JPH03168909A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH03168909A JPH03168909A JP30816189A JP30816189A JPH03168909A JP H03168909 A JPH03168909 A JP H03168909A JP 30816189 A JP30816189 A JP 30816189A JP 30816189 A JP30816189 A JP 30816189A JP H03168909 A JPH03168909 A JP H03168909A
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Links
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ｌ粟上旦凱且立立
この発明は磁性体コアを非磁性基板で挟んだ構造を有す
るヘッドコアを用いた磁気ヘッドの製造方法に関する。
るヘッドコアを用いた磁気ヘッドの製造方法に関する。
従来辺且盃
従来より高密度記録媒体対応ヘッドとして高飽和磁束密
度を有するパーマロイ，センダスト等の合金材料をヘッ
ドコアとして用いた磁気ヘッドが実用化されている。
度を有するパーマロイ，センダスト等の合金材料をヘッ
ドコアとして用いた磁気ヘッドが実用化されている。
しかしながら、一般に合金材料は約５０μｍ程度の薄板
でコアを形成しており、機械加工作業上または完成した
磁気ヘッドの強度上の問題から、通常耐摩耗性が良好な
非磁性基板材料で珂板コアを両側から挟持したいわゆる
サンドイッチ構造の磁気ヘッドが実用に供されている。
でコアを形成しており、機械加工作業上または完成した
磁気ヘッドの強度上の問題から、通常耐摩耗性が良好な
非磁性基板材料で珂板コアを両側から挟持したいわゆる
サンドイッチ構造の磁気ヘッドが実用に供されている。
この場合、問題となるのが磁性体と非磁性基板の接着で
あるが、第２図Ｂに示すように、磁性体の熱膨張係数と
近似の熱膨張をもつ非磁性体１を基板として用い、その
基板上にスパッタリング等で磁性膜２，磁性体の拡散防
止のための保護膜３を接着剤として、基板と同様の熱膨
張係数をもつガラス膜４を形成し、膜形成のない基板で
磁性体を挟持し熱処理を行い接着を行うことが、接合強
度，環境変化における信頼性の面からも有効であった。
あるが、第２図Ｂに示すように、磁性体の熱膨張係数と
近似の熱膨張をもつ非磁性体１を基板として用い、その
基板上にスパッタリング等で磁性膜２，磁性体の拡散防
止のための保護膜３を接着剤として、基板と同様の熱膨
張係数をもつガラス膜４を形成し、膜形成のない基板で
磁性体を挟持し熱処理を行い接着を行うことが、接合強
度，環境変化における信頼性の面からも有効であった。
しかしながら、ＦＤＤ用やＨＤＤ用ヘッドにおいては、
より耐摩耗性を有するＡｒ２０３Ｔｉｃ， ＣａＴＩＯ
３等の非磁性基板を用いることが要求されている。
より耐摩耗性を有するＡｒ２０３Ｔｉｃ， ＣａＴＩＯ
３等の非磁性基板を用いることが要求されている。
従ってパーマロイ，センダスト等の磁性材料を用いる場
合、基板と磁性体の熱膨張係数の差が生じ、熱歪による
磁気特性の劣下，接着強度の低下が問題となっていた。
合、基板と磁性体の熱膨張係数の差が生じ、熱歪による
磁気特性の劣下，接着強度の低下が問題となっていた。
＝叩７Ｉ−ＩＬ ＋ の−一−Ｚ
前記問題点を解決するために、この発明は非磁性基板と
磁性体の間に非磁性基板と磁性体の熱膨張係数の間の熱
膨張係数を持つガラスを少なくとも２種以上挟みこんで
、熱処理することにより接着を行うものである。
磁性体の間に非磁性基板と磁性体の熱膨張係数の間の熱
膨張係数を持つガラスを少なくとも２種以上挟みこんで
、熱処理することにより接着を行うものである。
炬且
前記手段を実施することにより、非磁性基板と磁性体と
の間の歪の解消，またガラスを用いるためにそれ自身が
接着剤となること，熱膨張係数が違うガラスを積層して
いるので、引っ張りに強くなる。従って、高い接合強度
を持った接合体を得ることができる。
の間の歪の解消，またガラスを用いるためにそれ自身が
接着剤となること，熱膨張係数が違うガラスを積層して
いるので、引っ張りに強くなる。従って、高い接合強度
を持った接合体を得ることができる。
実軌Ｕ蝕
本発明の一実施例である磁気ヘッド製造成膜接着工程を
第１図に示す。
第１図に示す。
第１図Ｂに示すように、ＡＩ２０３ＴＩＣ（ｄ＝ ８０
Ｘ １０−’℃−′）等の是板１”に、まず基板材の熱
膨張係数と近似の熱膨張係数を持つガラス４をスパッタ
リング等で形成し、センダスト（α＝ｌ４０Ｘ １０−
７℃−１）等の磁性体の急膨張係数付近まで熱膨張係数
が２〜５ Ｘ １０−７℃−１ステップ間隔で異なる数
種のガラス膜４゜〜４′を形成させる。この場合、ガラ
ス膜の総厚は、設計値として設定すればよいが、例えば
、１μｍ〜２μｍ程度とする。次にスパッタリング等で
保護膜，磁性体膜を形成させる。さらに今度は熱膨張係
数が磁性体の熱膨張係数に近いガラス膜４”から県板材
の熱膨張係数付近までのガラス４〜４”を熱膨張係数が
２〜５ Ｘ １０−７゜Ｃステップ間隔で異ならせて形
成させる。
Ｘ １０−’℃−′）等の是板１”に、まず基板材の熱
膨張係数と近似の熱膨張係数を持つガラス４をスパッタ
