JPS63271318A - 表示装置用電極板 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、液晶ディスプレイや液晶を用いた表示・入力
装置などに用いる表示装置用電極板に関する。特に有機
のカラーフィルタの上に透明電極と金属薄膜層を形成し
た表示装置用電極板に関する。
装置などに用いる表示装置用電極板に関する。特に有機
のカラーフィルタの上に透明電極と金属薄膜層を形成し
た表示装置用電極板に関する。
〈従来の技術〉
液晶ディスプレイは、大画面・高密度表示のため画素や
端子部のピッチが１００μｍ付近まで要求されるように
なり、きわめて高精細化しつつある。
端子部のピッチが１００μｍ付近まで要求されるように
なり、きわめて高精細化しつつある。
これに伴い、ディスプレイと駆動回路との接続がむずか
しいものとなってきている。加えて、表示のための透明
電極とのインピーダンス整合がうまくいかなくなってき
ている。また、この大画面・高密度化と同時にディスプ
レイの薄型化が進められており、液晶ディスプレイの基
板（通常、１ｍｍ程度の厚さのガラス板へ）直接駆動用
のＩＣを実装するＣＯＧと呼ばれる方法や、フレキシブ
ルなコネクターを介してのはんだ付けが試みられている
。はんだ付けやＣＯＧのためにあらかじめＮｉにニッケ
ル）を基板にパタニングしておくことが、一般的である
。この場合にＣｒ（クロム）等の基板との密着の良い接
着金属層をＮｉと基板との間に設けることは、公知の技
術である。
しいものとなってきている。加えて、表示のための透明
電極とのインピーダンス整合がうまくいかなくなってき
ている。また、この大画面・高密度化と同時にディスプ
レイの薄型化が進められており、液晶ディスプレイの基
板（通常、１ｍｍ程度の厚さのガラス板へ）直接駆動用
のＩＣを実装するＣＯＧと呼ばれる方法や、フレキシブ
ルなコネクターを介してのはんだ付けが試みられている
。はんだ付けやＣＯＧのためにあらかじめＮｉにニッケ
ル）を基板にパタニングしておくことが、一般的である
。この場合にＣｒ（クロム）等の基板との密着の良い接
着金属層をＮｉと基板との間に設けることは、公知の技
術である。
〈発明が解決しようとする問題点〉
通常、Ｎｉをガラス等の基板につけるため、接着金属と
してのＣｒ（クロム）を下引きとして、Ｃｒ ／ Ｎ
ｉの２層構成で形成することが一般的である。この場合
、ＣｒとＮｉをパタニングする際、Ｎｉのサイドエッチ
を防ぐため、異ったエツチング液で２回エツチングを行
う必要があり、製造プロセスがふえ好ましくない。また
、Ｎｉをエツチングする場合、バタン形状を良くするた
め、４０〜６０°Ｃに加温した硝酸系のエンチャントを
用いることになるが、このエツチング条件では、有機の
カラーフィルターや透明電極にダメージを与えてしまう
欠点がある。また、Ｎｉの成膜はめつきもしくは蒸着に
よる成膜方法をとる。めっきのＮｉ膜は下地の活性化処
理やめっき液のコントロールやめっき後の熱処理等製造
プロセスがきわめて繁雑な上、めっきのＮｉ膜の導電率
が悪く、かつ、はんだの濡れもあまり良くないことから
、液晶ディスプレイ用途のメタライズには適当でない。
してのＣｒ（クロム）を下引きとして、Ｃｒ ／ Ｎ
ｉの２層構成で形成することが一般的である。この場合
、ＣｒとＮｉをパタニングする際、Ｎｉのサイドエッチ
を防ぐため、異ったエツチング液で２回エツチングを行
う必要があり、製造プロセスがふえ好ましくない。また
、Ｎｉをエツチングする場合、バタン形状を良くするた
め、４０〜６０°Ｃに加温した硝酸系のエンチャントを
用いることになるが、このエツチング条件では、有機の
カラーフィルターや透明電極にダメージを与えてしまう
欠点がある。また、Ｎｉの成膜はめつきもしくは蒸着に
よる成膜方法をとる。めっきのＮｉ膜は下地の活性化処
理やめっき液のコントロールやめっき後の熱処理等製造
プロセスがきわめて繁雑な上、めっきのＮｉ膜の導電率
が悪く、かつ、はんだの濡れもあまり良くないことから
、液晶ディスプレイ用途のメタライズには適当でない。
蒸着のＮｉ膜は導電率やはんだとの適合に優れているが
、Ｎｉは蒸着時にスプラッシュ（比較的大きな粒子が飛
散し、膜に損傷を与える）が発生し易く蒸着がむずかし
いという欠点がある。
、Ｎｉは蒸着時にスプラッシュ（比較的大きな粒子が飛
散し、膜に損傷を与える）が発生し易く蒸着がむずかし
いという欠点がある。
〈問題を解決するための手段〉
本発明は、透明な基板上に少なくとも透明電極と金属薄
膜層を積層せしめた表示装置用電極板において、金属薄
膜層が透明電極と接したクロム層と、銅を０．５〜１０
