JPH03268210A - 垂直磁気ヘッド - Google Patents
垂直磁気ヘッドInfo
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- JPH03268210A JPH03268210A JP6432690A JP6432690A JPH03268210A JP H03268210 A JPH03268210 A JP H03268210A JP 6432690 A JP6432690 A JP 6432690A JP 6432690 A JP6432690 A JP 6432690A JP H03268210 A JPH03268210 A JP H03268210A
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- coil
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気ディスク装置において、情報の記録・再生を行なう
垂直磁気ヘッドに関し、 コイルの発熱による保護膜の割れを防止することを目的
とし、 軟磁性材料よりなるスライダブロックの端面に導体コイ
ルおよび主磁極を積層して成る垂直磁気ヘッドにおいて
、上記スライダブロックと主磁極との距離をあけるため
に設けられる非磁性層として、ダイアモンド層又は熱伝
導率の高い非磁性金属層を使用するように構成する。
垂直磁気ヘッドに関し、 コイルの発熱による保護膜の割れを防止することを目的
とし、 軟磁性材料よりなるスライダブロックの端面に導体コイ
ルおよび主磁極を積層して成る垂直磁気ヘッドにおいて
、上記スライダブロックと主磁極との距離をあけるため
に設けられる非磁性層として、ダイアモンド層又は熱伝
導率の高い非磁性金属層を使用するように構成する。
本発明は、磁気ディスク装置において、情報の記録・再
生を行なう垂直磁気ヘッドに関する。
生を行なう垂直磁気ヘッドに関する。
近年、磁気ディスク装置の大容量化に伴い、記録媒体上
の磁化パターンの大きさが急激に小さくなってきている
。このため、再生出力の低下を防ぐために、記録再生用
導体コイルの巻数は年々増（１） （２） 加の傾向にある。このためコイルからの発熱による悪影
響を防止することが重要な課題となっている。
の磁化パターンの大きさが急激に小さくなってきている
。このため、再生出力の低下を防ぐために、記録再生用
導体コイルの巻数は年々増（１） （２） 加の傾向にある。このためコイルからの発熱による悪影
響を防止することが重要な課題となっている。
従来の垂直薄膜磁気ヘッドの斜視図及び断面図を第３図
に示す。これは浮上スライダをなすフェライトからなる
スライダブロック１の端部に、ガラスからなる非磁性層
２を介してＣｕからなる導体コイル３と、熱硬化させた
フォトレジストからなる有機絶縁層４と、ＮｉＦｅから
なる主磁極５が形成され、これら薄膜パターンをＡ Ｉ
２２０３等からなる加工保護膜６で覆った構成を有して
いる。そして情報の記録は、情報に従って導体コイル３
に流される電流によって生じた磁束が主磁極５から磁気
ディスク７の磁気記録層８を垂直に通り、さらに裏打ち
層９を経てスライダブロック１に入り、主磁極５に戻る
途中で磁気記録層８を垂直に磁化して情報を記録するよ
うになっている。
に示す。これは浮上スライダをなすフェライトからなる
スライダブロック１の端部に、ガラスからなる非磁性層
２を介してＣｕからなる導体コイル３と、熱硬化させた
フォトレジストからなる有機絶縁層４と、ＮｉＦｅから
なる主磁極５が形成され、これら薄膜パターンをＡ Ｉ
２２０３等からなる加工保護膜６で覆った構成を有して
いる。そして情報の記録は、情報に従って導体コイル３
に流される電流によって生じた磁束が主磁極５から磁気
ディスク７の磁気記録層８を垂直に通り、さらに裏打ち
層９を経てスライダブロック１に入り、主磁極５に戻る
途中で磁気記録層８を垂直に磁化して情報を記録するよ
うになっている。
上記従来の垂直薄膜磁気ヘッドでは、導体コイル３の巻
数増加にともなってコイル抵抗が増加するため、記録電
流印加時に、コイル抵抗による発熱により、導体コイル
３を覆っている有機絶縁層４の発ガス、膨張等をひきお
こし、加工保護膜６に割れが発生するという問題がある
。
数増加にともなってコイル抵抗が増加するため、記録電
流印加時に、コイル抵抗による発熱により、導体コイル
３を覆っている有機絶縁層４の発ガス、膨張等をひきお
こし、加工保護膜６に割れが発生するという問題がある
。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、コイルの発熱による
保護膜の割れを防止可能とした垂直磁気ヘッドを提供す
ることを目的とする。
保護膜の割れを防止可能とした垂直磁気ヘッドを提供す
ることを目的とする。
上記目的を達成するため本発明の垂直磁気ヘッドでは、
軟磁性材料よりなるスライダブロック１０の端面に導体
コイル１３および主磁極１１を積層して成る垂直磁気ヘ
ッドにおいて、上記スライダブロック１０と主磁極１１
との距離をあけるために設けられる非磁性層としてダイ
アモンド層１２又は、熱伝導率の高い非磁性金属層１６
を使用したことを特徴とする。
軟磁性材料よりなるスライダブロック１０の端面に導体
コイル１３および主磁極１１を積層して成る垂直磁気ヘ
ッドにおいて、上記スライダブロック１０と主磁極１１
との距離をあけるために設けられる非磁性層としてダイ
アモンド層１２又は、熱伝導率の高い非磁性金属層１６
を使用したことを特徴とする。
（３）
（４）
〔作 用〕
導体コイル１３に発生した熱は、主磁極１１とスライダ
ブロック１０との間に設けた熱伝導率の高いダイアモン
ド層１２又は非磁性金属層１６を通してスライダブロッ
ク１０へ拡散されるため導体コイル１３は高温とならず
、加工保護膜１５の割れを防ぐことができる。
ブロック１０との間に設けた熱伝導率の高いダイアモン
ド層１２又は非磁性金属層１６を通してスライダブロッ
