JPS59139010A - 可動ミラ− - Google Patents
可動ミラ−Info
- Publication number
- JPS59139010A JPS59139010A JP1266783A JP1266783A JPS59139010A JP S59139010 A JPS59139010 A JP S59139010A JP 1266783 A JP1266783 A JP 1266783A JP 1266783 A JP1266783 A JP 1266783A JP S59139010 A JPS59139010 A JP S59139010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- movable
- shaft
- movable mirror
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、可動ミラーに関し、特に、光デイスク記録再
生装置等のトラッキング制御に好適な可動ミラーに関す
るものである。
生装置等のトラッキング制御に好適な可動ミラーに関す
るものである。
従来技術
従来、トラッキング制御に用いる可動ミラーとしては、
一般にミラーの回転軸かミラーの面近傍にある通常のガ
ルバノミラ−を用いている。ところが、このような通常
のガルバノミラ−を用いた場合には、ミラーの回転角を
太きくすると、光ビームが情報記録担体に対向する対物
レンズの周辺を通過するので、レンズの口径によって制
限され、ビームが対物レンズから外れるといういわゆる
ビームのけられを生じるという問題があった。
一般にミラーの回転軸かミラーの面近傍にある通常のガ
ルバノミラ−を用いている。ところが、このような通常
のガルバノミラ−を用いた場合には、ミラーの回転角を
太きくすると、光ビームが情報記録担体に対向する対物
レンズの周辺を通過するので、レンズの口径によって制
限され、ビームが対物レンズから外れるといういわゆる
ビームのけられを生じるという問題があった。
さらに、情報記録担体からの反射光の光路がミラーの角
度に応じて移動するので、受光素子上でビームが移動し
、フォーカス信号の正確な検出およびシグナルの検出等
ができないという欠点があった。そのため、従来の可動
ミラーではミラーの回転角をきわめて小さくせざるを得
なかった。
度に応じて移動するので、受光素子上でビームが移動し
、フォーカス信号の正確な検出およびシグナルの検出等
ができないという欠点があった。そのため、従来の可動
ミラーではミラーの回転角をきわめて小さくせざるを得
なかった。
さらに、従来の問題点を第１図に基ついて説明すると、
可動ミラー１が移動した場合には、光ビーム２および３
は対物レンズ４の周辺を通る。
可動ミラー１が移動した場合には、光ビーム２および３
は対物レンズ４の周辺を通る。
可動ミラー１がさらに傾けば、対物レンズ４の口径によ
ってＭ限されるので、上述のけられを生じる。例え、そ
のけられを生じない場合でも、第１図示のように入射光
２と反射光３の光路が異なることとなる。対物レンズ４
の口径によるけられを無くするには、可動ミラーｌの回
転中心５を対物レンズ４の主平面６近くに設ければ良い
。また、入射光２と反射光３との光路を一致させるには
、１丁動ミラーｌの回転中心５を対物レンズ４の後方焦
点７を含み、その主平面６に平行な面の近傍におけば良
いということが知られている。
ってＭ限されるので、上述のけられを生じる。例え、そ
のけられを生じない場合でも、第１図示のように入射光
２と反射光３の光路が異なることとなる。対物レンズ４
の口径によるけられを無くするには、可動ミラーｌの回
転中心５を対物レンズ４の主平面６近くに設ければ良い
。また、入射光２と反射光３との光路を一致させるには
、１丁動ミラーｌの回転中心５を対物レンズ４の後方焦
点７を含み、その主平面６に平行な面の近傍におけば良
いということが知られている。
しかしながら、その理想的な回転中心の位置のいずれも
が対物レンズ４の内部か、またはごくその近傍にあり、
可動ミラー１を配置することが困難である。そこで、従
来装置では、可動ミラー１に長いアーム（図示せず）を
設けたり、複雑なリンク機構（図示せず）を用いて見か
け上の回転中心を可動ミラー１の外に設計する等により
、上述の条件を満足するように設計することが考えられ
