JP2001307355A - 光ディスク装置およびガルバノミラー - Google Patents

光ディスク装置およびガルバノミラー

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JP2001307355A JP2000301785A JP2000301785A JP2001307355A JP 2001307355 A JP2001307355 A JP 2001307355A JP 2000301785 A JP2000301785 A JP 2000301785A JP 2000301785 A JP2000301785 A JP 2000301785A JP 2001307355 A JP2001307355 A JP 2001307355A
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optical disk
suspension
slider
disk device
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Toru Fujimaki
徹 藤巻
Haruhiko Izumi
晴彦 和泉
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】光ディスクの面振れに起因する不具合を解消
し、光ディスクへのデータの記録処理あるいは再生処理
を適切に行うことができるようにする。 【解決手段】対物レンズ２０を保持しており、かつ光デ
ィスクＤに対面して浮上可能にサスペンション３の先端
部に支持されているスライダ２と、サスペンション３の
先端部に支持されており、かつ光源からフォーカス方向
と交差する第１の方向に進行してきたレーザ光を対物レ
ンズ２０に入射させるようにフォーカス方向に反射する
ミラー１と、このミラー１およびスライダ２をトラッキ
ング方向に移動させるようにサスペンション３を移動さ
せるシーク動作機構と、を具備している、光ディスク装
置であって、ミラー１は、レーザ光の反射方向を上記第
１の方向に変化させることができるように角度変更自在
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、光ディスクへの
データの記録、再生および消去のうちの少なくとも１つ
の処理を行うのに用いられる光ディスク装置に関する。
【０００２】ただし、本明細書でいう光ディスクには、
磁界変調方式や光パルス変調方式によってデータの書き
込みや読み出しがなされる光磁気ディスクも含まれる。
したがって、本明細書でいう光ディスク装置とは、光磁
気ディスクを取り扱う光磁気ディスク装置をも含む概念
である。
【０００３】
【従来の技術】従来における光ディスク装置の一例とし
ては、特開平１１−２１３４１９号公報に記載されたも
のがある。この光ディスク装置は、図３６および図３７
に示すように、揺動アーム９０の先端部に取り付けられ
たサスペンション９１に、微動アクチュエータ９２、ミ
ラー９３およびスライダ９４を支持させたものである。
揺動アーム９０は、モータＭａによって軸体９５周りに
揺動自在であり、この動作によりスライダ９４を矢印Ｔ
ｇで示すトラッキング方向に移動させることができる。
本明細書において、トラッキング方向とは、光ディスク
のトラックに直交する方向、すなわち光ディスクの半径
方向を意味している。
【０００４】微動アクチュエータ９２は、ミラー９３お
よびスライダ９４を上記トラッキング方向に微動可能と
するものである。スライダ９４は、光ディスクＤがスピ
ンドルモータＭｂによって高速回転されるときには、こ
のスライダ９４と光ディスクＤとの間に空気が流れ込む
作用によって光ディスクＤの表面に対して一定間隔を隔
てて浮上するようになっている。スライダ９４には、た
とえば２枚のレンズを組み合わせた対物レンズ９６が保
持されている。ミラー９３は、光源９７から発せられた
レーザ光がミラー９８によって反射されることにより揺
動アーム９０の長手方向に進行してくると、このレーザ
光を下向きに反射して対物レンズ９６に入射させるよう
に設けられている。
【０００５】このような構成の光ディスク装置において
は、光ディスクＤの回転時には、スライダ９４を光ディ
スクＤ上に浮上させておき、光源９７から発せられたレ
ーザ光を対物レンズ９６によって集束させることによ
り、そのビームスポットを光ディスクＤの記録層上に形
成することができる。光ディスクＤの目的のトラックを
検出する動作（シーク動作）は、揺動アーム９０を揺動
させることにより行うことができる。また、目的のトラ
ックにビームスポットを追従させるトラッキング制御
は、微動アクチュエータ９２を駆動させて、ミラー９３
やスライダ９４をトラッキング方向に微動させることに