重量パーセント含有したニッケル合金層との２層構成で
あることを特徴とする表示装置用電極板である。本発明
は、基板と透明電極との間にカラーフィルタを配設せし
めた構成であっても良い、カラーフィルターは無機材料
で構成されたものでも良いが、印刷法や染色法による有
機材料の方が製造コストの上からは好ましい。
膜層を積層せしめた表示装置用電極板において、金属薄
膜層が透明電極と接したクロム層と、銅を０．５〜１０
重量パーセント含有したニッケル合金層との２層構成で
あることを特徴とする表示装置用電極板である。本発明
は、基板と透明電極との間にカラーフィルタを配設せし
めた構成であっても良い、カラーフィルターは無機材料
で構成されたものでも良いが、印刷法や染色法による有
機材料の方が製造コストの上からは好ましい。
有機材料によるカラーフィルターは表面の平滑化や保護
の目的でエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ペプチド樹脂、
シリコン樹脂、ポリイシド樹脂等の有機のオーバーコー
トあるいは無機酸化物のオーバーコートを形成しても良
い、これらオーバーコートの上にさらに無機酸化物層を
挿入して後、透明電極と金属薄膜層を積層した構成も可
能である。
の目的でエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ペプチド樹脂、
シリコン樹脂、ポリイシド樹脂等の有機のオーバーコー
トあるいは無機酸化物のオーバーコートを形成しても良
い、これらオーバーコートの上にさらに無機酸化物層を
挿入して後、透明電極と金属薄膜層を積層した構成も可
能である。
金属薄膜層の一方のニッケル合金層はＣｕ（銅）を０．
５〜１０重量パーセント含有しているが、これに若干量
のＡｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｄ等をハンダ付は性改善
のため加えても良い、クロム層は金属クロムの他、酸化
クロムを含んでいても良い。
５〜１０重量パーセント含有しているが、これに若干量
のＡｕ、Ａｇ、Ｚｎ、Ｃｄ、Ｐｄ等をハンダ付は性改善
のため加えても良い、クロム層は金属クロムの他、酸化
クロムを含んでいても良い。
透明電極は、ＩＴＯとよばれるインジウムと鉛の酸化物
、あるいは鉛の酸化物にアンチモン酸化物やフッ素を混
合したもの、または酸化亜鉛に酸化アルミニウムを混合
したもの、これら金属酸化物により形成された導電膜を
エツチング等によりパタニングしてものである。
、あるいは鉛の酸化物にアンチモン酸化物やフッ素を混
合したもの、または酸化亜鉛に酸化アルミニウムを混合
したもの、これら金属酸化物により形成された導電膜を
エツチング等によりパタニングしてものである。
く作用〉
本発明は、以上のように金属薄膜層を、透明電極と接す
る側をクロム層とし、外側をＣｕを０．５〜１０重量パ
ーセント含有したニッケル合金層と２層構成にしたこと
により、１回のエツチングにて容易にＣｕ／ニッケル合
金層をパタニング加工できる。当ニッケル合金の蒸着に
よる成膜も純ニッケルの場合より格段に容易となる。
る側をクロム層とし、外側をＣｕを０．５〜１０重量パ
ーセント含有したニッケル合金層と２層構成にしたこと
により、１回のエツチングにて容易にＣｕ／ニッケル合
金層をパタニング加工できる。当ニッケル合金の蒸着に
よる成膜も純ニッケルの場合より格段に容易となる。
本発明を実施例に基づき詳細に説明する。
〈実施例〉
第１図は、本発明による金属薄膜層を有した構成の表示
装置用電極板の模式断面図である。ガラスの基板（ＩＱ
上に、公知技術である染色法により形成した膜厚１．５
μｍの有機フィルターをカラーフィルター０４１１とし
て、またオーバーコート層として０．４μｍのゼラチン
膜０ωと０６２μｍの二酸化珪素膜００を形成しである
。さらに、このオーバーコート層上にはＩＴＯとよばれ
る透明電極θりがあり、この透明電極側は厚み６００人
のクロム層と厚み３５００人のニッケル合金層の２Ｎ構
成とした。ニッケル合金層の銅の含有割合は４重量パー
セント（残部ニッケル）であり、蒸着により成膜した。
装置用電極板の模式断面図である。ガラスの基板（ＩＱ
上に、公知技術である染色法により形成した膜厚１．５
μｍの有機フィルターをカラーフィルター０４１１とし
て、またオーバーコート層として０．４μｍのゼラチン
膜０ωと０６２μｍの二酸化珪素膜００を形成しである
。さらに、このオーバーコート層上にはＩＴＯとよばれ
る透明電極θりがあり、この透明電極側は厚み６００人
のクロム層と厚み３５００人のニッケル合金層の２Ｎ構
