JPH0345934A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JPH0345934A
JPH0345934A JP1181231A JP18123189A JPH0345934A JP H0345934 A JPH0345934 A JP H0345934A JP 1181231 A JP1181231 A JP 1181231A JP 18123189 A JP18123189 A JP 18123189A JP H0345934 A JPH0345934 A JP H0345934A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、アクティブマトリクス液晶表示装置の構造に
関する。
〔従来の技術参≠卆鼻弊〕
液晶表示パネルは実用化が進み、現在では高品位な画質
が得られるアクティブマトリクス方式の液晶表示装置が
主流になりつつある。ここでアクティブマトリクス方式
とは画素電極である液晶表示電極毎に非線形な電流−電
圧特性を示す薄膜トランジスタ(TPT)、ダイオード
、金属−絶縁膜−金属あるいは金属−絶縁膜−透明導電
体の3層構造からなる。いわゆるMIM素子をスイッチ
ング素子として有するものである。
本発明ではスイッチング素子としてM工M素子を有し、
基板上にICを直搭載したいわゆるチップ・オン・グラ
ス(Chip−On−Glass )構造(以下C,0
,G、と略す)を有する液晶表示装置を例に説明する。
MIM素子とは一般的にはTa−Ta20s−Crある
いはTa−’ra、o、−ITOからなり、素子の非線
形的電流−電圧特性を用い直列に配した液晶層をスイッ
チングして表示を行うものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
ここで、前記MIM素子の絶縁膜の厚さは50nm程度
に形成するため静電耐圧が低く液晶ノくネル製造工程で
生ずる静電気により容易に絶縁破壊を起こし上下電極が
短絡し非線形素子として機能しな(なる。
素子の静電破壊は工程中の配向処理と液晶注入後のハン
ドリングで起こる確率が高い。第9図は従来法により作
製した液晶パネルを説明する平面図で図上ではアクティ
ブ基板67、対向基板68、IC39を示す。ここで静
電破壊の発生部位は第9図の破線66で示すように、表
示部外周のような周囲の電極配置が変化する所や、基板
上にICを直接搭載するC、 O,G、実装構造の液晶
表示装置の場合、異なるICに接続する配線が隣接する
部位に設げられたスイッチング素子の静電破壊が顕著で
ある。
静電対策としては、従来共通電極の設置等の)くターン
レイアウトによる対策及び工程中の湿度管理、作業者の
アース設置、イオンシャワー等のプロセスによる対策が
行われているが素子の静電破壊を完全に防止することは
できていない。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、このような課題を解決し、アクティブ
マトリクス方式液晶パネルの液晶表示電極に設けるスイ
ッチング素子を高歩留で製造することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために本発明における液晶表示装置
は下記記載の構造とする。
(イ)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有する(3
)行電極及びスイッチング素子を介して行電極と接続す
る画素電極を設けるアクティブ基板と、列電極及び対向
電極を設ける対向基板と、アクティブ基板上の画素電極
と対向基板上の対向電極を一定間隔で対向させ、且つア
クティブ基板と対向基板との間に充填する液晶物質と、
行電極とICとを接続する接続点と、接続点に対して行
電極の反対側の領域にダミー電極を設ける。
(ロ)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有する(3
)行電極及びスイッチング素子を介して行電極と接続す
る画素電極を設けるアクティブ基板と、列電極及び対向
電極を設ける対向基板と、アクティブ基板上の画素電極
と対向基板上の対向電極を一定間隔で対向させ、且つア
クティブ基板と対向基板との間に充填する液晶物質と、
列電極とICとを接続する接続点と、接続点に対して列
電極の反対側の領域にダミー電極を設ける。
(ハ)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有する(3
)行電極及びスイッチング素子を介して行電極と接続す
る画素電極を設けるアクティブ基板と、列電極及び対向
電極を設ける対向基板と、アクティブ基板上の画素電極
と対向基板上の対向電極を一定間隔で対向させ、且つア
クティブ基板と対向基板との間に充填する液晶物質と、
行電極とICとを接続する接続点と、接続点に対して行
電極の反対側の領域にダミー電極と、列電極とICとを
接続する接続点と、接続点に対して前記列電極の反対側
の領域にダミー電極を設ける。
〔実施例1〕 本実施例で作製したMIM素子を有するアクティブマ)
 !7クス方式液晶表示装置を第1図に示す。
MIM素子を形成したアクティブ基板1と対向電極を形
成した対向基板2は配向処理を施した後一定間隔を保っ
