JPS59149326A - 液晶パネルの製造方法 - Google Patents

液晶パネルの製造方法

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JPS59149326A
JPS59149326A JP2416183A JP2416183A JPS59149326A JP S59149326 A JPS59149326 A JP S59149326A JP 2416183 A JP2416183 A JP 2416183A JP 2416183 A JP2416183 A JP 2416183A JP S59149326 A JPS59149326 A JP S59149326A
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conductive film
transparent conductive
terminal part
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Kaname Miyazawa
宮沢 要
Yoshihiro Ono
大野 好宏
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Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は液晶パネルの端子部分のメタライズ法に関する
ものであり、配向処理と透明導電膜上への選択メッキ前
処理プロセスを組み合わせることによって端子部分のみ
にメッキしようとするものである。
近年液晶パネルの端子数の増加にともなって、安価でし
かも信頼性の高い実装法が望まれている。
それには透明導電膜の端子部をメタライズしフレキシブ
ルテープを使ってハンダ付けする方法が優れている。し
かし従来透明導電膜上のメタライズ法はスパンタリング
、蒸着法等の真空法で基板全面にOr −A u等を被
覆し、フォトリングラフイーにより端子部分を除いて該
金属被膜をエツチング除去する方法をとっていたが真空
法を使うためコストが高い、フォト工程を通るため工数
が多く高コスト、又金等の貴金属のムダな消費が多いと
いった欠点を有し、液晶パネルコストを高価なものにし
ていた。そこで本発明者は、無電解メッキ法によりN1
基合金を選択的に透明導電膜上のみに形成し、端子部を
除いてフォト法によりN1基合金をエツチング除去する
方法で大巾なコストダウンができることを先に発明した
が、本発明はさらに簡易な方法により透明導電膜の端子
部のみに選択的にN1基合金を無電解メッキしようとす
るものである・すなわ元勲電解メッキプロセスの前処理
工程と、液晶パネルの配向処理を組み合わせることによ
り、端子部分のみにメッキができることを見出し、本発
明を生むに至った。
本発明に用いられる液晶パネル基板としては、ソーダガ
ラス、パイレックスガラス、石英ガラス等の無機材料、
フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテルサル
7オン樹脂等の有機材料である。このような基板土建酸
化インジウム又はスズ等をドープした工TO,酸化スズ
又はインジウム、ハロゲン、アンチモン等をドープした
透明導電膜が・スパッタリング、蒸着法、CVD法等に
よって被覆した後フォトリソグラフィーにより所定の電
極パターンにエツチングされる。
次に透明導電膜上にのみ(ガラス上を除いて)選択的に
メッキ触媒を塗布する。選択的触媒塗布は・Hct、ホ
ウフッ酸、7ツ酸等の酸に5n−paミコロイドは錯体
を溶解又は分散させた液に透明導電膜付基板を浸漬する
ことにより得られる。
市販されているものとしては、日立化成社製H3−IO
IBである。ESC!A分析の結果ガラス上にはS n
 −P d触媒は吸着していないことが確認できた。次
にメッキ促進剤に浸漬する工程に続く。
この工程はS n −P dコロイド粒子のSnを溶解
する工程であると言われているが、ホウフッ酸。
NaOH、KOH溶液等に浸漬することにより促進効果
が得られる。
次に乾燥後、端子部を除いてパターン状に配向剤が被覆
され、る。被覆方法とし7てはマスク斜め蒸着法、ポリ
イミド、ポリエーテルサルフオン、BTレジン等のオフ
セット、凸版印刷により得られる。この被膜の厚みは1
00X〜5000χが望ましい。この配向剤は配向剤と
しての効果とメツキレシストとしての働きをしなければ
ならないことがら膜厚、材質等がおのずから決定される
