JPS63104024A - 表示装置用電極板 - Google Patents
表示装置用電極板Info
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- JPS63104024A JPS63104024A JP25147886A JP25147886A JPS63104024A JP S63104024 A JPS63104024 A JP S63104024A JP 25147886 A JP25147886 A JP 25147886A JP 25147886 A JP25147886 A JP 25147886A JP S63104024 A JPS63104024 A JP S63104024A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 26
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 9
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 5
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 5
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 5
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 5
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 1
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 gryu Proteins 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
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- G02F1/1343—Electrodes
- G02F1/13439—Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
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- G02F1/133345—Insulating layers
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
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- G02F1/133514—Colour filters
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、カラー液晶ディスプレイや、液晶の表示・入
力装置などに用いられる表示装置用電極板に関する。
力装置などに用いられる表示装置用電極板に関する。
〈従来の技術〉
液晶ディスプレイは、大画面・高密度のため。
画素や端子部のピッチが高精細化し１００〜３００μｍ
となり、これに伴いディスプレイと駆動回路との接続が
むつかしくなってきている。同時に。
となり、これに伴いディスプレイと駆動回路との接続が
むつかしくなってきている。同時に。
ディスプレイの小型化、薄型化が進められている、これ
らの観点から、液晶ディスプレイの基数（通常、１＋＋
ｍ厚さのガラス板）へ直接駆動用のＩＣを実装するチッ
プオングラス（ＣＯＧ）と呼ばれろ方法や、また信頼性
を向上させるため接続にノ１ンダを用いる方法が試みら
れている、 この方法では、ハンダ付や、ＣＯＧのための金メッキを
行うためにあらかじめＮｉ にニッケル）を基板てパ
タニング形成してお（ことが一般的である。しかしなが
らＮｉ単体の金属１模はガラスの基板との接着力が悪い
ため、 Ｃｒ （クロム）等の接着性の良い金属を下
引としてＮｉ との２層構成で形成する場合が多い。
らの観点から、液晶ディスプレイの基数（通常、１＋＋
ｍ厚さのガラス板）へ直接駆動用のＩＣを実装するチッ
プオングラス（ＣＯＧ）と呼ばれろ方法や、また信頼性
を向上させるため接続にノ１ンダを用いる方法が試みら
れている、 この方法では、ハンダ付や、ＣＯＧのための金メッキを
行うためにあらかじめＮｉ にニッケル）を基板てパ
タニング形成してお（ことが一般的である。しかしなが
らＮｉ単体の金属１模はガラスの基板との接着力が悪い
ため、 Ｃｒ （クロム）等の接着性の良い金属を下
引としてＮｉ との２層構成で形成する場合が多い。
〈発明が解決しようとする問題点〉
前述したＣ ｒ ／Ｎ ｉの２層構成では異った蒸発源
で２回（ＣｒとＮ１）ｉｌ付けを行なう必要があり。
で２回（ＣｒとＮ１）ｉｌ付けを行なう必要があり。
作業上の繁雑さがあり、かつ１００〜３００μｍといっ
た微細パターンでは微小なエツチング残りが出易くエツ
チング性に問題があった。またＮｉは３００ ｏＡ以下