ク１０へ拡散されるため導体コイル１３は高温とならず
、加工保護膜１５の割れを防ぐことができる。
第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図である。
同図において、ｌＧは浮上スライダを構成する軟磁性フ
ェライトからなるスライダブロックであり、該スライダ
ブロック１０の端部には、主磁極１１に接続する部分を
除いた部分を低くし、そこに厚さ１０〜３０ＩＩｎ１程
度のダイアモンド層（非磁性層）１２が形成されている
。そして該ダイアモンド層１２の上にはＣｕからなる導
体コイル１３と、熱硬化させたフォトレジストからなる
有機絶縁層１４が設けられている。また該有機絶縁膜１
４のコイル中心部に窓あけし、その部分にＮｉＦｅなど
からなる主磁極１１がスライダブロック１０に接続して
設けられ、該主磁極１１の他端は下方に延びてスライダ
ブロック１０の下面と一致している。さらに上記各薄膜
を覆ってＡ Ａ 、０．などからなる加工保護膜１５が
設けられている。
ェライトからなるスライダブロックであり、該スライダ
ブロック１０の端部には、主磁極１１に接続する部分を
除いた部分を低くし、そこに厚さ１０〜３０ＩＩｎ１程
度のダイアモンド層（非磁性層）１２が形成されている
。そして該ダイアモンド層１２の上にはＣｕからなる導
体コイル１３と、熱硬化させたフォトレジストからなる
有機絶縁層１４が設けられている。また該有機絶縁膜１
４のコイル中心部に窓あけし、その部分にＮｉＦｅなど
からなる主磁極１１がスライダブロック１０に接続して
設けられ、該主磁極１１の他端は下方に延びてスライダ
ブロック１０の下面と一致している。さらに上記各薄膜
を覆ってＡ Ａ 、０．などからなる加工保護膜１５が
設けられている。
なお前記非磁性層として設けられるダイアモンド層１２
はＣＶＤ法によって形成することができる。
はＣＶＤ法によって形成することができる。
この方法は平行平板電極を有する真空容器内の、一方の
電極上に基板を設置しておき、ＣＨ４とＨ２をＣＨ４／
Ｈ２” ２％、圧力ｇＭ２００Ｔｏｒｒとなるように導
入し、この状態で両電極間に高周波電圧を印加してプラ
ズマを発生させることによって基板上にダイアモンド膜
を形成することができる。
電極上に基板を設置しておき、ＣＨ４とＨ２をＣＨ４／
Ｈ２” ２％、圧力ｇＭ２００Ｔｏｒｒとなるように導
入し、この状態で両電極間に高周波電圧を印加してプラ
ズマを発生させることによって基板上にダイアモンド膜
を形成することができる。
以上の本実施例によれば、ダイアモンドが熱伝導率の良
好な物質であることにより、導体コイル１３で発生した
熱はダイアモンド層１２を通ってスライダブロック１０
へ拡散される。このため導体コイル１３は高温とならず
、従って有機絶縁物１４の発ガス、膨張等は起らず、加
工保護膜１５の割れ発生は（５） （６） 防止される。
好な物質であることにより、導体コイル１３で発生した
熱はダイアモンド層１２を通ってスライダブロック１０
へ拡散される。このため導体コイル１３は高温とならず
、従って有機絶縁物１４の発ガス、膨張等は起らず、加
工保護膜１５の割れ発生は（５） （６） 防止される。
第２図は本発明の第２の実施例を示す図である。
同図において第１図と同一部分は同一符号を付して示し
た。
た。
本実施例は基本的には前実施例と同様であり、異なると
ころは、スライダブロック１０と導体コイル１３との間
に設けたダイアモンド層１２０代りに熱伝導率の高い例
えばＣｕ等の非磁性金属層１６を用い且つ該非磁性金属
層１６と導体コイル１３との間に５ｉｎ２等の絶縁膜１
７を介在させたことである。なお非磁性金属層１６の厚
さは１０〜３０−程度で良く、めっき、スパッタ等で形
成することができる。
ころは、スライダブロック１０と導体コイル１３との間
に設けたダイアモンド層１２０代りに熱伝導率の高い例
えばＣｕ等の非磁性金属層１６を用い且つ該非磁性金属
層１６と導体コイル１３との間に５ｉｎ２等の絶縁膜１
７を介在させたことである。なお非磁性金属層１６の厚
さは１０〜３０−程度で良く、めっき、スパッタ等で形
成することができる。
このように構成された本実施例は、導体コイル１３で発
生した熱は非磁性金属層１６を通してスライダブロック
１０に拡散されるため、前実施例と同様な効果を得るこ
とができる。
生した熱は非磁性金属層１６を通してスライダブロック
１０に拡散されるため、前実施例と同様な効果を得るこ
とができる。
以上説明した様に、本発明によれば、導体コイルで発生
する熱をコイル部分から速やかに拡散させるごとができ
るため、発熱による加工保護膜の割れを防ぐことが可能
となり、垂直磁気ヘッドの信頼性の向上に寄与するとこ
ろ大である。
する熱をコイル部分から速やかに拡散させるごとができ
るため、発熱による加工保護膜の割れを防ぐことが可能
となり、垂直磁気ヘッドの信頼性の向上に寄与するとこ
ろ大である。
第１図は本発明の第１の実施例を示す断面図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す断面図、第３図は従来の垂
直磁気ヘッドを示す図である。 図において、 １０はスライダブロック、 １１は主磁極、 １２はダイアモンド層、 １３は導体コイル、 １４は有機絶縁膜、 １５は加工保護膜、 １６は非磁性金属層、 １７は絶縁膜 を示す。 （７） （８）
本発明の第２の実施例を示す断面図、第３図は従来の垂
直磁気ヘッドを示す図である。 図において、 １０はスライダブロック、 １１は主磁極、 １２はダイアモンド層、 １３は導体コイル、 １４は有機絶縁膜、 １５は加工保護膜、 １６は非磁性金属層、 １７は絶縁膜 を示す。 （７） （８）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、軟磁性材料よりなるスライダブロック（１０）の端
面に導体コイル（１３）および主磁極（１１）を積層し
て成る垂直磁気ヘッドにおいて、 上記スライダブロック（１０）と主磁極（１１）との距
離をあけるために設けられる非磁性層としてダイアモン
