JPH022948B2 - - Google Patents
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- JPH022948B2 JPH022948B2 JP63036440A JP3644088A JPH022948B2 JP H022948 B2 JPH022948 B2 JP H022948B2 JP 63036440 A JP63036440 A JP 63036440A JP 3644088 A JP3644088 A JP 3644088A JP H022948 B2 JPH022948 B2 JP H022948B2
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 3
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 2
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- -1 fluorine ions Chemical class 0.000 claims description 2
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 2
- 230000002779 inactivation Effects 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 20
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- RMSOEGBYNWXXBG-UHFFFAOYSA-N 1-chloronaphthalen-2-ol Chemical compound C1=CC=CC2=C(Cl)C(O)=CC=C21 RMSOEGBYNWXXBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 241000287826 Gallus Species 0.000 description 1
- 101150003085 Pdcl gene Proteins 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/03—Conductive materials
- H05K2201/0332—Structure of the conductor
- H05K2201/0335—Layered conductors or foils
- H05K2201/0347—Overplating, e.g. for reinforcing conductors or bumps; Plating over filled vias
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K2201/07—Electric details
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- H05K2201/0761—Insulation resistance, e.g. of the surface of the PCB between the conductors
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、最終的な表示装置中で不可視であ
る基体部分上に配置されたインジユウム・弗酸化
物の透明導電路上に無電気法によりはんだ付可能
な金属層を付着させる方法に関するものである。
る基体部分上に配置されたインジユウム・弗酸化
物の透明導電路上に無電気法によりはんだ付可能
な金属層を付着させる方法に関するものである。
[従来の技術]
西ドイツ特許2807350号明細書には表示装置お
よび集積回路(ICチツプ)の支持体としてガラ
ス基体を具備する液晶表示装置が記載されてい
る。基体は酸インジユウムの透明導電路を支持し
ている。表示装置中の不可視な部分のこれらの導
電路のはんだ付可能な金属層は金層の付着の前に
クロムを含む2つの中間層を付着させることによ
つて行われる。クロム、銅、金、銅、および鉛錫
の5つの層が結合層としてICチツプ上に設けら
れる。導電路の金属化、すなわち金属層の付着は
蒸着またはスパツタリング法により行われる。こ
れらの方法は多量のエネルギを必要とし、技術的
に複雑である。
よび集積回路(ICチツプ)の支持体としてガラ
ス基体を具備する液晶表示装置が記載されてい
る。基体は酸インジユウムの透明導電路を支持し
ている。表示装置中の不可視な部分のこれらの導
電路のはんだ付可能な金属層は金層の付着の前に
クロムを含む2つの中間層を付着させることによ
つて行われる。クロム、銅、金、銅、および鉛錫
の5つの層が結合層としてICチツプ上に設けら
れる。導電路の金属化、すなわち金属層の付着は
蒸着またはスパツタリング法により行われる。こ
れらの方法は多量のエネルギを必要とし、技術的
に複雑である。
西ドイツ特許DE―AS2302194号明細書にはフ
オトエツチング技術による薄膜回路の製造方法が
記載されており、それにおいては薄い中間または
接着性改善層と上部の貴金属層が基体上に付着さ
れる。それらの層は蒸着、スパツタリングまたは
化学的付着によつて形成される。
オトエツチング技術による薄膜回路の製造方法が
記載されており、それにおいては薄い中間または
接着性改善層と上部の貴金属層が基体上に付着さ
れる。それらの層は蒸着、スパツタリングまたは
化学的付着によつて形成される。
西ドイツ特許DE―AS2509912号明細書には絶
縁材料から作られた基体板を有する電子的薄膜回
路が記載されている。薄膜回路の製造方法は無電
気技術によつて銅層上にニツケルを付着させ、ニ
ツケル層上に金層を付着させる工程を有してい
る。
縁材料から作られた基体板を有する電子的薄膜回
路が記載されている。薄膜回路の製造方法は無電
気技術によつて銅層上にニツケルを付着させ、ニ
ツケル層上に金層を付着させる工程を有してい
る。
[発明の解決すべき課題]
この発明の目的は、上述のような基体上のイン
ジユウム・錫酸化物の透明導電路上に無電気法に
よりはんだ付可能な金属層を付着させる簡単な方
法を提供することである。
ジユウム・錫酸化物の透明導電路上に無電気法に
よりはんだ付可能な金属層を付着させる簡単な方
法を提供することである。
[課題解決のための手段]
この目的は、導電路の表面を塩化パラジユウム