てきた。だが、長いアームや複雑なリンク機構を用いる
と、可動ミラー１の可動部の質量が増加するので、可動
ミラーｌの高速応答性が悪化するばかりでなく可動部の
剛性が失われて、可動ミラー１の回転中心かふらつく等
の問題点があった。
が対物レンズ４の内部か、またはごくその近傍にあり、
可動ミラー１を配置することが困難である。そこで、従
来装置では、可動ミラー１に長いアーム（図示せず）を
設けたり、複雑なリンク機構（図示せず）を用いて見か
け上の回転中心を可動ミラー１の外に設計する等により
、上述の条件を満足するように設計することが考えられ
てきた。だが、長いアームや複雑なリンク機構を用いる
と、可動ミラー１の可動部の質量が増加するので、可動
ミラーｌの高速応答性が悪化するばかりでなく可動部の
剛性が失われて、可動ミラー１の回転中心かふらつく等
の問題点があった。
目 的
本発明の目的は、上述した欠点を除去し、台形のリンク
と平行リンクを用いることにより、比較的簡単な機構で
かつ短いアームを用いて可動ミラーの見かけ上の回転中
心を可動ミラー位置から離れた位置に配置することがで
きる応答性の優れた可動ミラーを提供することにある。
と平行リンクを用いることにより、比較的簡単な機構で
かつ短いアームを用いて可動ミラーの見かけ上の回転中
心を可動ミラー位置から離れた位置に配置することがで
きる応答性の優れた可動ミラーを提供することにある。
実施例
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第２図および第３図は本発明可動ミラーの構成の一例を
示し、ここでｌＯは可動ミラー、１１は可動ミラーｌＯ
を支持するミラー支持台、１２Ａは上方可動軸１３Ａと
上方固定軸１４Ａとによりミラー支持台１１と本体（図
示せず）とに連結された台形状のアーム、すなわち上方
連結板、１２Ｂは下方可動軸１３Ｂと下方固定軸１４Ｂ
とによりミラー支持台１１と本体とに連結された上方連
結板＋ＺＡと同形状のアーム、すなわち下方連結板であ
る。また、両固定軸１４Ａおよび１４Ｂは本体に対して
動かないよう固定される。
示し、ここでｌＯは可動ミラー、１１は可動ミラーｌＯ
を支持するミラー支持台、１２Ａは上方可動軸１３Ａと
上方固定軸１４Ａとによりミラー支持台１１と本体（図
示せず）とに連結された台形状のアーム、すなわち上方
連結板、１２Ｂは下方可動軸１３Ｂと下方固定軸１４Ｂ
とによりミラー支持台１１と本体とに連結された上方連
結板＋ＺＡと同形状のアーム、すなわち下方連結板であ
る。また、両固定軸１４Ａおよび１４Ｂは本体に対して
動かないよう固定される。
第３図に示すように、ミラー支持台１１、上方連結板１
２Ａ、下方連結板１２Ｂおよび本体（図示せず）とによ
り平行リンク１５を構成する。したがって、上方固定軸
１４＾および下方固定軸１４Ｂを含む面に対して、ミラ
ー支持台１１は常に垂直に支持される。この可動ミラー
１１は、ミラー面に垂直な面内においてはミラーを平行
リンクによって支えるとともに、ミラー面に平行な面内
において、台形の連結板１２Ａおよび１２Ｂのリンクｌ
ｌｉ構の軸を非平行にしたものである。
２Ａ、下方連結板１２Ｂおよび本体（図示せず）とによ
り平行リンク１５を構成する。したがって、上方固定軸
１４＾および下方固定軸１４Ｂを含む面に対して、ミラ
ー支持台１１は常に垂直に支持される。この可動ミラー
１１は、ミラー面に垂直な面内においてはミラーを平行
リンクによって支えるとともに、ミラー面に平行な面内
において、台形の連結板１２Ａおよび１２Ｂのリンクｌ
ｌｉ構の軸を非平行にしたものである。
第４図はミラー１０の駆動装置の構成例を示し、ミラー
支持台１１の裏面にコイル２１を設け、このコイル２１
を横切る磁界を発生するようにマグネット２２およびコ
ア２３を設けて、コイル２１に電流を流すことによりミ
ラー１０を変位させることができる。
支持台１１の裏面にコイル２１を設け、このコイル２１
を横切る磁界を発生するようにマグネット２２およびコ
ア２３を設けて、コイル２１に電流を流すことによりミ
ラー１０を変位させることができる。
他の駆動装置＆（としては、ミラー支持台部にマグネン
トを設け、その近傍にコイルを設けてミラー駆動装置を
構成することもできる。さら番こ、ミラーｌＯを支える
補助的手段として、／ヘネ等を用しλることも好適であ
る。
トを設け、その近傍にコイルを設けてミラー駆動装置を