より行うことができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光ディスク装置においては、次に述べるような不具
合があった。
【０００７】すなわち、光ディスクＤを高速回転させる
ときには、光ディスクＤの表面が矢印Ｆｓで示すフォー
カス方向に変動する「面振れ」を生じる。この面振れ
は、光ディスクＤを回転させるスピンドルの軸振れ、光
ディスクＤ自体の初期変形、あるいは光ディスクＤの剛
性の不足などに起因して生じる。とくに、光ディスクＤ
が大径に形成される場合には、光ディスクＤが撓み易く
なるため、その面振れ量が大きくなる傾向がある。
【０００８】このような光ディスクＤの面振れを生じた
場合に、スライダ９４は光ディスクＤの表面との間隔を
一定寸法に維持するように、面振れに追随して上昇また
は下降することとなる。ミラー９３もこれに伴って上昇
または下降する。その一方、ミラー９３に向けて進行し
てくるレーザ光の高さは一定である。このため、従来に
おいては、光ディスクＤが面振れを生じると、ミラー９
３に対するレーザ光の相対的な高さが変動していた。よ
り具体的には、たとえば図３７に示すように、光ディス
クＤが面振れを生じていないときに、レーザ光の中心Ｃ
１がミラー９３の高さ方向中央部ｎ１に投射される場合
において、図３８に示すように、光ディスクＤが下方に
面振れを生じると、レーザ光の中心Ｃ２はミラー９３の
高さ方向中央部ｎ１よりも上方の部分ｎ２に投射される
こととなる。このような現象を生じると、ミラー９３か
ら対物レンズ９６に向かうレーザ光の進路も変更される
こととなり、具体的には、そのレーザ光は矢印Ｎａ方向
にシフトする。光ディスクＤが面振れにより上昇する場
合には、レーザ光は上記とは反対方向にシフトする。
【０００９】このようなレーザ光のシフトを生じたので
は、レーザ光の中心が対物レンズ９６の中心軸から外れ
てしまい、光ディスクＤの記録層に微小径のビームスポ
ットを形成する上で支障を生じる。また、ビームスポッ
トの形成位置にもずれが生じてしまう。とくに、対物レ
ンズ９６を構成する光ディスクＤ寄りのレンズ９６ａと
して小径の固体浸レンズ（Solid Immersion Lens) を用
いているような場合には、レーザ光のシフト量が大きく
なると、もはやこのレンズ９６ａにレーザ光を適切に入
射させることすら困難となり、データの記録・再生処理
が不可能となる場合もある。従来の光ディスク装置に
は、微動アクチュエータ９２が具備されているものの、
この微動アクチュエータ９２は、レーザ光がシフトする
矢印Ｎａ方向とは直交する方向にミラー９３やスライダ
９４を微動させるものである。このため、従来において
は、この微動アクチュエータ９２の駆動によって、上記
した不具合を解消することはできなかった。
【００１０】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、光ディスクの面振れに起因する
不具合を解消し、光ディスクへのデータの記録処理ある
いは再生処理を適切に行うことができるようにすること
をその課題としている。
【００１１】
【発明の開示】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
【００１２】本願発明の第１の側面によって提供される
光ディスク装置は、対物レンズを保持しており、かつ光
ディスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部
に支持されているスライダと、このスライダに対してフ
ォーカス方向に重なるようにして上記サスペンションの
先端部に支持されており、かつ光源から上記フォーカス
方向と交差する第１の方向に進行してきたレーザ光を上
記対物レンズに入射させるように上記フォーカス方向に
反射するミラーと、このミラーおよび上記スライダをト
ラッキング方向に移動させるように上記サスペンション
を移動させるシーク動作機構と、を具備している、光デ
ィスク装置であって、上記ミラーは、上記レーザ光の反
射方向を上記第１の方向に変化させることができるよう
に角度変更自在であることを特徴としている。
【００１３】このような構成を有する光ディスク装置に
おいては、上記ミラーの角度を変化させると、このミラ
ーによって反射されてから上記対物レンズに向かうレー
ザ光の進路が上記第１の方向に位置ずれする。したがっ
て、上記ミラーから上記対物レンズに向かうレーザ光
が、上記光ディスクの面振れに起因して上記第１の方向
にシフトする現象を生じても、そのシフト方向とは反対
方向に上記レーザ光の進路をずらせることによって、上
記した現象を解消することができ、上記レーザ光を上記
対物レンズに適切に入射させることができる。その結