と塩化錫との浴中に基体を浸漬することによつて
活性化し、導電路によつて被覆されていない区域
を弗化水素酸中に基体を浸漬することによつて不
活性化し、金属層を最終的に無電気付着により形
成することによつて達成される。
と塩化錫との浴中に基体を浸漬することによつて
活性化し、導電路によつて被覆されていない区域
を弗化水素酸中に基体を浸漬することによつて不
活性化し、金属層を最終的に無電気付着により形
成することによつて達成される。
[実施例]
以下添付図面を参照にして実施例について説明
する。
する。
第1図に示された表示装置1は表示部分2と、
表示装置の組立て後の状態では不可視である部分
3とを有している。表示部分2は例えばガラスの
ような基体に支持されている液晶表示装置(図示
せず)を備えている。このガラス基体はまた部分
3の材料でもある。部分3では集積回路のような
部品5および表示装置1の接続部8に連結されて
いる導電路4を支持している。部品5の接続部は
はんだ、または導電性接着剤によつて導電路4に
接続されている。部品5と導電路4のこの接続に
は導電路が適当な金属層を有することが重要であ
る。
表示装置の組立て後の状態では不可視である部分
3とを有している。表示部分2は例えばガラスの
ような基体に支持されている液晶表示装置(図示
せず)を備えている。このガラス基体はまた部分
3の材料でもある。部分3では集積回路のような
部品5および表示装置1の接続部8に連結されて
いる導電路4を支持している。部品5の接続部は
はんだ、または導電性接着剤によつて導電路4に
接続されている。部品5と導電路4のこの接続に
は導電路が適当な金属層を有することが重要であ
る。
表示装置1の表示部分2に存在する電極は透明
なインジユウム・錫酸化物の導電層を有する。部
分3の導電路4は同じ材料で構成される。それは
そのようにすれば表示部分2の電極と部分3の導
電路4は同時に形成できるからである。しかしな
がら、インジユウム・錫酸化物の導電路4ははん
だ付可能な表面もたないから、金属で被覆しなけ
ればならない。
なインジユウム・錫酸化物の導電層を有する。部
分3の導電路4は同じ材料で構成される。それは
そのようにすれば表示部分2の電極と部分3の導
電路4は同時に形成できるからである。しかしな
がら、インジユウム・錫酸化物の導電路4ははん
だ付可能な表面もたないから、金属で被覆しなけ
ればならない。
表示装置1の表示部分2は製造後検査されなけ
ればならない。これに関連して、製造され、検査
された表示装置はまだ部分3に取付けられた部品
5を有していない。導電路4を金属で被覆するた
めに、表示装置1は作業位置に設置されて、そこ
で導電路4の金属のない表面は活性化され、その
ためには化学金属被覆浴が使用できる。活性化は
例えばPdCl2/SnCl2を含む浴中に部分3を浸漬
することによつて行われる。このような浴材料は
“ダイナプレート・アクチベータ”の商品名でシ
ユレツター(Schlotter)社から市販されている。
ればならない。これに関連して、製造され、検査
された表示装置はまだ部分3に取付けられた部品
5を有していない。導電路4を金属で被覆するた
めに、表示装置1は作業位置に設置されて、そこ
で導電路4の金属のない表面は活性化され、その
ためには化学金属被覆浴が使用できる。活性化は
例えばPdCl2/SnCl2を含む浴中に部分3を浸漬
することによつて行われる。このような浴材料は
“ダイナプレート・アクチベータ”の商品名でシ
ユレツター(Schlotter)社から市販されている。
第2図は、表示装置1を浴6に浸漬した状態を
示している。表示装置1は浴6の表面7が表示部
分2と部分3との間の分離線と一致するまで浸漬
される。
示している。表示装置1は浴6の表面7が表示部
分2と部分3との間の分離線と一致するまで浸漬
される。
それに続いて条件付過程において余分のパラジ
ウム化合物と錫化合物を除去することが必要であ
る。このために表示装置全体または部分3は条件
付浴中に浸漬される。この浴材料は例えば“ダイ
ナプレート・コンデイシヨナー”の名称でシユレ
ツター社から市販されている。
ウム化合物と錫化合物を除去することが必要であ
る。このために表示装置全体または部分3は条件
付浴中に浸漬される。この浴材料は例えば“ダイ
ナプレート・コンデイシヨナー”の名称でシユレ
ツター社から市販されている。
導電路4の活性化中、部分3の基体のガルス表
面もまた多少活性化される。再び部分3のガラス
表面を不活性化するために、弗素イオンを含む浴
中に浸漬される。この過程において、ガラス上の
表面層はエツチングにより除去される。0.1乃至
5%の弗化水素酸水溶液を使用することが好まし
い。それはこの液は導電路4を腐蝕しないからで
ある。0.8乃至1.2%の弗化水素酸水溶液が特に適
している。
面もまた多少活性化される。再び部分3のガラス
表面を不活性化するために、弗素イオンを含む浴
中に浸漬される。この過程において、ガラス上の
表面層はエツチングにより除去される。0.1乃至
5%の弗化水素酸水溶液を使用することが好まし
い。それはこの液は導電路4を腐蝕しないからで
ある。0.8乃至1.2%の弗化水素酸水溶液が特に適
している。
この前処理に続いて、化学金属被覆浴を使用し
て金属被覆過程が行われる。浴材料は例えば“ノ
ボテクト(Novotect)”の名称でシエリング
(Schering)社から市販されているものでよく、
それによつて例えばニツケル層が導電路4上に付
着される。表示装置1は第2図に示したものと同
様の作業位置の金属被覆浴中に浸漬される。この
ようにして付着されたニツケル層は約0.2乃至
1μmの厚さを有する。
て金属被覆過程が行われる。浴材料は例えば“ノ
ボテクト(Novotect)”の名称でシエリング
(Schering)社から市販されているものでよく、
それによつて例えばニツケル層が導電路4上に付
着される。表示装置1は第2図に示したものと同
様の作業位置の金属被覆浴中に浸漬される。この
ようにして付着されたニツケル層は約0.2乃至
1μmの厚さを有する。
以下はニツケル層の付着のための典型的な浴組
成である。
成である。
30g/のNiCl2×6H2O
10g/のNaH2PO2
100g/のクエン酸ナトリウム
50g/のNH4Cl
Ph 8〜10
上記のような部分3の金属被覆の後、部品5が
部分3に取付けられ、それらの接続部がはんだま
たは接着剤によつて導電路4に接続され、それに
よつて部品と一体のユニツトを構成する表示装置
が与えられる。
部分3に取付けられ、それらの接続部がはんだま
