JPS59166984A - マトリクス型液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

マトリクス型液晶表示装置の製造方法

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JPS59166984A
JPS59166984A JP58043332A JP4333283A JPS59166984A JP S59166984 A JPS59166984 A JP S59166984A JP 58043332 A JP58043332 A JP 58043332A JP 4333283 A JP4333283 A JP 4333283A JP S59166984 A JPS59166984 A JP S59166984A
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JP
Japan
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line
liquid crystal
short
substrate
crystal display
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Pending
Application number
JP58043332A
Other languages
English (en)
Inventor
善三 鈴木
隆夫 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPS59166984A publication Critical patent/JPS59166984A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はマトリクス型液晶表示装置dの製造方法、と
くに液晶配向処理等により生じる静電気からゲート絶縁
膜を保護する方法に関するものである。
従来、この種の装置として図に示すものがあった。第1
図はマトリクス型液晶表示装置の一単位零子を示す構成
図、第2図はマトリクス型液晶表示装置の部分断面図、
第3図はマドl)クス型液晶表示装置の一部分を示す構
成図、第4図nNテヤノネル型M□s トランジスタの
断面図である。図において、tlt l″jjゲート線
2)はソース線、(311’j M’08型トランジス
タよりなる薄膜トランジスタ(PL下TPTと略記する
。−Th1n Film Transister−)、
14)げ衣示゛屯極、(5)は蓄積コンデンサ、(6)
は液晶、(7)は第1基板でTPTアレー基板をなす。
(8)は透明導電膜、(9)は第2基板で、TPTアレ
ー基板(7)の対向基板をなす。(100)けマトリク
ス型液晶表示装置の一単位素子を示す。(101はゲー
ト電極、(Illはソース電極、(121汀ドレイン電
極、(13)はゲート絶縁膜、(14)は基板金示f。
さて、従来のTPTアレー〇構成は、複数個のゲート線
(1)及びゲート線(B K直交する複数個のソース線
(2)を備え、その交点K TFT (3)及び蓄積コ
ンデンサt51 + fss示屯極(4)等を有してお
り、第1図に示し1こ構成を表示部の一単位素子(1霞
)とし、第3図に示すように、この一単位素子(ユOO
)がマトリクス状に配列してTPTアレーを構成する。
なお、ゲート線tll及びソース線(2)のそれぞれの
延長線上(表示部の外側)にu IJ−ド電極部が設け
られている。
上記のような構成のTPTアレーを形成した後、液晶の
配向処理等ケ実施し、マトリクス型液晶表示装置を組立
てるが、ここで問題となるのけ、上記(つ寸り、従来)
のような構成、のTFTアレーでは、TPTアレー形成
後の液晶配向処理に低コスト。
高1百頼性のラビング法が適用でさす、コスzAのSi
Oの斜め蒸看法等π順らさるを得なくなるということで
ある。理由は、従来の構成のTPTアレーでは、配向処
理を施すTPTアレー基板(7)上のTPT(3)は第
4図に示f構成をしているが、このTPT (31を構
成するゲート絶縁膜(13)の静電気に対する唯実な保
護対策が施されていないため、ラビング法等の静「Dし
発生しやすい方法はゲート絶縁膜(13)を破壊しやす
いからである。また、ラビング法に限らす、種々の外部
要因から発生し得る静電気に対して、ゲート絶縁膜(1
3)の的確な係挿対策が施はれておらず、そのためゲー
ト絶縁膜(13)の破壊を起し、製造歩留りが従来隠め
て悪かった。
従来の構成のTPTアレーで灯、上記のように、液晶の
配向処理に低コスト、簡信頼性のラビング法が適用でき
す、また、ゲート絶縁膜(13)がその他種々の要因で
発生し得る静′市気に対して無防備τもあり、的確なゲ
ート絶縁膜(13)の保護対策?施さない限り製造歩留
りは悪かった。
この発明は上記のような従来のものの欠、薇全除去する
ためになされたもので、少なくともl仮晶自己向処理工
程中ばケート線並びにノー7線(あるいけドレイン線)
全短絡接地することにより、従来適用しにくかった生産
性のよいラビンク゛法(液晶の配向処理)が適用でき、