て貼り合わせ、その隙間に液晶を封入し、液晶封入領域
外に形成した行電極3上にICをハンダ導電ペーストを
介して直接搭載する。
ここで、Taである行電極3はアクティブ基板1上に2
40本形成し一方はハンダ導電ペーストを介して走査側
工C4と接続し、他方は液晶表示領域5においてMIM
素子を介して画素電極と接続する。6は走査側ICの入
力電極である。また、ITOである列電極7は対向基板
2上に320本形成し一方はハンダ導電ペーストを介し
て信号側IC8と接続し他方は液晶表示領域5において
対向電極とする。
9は信号側ICの入力電極である。ここでアクティブ基
板1上の画素電極とストライプ状に形成された対向基板
2側の対向電極は1対1に対応するように重なっている
本発明によるITOであるダミー電極1o及び11は行
電極3及び列電極7に沿ってICに接続する行電極6、
走査側ICの入力電極6、列電極7、信号側ICの入力
電極9とは電気的に接続せずに且つ行電極6と走査側I
Cの入力電極60間及び列電極7と信号側ICの入力電
極90間を通して設ける。
次に第1図の内部101領域の拡大図を第2図に示す。
アクティブ基板上の行電極3にはMIM素子12とIT
Oである画素電極16が形成され、対向基板上のITO
である対向電極14と一定間隔で重なり合っている。こ
こで、本発明のダミー電極10.11は液晶表示領域5
の外周に沿って一辺当り4本ずつ形成する。またアクテ
ィブ基板上の最も外側のダミー電極19以外にはMIM
素子とTaからなるダミー画素15に設は対向基板側の
対向電極14及びダミー電極11と対応させる。またダ
ミー電極11はアクティブ基板上のダミー画素15と対
応させる。
次に、MIM素子部について説明する。第3図は第2図
のMIM素子12の拡大平面図である。
Taである行電極3はその表面を陽極酸化膜であるTa
、0.で被われITOである画素電極13と重なってい
る。この重なり部がMIM素子である。
第4図は第3図のA−B断面を表わすもので、行電極3
とMIM素子の下部電極であるTa16はスパッタリン
グ法により厚さ250nm形成しフォトエツチングによ
りパターニングする。絶縁膜である’ra、o、17は
Ta16の陽極酸化により厚さ5Qnm形成する。MI
M素子の上部電極であるIT018はスパッタリング法
により厚さ200nm形成しフォトエツチングによりパ
ターニングする。この時、画素電極13も同時に形成す
る。
本発明により有効液晶表示領域内のMIM素子の絶縁膜
TazOa17が液晶表示装置の製造工程中で1パネル
当り1@でも静電破壊を起こす率は90%以上から5%
以下に減少する。これは工程中のハンドリング等で発生
する静電気がダミー配線間で放電するため有効液晶表示
領域には及ばないためである。
〔実施例2〕 実施例2で作製した液晶表示装置を第5図に示す。ここ
では、実施例1のダミー電極の中で最も外側のダミー電
極11.19を、液晶表示領域5を完全に囲むループ電
極とした。これにより有効液晶表示領域内のMIM素子
の絶縁膜が製造工程中で静電破壊を起こす率は0%とな
る。
〔実施例3〕 本実施例で作製したMIM素子を有するアクティブマト
リクス方式液晶表示装置を第6図に示す。
MIM素子を形成したアクティブ基板20と対向電極を
形成した対向基板21は配向処理を施した後一定間隔を
保って貼り合わせ、その隙間に液晶を封入し、ICを基
板上に直接搭載する。
ここで、Taである行電極群22a、22bはアクティ
ブ基板20上に各々240本ずつ計480本形成し各電
極の一方はハンダ導電ペーストを介して走査側IC23
a、23bに接続し、他方は液晶表示領域24において
MIM素子を介して対向電極と接続する。25は走査側
ICの入力電極である。
また、ITOである列電極群26a、26bは対向基板
21上に各々320本ずつ計640本形成し各電極の一
方はI・ンダ導電ペーストを介して信号側IC27a、
27bと接続し他方は液晶表示領域24において対向電
極とする。28は信号側ICの入力電極である。ここで
アクティブ基板20上の液晶表示電極とストライプ状に
形成された対向基板21側の対向電極は1対1に対応す
るように重なっている。
本発明によるITOであるダミー電極29は、アクティ
ブ基板20上において異なるICである走査側IC23
a、23bに接続する行電極群22a、22bの中で隣
合う電極221aと221bに沿ってICに接続する電
極及び画素電極には電気的に接続せずに、走査側IC2
3aと走査側ICの入力電極250間及び走査側IC2
3bと走査側ICの入力電極250間を通して設ける。
また、同様にしてITOであるダミー電極30は、対向
基板上で異なるICである信号側IC27a、27bに
接続する列電極群26aと26bの中で隣合う電極26
1aと261bに沿ってICに接続する配線及び対向電
極には電気的に接続せずに、列電極群26aと信号側I
Cの入力電極28の間及び列電極群26bと信号側IC
の入力電極280間を通して設ける。
次に第6図の内部102領域の拡大図を第7図に示す。
アクティブ基板上の行電極22にはMIM素子31とI
TOである画素電極62が形成され、対向基板上のIT
Oである対向電極66と一定間隔で重なり合っている。
ここで、本発明のアクティブ基板上のダミー電極29は
液晶表示領域2402辺に沿、って−辺当り4本ずつ独