たは接着剤によつて導電路4に接続され、それに
よつて部品と一体のユニツトを構成する表示装置
が与えられる。
第1図は表示装置の平面図であり、第2図は表
示装置を部分的に浴中に浸漬した状態を示す。 1…表示装置、2…表示部分、4…導電路、5
…集積回路等の部品、8…接続部、6…浴、7…
浴の液面。
示装置を部分的に浴中に浸漬した状態を示す。 1…表示装置、2…表示部分、4…導電路、5
…集積回路等の部品、8…接続部、6…浴、7…
浴の液面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 最終的な表示装置中で不可視である基体部分
上に配置されたインジユウム・錫酸化物の透明導
電路上に無電気法によりはんだ付可能な金属層を
付着させる方法において、 導電路の表面が塩化パラジユウムと塩化錫との
浴中に基体を浸漬することによつて活性化され、 その後、導電路によつて被覆されていない区域
が弗化水素酸中に基体を浸漬することによつて不
活性化され、 金属層が最終的に無電気付着により形成される
ことを特徴とするはんだ付可能な金属層の付着方
法。 2 導電路の活性化後、還元されない錫化合物が
除去される請求項1記載の方法。 3 錫化合物が条件付浴中に基体を浸漬すること
によつて除去される請求項2記載の方法。 4 弗素イオンを含む溶液が不活性化のために使
用される請求項1記載の方法。 5 0.1乃至5%の弗化水素酸水溶液が使用され
る請求項4記載の方法。 6 0.8乃至1.2%の弗化水素酸水溶液が使用され
る請求項5記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873705251 DE3705251A1 (de) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | Verfahren zur herstellung einer stromlos abgeschiedenen, loetbaren metallschicht |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6456876A JPS6456876A (en) | 1989-03-03 |
JPH022948B2 true JPH022948B2 (ja) | 1990-01-19 |
Family
ID=6321303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63036440A Granted JPS6456876A (en) | 1987-02-19 | 1988-02-18 | Adhesion of solderable metal layer by electroless method |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4824693A (ja) |
EP (1) | EP0279432B1 (ja) |
JP (1) | JPS6456876A (ja) |
DE (2) | DE3705251A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4035362A1 (de) * | 1990-11-07 | 1992-05-14 | Licentia Gmbh | Verfahren zum herstellen einer fluessigkristall-anzeigevorrichtung |
DE4035360A1 (de) * | 1990-11-07 | 1992-05-14 | Licentia Gmbh | Fluessigkristallzelle |
EP0518422B1 (en) * | 1991-06-12 | 1995-09-06 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of selectively metallizing a pattern of a material other than glass on a glass substrate by electroless metallization |
DE4220621A1 (de) * | 1992-06-24 | 1994-01-05 | Daimler Benz Ag | Verfahren zum stromlos chemischen Erzeugen einer strukturierten Metallschicht |
US5515604A (en) * | 1992-10-07 | 1996-05-14 | Fujitsu Limited | Methods for making high-density/long-via laminated connectors |
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1987
- 1987-02-19 DE DE19873705251 patent/DE3705251A1/de not_active Withdrawn
-
1988
- 1988-02-18 JP JP63036440A patent/JPS6456876A/ja active Granted
- 1988-02-18 EP EP88102319A patent/EP0279432B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-18 DE DE8888102319T patent/DE3870911D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-02-19 US US07/157,933 patent/US4824693A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0279432A3 (en) | 1990-05-09 |
US4824693A (en) | 1989-04-25 |
EP0279432A2 (de) | 1988-08-24 |
JPS6456876A (en) | 1989-03-03 |
DE3705251A1 (de) | 1988-09-01 |
EP0279432B1 (de) | 1992-05-13 |
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