果、光ディスクが面振れを生じる場合であっても、光デ
ィスクの記録層の所定箇所に適正なビームスポットを形
成することが可能となり、光ディスクへのデータの記録
処理あるいは再生処理を的確に行うことができる。
【００１４】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記ミラーは、上記レーザ光の反射方向を上記第１
の方向に交差する第２の方向にも変化させることが可能
に互いに交差する２軸周りに角度変更自在である。
【００１５】このような構成によれば、上記ミラーの角
度を変更することによって、光ディスクの記録層上にお
けるビームスポットの形成位置を上記第２の方向にも変
位させることが可能となる。したがって、たとえば上記
第２の方向がトラッキング方向である場合には、上記ミ
ラーの角度変更動作によって、目的のトラックにビーム
スポットを追従させる制御、すなわちトラッキング制御
を行うことも可能となる。また、上記構成によれば、１
つのミラーによってレーザ光の進行方向を第１および第
２の方向のいずれにも変化させることができるようにし
ているために、たとえば１軸周りにのみ角度変更自在な
ミラーを２つ利用して同様な作用を得ようとする場合と
比較すると、光ディスク装置全体の構造を簡素にするこ
とができる。
【００１６】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記光源から上記ミラーに至るまでの光路には、
上記光源から進行してきたレーザ光を受けてから上記ミ
ラーに向けて反射する他のミラーが設けられており、か
つこの他のミラーは、この他のミラーによる上記レーザ
光の反射方向を上記第１の方向に交差する第２の方向に
変化させることが可能に角度変更自在である。
【００１７】このような構成によれば、上記他のミラー
の角度を変更して、この他のミラーによって反射された
レーザ光の進行方向を上記第２の方向に変化させると、
光ディスクの記録層上に形成されるビームスポットの位
置も上記第２の方向に変化させることができる。したが
って、上記構成によっても、ビームスポットの形成位置
を上記第１および第２の方向のいずれの方向にも簡単に
変更することができる。
【００１８】本願発明の第２の側面によって提供される
光ディスク装置は、対物レンズを保持しており、かつ光
ディスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部
に支持されているスライダと、このスライダに対してフ
ォーカス方向に重なるようにして上記サスペンションの
先端部に支持されており、かつ光源から上記フォーカス
方向と交差する第１の方向に進行してきたレーザ光を上
記対物レンズに入射させるように上記フォーカス方向に
反射する第１のミラーと、この第１のミラーおよび上記
スライダをトラッキング方向に移動させるように上記サ
スペンションを移動させるシーク動作機構と、を具備し
ている、光ディスク装置であって、上記光源から上記第
１のミラーに至るまでの光路には、上記光源から進行し
てきたレーザ光を受けてから上記第１のミラーに向けて
反射する第２のミラーが設けられており、かつこの第２
のミラーは、この第２のミラーによる上記レーザ光の反
射方向を上記フォーカス方向に変化させることが可能に
角度変更自在であることを特徴としている。
【００１９】このような構成を有する光ディスク装置に
おいては、上記第２のミラーの角度を変更することによ
って、この第２のミラーから上記第１のミラーに向かう
レーザ光の進路をフォーカス方向にずらせることができ
る。したがって、上記スライダおよび上記第１のミラー
が上記光ディスクの面振れに追随してフォーカス方向に
変位しても、上記第２のミラーから上記第１のミラーに
向かうレーザ光の進路をそれらと同方向にずらせること
によって、このレーザ光と上記第１のミラーとの相対的
な位置関係を一定状態に維持することが可能となる。こ
のため、上記第１のミラーから上記対物レンズに向かう
レーザ光が、上記光ディスクの面振れに起因して上記第
１の方向にシフトしないようにすることが可能となる。
その結果、本願発明の第１の側面によって提供される光
ディスク装置と同様に、光ディスクの記録層の所定箇所
に適正なビームスポットを形成し、光ディスクへのデー
タの記録処理あるいは再生処理を的確に行うことができ
る。
【００２０】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記第２のミラーは、この第２のミラーによる上記
レーザ光の反射方向を上記第１の方向に交差する第２の
方向にも変化させることが可能に互いに交差する２軸周
りに角度変更自在である。
【００２１】このような構成によれば、上記第２のミラ
ーの角度変更を行うことにより、光ディスクの記録層上