の薄換では、°ハンダ付は時のハンダ食われとよばれる
ハンダへのＮｉの溶解が進み接続の強度が弱くなってし
まうことがあり、そのため４０００〜７ｏｏｏＡ程度の
厚い膜付けが必要であった。
た微細パターンでは微小なエツチング残りが出易くエツ
チング性に問題があった。またＮｉは３００ ｏＡ以下
の薄換では、°ハンダ付は時のハンダ食われとよばれる
ハンダへのＮｉの溶解が進み接続の強度が弱くなってし
まうことがあり、そのため４０００〜７ｏｏｏＡ程度の
厚い膜付けが必要であった。
く問題を解決するための手段〉
本発明は、透明な基板上にすくなくとも金属薄膜層と透
明電極を有する表示装置用電極板において、金属薄膜層
がアルミニウムを重量％で０．１〜２５％含有したニッ
ケル合金の金属薄膜であることを特徴とした表示装置用
電極板である。また、本発明は絶縁層が金属薄膜と透明
電極とにより挾持された構成でも良く、加えて絶縁層に
カラーディスプレイでのカラーフィルターの役目を兼ね
させることも可能である。
明電極を有する表示装置用電極板において、金属薄膜層
がアルミニウムを重量％で０．１〜２５％含有したニッ
ケル合金の金属薄膜であることを特徴とした表示装置用
電極板である。また、本発明は絶縁層が金属薄膜と透明
電極とにより挾持された構成でも良く、加えて絶縁層に
カラーディスプレイでのカラーフィルターの役目を兼ね
させることも可能である。
透明電極は、ｉＴＯとよばれるインジウムと錫の酸化物
、あるいは錫の酸化物にアンチモンの酸化物を混合した
もの、または酸化亜鉛に酸化アルミニウムを混合したも
の、これら金属酸化物により形成された導電膜をエツチ
ング等によりパタニングしたものである。絶縁層は二酸
化硅素や、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化
チタン等の透明な無機の酸化物の他、カラーフィルター
材料として用いられるアクリル系の樹脂１例えば商品名
ＪＤＳ、Ｊ〜ＩＣ（いずれも日本合成ゴム製）また、ゼ
ラチン、グリユー、カゼイン等のペプチド樹脂、他、エ
ポキシ系、ポリイミド、ポリアミド系の種々の樹脂を用
いることができる。
、あるいは錫の酸化物にアンチモンの酸化物を混合した
もの、または酸化亜鉛に酸化アルミニウムを混合したも
の、これら金属酸化物により形成された導電膜をエツチ
ング等によりパタニングしたものである。絶縁層は二酸
化硅素や、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化
チタン等の透明な無機の酸化物の他、カラーフィルター
材料として用いられるアクリル系の樹脂１例えば商品名
ＪＤＳ、Ｊ〜ＩＣ（いずれも日本合成ゴム製）また、ゼ
ラチン、グリユー、カゼイン等のペプチド樹脂、他、エ
ポキシ系、ポリイミド、ポリアミド系の種々の樹脂を用
いることができる。
く作用〉
本発明は以上のように金属薄膜層に八〇を重量パーセン
トで０．１〜２５含有させたＮ１を用いることによって
、ガラスの基板への接着力が向上。
トで０．１〜２５含有させたＮ１を用いることによって
、ガラスの基板への接着力が向上。
エツチングの均一性、ハンダ食われの減少の機能向上が
得られる。Ａ４の割合は、０．１％以下ではその効果が
みられず、逆に２５％以上では脆化するとともにハンダ
との濡れが悪くなるため、０．１〜２５％の範囲が望ま
しい。本発明による金属薄膜層上に金めつきゃハンダめ
っきを行う場合は。
得られる。Ａ４の割合は、０．１％以下ではその効果が
みられず、逆に２５％以上では脆化するとともにハンダ
との濡れが悪くなるため、０．１〜２５％の範囲が望ま
しい。本発明による金属薄膜層上に金めつきゃハンダめ
っきを行う場合は。
０．１〜５％Ａ２の含有割合が好ましい。
本発明を実施例に基付き詳細に説明する。
〔実施例１〕
第１図は本発明による金属薄膜層を有した構成の表示装
置用電極板の模式平面図であり、第２図は第１図Ａ −
Ａ’部の模式断面図であるー厚さ０．７朋のガラスの基
板αυ上に、Ａ召を２％含有するＮ１ の金属薄膜層
（１４１，（１４１’と、カラーフィルター１５１とオ
ーバーコートとからなる絶縁層０Ｊと。
置用電極板の模式平面図であり、第２図は第１図Ａ −
Ａ’部の模式断面図であるー厚さ０．７朋のガラスの基
板αυ上に、Ａ召を２％含有するＮ１ の金属薄膜層
（１４１，（１４１’と、カラーフィルター１５１とオ
ーバーコートとからなる絶縁層０Ｊと。
ＩＴＯとよばれる透明電極α２を積層した構成の表示装
置用電極板を示したものである。
置用電極板を示したものである。
金属薄膜層α倶ま真空蒸着によりＭ ２％（重量パー
セント）含有するＮ１ 合金を蒸発源として４０００＾
Ｂ厚みに成膜、エツチングによりパタニングしたもので
ある。液晶パネルとして組み込んだ場合、金属薄）膜層
（圓はブラックマｈ ＩＪクスの役目を果すものである
カラーフィルター（１９はゼラチンを材料として、レリ
ーフ染色法とよばれる公知技術で１．６μｍ厚みに形成
し、オーバーコートは同じゼラチンの材料にて厚み１．
０μｍでカラーフィルター上を覆うように積層したもの
である。