立に形成し、その最も外側のダミー電極64以外にはM
IM素子とTaからなるダミー画素35を設け、対向基
板側の対向電極66及びダミー電極30と対応させる。
同様にして対向基板上のダミー電極30は液晶表示領域
24の残る2辺に沿って一辺当り4本ずつ形成し、アク
ティブ基板側のダミー電極29と対応させた。また、M
IM素子61は実施例1と同様の方法で作製する。
本発明により有効液晶表示領域内のMIM素子の絶縁膜
’ra2o、が液晶表示装置の製造工程中で1パネル当
り1個でも静電破壊を起こす率は95%以上から5%以
下に減少する。これは工程中のハンドリング等で発生す
る。静電気がダミー電極間で放電するため有効液晶表示
領域には及ばないためと基板上の異なるICにつながる
隣接電極つまり第6図の隣合う電極221a、221b
間または隣合う電極261a、261b間で電位差が生
じにくくなるためである。
〔実施例4〕 実施例4で作製した液晶表示装置を第8図に示す。ここ
では、実施例3のダミー電極の中で最も外側のダミー電
極60.64を、液晶表示領域5を完全に囲むループ電
極とする。これにより有効液晶表示領域内のMIM素子
の絶縁膜が製造工程中で静電破壊を起こす率は0%とな
る。
〔実施例5〕 本発明ではスイッチング素子としてM I M素子を代
表例として上げたが、薄膜トランジスタ素子のゲート絶
縁膜の静電破壊あるいはダイオード素子の半導体膜の静
電破壊にも有効である。また基板上に3個以上のICを
搭載する場合にも有効である。またフレキシブル・プリ
ンデッド・サーキッ ト (FJexiMe  Pr1
nted  C1rcuit)(F、P、C,)等を用
いたC、 O,G、  以外の実装方式でも有効である
。本発明によるF、 P、 C,実装の液晶表示装置を
第10図に示す。図中ではアクティブ基板40、対向基
板41、ダミー電極42.F、P、C。
43、IC44を表わしている。
〔発明の効果〕
本発明のダミー電極により、アクティブマトリクス方式
液晶表示装置に設けるスイッチング素子の静電破壊を防
止し高歩留な液晶表示装置を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はいずれも本発明の第1の実施例に
おける液晶表示装置を示す平面図、第3図および第4図
はいずれもMIM素子を示し第3図は平面図、第4図は
第3図のA−B断面を示す断面図、第5図は本発明の第
2の実施例における液晶表示装置を示す平面図、第6図
および第7図はいずれも本発明の第3の実施例における
液晶表示装置を示す平面図、第8図は本発明の第4の実
施例における液晶表示装置を示す平面図、第9図は従来
例の液晶表示装置における課題を説明するための平面図
、第10図は本発明の第5の実施例における液晶表示装
置を示す平面図である。 1・・・・・・アクティブ基板、 2・・・・・・対向基板、 3・・・・・・行電極、 7・・・・・・列電極、 10.11・・・・・・ダミー電極。 第1図 5 第9図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有するスイ
    ッチング素子及び前記スイッチング素子を介して前記行
    電極と接続する画素電極とを設けるアクティブ基板と、
    列電極及び対向電極を設ける対向基板と、前記アクティ
    ブ基板上の前記画素電極と前記対向基板上の前記対向電
    極を一定間隔で対向させ、且つ前記アクティブ基板と前
    記対向基板との間に充填する液晶物質と、前記行電極と
    ICとを接続する接続点と、前記接続点に対して前記行
    電極の反対側の領域にダミー電極を設けたことを特徴と
    する液晶表示装置。
  2. (2)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有するスイ
    ッチング素子及び前記スイッチング素子を介して前記行
    電極と接続する画素電極とを設けるアクティブ基板と、
    列電極及び対向電極を設ける対向基板と、前記アクティ
    ブ基板上の前記画素電極と前記対向基板上の前記対向電
    極を一定間隔で対向させ、且つ前記アクティブ基板と前
    記対向基板との間に充填する液晶物質と、前記列電極と
    ICとを接続する接続点と、前記接続点に対して前記列
    電極の反対側の領域にダミー電極を設けたことを特徴と
    する液晶表示装置。
  3. (3)行電極及び非線形な電流−電圧特性を有するスイ
    ッチング素子及び前記スイッチング素子を介して前記行
    電極と接続する画素電極とを設けるアクティブ基板と、
    列電極及び対向電極を設ける対向基板と、前記アクティ
    ブ基板上の前記画素電極と前記対向基板上の前記対向電
    極を一定間隔で対向させ、且つ前記アクティブ基板と前
    記対向基板との間に充填する液晶物質と、前記行電極と
    ICとを接続する接続点と、前記接続点に対して前記行
    電極の反対側の領域にダミー電極と、前記列電極とIC
    とを接続する接続点と、前記接続点に対して前記列電極
    の反対側の領域にダミー電極を設けたことを特徴とする
    液晶表示装置。
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