。あまり薄いとピンホールが生じ配向性が劣るし、又メ
ッキがピンホール内についてしまう。膜厚すぎるとメツ
キレシストとしての効果は優れるが、配向剤としては電
圧℃゛ロツプおき駆動特性の劣化をもたらす。望まルく
は200〜20GOKである。このような材料をこのよ
うな方法で端子部を除くパターン状に形成した後、必要
に応じて焼成させ被膜を強化する。
次に無電jJ(Ni基合金メッキ液に浸漬し端子部分の
みの透明導電膜上にメッキする。前工程で選択的に透明
導電膜上にのみメッキ触媒が塗布され、しかも1芋部分
以外の透明導電膜は配向剤によって被覆されているため
、端子部のみにN1基合金メッキがされるわけであるO
ここで用いられるN1基合金メッキには、N1−P 、
 N1−B 。
N i −Co −P 、 N i −Or −P 、
 N i −F e −P、Ni−工21−P等がある
が、N、i −Pメッキが密着性の点で優れている0こ
れらは必ずしも単独で使用する必要はなく、例えば下地
としてN1−p、上付けとしてN1−Bというように組
み合わせて使うことを可能である。膜厚は)1ンダ付は
性、すなわちハンダ食われ防止からして、1000%以
上1ooooX以下である。10000%以上となると
透明導電膜との密着性が劣化する。望ましくは2 Q 
00’X〜6oooXである。メッキ後、メッキ被膜と
透明導電膜との密着性を向上させる目的で熱処理しても
良い。100℃以上500℃以下であり、高温となれば
処理時間は短かくてずtr。200℃、15st、25
0℃ 5〜10m等々が使用される0 次に前記有機配向剤の場合で水平配向が必要とされる場
合にはラビング工程に入る。その後通常の工程によって
液晶パネルが組み立てられる。液晶注入、封止後、端子
部には予備ノ・ンダがされる0ハンダリフローにより簡
単に予備ノ・ンダ可能である。次に導体形成したポリイ
ミド、ポリエステル等のフレキシブルテープでノ1ンダ
された液晶ノぐネル端子を接続し実装する。この方法に
よれば50〜100μmピッチの端子をもった液晶パネ
ルの実装が可能となり、ハイデユーティ液晶パネル、T
 T F 、 、M工M等のアクティブマトリクス液晶
パネル、さらには実装の信頼性を特に要求される自動車
用パネル等に適用できる。
なおハンダの流れ性を向上させるため、及び抵抗を下げ
る等の目的でN1基合金のトップコートとして貴金属メ
ッキを施すこともできる。貴金属とはAu’、Ag 、
Pt 、Rb 、Pd等であり、置換型無電解メッキが
可能でしかもメッキ中にN1基合金を溶解してしまわな
いアルカリ浴が優れている。例えば日本エンゲルハルト
社製Auメッキであるアトメック又は有用である≧貴金
属の厚みは目的からして50大〜2000χであり、望
ましくは200χ〜1o o o’ Xである。
以下実施例により本発明を説明する。
実施例1 パシベイションを施したソーダガラス上に透明導電膜で
ある工Toを500χE、B蒸着し、フォトリソグラフ
ィーにより工Toを、100μm端子ピンチをもつよう
にエツチングパターニングした。レジストハク離洗浄後
、日立化成社製アクティベイターH8−101Bに1分
間浸漬し、水洗後メッキ促進剤である1NNaOH中に
2分間浸漬し、水洗後乾燥を行なった。次に配向剤とし
てのポリイミド被膜スをオフセット印刷で端子部を除い
て印刷した。600℃で30分間焼成し、イミド環を形
成させるように重金を行ない約600Xのポリイミド被
膜を得た。
次に無電解N i −Pメッキ液であるカニゼン社製S
−680中で50℃、5分間メッキして約4000χの
N i −P被膜を得た。N1−P被膜はメッキ前処理
工程によりITo上のみに触端が選択的に塗布されてい
るため、及び端子部以外は配向剤兼メソキレシストとし
てのポリイミドにより保護されているため、端子部の1
TO上のみに選択的に被覆された。次にN i −P被
膜の密着性を向上させるため250℃で15分間該基板
を熱処理した。次に、綿布により一定方向にラビングを
行ない水平配向処理を施した。このような基板を2枚用
い上下基板として液晶パネルを組立て液晶封入、封止を
行ない完成パネルとした。次に低温ハンダバスに端子部
のみをリフローさせて予備ハンダを行なった。次にポリ
イミドフレキシブルケーブルを用いて該予備ハンダされ
た端子とハンダ付けを行なった。端子部のビール強度は
120f/謡で実用上何ら問題のないビール強度を示し
た。
本プロセスにより必要な部分、すなわち端子部分のみに
、何のフォト工程も用いずにメタライズすることが可能
