JPS63180993A - 表示装置用電極板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、液晶ディスプレイや液晶を用いた表示・入力
装置などに用いられる表示装置用電極板に関する。

〈従来の技術〉 液晶ディスプレイ等の表示装置は・大画面・高密度表示
のため画素や端子部のピッチが高精細化し１００〜６０
０μｍとなり、これに伴いディスプレイと駆動回路との
接続がむづかしいものとなってきている。同時に、ディ
スプレイの薄型化が進められている。こうした背景から
液晶ディスプレイの基板（通常、ｉａ厚さのガラス板）
へ直接駆動用のＩＣを実装するＣＯＧと呼ばれる方法や
信頼性向上のためにはんだ付けが試みられている。

ハンダ付けやＣＯＧのために、あらかじめＮｉにニッケ
ル）を基板にパタニング形成しておくことが一般的であ
る。

〈発明が解決しようとする問題点〉 通常、Ｎ１をガラス等の基板につけるためＮｉの低い付
着力を補うため付着力のあるＣｒ（クロム）を下引きと
して、Ｃｒ　／　Ｎ　ｉの２層構成で形成することが一
般的である。この場合、ＣｒとＮｉを異った蒸発源で２
回行う必要があり、また成膜後もパタニングするため異
ったエツチング液で２回エツチングを実施しなければな
らず作業上問題があった。加えてＮｉはノ・ンダ付けの
際、ノ・ンダとの濡れ性が若干悪いため塩素を含んだ特
殊なフラックスを使用する必要があり、ノ・ンダ付げ後
の信頼性に問題があった。

く問題を解決するための手段〉 本発明は、透明な基板上にすくなくとも透明電極と金属
薄膜層を積層せしめた表示装置用電極板において、金属
薄膜層が、基板もしくは透明電極と付着力の高い第１の
金属添加物を０．１〜１０重量パーセント、およびはん
だ付性の良い第２の金属添加物を０．５〜２０重量パ重
量パーセント子ソケル合金の薄膜であることを特徴とす
る表示装置用電極板である。ガラス等の基板と付着力の
ある第１の金属添加物としては、Ａ　ｚ、　Ｃｒ、　Ｔ
　ｉ、　Ｍｏ。

Ｚｒ、　Ｓ　ｉ、Ｔａ、　Ｗがあり、はんだ付性の良い
第２の金属添加物としてＳｎ、　Ｉ　ｎ、　Ｐｂ、　Ａ
ｕ、　Ａｇ、　Ｃｄ。

Ｐｄ−Ｃｕがある。本発明のニッケルを基材とする金属
薄膜層は、これら金属添加物を少くとも２種、あるいは
複数種加えたニッケル合金の薄膜である。

透明電極は、ＩＴＯとよばれるインジウムと錫の酸化物
、あるいは錫の酸化物にアンチモンの酸化物を混合した
もの、または酸化亜鉛に酸化アルミニウムを混合したも
の、これら金属酸化物により形成された導電膜をエツチ
ング等によりパタニングしたものである。カラーフィル
ターは、有機・無機材料を問わないが、アクリルやゼラ
チン、グリユー等のペプチド樹脂を染色したものでは、
染色膜の上にさらにアクリルやゼラチン、エポキシ、二
酸化硅素等のオーバーコートを積層してカラーフィルタ
ーとしたものであっても良い。加えて、必要に応じてカ
ラーフィルターと基板との間にブラックマトリクスパタ
ーンや座標入力用の検出用導線（センス線）としてパタ
ニングされた金属薄膜層等を設けても艮い。また、上記
金属薄膜層は電極を取り出すための端子部のパタニング
のみに限らず、こうしたブラックマトリクスパターン、
位置合わせ用のマーク等のパターンを形成しても艮い。

〈作用〉 本発明は１以上のようにニッケルを基材とする金属薄膜
層にガラス基板あるいは透明電極と付着力のある金属添
加物と、はんだ付性の良い金属添加物を加えたため、単
層の金属薄膜層のみで十分な付着力で実装上問題のない
はんだ付けが可能となった。