かつそグ)他種々の要因で発生し得る静電気からゲート
絶縁膜を保護でさ、従って低コスト、高信頼性のマ) 
IJクス型液晶表示装置全提供すること全目的としてい
る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第5
図はこの発明にかかわるマトリクス状[株]晶表示装置
の部分構成図で、図において、(15) I”J:第]
一基板(7)の外周部に設けられたゲート線ti: ;
’i:らびにソース線(2)のリード′屯極、(16)
はゲート線fl)ならびにソース線(2)を短絡したシ
ョートリンク′で、第1基板(7)の外周部に形成され
たものである。
なお、第5図においては表示部の四隅(四茨示累子分)
のミを示したが、実際vcl−1縦及び横方向に合計致
方素子が存在し、その省略部を点線てて表示している。
このようなショートリング(16)全形成するKは、ま
す、ソース線(2)及びソースM(2)のリード電極(
15)形成時に、従来よりソース線(2)ケ延長し、同
時にこのソース線(2)及びリード電極(15NK接続
するショートリング(16) k第1基板(7)の外周
部に形成し、そノ後、ゲー) Htl)及びゲート線t
liのリード成極(15)形成時に、やはりゲート線(
1)ヲ従来より延長きせて、ショートリング(16)と
接続させる。こび〕ようにして、ショートリング(+6
)’z影形成た後、ショートリング+16+ ’に電気
的に接地して、ラビング法等の液晶配向処理全笑施し、
その後+3!1基板(7)と第2基板(9)で液晶(6
)全挾持してマトリクス型液晶表示装置を組立て、その
後−ショートリンクQe) k切り離し、マトリクス型
液晶表示装置を完成させる。
なお、ショートリング(16)の形成は、ゲート線(1
:・形成時に行い、ゲート線fil及びリードi +2
) ’に延長してショートリング(161に短絡させて
もよい。
また、ショートリング(+6) ’i7形成せず、例え
ばリード線付きクリップで、ゲート線(1)及びソース
線(2)のリード小極(+5] i 1’jさみ、この
クリップ金少なくとも液晶配向処理中は短絡接地して、
ゲート線tli及びソース線(2)のリード電惚(+5
+ =短絡接地してもよい。
ま/乙、この際、接地し1こ纏′亀基板上に第1基板(
7)全おいて製造してもよい。
なお、1g号導入線がドレインとして機能している時は
、ドレイン線とゲート線f1+全短絡さら[i地して配
向処理を行なえばよい。
以上のように、この発明によれは、少なくとも液晶配向
処理中はゲート線ならびにソース線(あるいはド゛レイ
ン線)を短絡接地したので、低コスト、高信頼性のラビ
ング法(敵晶配向処浬)が適用でき、製造歩留りの託い
マドIJクス型液晶衣示装置が借られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はマトリクス型液晶衣示装置の一単位素子ケ示す
構成図、第2図はマl−IJクス型液晶衣ボ装置の部分
断面図、第3図なマトリクス型液晶衆示装置の部分構成
図、第4図はNチャンネル型Mosトランジスタの断面
図、第5図は、この発明にかかわるマトリクス型散晶衣
示装置の部分構成図である。 図において、(1;げゲート市極、(2)はソース線(
あるいはドレイン線)、+3)はMos型トランジスタ
、(6)は液晶、(7)に第1基板、(8)は逍男導覗
膜、(9)は第2基板、(15jはリード市極、(16
)はショートリングを示す。 なお、図中、四−符号な同−寸たぼ相当部分を示す。 代理人  葛 !Iif  悟 − 第1図 第、企図 第3図 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 jli  Mos型トランジスタを有する単位素子がマ
    トリクス状に配列され、これらトランジスタのゲート線
    並びにソース線(あるいけドレイン線)が格子状に配線
    されている第1基板の外周部に、上記ゲート線並びにソ
    ース線(あるいにドレイン線)のリード電極を形成する
    工程、上記第1基板に液晶配向処理を行う工程、上記第
    1基板と透明導電膜を有する第2基板とで液晶を挾持す
    る工程、ならびに少なくとも上記液晶配向処理工程中ば
    上記ゲート線並びにソース線(あるいはドレイン線)を
    短絡接地する工程を施でマトリクス型液晶表示装置の製
    造方法。 (2)  ゲート線並びにソース線(あるいはドレイン
    線)の短絡接地は、ゲート線並びにソース線(あるいけ
    ドレイン線)のリード電極を短絡接地することを特徴と
    する特f7f請求の範囲第1項記載のマトリクス型液晶
    表示装置の製造1方法。 (3)  ゲート線並びにソース線(あるいはドレイン
    線)の短終接地は第1基板の外周部にゲート線並びにソ
    ース線(あるいはドレイン線)を短絡したショートリン
    グを設けて行うことを特徴とする特許請求の範囲第1項
    または第2項記載のマI−’Jクス型液晶衣示装置の製
    造方法。
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