構成することもできる。さら番こ、ミラーｌＯを支える
補助的手段として、／ヘネ等を用しλることも好適であ
る。
可動ミラーｌＯが動くとき、可動軸１３Ａおよび１３Ｂ
の中心線Ｉ−Ｉは固定軸のまわりの回転運動となるので
、この時可動軸と固定軸１４Ａおよび１４Ｂの交点２４
は動かない。これにより、可動ミラー１０の面は、上方
固定軸１４Ａおよび下方固定軸１４Ｂを含む平面（本体
の平面）に対して常（こ一定の角度を保ち、かつ可動軸
１３Ａおよび１３Ｂと固定軸＋４Ａおよび１４Ｂの中心
線の延長した交点２４は動かないことがわかる。上方お
よび下方の交点２４ともに動かないので、その２つの交
点２４をむすぶ直線も動かないこととなる。
の中心線Ｉ−Ｉは固定軸のまわりの回転運動となるので
、この時可動軸と固定軸１４Ａおよび１４Ｂの交点２４
は動かない。これにより、可動ミラー１０の面は、上方
固定軸１４Ａおよび下方固定軸１４Ｂを含む平面（本体
の平面）に対して常（こ一定の角度を保ち、かつ可動軸
１３Ａおよび１３Ｂと固定軸＋４Ａおよび１４Ｂの中心
線の延長した交点２４は動かないことがわかる。上方お
よび下方の交点２４ともに動かないので、その２つの交
点２４をむすぶ直線も動かないこととなる。
以上を考えあわせると、可動ミラー１０は、２つの固定
軸１４Ａおよび１４Ｂを含む面に対して垂直で、かつ２
つの交点２４を結ぶ直線と交わる直線■−■を見かけ上
の回転中心として運動することになる。
軸１４Ａおよび１４Ｂを含む面に対して垂直で、かつ２
つの交点２４を結ぶ直線と交わる直線■−■を見かけ上
の回転中心として運動することになる。
この際に、可動ミラ−１０自体は、ミラーを含む面内で
若干の平行移動および回転移動を伴うが、これは光学的
には何ら問題とならない。
若干の平行移動および回転移動を伴うが、これは光学的
には何ら問題とならない。
したがって、可動軸１３Ａまたは１３Ｂと固定軸１４Ａ
または１４Ｂのなす角度θを適切の値に選択することに
より、アームの長さを変えることなく見かけ」―の回転
中心を任意の位置に設けることかで夷きる。
または１４Ｂのなす角度θを適切の値に選択することに
より、アームの長さを変えることなく見かけ」―の回転
中心を任意の位置に設けることかで夷きる。
第３図においては、上方固定軸１４Ａと下方固定軸１４
Ｂおよび上方可動軸１３Ａと下方可動軸１３Ｂがほぼ平
行である場合を示したが、これは必ずしもＶ行である必
要はない。最も望ましいのは、上方固定軸１４Ａ、下刃
固定軸１４Ｂ、上方可動軸１３Ａおよび下方可動軸１３
Ｂの４つの軸の中心線が一点で交わるようにすることで
ある。この場合には、上刃連結板１２Ａおよび下方連結
板１２Ｂは、ミラー１゜の動きにともなって軸上を動く
ように構成する必要がない。また、ミラー１０の回転中
４し’ＩＩ −ＩＩは、上述の４つの軸の交点を通る。
Ｂおよび上方可動軸１３Ａと下方可動軸１３Ｂがほぼ平
行である場合を示したが、これは必ずしもＶ行である必
要はない。最も望ましいのは、上方固定軸１４Ａ、下刃
固定軸１４Ｂ、上方可動軸１３Ａおよび下方可動軸１３
Ｂの４つの軸の中心線が一点で交わるようにすることで
ある。この場合には、上刃連結板１２Ａおよび下方連結
板１２Ｂは、ミラー１゜の動きにともなって軸上を動く
ように構成する必要がない。また、ミラー１０の回転中
４し’ＩＩ −ＩＩは、上述の４つの軸の交点を通る。
この４つの軸が一点で交わらない場合には、上方連結板
１２Ａまたは下方連結Ｍｙ、１２Ｂのいずれかが４つの
軸の内一つの軸の上で動き得るように構成する必要があ
る。
１２Ａまたは下方連結Ｍｙ、１２Ｂのいずれかが４つの
軸の内一つの軸の上で動き得るように構成する必要があ
る。
第５図（Ａ）および（Ｂ）は本発明可動ミラーの他の構
成例を示し、第２図および第３図と同一部分には同一符
号を伺してその説明は省略する。
成例を示し、第２図および第３図と同一部分には同一符
号を伺してその説明は省略する。
第５図（Ａ）および゛（Ｂ）で３１Ａおよび３１Ｂは、
バネ等の弾性体で構成した連結板であり、第２図の連結
板１２Ａ８よび１２Ｂと置き換わるものである。
バネ等の弾性体で構成した連結板であり、第２図の連結
板１２Ａ８よび１２Ｂと置き換わるものである。
本例では弾性体を連結板（ばね）３１Ａおよび３１Ｂと
して用いているので、第２図に示す可動軸１３Ａおよび
１３Ｂ、固定軸１４Ａおよび１４Ｂに相当する部分の内