となった。これは今後増々増加する液晶高密度実装に対
して大巾なコストダウンと信頼性をもたらすことになり
工業的価値は非常に高し)。
実施例2 実施例1において、液晶パえル完成後・液晶パネルを日
本エンゲルハルト社製アトメックス無電解Auメッキ液
に浸漬して、端子部のN1−P被膜上にのみ約300χ
のAuメッキを施した・実施例1に比して、フラックス
なしでもハンダリフローによる予備ハンダが可能であっ
た。
実施例3 実施例1においてN i −Pメッキに続いて実施例2
のAuメッキを施した。同様に予備ハンダ時のフラック
スは必要としなかった。
実施例4゜ 実施例1において、配向剤とじて垂直配・向剤であるト
リイソプロピルオキシモノステアリルチタンを同様に端
子部を除いて凸版印刷した。他は同様にしてGHタイプ
液晶パネルを作り、実装を行なった。100μピツチも
何の問題もなく実装可能であった。
以上実施例により本発明を説明したが、本発明により高
密度パネルの実装コストが大巾にダウンされ、又信頼性
もたかいことから工業的価値は大なるものがある。本発
明により得られた液晶パネルは時計、電卓、テレビ、α
−Nディスプレイ等に用いられる。
なお、本発明は、液晶パネルへの適用として説明したが
、透明導電膜の端子を有するもの(例えば、電気泳動表
示パネル、EL表示パネル等)にも適用可能である。
以  上 手続補正書(自発) 59515 昭和   年   月   日 特許庁長官殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第24161  号 2、発明の名称 液晶パネルの製造方法 3、補正をする者 事件との関係 出願人 4、代理人 〒104 東京都中央区京橋2丁目6番21号5、 補
正により増加する発明の数 特開昭59−149326(4) 手続補正書(自発) 1、 明Mi書 6頁15行目 「被覆した後」とめる葡、 「被覆さn後」に補正する。
2、 明細書 4頁16行目〜14行目「凸版印刷によ
り得ら扛る。」とある?、「凸版印刷法があげられる。
」に補正する。
6、 明細書 5頁18行目 「使うこと全可能である。」とある金、「使つととも可
能である。」に補正する。
48  明雅書 6頁12行目 「ハンダリフロー」とあるを、 「ハンダフロー」に補正する。
5、 明細書 6頁18行目 「TTF、」とある金、 1−TyT、Jに補正する。
6、 明細書 7頁4行目 「Rb、Jとある葡、 「、uh、Jに補正する。
l 明細書 7頁8行目 「アトメック又は」とあるを、 「アトメックは」に、補正する。
a 明tJi沓 8頁3行目 「重金を行ない」とある全、 「重合を行ない」に補正する。
9 明細書 8頁8行目 「加端が」とあるを、 「触媒が」に補正する。
10、明+1a書 8頁18行目 「リフローさせて」とおるを、 「フローさせて」に補正する。
11、明細書 8頁8行目 「ハンダリフロー」とあるを、 「ハンダフロー」に補正する。
以   上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 液晶パネル°の端子部分をメタライズする方法にお
    いて、パターニングされた透明導電膜付基板上の透明導
    電膜上にのみメッキ触媒を塗布する工程、メッキ促進剤
    に浸漬する工程、端子部を除いて配向剤を形成する工程
    、N1基合金を無電解メッキする工程を含むことを特徴
    とする液晶パネルの製造方法。 2、特許請求の範囲第1項において、N1基合金メッキ
    に続いて、貴金属メッキを施す工程を含むことを特徴と
    する液晶パネルの製造方法。
JP2416183A 1983-02-16 1983-02-16 液晶パネルの製造方法 Granted JPS59149326A (ja)

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JP2416183A JPS59149326A (ja) 1983-02-16 1983-02-16 液晶パネルの製造方法

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JPS59149326A true JPS59149326A (ja) 1984-08-27
JPH0470613B2 JPH0470613B2 (ja) 1992-11-11

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