JPS59177721A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS59177721A JPS59177721A JP5069083A JP5069083A JPS59177721A JP S59177721 A JPS59177721 A JP S59177721A JP 5069083 A JP5069083 A JP 5069083A JP 5069083 A JP5069083 A JP 5069083A JP S59177721 A JPS59177721 A JP S59177721A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- materials
- recording medium
- thin film
- elasticity
- modulus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は記録媒体と接触摺動して記録再生を行なう磁気
テープ記録再生装置やフレキシブルディスク駆動装置な
どに使用する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
テープ記録再生装置やフレキシブルディスク駆動装置な
どに使用する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図、第２図は従来の薄膜磁気ヘッドを示している。
以下にこの従来例について第１図、第２図とともに説明
する。
する。
第１図において１．２はガラス、セラミックなどの非磁
性バルク材からなる支持材であり、この支持材１．２間
に電磁変換部３が接着されている。
性バルク材からなる支持材であり、この支持材１．２間
に電磁変換部３が接着されている。
上記支持材ｌ、２、電磁変換部３の上面が記録媒体との
摺接面となる。
摺接面となる。
次に上記電磁変換部３の構成について第２図とともに説
明する。
明する。
第２図において４は、支持材１上に形成された磁性材部
であシ、この磁性材部４は、パーマロイ等の軟磁性材料
をスパッタ法、真空蒸着法、メッキ法等の薄膜技術によ
り厚さ１０μｍ以下に形成される。５は磁性材部４上に
形成された絶縁層、６は絶縁層５上に形成された導体部
であり、この導体部６はアルミニウム等の導電体により
形成され、この導体部６によ９巻線が構成される。７は
絶縁層５、導体部６上に形成された二酸化ケイ素等の絶
縁層、８は絶縁層７上に形成された磁性材部であシ、こ
の磁性材部８も上記磁性材部４と同様にパーマロイ等の
軟磁性材料で形成される。上記磁性材部４と８とによシ
磁気コアが構成される。９は磁性材部８上に形成された
接着層であり、この接着層９により支持材２が接着され
る。上記磁性材部４．８、導体部６はスパッタ法、真空
蒸着法、メッキ法等の薄膜技術により形成される。磁性
材部４．８とで構成される磁気コアは、記録時には巻線
によシ励磁される。また、再生時には磁気コア中の磁束
変化を巻線にょシ検出するものである。
であシ、この磁性材部４は、パーマロイ等の軟磁性材料
をスパッタ法、真空蒸着法、メッキ法等の薄膜技術によ
り厚さ１０μｍ以下に形成される。５は磁性材部４上に
形成された絶縁層、６は絶縁層５上に形成された導体部
であり、この導体部６はアルミニウム等の導電体により
形成され、この導体部６によ９巻線が構成される。７は
絶縁層５、導体部６上に形成された二酸化ケイ素等の絶
縁層、８は絶縁層７上に形成された磁性材部であシ、こ
の磁性材部８も上記磁性材部４と同様にパーマロイ等の
軟磁性材料で形成される。上記磁性材部４と８とによシ
磁気コアが構成される。９は磁性材部８上に形成された
接着層であり、この接着層９により支持材２が接着され
る。上記磁性材部４．８、導体部６はスパッタ法、真空
蒸着法、メッキ法等の薄膜技術により形成される。磁性
材部４．８とで構成される磁気コアは、記録時には巻線
によシ励磁される。また、再生時には磁気コア中の磁束
変化を巻線にょシ検出するものである。
しかしながら、上記従来例においては記録媒体との摺接
面を形成する支持材１．２がガラスやセラミックなどの
弾性率の高い（ガラス、セラミノクツ弾性率は３０００
〜５ｏｏｏｏＫ２／ｌＵ２程度）脆弱な材料であるため
にチッピングなどの欠陥を生じやすく、この結果、特に
連続金属薄膜から成る記録媒体に対して容易に機械的損
傷を与える欠点を有していた。
面を形成する支持材１．２がガラスやセラミックなどの
弾性率の高い（ガラス、セラミノクツ弾性率は３０００
〜５ｏｏｏｏＫ２／ｌＵ２程度）脆弱な材料であるため
にチッピングなどの欠陥を生じやすく、この結果、特に
連続金属薄膜から成る記録媒体に対して容易に機械的損
傷を与える欠点を有していた。
発明の目的
本発明は、上記従来例の欠点を除去するものであり、記
録媒体に損傷を与えない薄膜磁気ヘッドを実現すること
を目的とするものである。
録媒体に損傷を与えない薄膜磁気ヘッドを実現すること
を目的とするものである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するために、弾性率の小さい有
機材料で支持材を構成し、記録媒体に機械的損傷を与え
ないようにするものである。
機材料で支持材を構成し、記録媒体に機械的損傷を与え
ないようにするものである。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例の構造について説明する。本
実施例の構造は第１図、第２図に示す従来例と同様であ
るが、本実施例では支持材１．２として、ポリテトラフ
ルオルエチレン、ポリイミド等のように弾性率が１ｏｏ
ｏＫｙ／＋＋ｗ′以下のフッ素系合成樹脂、ポリイミド
系合成樹脂を用いるものである。
実施例の構造は第１図、第２図に示す従来例と同様であ
るが、本実施例では支持材１．２として、ポリテトラフ
ルオルエチレン、ポリイミド等のように弾性率が１ｏｏ
ｏＫｙ／＋＋ｗ′以下のフッ素系合成樹脂、ポリイミド
系合成樹脂を用いるものである。
薄膜磁気ヘッドの支持材１．２は、記録媒体との摺接面
を形成し、磁気ヘッドとしての摺動性を決定する重要な
部分である。即ち、記録媒体と良好な密着性を保って摺
動し、かつ、記録媒体に機械的な損傷を与えないことが
求められる。本実施例では、上述のように従来支持材工
、２として用いられているガラスやセラミックに比べて
弾性率が小さい有機材料で支持材１．２を形成している
。