ド層（１２）を使用したことを特徴とする垂直磁気ヘッ
ド。 ２、軟磁性材料よりなるスライダブロック（１０）の端
面に導体コイル（１３）および主磁極（１１）を積層し
て成る垂直磁気ヘッドにおいて、 上記スライダブロック（１０）と主磁極（１１）との距
離をあけるために設けられる非磁性層として熱伝導率の
高い非磁性金属層（１６）を使用したことを特徴とする
垂直磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6432690A JPH03268210A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 垂直磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6432690A JPH03268210A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 垂直磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03268210A true JPH03268210A (ja) | 1991-11-28 |
Family
ID=13255001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6432690A Pending JPH03268210A (ja) | 1990-03-16 | 1990-03-16 | 垂直磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03268210A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0584707A2 (en) * | 1992-08-21 | 1994-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate and wear-resistant thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| US6914750B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-07-05 | Headway Technologies, Inc. | Thermal protrusion reduction in magnet heads by utilizing heat sink layers |
| US6963474B2 (en) * | 2001-01-16 | 2005-11-08 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head, magnetic head and magnetic disk driving device |
-
1990
- 1990-03-16 JP JP6432690A patent/JPH03268210A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0584707A2 (en) * | 1992-08-21 | 1994-03-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate and wear-resistant thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| EP0584707A3 (en) * | 1992-08-21 | 1995-08-02 | Minnesota Mining & Mfg | Laminating and wear resistant thin layer reading device formed thereon. |
| US5609948A (en) * | 1992-08-21 | 1997-03-11 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate containing diamond-like carbon and thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| EP0821349A2 (en) * | 1992-08-21 | 1998-01-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate and wear-resistant thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| EP0821349A3 (en) * | 1992-08-21 | 1998-04-01 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laminate and wear-resistant thin-film magnetic head assembly formed thereon |
| US6963474B2 (en) * | 2001-01-16 | 2005-11-08 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head, magnetic head and magnetic disk driving device |
| US6914750B2 (en) * | 2001-10-05 | 2005-07-05 | Headway Technologies, Inc. | Thermal protrusion reduction in magnet heads by utilizing heat sink layers |
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