成とした。ニッケル合金層の銅の含有割合は４重量パー
セント（残部ニッケル）であり、蒸着により成膜した。
なお、二酸化珪素膜（１０）と、透明電極（１２）はス
パッタリングにより成膜した。
パッタリングにより成膜した。
金属薄膜層は通常のフォトリソの手法にて硝酸第２セリ
ウムアンモニウム（１５％）液を用いニッケル合金層、
Ｃｒ層とも容易にエンチングできた。
ウムアンモニウム（１５％）液を用いニッケル合金層、
Ｃｒ層とも容易にエンチングできた。
以上の実施例に於て、カラーフィルターを挿入した構成
で説明したが、ディスプレイの表示がモノクロで十分な
場合はカラーフィルターを省いても良い。また、無機の
カラーフィルターや印刷によるエポキシ樹脂系の有機の
カラーフィルターを用いる場合は、二酸化珪素膜を省い
た構成も可能である。実施例の二酸化珪素膜は他の無ｉ
酸化物、例えば、ＭｇＯ，Ａｌｚ ０３ 、Ｚ ｒｚ
０３ 、Ｔａｚ Ｏ５その他透明な無機酸化物に代替し
ても良い。
で説明したが、ディスプレイの表示がモノクロで十分な
場合はカラーフィルターを省いても良い。また、無機の
カラーフィルターや印刷によるエポキシ樹脂系の有機の
カラーフィルターを用いる場合は、二酸化珪素膜を省い
た構成も可能である。実施例の二酸化珪素膜は他の無ｉ
酸化物、例えば、ＭｇＯ，Ａｌｚ ０３ 、Ｚ ｒｚ
０３ 、Ｔａｚ Ｏ５その他透明な無機酸化物に代替し
ても良い。
クロム層はチタン、タングステン、モリブデン等基板や
銅の割合が１０パーセントを越えるとエツチング時にサ
イドエッチが入り易くなり、また、０゜５パーセント以
下ではエッチャントを加湿しないとエツチングが入りに
くくなり、０．５〜１０重量パーセント銅の割合が好ま
しい、はんだ付性や耐熱性を向上させるために金・パラ
ジウム等の貴金属を若干量加えても良い。
銅の割合が１０パーセントを越えるとエツチング時にサ
イドエッチが入り易くなり、また、０゜５パーセント以
下ではエッチャントを加湿しないとエツチングが入りに
くくなり、０．５〜１０重量パーセント銅の割合が好ま
しい、はんだ付性や耐熱性を向上させるために金・パラ
ジウム等の貴金属を若干量加えても良い。
金属薄膜層のパターンの端部には実装のためあらかじめ
はんだめ、つきゃ金のめっきを施しても良い。また、透
明電極及び金属薄膜層のパタニングの後に透明電極の保
護の目的で有機膜や５ｉＯｚ等の無機膜を薄くコーティ
ングしても良い。
はんだめ、つきゃ金のめっきを施しても良い。また、透
明電極及び金属薄膜層のパタニングの後に透明電極の保
護の目的で有機膜や５ｉＯｚ等の無機膜を薄くコーティ
ングしても良い。
実施例のエッチャントは、これに限定するものでない、
ニンケル合金のエツチングレートを速くさせるために塩
酸、過塩素酸、硝酸などを少量添加することは好ましい
。
ニンケル合金のエツチングレートを速くさせるために塩
酸、過塩素酸、硝酸などを少量添加することは好ましい
。
本発明は、これら若干の付加的技術により、その価値を
失うものでない。
失うものでない。
〈発明の効果〉
本発明は、ニッケルの母材に０．５〜１０重量パーセン
トの銅を添加した金属薄膜層を用いるため、−液のエッ
チャントで下地のクロム層と同時にエツチング加工でき
る特長がある。さらに、ニッケルに銅を加えた効果は、
成膜時の蒸着のスプランシュを低減させることと、成膜
した金属薄膜のはんだ付は性を良くする大きな効果があ
る。
トの銅を添加した金属薄膜層を用いるため、−液のエッ
チャントで下地のクロム層と同時にエツチング加工でき
る特長がある。さらに、ニッケルに銅を加えた効果は、
成膜時の蒸着のスプランシュを低減させることと、成膜
した金属薄膜のはんだ付は性を良くする大きな効果があ
る。
先述したが、エツチングもエッチャントを加湿させる必
要なく、室温で１〜２分でパタニング可能なため、有機
のカラーフィルターや透明電極の抵抗値を下げ得るため
、ディスプレイとしての表示装置を改善できる。加えて
、透明電極の反射率を表面のクロム層が減少させるため
、金ｉ薄膜層によるブランクスドライブ効果があり、表
示品位を上げ得る。
要なく、室温で１〜２分でパタニング可能なため、有機
のカラーフィルターや透明電極の抵抗値を下げ得るため
、ディスプレイとしての表示装置を改善できる。加えて
、透明電極の反射率を表面のクロム層が減少させるため
、金ｉ薄膜層によるブランクスドライブ効果があり、表
示品位を上げ得る。
以上のように本発明は、直接のＩＣ実装が可能でかつ、
薄型・大画面・高密度表示の可能な表示装置用電極板を
提供し得るものである。
薄型・大画面・高密度表示の可能な表示装置用電極板を
提供し得るものである。
