の二波長反射防止膜。
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