リング等で形成し、センダスト（α＝ｌ４０Ｘ １０−
７℃−１）等の磁性体の急膨張係数付近まで熱膨張係数
が２〜５ Ｘ １０−７℃−１ステップ間隔で異なる数
種のガラス膜４゜〜４′を形成させる。この場合、ガラ
ス膜の総厚は、設計値として設定すればよいが、例えば
、１μｍ〜２μｍ程度とする。次にスパッタリング等で
保護膜，磁性体膜を形成させる。さらに今度は熱膨張係
数が磁性体の熱膨張係数に近いガラス膜４”から県板材
の熱膨張係数付近までのガラス４〜４”を熱膨張係数が
２〜５ Ｘ １０−７゜Ｃステップ間隔で異ならせて形
成させる。
一方、第１図Ａに示すようにＡｌ２０ａＴＩＣ， Ｃａ
ＴＩ０３等の非磁姓基板に基板材の熱膨張係数に近い熱
膨張係数を持つガラスを形成させる。
ＴＩ０３等の非磁姓基板に基板材の熱膨張係数に近い熱
膨張係数を持つガラスを形成させる。
これらの基板どうしをサンドイッチ構造（第１図Ｃ）に
して熱処理を施し、加工工程を経て磁気ヘッドを製造す
ると、非磁性基板と磁性体との間の歪が解消され、磁気
特性の劣下を防止することができる。
して熱処理を施し、加工工程を経て磁気ヘッドを製造す
ると、非磁性基板と磁性体との間の歪が解消され、磁気
特性の劣下を防止することができる。
また、ガラスを用いているために、それ自身が接着剤と
なるので加工工程ではがれが生じず、製作歩留りよく磁
気ヘッドを製造することができる。
なるので加工工程ではがれが生じず、製作歩留りよく磁
気ヘッドを製造することができる。
允肚旦剋果
以上の説明から明らかなように、本発明によれば熱膨張
係数がある磁姓体と非磁性基板とを接着する場合におい
て、熱処理において生じる応力による磁気特性の劣下を
防ぐことができる。しかも、ガラスを歪解消に用いてい
るので充分な接合強度を与えることができ、歩留りの向
上が図れ信頼性と生産性向上が、同時に実現できる。
係数がある磁姓体と非磁性基板とを接着する場合におい
て、熱処理において生じる応力による磁気特性の劣下を
防ぐことができる。しかも、ガラスを歪解消に用いてい
るので充分な接合強度を与えることができ、歩留りの向
上が図れ信頼性と生産性向上が、同時に実現できる。
第１図は本発明の一実施例を示す磁気へッドコア製造，
成膜接着工程の斜視図、第２図は従来例を示す磁気へッ
ドコア製造，成膜接着工程の斜視図である。 １・・・・・・非磁性）．（板（αＣ磁性体α）、１′
・・・・・・非磁性基板（α≠磁性体α）、２・・・・
・・磁性体、 ３・・・・・・保護膜、 ４・・・・・・ガラス（α＝非磁性基板α）、４′・・
・・・・ガラス （非磁姓基板αくα〈磁性体α）、 ４゛・・・・・・ガラス（α二磁性体α）。
成膜接着工程の斜視図、第２図は従来例を示す磁気へッ
ドコア製造，成膜接着工程の斜視図である。 １・・・・・・非磁性）．（板（αＣ磁性体α）、１′
・・・・・・非磁性基板（α≠磁性体α）、２・・・・
・・磁性体、 ３・・・・・・保護膜、 ４・・・・・・ガラス（α＝非磁性基板α）、４′・・
・・・・ガラス （非磁姓基板αくα〈磁性体α）、 ４゛・・・・・・ガラス（α二磁性体α）。
Claims (1)
- 磁性体コアの両側を非磁性基板で挟んだ構造を有するヘ
ッドコアを用いる磁気ヘッドの製造において、前記磁性
体コアと非磁性基板との接着を熱膨張係数の異なる少な
くとも２種以上のガラスを用いて行うことを特徴とする
磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30816189A JPH03168909A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30816189A JPH03168909A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03168909A true JPH03168909A (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=17977631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30816189A Pending JPH03168909A (ja) | 1989-11-28 | 1989-11-28 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03168909A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06111233A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜積層磁気ヘッド |
-
1989
- 1989-11-28 JP JP30816189A patent/JPH03168909A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06111233A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-22 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜積層磁気ヘッド |
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