セント）含有するＮ１ 合金を蒸発源として４０００＾
Ｂ厚みに成膜、エツチングによりパタニングしたもので
ある。液晶パネルとして組み込んだ場合、金属薄）膜層
（圓はブラックマｈ ＩＪクスの役目を果すものである
カラーフィルター（１９はゼラチンを材料として、レリ
ーフ染色法とよばれる公知技術で１．６μｍ厚みに形成
し、オーバーコートは同じゼラチンの材料にて厚み１．
０μｍでカラーフィルター上を覆うように積層したもの
である。
透明電極（ｔｚは、インジウムと各層の酸化物による導
電膜を２００ＯＡ厚みで２ｏΩ／口の抵抗値でイオンブ
レーティングにより形成したものである。
電膜を２００ＯＡ厚みで２ｏΩ／口の抵抗値でイオンブ
レーティングにより形成したものである。
〔実カイＵす２ 〕
第３図は１本発明による金属薄膜層を有した構成の表示
装置用電極板の模式平面図であり、第４図は第６図Ｂ
−Ｂ’部の模式断面図である。厚さ１圏のガラスの基板
（３１１上に、嘆厚５０００ＡにてＡ形を１４％含有す
るＮｉ の金属薄膜層（３４）、部上。
装置用電極板の模式平面図であり、第４図は第６図Ｂ
−Ｂ’部の模式断面図である。厚さ１圏のガラスの基板
（３１１上に、嘆厚５０００ＡにてＡ形を１４％含有す
るＮｉ の金属薄膜層（３４）、部上。
ゼラチンを材料とする絶ｄ Ｉｔｔ （３３）と、透明
電極Ｏ２を積層した構成の表示装置用電極板を示したも
のである、 各層の形成方法は実施例１と同様である 当実施例の、
金属薄膜層（２）は、電缶誘導方式による座標検出に用
いられる４線（センス線と呼ばれる）として、また、透
明電極は、マルチプレックスとよばれる液晶の、駆動に
用いられる、中央で２段に分割したパターンとして、各
々模式的に示した。
電極Ｏ２を積層した構成の表示装置用電極板を示したも
のである、 各層の形成方法は実施例１と同様である 当実施例の、
金属薄膜層（２）は、電缶誘導方式による座標検出に用
いられる４線（センス線と呼ばれる）として、また、透
明電極は、マルチプレックスとよばれる液晶の、駆動に
用いられる、中央で２段に分割したパターンとして、各
々模式的に示した。
以上の実施例の第１図と第５図は、金属薄膜層のパター
ン形状を説明するため、上層の一部を省いて図示した。
ン形状を説明するため、上層の一部を省いて図示した。
金属薄膜層の成膜方法はいずれも蒸着法によるものとに
示したが、スパッタリング法によっても同様に形成でき
る。絶縁層は、ゼラチンを材料として例示したが、前述
したよって他の材料でも可能であり、また有機物と無機
物の多層構成であっても良い。加えて１表面反射をおさ
えるた吟、金属薄膜層形成前に酸化クロム等の反射率の
低い膜を挿入しても良いし、また透明電極上に低屈折率
のφを透過率向上の目的で形成しても良い、、電気的に
接続を行うため端子部のみ金属薄膜層を形成する場合は
、絶縁層がない構成でも良い。金属薄膜層で製造プロセ
スに必要な合わせマークをパタニングしておくことは好
ましい。
示したが、スパッタリング法によっても同様に形成でき
る。絶縁層は、ゼラチンを材料として例示したが、前述
したよって他の材料でも可能であり、また有機物と無機
物の多層構成であっても良い。加えて１表面反射をおさ
えるた吟、金属薄膜層形成前に酸化クロム等の反射率の
低い膜を挿入しても良いし、また透明電極上に低屈折率
のφを透過率向上の目的で形成しても良い、、電気的に
接続を行うため端子部のみ金属薄膜層を形成する場合は
、絶縁層がない構成でも良い。金属薄膜層で製造プロセ
スに必要な合わせマークをパタニングしておくことは好
ましい。
これらは本発明の眼目を左右するものでない。
〈発明の効果〉
本発明は、Ｎ１にＡ！を０．１〜２５％の割合で含有さ
せたため、金属薄膜層の接着力を向上させることができ
た。１００〜５００μｍといった細かいピッチでのパタ
ニングにおいてモ、エツチング残りを生じることな（均
一にパタニング可能となり、加えてハンダ食われがきわ
めて小さくなり安定したハンダ付けが実施できた。さら
に、Ｎｉは蒸着時にスプラッシュ（比較的大きな粒子が
噴き出て、膜面に付着し不良の原因となる）を起こしや
すいがＡ！添加によりスプラッシュをおさえる効果があ
り、良好な膜付けが可能となった。
せたため、金属薄膜層の接着力を向上させることができ
た。１００〜５００μｍといった細かいピッチでのパタ
ニングにおいてモ、エツチング残りを生じることな（均
一にパタニング可能となり、加えてハンダ食われがきわ
めて小さくなり安定したハンダ付けが実施できた。さら
に、Ｎｉは蒸着時にスプラッシュ（比較的大きな粒子が
噴き出て、膜面に付着し不良の原因となる）を起こしや
すいがＡ！添加によりスプラッシュをおさえる効果があ
り、良好な膜付けが可能となった。
Ｎ８を０．１〜５％の範囲におさえれば、金めつきやハ
ンダめっきのめつき性を悪くさせることもなかった。
ンダめっきのめつき性を悪くさせることもなかった。
第１図は本発明による金属薄膜層を有した構成の表示装
置用電極板の模式平面図であり、第２図は第１図Ａ−Ａ
’部の模式断面図である。同様に。 第６図は本発明による構成の表示装置用電極板の模式平