におけるビームスポットの形成位置を上記第２の方向に
も変位させることが可能となる。したがって、たとえば
上記第２の方向がトラッキング方向である場合には、上
記第２のミラーを利用してトラッキング制御を行うこと
も可能となる。
【００２２】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記第１のミラーは、この第１のミラーによる上
記レーザ光の反射方向を上記第１の方向に交差する第２
の方向に変化させることが可能に角度変更自在である。
【００２３】このような構成によれば、上記第１のミラ
ーの角度を制御することによって、光ディスクの記録層
上に形成されるビームスポットの位置を上記第２の方向
に変位させることが可能となる。
【００２４】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記シーク動作機構は、上記サスペンションの基
端部を支持して上記トラッキング方向に揺動させる揺動
アームを具備して構成されているとともに、上記第１の
方向は、上記トラッキング方向と交差する方向とされて
いる。このように、本願発明におけるシーク動作機構
は、いわゆる揺動アーム型のものにすることができる。
もちろん、後述するように、いわゆる直進型のものにす
ることもできる。
【００２５】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記光ディスクによって反射されてから一定の経
路で戻されてきた反射光を受ける検出部を有しており、
かつこの検出部は、上記反射光の復帰経路が所定の基準
位置に対して上記トラッキング方向および上記第１の方
向のそれぞれに対応する方向に位置ずれしているとき
に、それらの位置ずれ方向および位置ずれ量に対応する
トラッキングエラー検出信号およびビームシフト検出信
号を出力するように構成されている。
【００２６】このような構成によれば、上記トラッキン
グエラー検出信号に基づいてトラッキング制御を適切に
行うことができるのに加え、上記ビームシフト検出信号
に基づいて所定のミラーの角度を調整することにより、
光ディスクの記録層の所定箇所に適正なビームスポット
を形成することが可能となる。
【００２７】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記検出部には、光電変換器と演算手段とが具備
されており、かつ上記光電変換器は、上記基準位置を中
心として上記トラッキング方向および上記第１の方向の
それぞれに対応する方向に互いに位置ずれするように配
列された少なくとも４つの受光部を有するとともに、こ
れらの受光部のそれぞれが上記反射光を受けたときには
それらの各受光量に対応した信号を出力するように構成
されており、上記演算手段は、上記トラッキング方向に
対応する方向に位置ずれしている複数の受光部のそれぞ
れから出力される信号の差に基づいて上記トラッキング
エラー検出信号を得るとともに、上記第１の方向に対応
する方向に位置ずれしている複数の受光部のそれぞれか
ら出力される信号の差に基づいて上記ビームシフト検出
信号を得るように構成されている。
【００２８】このような構成によれば、トラッキングエ
ラー検出信号とビームシフト検出信号とを、簡易な手段
によって適切に得ることができる。
【００２９】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記シーク動作機構は、上記サスペンションを上
記トラッキング方向に往復直進動作させるように構成さ
れており、かつ上記第１の方向は、上記トラッキング方
向と一致している。
【００３０】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記サスペンションには、光電変換器が設けられ
ており、かつこの光電変換器は、上記光源から上記サス
ペンションに支持されているミラーに向けて進行するレ
ーザ光を透過させる透光部を有するとともに、上記レー
ザ光が上記透光部に対して上記フォーカス方向に位置ず
れしたときには、その位置ずれしたレーザ光を受光する
ことによってその位置ずれ方向および位置ずれ量に対応
する信号を出力するように構成されている。
【００３１】このような構成によれば、上記光電変換器
から出力される信号に基づいて、所定のミラーの角度を
調整することにより、光ディスクの記録層の所定箇所に
適正なビームスポットを形成することが可能となる。
【００３２】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記光電変換器は、上記透光部を囲むようにして
上記フォーカス方向に並ぶ少なくとも２つの受光部を具
備しており、かつこれら受光部のそれぞれが上記レーザ