本発明を実施例に基付き詳細に説明する。

〔実施例１〕 第１図は、本発明による金属薄膜層を有した構成の表示
装置用電極板の模式断面図である。ガラスの基板ｕＩＩ
上に、酸化インジウムと酸化錫よりなる膜厚１４００Ａ
の透明電極（１２１と、Ｃｒを０．５重量幅、Ｉｎを２
重量幅、Ｓｎを２重量幅含有したニッケル合金による膜
厚４０００Ａの金属薄膜層（１３１を積層した表示装置
用電極板である。透明電極０２１と金属薄膜層ａ３はい
ずれも真空蒸着装置にて膜付けし、既知のフォトリソグ
ラフィの手法でパタニングしたものである。はんだ付は
、ニッケル単体の膜と比較してかなり容易であり、１５
０μｍピッチの微細パターンにも十分対応可能であった
。

〔実施例２〕 第２図は１本発明による金属薄膜層を有した構成の表示
装置用電極板の模式断面図である。ガラスの基板（２Ｉ
ｌ上に、既の染色法により形成した膜１．５μｍの有機
フィルターをカラーフィルター（２４Ｊとして、またオ
ーバーコート層（２５１として０．４μｍのゼラチン膜
と０．２μｍの二酸化硅素膜を形成しである。さらに、
このオーバーコート層（２ω上には工ＴＯＶＣよる透明
電極（２２１があり、また基板（２１１Ｋ［液付着する
形で、Ａｌを１重量パーセント、　Ｓｎを４重量パーセ
ント含むニッケル合金を５００ＯＡの膜厚で金属薄膜層
（２３１を形成せしめている。

当実施例においては、透明電極（２２はスパッタリング
装置にて、金属薄膜層（２３＋は蒸着装置にて膜付けし
たものである。金属薄膜層ののはんだとの濡れはきわめ
て良好であった。

以上の実施例において、金属薄膜層の上には特に他の層
を積層しない形で示したが、無電解めっきや電気めっき
ではんだや金を金属薄膜層上に積層することは可能であ
る。本発明の金属薄膜層は単層にもかかわらず、下地と
の密着性が良く、まためっき膜との密着性も良いため、
こうしためつきも実施できる。

〈発明の効果〉 本発明は、ニッケルの基材に、基板もしくは透明電極と
付着力の高い第１の金属添加物と、はんだ付性の良い第
２の金属添加物とを加えるため、基板との密着力の向上
と良好なはんだ付性をニッケル合金の薄膜単層で兼ねる
ことができた。フォトリングラフィの手法を用いたパタ
ニングのときのエツチングも１回で済むため製造プロセ
スの簡略化となる。

加えて、はんだ付性の良い第２の金属添加物としてＡｕ
やＰｄを選定すれば１例え（ｆ、液晶用の自己内膜プロ
セスの如く比較的高温のプロセスを経てもはんだ付性の
低下を防ぐことができろ。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は１本発明による金属薄膜層を有し
た構成の表示装置用電極板の模式断面図である。 けＩＬ（２１１・・・基板 （１２１、（２２・・・透明電極 （１３１，θ・・・金属薄膜層

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）透明な基板上に少くとも透明電極と金属薄膜層を積
   層せしめた表示装置用電極板において、金属薄膜層が、
   基板もしくは透明電極と付着力の高い第１の金属添加物
   を０．１〜１０重量パーセント、および、はんだ付性の
   良い第２の金属添加物を０．５〜２０重量パーセント加
   えたニッケル合金の薄膜であることを特徴とする表示装
   置用電極板。 ２）第１の金属添加物が、Ａｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｍｏ、Ｚ
   ｒ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｔａ、Ｗのいずれかあるいはこれらの
   複数から選ばれたものである前記特許請求の範囲第１項
   記載の表示装置用電極板。 ３）第２の金属添加物が、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ、Ａｕ、Ａ
   ｇ、Ｃｄ、Ｐｄ、Ｃｕのいずれか、あるいはこれらの複
   数から選ばれたものである前記特許請求の範囲第１項記
   載の表示装置用電極板。 ４）基板と透明電極の間にカラーフィルターを挿入した
   構成である前記特許請求の範囲第１項、第２項、第３項
   記載の表示装置用電極板。