面図であり、第４図は第３図Ｂ −Ｂ’部の模式断面図
である。 １１．３１・・・基板 １４．３４・・・金属薄膜層 １３．３３・・・、酌緑層 １５・・・カラーフィルター １２．３２・・・透明電極
置用電極板の模式平面図であり、第２図は第１図Ａ−Ａ
’部の模式断面図である。同様に。 第６図は本発明による構成の表示装置用電極板の模式平
面図であり、第４図は第３図Ｂ −Ｂ’部の模式断面図
である。 １１．３１・・・基板 １４．３４・・・金属薄膜層 １３．３３・・・、酌緑層 １５・・・カラーフィルター １２．３２・・・透明電極
Claims (3)
- （１）透明な基板上に、すくなくとも金属薄膜層と透明
電極を有する表示装置用電極板において、金属薄膜層が
アルミニウムを重量％で０．１〜２５含有したニッケル
合金の金属薄膜であることを特徴とした表示装置用電極
板。 - （２）金属薄膜層と透明電極が絶縁層により一部が電気
的に絶縁された構成である前記特許請求の範囲第１項記
載の表示装置用電極板。 - （３）絶縁層がすくなくともカラーフィルターを有する
構成である前記特許請求の範囲第２項記載の表示装置用
電極板。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25147886A JPS63104024A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 表示装置用電極板 |
| KR870011647A KR880005480A (ko) | 1986-10-22 | 1987-10-20 | 칼라 표시 장치용 전극판 |
| NL8702508A NL8702508A (nl) | 1986-10-22 | 1987-10-21 | Electrodeplaat voor kleurenweergeefinrichting. |
| US07/110,869 US4853296A (en) | 1986-10-22 | 1987-10-21 | Electrode plate for color display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25147886A JPS63104024A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 表示装置用電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63104024A true JPS63104024A (ja) | 1988-05-09 |
Family
ID=17223409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25147886A Pending JPS63104024A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 表示装置用電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63104024A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1089116A2 (en) * | 1999-09-28 | 2001-04-04 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal device and electronic equipment |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP25147886A patent/JPS63104024A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1089116A2 (en) * | 1999-09-28 | 2001-04-04 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal device and electronic equipment |
| EP1089116A3 (en) * | 1999-09-28 | 2002-10-02 | Seiko Epson Corporation | Liquid-crystal device and electronic equipment |
| US6831723B1 (en) | 1999-09-28 | 2004-12-14 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal device with electrode arrangement to prevent shorting and electronic equipment incorporating the same |
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