光を受けたときには、その受光量に対応した信号が個々
に出力されるように構成されている。
【００３３】このような構成によれば、上記各受光部か
ら出力される信号に基づいて、光源からサスペンション
に支持されているミラーに向けて進行するレーザ光が本
来の経路からシフトしている場合のそのシフト方向およ
びシフト量を的確に判断することが可能となる。
【００３４】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、演算手段をさらに具備しており、かつこの演算手
段は、上記少なくとも２つの受光部のそれぞれから出力
される信号の差に基づいてビームシフト検出信号を得る
ように構成されている。
【００３５】このような構成によれば、上記演算手段に
より得られるビームシフト検出信号に基づいて、所定の
ミラーの角度制御を的確に実行することができる。
【００３６】本願発明の第３の側面によって提供される
光ディスク装置は、対物レンズを保持しており、かつ光
ディスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部
に支持されているスライダと、このスライダに対してフ
ォーカス方向に重なるようにして上記サスペンションの
先端部に支持されており、かつ光源から上記フォーカス
方向と交差する第１の方向に進行してきたレーザ光を上
記対物レンズに入射させるように上記フォーカス方向に
反射するミラーと、このミラーおよび上記スライダをト
ラッキング方向に移動させるように上記サスペンション
を移動させるシーク動作機構と、を具備している、光デ
ィスク装置であって、少なくとも上記スライダおよび上
記ミラーを、上記第１の方向に微動させることが可能な
微動動作手段を備えていることを特徴としている。
【００３７】このような構成を有する光ディスク装置に
おいては、上記微動動作手段を動作させることによって
上記スライダおよび上記ミラーを上記第１の方向に微動
させることができる。したがって、上記ミラーから上記
スライダの対物レンズに向かうレーザ光の進路が、上記
光ディスクの面振れに起因して上記第１の方向にシフト
する事態を生じても、上記ミラーおよび上記スライダを
そのシフト方向と同方向に微動させることにより、レー
ザ光のシフト量をなくし、あるいは少なくすることがで
き、光ディスクの記録層上に形成されるビームスポット
の位置補正を行うことが可能となる。その結果、光ディ
スクへのデータの記録処理あるいは再生処理を的確に行
うことができる。
【００３８】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記シーク動作機構は、上記サスペンションの基端
部を支持する支持部材と、この支持部材を支持し、かつ
上記トラッキング方向に延びるガイド部材に沿って移動
可能なキャリッジと、このキャリッジを上記ガイド部材
に沿って往復動作させるための駆動力を発生させるボイ
スコイルモータとを具備して構成されており、かつ上記
微動動作手段は、上記ボイスコイルモータの駆動力によ
って上記支持部材を上記キャリッジに相対させて移動可
能とする機構である。
【００３９】このような構成によれば、上記ボイスコイ
ルモータの駆動力を利用して上記キャリッジを移動させ
ることにより、このキャリッジに伴わせて上記支持部材
をトラッキング方向に移動させることができ、これによ
りシーク動作が可能となる。一方、上記ボイスコイルモ
ータの駆動力を利用して上記支持部材を上記キャリッジ
に相対させて上記第１の方向に移動させることにより、
上記サスペンションや上記サスペンションに支持されて
いるミラーおよびスライダを上記第１の方向に微動させ
ることができ、光ディスクの面振れに対応したビームス
ポットの位置変更制御やトラッキング制御が可能とな
る。上記支持部材を微動させる場合に、この支持部材を
上記キャリッジに相対させて移動させているために、こ
の支持部材を上記キャリッジと一緒に移動させる場合と
比較すると、可動部分の重量を小さくすることができ、
その分だけ支持部材の移動動作の高速化を図ることが可
能となる。また、上記ボイスコイルモータは、シーク動
作と微動動作とを行うときの共通の駆動力発生源とされ
ているために、２つの駆動力発生源を用いる場合と比較
すると、全体構造の簡素化を図ることもできる。
【００４０】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記サスペンションは、２枚の板バネがそれらの
厚み方向に間隔を隔てて重ね合わされたものである。
【００４１】このような構成によれば、上記サスペンシ
ョンが上記フォーカス方向に弾性変形する機能を大きく
損なわないようにして、それ以外の方向についての上記
サスペンションの曲げ剛性などを高めることが可能とな