第１図は、本発明による金属薄膜層を有した構成の表示
装置用電極板の模式断面図である。 １１・・・・・・・・・基板 １２・・・・・・・・・透明電極 １３・・・・・・・・・金属薄膜層 １４・・・・・・・・・カラーフィルター１５・・・・
・・・・・ゼラチン膜 層 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 第１図
装置用電極板の模式断面図である。 １１・・・・・・・・・基板 １２・・・・・・・・・透明電極 １３・・・・・・・・・金属薄膜層 １４・・・・・・・・・カラーフィルター１５・・・・
・・・・・ゼラチン膜 層 許 出 願 人 凸版印刷株式会社 代表者 鈴木和夫 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）透明な基板に少なくとも透明電極と金属薄膜層をこ
の順で積層した表示装置用電極板において、金属薄膜層
が透明電極と接するよう配設したクロム層と、銅を０．
５〜１０重量パーセント含有したニッケル合金層との２
層構成であることを特徴とする表示装置用電極板。 ２）基板と透明電極の間にカラーフィルタを挿入した構
成である前記特許請求の範囲第１項記載の表示装置用電
極板。 ３）基板と透明電極の間にカラーフィルタと無機酸化物
層を挿入した構成である前記特許請求の範囲第１項記載
の表示装置用電極板。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107163A JPS63271318A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 表示装置用電極板 |
| KR870011647A KR880005480A (ko) | 1986-10-22 | 1987-10-20 | 칼라 표시 장치용 전극판 |
| US07/110,869 US4853296A (en) | 1986-10-22 | 1987-10-21 | Electrode plate for color display device |
| NL8702508A NL8702508A (nl) | 1986-10-22 | 1987-10-21 | Electrodeplaat voor kleurenweergeefinrichting. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62107163A JPS63271318A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 表示装置用電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63271318A true JPS63271318A (ja) | 1988-11-09 |
Family
ID=14452086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62107163A Pending JPS63271318A (ja) | 1986-10-22 | 1987-04-30 | 表示装置用電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63271318A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63296021A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Canon Inc | 液晶表示パネル基板，液晶表示パネルおよびその製造方法 |
| JPH02136825A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-04-30 JP JP62107163A patent/JPS63271318A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63296021A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Canon Inc | 液晶表示パネル基板，液晶表示パネルおよびその製造方法 |
| JPH02136825A (ja) * | 1988-11-18 | 1990-05-25 | Toppan Printing Co Ltd | 表示装置用電極板及びその製造方法 |
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