、一方または両方を回転しないように固定する事かでき
る。その場合、実効的な軸がばね３１Ａおよび３１Ｂの
途中に生じるが、その軸は第２図の場合と同じ交点を通
る。第５図（Ａ）および（Ｂ）では、ばね３１Ａおよび
３１Ｂは本体側およびミラー１０側にともに固定しであ
る。
して用いているので、第２図に示す可動軸１３Ａおよび
１３Ｂ、固定軸１４Ａおよび１４Ｂに相当する部分の内
、一方または両方を回転しないように固定する事かでき
る。その場合、実効的な軸がばね３１Ａおよび３１Ｂの
途中に生じるが、その軸は第２図の場合と同じ交点を通
る。第５図（Ａ）および（Ｂ）では、ばね３１Ａおよび
３１Ｂは本体側およびミラー１０側にともに固定しであ
る。
ミラー１０が上方に動くときの断面を第５図（Ｂ）に示
す。バネ材でできた板３１Ａおよび３１Ｂは図のごとく
Ｓ字型に曲り、見かけの可動Ｍ３２および見かけの固定
軸３３ができる。このｖ■動軸３２およ？ノ固疋＋ｌ１
３３の中心線の交点２４は、第５図（Ａ）に示すように
ミラー側および本体側の支持部３４を通る線の交点と一
致する。したがって、板３１Ａおよび３１Ｂをこのよう
にばね材で構成した場合でも、回転中心ＩＩ−ＩＩまで
の距離はほとんど変化しない。
す。バネ材でできた板３１Ａおよび３１Ｂは図のごとく
Ｓ字型に曲り、見かけの可動Ｍ３２および見かけの固定
軸３３ができる。このｖ■動軸３２およ？ノ固疋＋ｌ１
３３の中心線の交点２４は、第５図（Ａ）に示すように
ミラー側および本体側の支持部３４を通る線の交点と一
致する。したがって、板３１Ａおよび３１Ｂをこのよう
にばね材で構成した場合でも、回転中心ＩＩ−ＩＩまで
の距離はほとんど変化しない。
連結板をばねで構成した場合には、別に可動軸（第２図
参照）を設けなくてもミラー１ｏを基準位置近くに保つ
ことができるという利点が有るが、回転中心ＩＩ−ＩＩ
の線の角度を正確に定めることが若干むずかしくなると
いうことがある。
参照）を設けなくてもミラー１ｏを基準位置近くに保つ
ことができるという利点が有るが、回転中心ＩＩ−ＩＩ
の線の角度を正確に定めることが若干むずかしくなると
いうことがある。
第２図〜第５図に示す本発明実施例では、２つの固定軸
を含む平面および２つの可動軸を含むザｔ＋ｆｉがミラ
ーに対して垂直になるように構成したか、これは多少傾
けて設計する事も可能である。
を含む平面および２つの可動軸を含むザｔ＋ｆｉがミラ
ーに対して垂直になるように構成したか、これは多少傾
けて設計する事も可能である。
効 果
以−１−説明したように、本発明によれば比較的筒中な
機構により可動ミラーの回転中心を遠方に置くことがで
きるので、＝Ｔ動部を軽くすることができ、かつ高速応
答性の役れた＋ｉｆ動ミラーを提供することができる。
機構により可動ミラーの回転中心を遠方に置くことがで
きるので、＝Ｔ動部を軽くすることができ、かつ高速応
答性の役れた＋ｉｆ動ミラーを提供することができる。
また、本発明の可動ミラーはリンク機構が単純であるの
で、ミラーのガタ等も少ないとい利点がある。
で、ミラーのガタ等も少ないとい利点がある。
第１図は従来装置の一例を示す線図、第２図は本発明可
動ミラーの構成の一例をパ示す平面図、第３図は第２図
の側面図、第４図は第２図の可動ミラーの駆動装置の構
成例を示す一部断面の側面図、第５図（Ａ）は本発明可
動ミラーの他の構成例を示す平面図、第５図（Ｂ）は第
５図（Ａ）の動作例を示す説明図である。 １ ・・・ ｖ１動 ミ ラ − 、 ２・・・入射光、 ３・・・反射光、 ４・・・対物レンズ、 ５・・・回転中心、 ６・・・主平面、 ７・・・後方焦点、 ８・・・情報記録ＩＨｑ体、 １０・・・可動ミラー、 １１・・・ミラー支持台、 ＋２Ａ 、 １２Ｂ・・・連結板（可動プレート）、１
３Ａ、１３Ｂ・・・可動軸、 １４Ａ 、 １４Ｂ・・・固定軸、 １５・・・平行リンク、 ２１・・・ コ イ ル、 ２２・・・マグネント、 ２３・・・コア、 ２４・・・交点、 ３１Ａ、３１Ｂ・・・連結板、 ３２・・・見かけの可動軸、 ３３・・・見かけの固定軸、 ３４・・・本体側の支持部。 特 許 出 願 人 キャノン株式会社第２図 ■ 工 第３図 第４図 鑑 目−４３−
動ミラーの構成の一例をパ示す平面図、第３図は第２図
の側面図、第４図は第２図の可動ミラーの駆動装置の構
成例を示す一部断面の側面図、第５図（Ａ）は本発明可