る。したがって、上記スライダやミラーを安定的に支持
することが可能となる。
【００４２】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記対物レンズは、複数のレンズにより構成され
ており、かつ上記光ディスク寄りのレンズは、固体浸レ
ンズとされている。
【００４３】このような構成によれば、上記対物レンズ
の開口数を大きくし、ビームスポットの微小化を促進す
ることができる。これは、光ディスクのデータ記録密度
を高めるのに好ましい。
【００４４】本願発明の第４の側面によって提供される
光ディスク装置は、対物レンズを保持しており、かつ光
ディスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部
に支持されているスライダと、このスライダに対してフ
ォーカス方向に重なるようにして上記サスペンションの
先端部に支持されており、かつ光源から上記フォーカス
方向と交差する第１の方向に進行してきたレーザ光を上
記対物レンズに入射せるように上記フォーカス方向に反
射するミラーと、このミラーおよび上記スライダをトラ
ッキング方向に移動させるように上記サスペンションを
移動させるシーク動作機構と、を具備している、光ディ
スク装置であって、上記サスペンションの先端部に取り
付けられ、かつ上記ミラーを保持するホルダを具備して
いるとともに、上記スライダは、上記ホルダに対する姿
勢が変更可能に上記ホルダまたは上記サスペンションに
ジンバルバネを介して取り付けられていることを特徴と
している。
【００４５】このような構成を有する光ディスク装置に
おいては、光ディスクの表面が傾いたときに、これに伴
わせて上記スライダの姿勢を変更させることにより、上
記スライダが常に上記光ディスクの表面に対して一定の
姿勢となるようにすることができる。その一方、上記ホ
ルダおよびこのホルダに取り付けられるミラーの重量に
ついては、上記サスペンションに負担させることがで
き、それらの重量が上記スライダに直接作用しないよう
にすることができる。したがって、上記スライダの姿勢
が変更されるときの上記スライダの重量負担を小さく
し、光ディスクの傾きに対するスライダの追従性能を良
好なものにすることができる。
【００４６】本願発明の第５の側面によって提供される
ガルバノミラーは、光反射面を有するミラー板と、この
ミラー板に一端が繋がっている軸部と、この軸部を介し
て上記ミラー板を片もち状に支持するように上記軸部の
他端が繋がっている支持部材と、上記ミラー板の正面お
よび背後の少なくとも一方に設けられた補助部材と、上
記軸部が捩じられる方向に上記ミラー板を回転させるよ
うに上記ミラー板を上記補助部材に相対させて移動させ
る力を発生する第１の移動力発生手段と、上記軸部が撓
む方向に上記ミラー板を回転させるように上記ミラー板
を上記補助部材に相対させて移動させる力を発生する第
２の移動力発生手段と、を具備していることを特徴とし
ている。
【００４７】このような構成を有するガルバノミラーに
おいては、上記第１の移動力発生手段を駆動させると、
上記ミラー板は上記軸部が捩じられる方向に回転する。
また、上記第２の移動力発生手段を駆動させると、上記
ミラー板は上記軸部が撓む方向に回転する。上記ミラー
板は、上記支持部材に片もち状に支持されているため
に、上記軸部の撓み変形に伴わせて上記ミラー板をスム
ーズに回転させることが可能である。ここで、上記軸部
の捩じり方向と撓み方向とは互いに直交する関係にあ
る。したがって、本願発明に係るガルバノミラーにおい
ては、上記ミラー板を互いに直交する２軸周りに回転さ
せて、その角度を変更することが可能となり、本願発明
の第１の側面および第２の側面によって提供される光デ
ィスク装置のレーザ光を反射するためのミラーとして好
適に利用することができる。また、本願発明に係るガル
バノミラーは、上記ミラー板の正面および背後の少なく
とも一方に補助部材を重ねて設けた構成とされているた
めに、上記補助部材が大きく嵩張らないようにすること
もできる。したがって、ガルバノミラー全体のサイズを
小さくするのにも有利となる。
【００４８】本願発明の好ましい実施の形態において
は、上記第１および第２の移動力発生手段は、上記ミラ
ー板および上記補助部材に互いに対向して設けられた静
電力発生用の複数組の電極を具備して構成されている。
【００４９】このような構成によれば、上記複数組の電
極によって発生される静電力を利用して上記ミラー板を
所定方向に適切に回転させることができる。
【００５０】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記第１および第２の移動力発生手段は、圧電力
および電磁力のいずれかを発生させるように構成されて