を形成し、磁気ヘッドとしての摺動性を決定する重要な
部分である。即ち、記録媒体と良好な密着性を保って摺
動し、かつ、記録媒体に機械的な損傷を与えないことが
求められる。本実施例では、上述のように従来支持材工
、２として用いられているガラスやセラミックに比べて
弾性率が小さい有機材料で支持材１．２を形成している
。
この結果、塵埃の混入や記録媒体上の微小突起に対しヘ
ッド面が弾性変形し包入的な損傷を生じない。このこと
は摺動する際に記録媒体の受ける力が小さく、記録媒体
も機械的損傷を受けない利点を生じる。
ッド面が弾性変形し包入的な損傷を生じない。このこと
は摺動する際に記録媒体の受ける力が小さく、記録媒体
も機械的損傷を受けない利点を生じる。
薄膜磁気ヘッドは支持材１上に直接真空蒸着法やスパッ
タ法により磁気コアや巻線を形成するものであるが、こ
の際支持材１の表面は高温になる。
タ法により磁気コアや巻線を形成するものであるが、こ
の際支持材１の表面は高温になる。
又、軟磁性薄膜の磁気特性の改善には焼鈍法などの熱処
理を施すのが通常であり、この際にも基板は高温になる
。従って、耐熱性の有機材料が要求される。
理を施すのが通常であり、この際にも基板は高温になる
。従って、耐熱性の有機材料が要求される。
上記耐熱温度は通常２００°Ｃ以上であるが、これは個
々の使用材料及び薄膜作製法により最適化されるもので
ある。耐熱有機材料としては、フッ素系合成樹脂やポリ
イミド系合成樹脂などにょ）実現されるが、具体的々有
機材料の選択は目的により最適化されるものである。
々の使用材料及び薄膜作製法により最適化されるもので
ある。耐熱有機材料としては、フッ素系合成樹脂やポリ
イミド系合成樹脂などにょ）実現されるが、具体的々有
機材料の選択は目的により最適化されるものである。
なお、本発明の主旨は電磁変換部の主要部分が薄膜で形
成された薄膜磁気へ、ドの記録媒体摺動面を有機材料で
構成する点にあり、−適用する薄膜磁気ヘッドを限定し
ない。たとえば、垂直配録用磁気へ、ドや磁気抵抗効果
を利用した磁気へノドなどにも適用可能である。
成された薄膜磁気へ、ドの記録媒体摺動面を有機材料で
構成する点にあり、−適用する薄膜磁気ヘッドを限定し
ない。たとえば、垂直配録用磁気へ、ドや磁気抵抗効果
を利用した磁気へノドなどにも適用可能である。
発明の効果
本発明は上記のような構成であり、以下に示す効果が得
られるものである。
られるものである。
（ａ＞ 記録媒体との摺動面を有機材料で形成してい
るため、記録媒体に損傷を与えない摺動性に侵れる薄膜
磁気へ、ドが実現できる。
るため、記録媒体に損傷を与えない摺動性に侵れる薄膜
磁気へ、ドが実現できる。
（ｂ） 構造的に従来の薄膜磁気へ、ドと同一である
ので、製造法が従来の方法から大きく逸脱しない利点を
有する。
ので、製造法が従来の方法から大きく逸脱しない利点を
有する。
第１図は従来および本発明の一実施例における薄膜磁気
ヘッドの透視図、第２図は同薄膜磁気へノドの断面図で
ある。 ■、２・・・支持機、３・・・電磁変換部、４・・・磁
性材部、５・・・絶縁層、６・・・導体部、７・・絶縁
層、８・磁性材部、９・・・接着層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 蛤 ２ 図
ヘッドの透視図、第２図は同薄膜磁気へノドの断面図で
ある。 ■、２・・・支持機、３・・・電磁変換部、４・・・磁
性材部、５・・・絶縁層、６・・・導体部、７・・絶縁
層、８・磁性材部、９・・・接着層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 蛤 ２ 図
Claims (4)
- （１）記録媒体に摺接する摺接面を有し、かつ軟磁性薄
膜からなる磁気コアが設けられる支持材を、有機材料で
構成してなる薄膜磁気ヘッド。 - （２）弾性率が１ｏ ｏ ｏ Ｋｙ／ｍｙ’以下の有機
材料からなる支持材を用いた特許請求の範囲第１項記載
の薄膜磁気ヘッド。 - （３）弾性率が１ｏｏｏＫＰ／朋２以下のポリテトラフ
ルオルエチレンからなる支持材を用いた特許請求の範囲
第１項記載の薄膜磁気へ、ド。 - （４）弾性率が１００ ｏ Ｋｐ／ｍｍ２以下のポリイ
ミドからなる支持材を用いた特許請求の範囲第１項記載
の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5069083A JPS59177721A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5069083A JPS59177721A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59177721A true JPS59177721A (ja) | 1984-10-08 |
Family
ID=12865918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5069083A Pending JPS59177721A (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59177721A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2597247A1 (fr) * | 1986-04-11 | 1987-10-16 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP5069083A patent/JPS59177721A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2597247A1 (fr) * | 1986-04-11 | 1987-10-16 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
| US4849842A (en) * | 1986-04-11 | 1989-07-18 | Thomson-Csf | Method for the manufacture of a mechanically shielding layer for a magnetic read/write head, and magnetic read/write head using this method |
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