動ミラーの他の構成例を示す平面図、第５図（Ｂ）は第
５図（Ａ）の動作例を示す説明図である。 １ ・・・ ｖ１動 ミ ラ − 、 ２・・・入射光、 ３・・・反射光、 ４・・・対物レンズ、 ５・・・回転中心、 ６・・・主平面、 ７・・・後方焦点、 ８・・・情報記録ＩＨｑ体、 １０・・・可動ミラー、 １１・・・ミラー支持台、 ＋２Ａ 、 １２Ｂ・・・連結板（可動プレート）、１
３Ａ、１３Ｂ・・・可動軸、 １４Ａ 、 １４Ｂ・・・固定軸、 １５・・・平行リンク、 ２１・・・ コ イ ル、 ２２・・・マグネント、 ２３・・・コア、 ２４・・・交点、 ３１Ａ、３１Ｂ・・・連結板、 ３２・・・見かけの可動軸、 ３３・・・見かけの固定軸、 ３４・・・本体側の支持部。 特 許 出 願 人 キャノン株式会社第２図 ■ 工 第３図 第４図 鑑 目−４３−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 上下一対のアームを有し、該一対のアームの各一端をミ
ラーを取り伺けた可動軸に結合し、前記一対のアームの
各他端を固定軸に結合して構し 勘コ前記一対のアームにより前記ミラーの面に対して垂
直な面内に移動可能な平行リンク機構を構成して、該平
行リンク機構により前記ミラーを含む可動軸を支持し、
前記アームの各々を、前記可動軸と前記固定軸の中心線
が互いに交わるような形状としたことを特徴とする可動
ミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266783A JPS59139010A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 可動ミラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1266783A JPS59139010A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 可動ミラ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59139010A true JPS59139010A (ja) | 1984-08-09 |
Family
ID=11811716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1266783A Pending JPS59139010A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 可動ミラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59139010A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001013156A1 (de) * | 1999-08-17 | 2001-02-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zum verschwenken eines spiegels |
| JP2005156417A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Mitsutoyo Corp | 光干渉ユニット、光干渉対物レンズ装置および測定装置 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1266783A patent/JPS59139010A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001013156A1 (de) * | 1999-08-17 | 2001-02-22 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zum verschwenken eines spiegels |
| JP2005156417A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Mitsutoyo Corp | 光干渉ユニット、光干渉対物レンズ装置および測定装置 |
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