いる。このような構成によっても、上記圧電力または上
記電磁力を利用して上記ミラー板を回転させることがで
きる。
【００５１】本願発明の他の好ましい実施の形態におい
ては、上記ミラー板の正面および背後には、第１および
第２の補助部材が設けられており、かつ上記第１および
第２の移動力発生手段は、上記第１および第２の補助部
材のそれぞれと上記ミラー板の表裏両面とに設けられて
いる。
【００５２】このような構成によれば、上記ミラー板の
正面または背後に１つの補助部材のみを設けた場合と比
較すると、上記第１および第２の移動力発生手段によっ
て発生される力を大きくすることが可能となる。このこ
とは、たとえば電圧印加により上記第１および第２の移
動力発生手段を駆動させて一定の力を発生させる場合
に、その電圧値を低くするのに役立つ。また、上記第１
および第２の移動力発生手段が、たとえば静電力を発生
させるための複数の電極である場合には、各電極のサイ
ズを小さくし、ガルバノミラー全体の小型化を図るのに
有利となる。
【００５３】本願発明のその他の特徴および利点につい
ては、以下に行う発明の実施の形態の説明から、より明
らかになるであろう。
【００５４】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００５５】本願発明に係る光ディスク装置には、本願
発明によって提供されるいわゆる２軸回転タイプのガル
バノミラーが用いられる場合がある。したがって、本願
発明に係る光ディスク装置の理解を容易にするため、本
願発明に係るガルバノミラーの具体的な構造を先に説明
する。
【００５６】図１および図２は、本願発明に係るガルバ
ノミラーの一例を示している。
【００５７】本実施形態のガルバノミラー１は、ミラー
板１０、軸部１１、支持部材１２、および補助部材１３
を具備して構成されている。
【００５８】ミラー板１０は、矩形の板状であり、その
表面には光の反射率が高い金属膜層が形成されるなどし
て光反射面１４が設けられている。軸部１１の両端は、
ミラー板１０と支持部材１２とに繋がっている。ミラー
板１０は、１本の軸部１１のみを介して支持部材１２に
支持されており、支持部材１２に対して片もち状に支持
された構造となっている。軸部１１は、図２の矢印Ｎ１
方向に捩じり変形可能であるとともに、同図の矢印Ｎ２
方向に撓み変形可能である。支持部材１２は、たとえば
ミラー板１０を囲む枠状とされている。補助部材１３
は、支持部材１２と略同様な外形およびサイズに形成さ
れた中空矩形の板状であり、支持部材１２およびミラー
板１０の背後に重なるように配されている。
【００５９】ミラー板１０の背面には、３つの電極１５
ａ〜１５ｃが設けられている。その一方、補助部材１３
の表面には、電極１５ａ〜１５ｃのそれぞれに対面する
３つの電極１６ａ〜１６ｃが設けられている（図２のク
ロスハッチングで示す部分がこれらの電極である）。こ
れら複数の電極のうち、電極１５ａ，１６ａどうし、お
よび電極１５ｂ，１６ｂどうしの組合せは、本願発明で
いう第１の移動力発生手段の一例に相当する。電極１５
ｃ，１６ｃどうしの組合せは、本願発明でいう第２の移
動力発生手段の一例に相当する。好ましくは、これら複
数の電極のそれぞれの表面は、絶縁膜によって覆われて
いる。
【００６０】２つの電極１５ａ，１５ｂは、軸部１１の
中心軸線Ｌａを挟むようにミラー板１０の両側縁に設け
られている。電極１５ｃは、ミラー板１０の軸部１１が
繋がっている一側縁とは幅方向反対の他側縁に設けられ
ている。これらミラー板１０に設けられている電極１５
ａ〜１５ｃは、互いに導通しており、図示されていない
配線部を介していずれもグランド接続されている。これ
に対し、補助部材１３の電極１６ａ〜１６ｃは、互いに
絶縁されている。補助部材１３には、複数の電極１６ａ
〜１６ｃのそれぞれに個別に導通した複数の端子部１７
ａ〜１７ｃも設けられている。これら複数の端子部１７
ａ〜１７ｃには、電圧印加用の配線接続がなされる。
【００６１】次に、上記した構成のガルバノミラー１の
作用について説明する。
【００６２】まず、電極１６ａに正または負の電圧を印
加すると、これに対面する電極１５ａがグランド接続さ
れていることにより、これらの電極１５ａ，１６ａ間に
はこれらを互いに接近させようとする静電力が発生す
る。すると、ミラー板１０は、軸部１１に捩じり変形を
生じさせながら、この軸部１１の中心軸線Ｌａ周りの矢
印Ｎ３方向に回転する。同様に、電極１６ｂに電圧を印
加した場合には、この電極１６ｂとこれに対面する電極
１５ｂとの間にこれらを互いに接近させようとする静電
力が発生し、ミラー板１０は、軸部１１の中心軸線Ｌａ
周りに上記とは反対方向に回転する。したがって、２つ
の電極１６ａ，１６ｂのいずれに電圧を印加するかによ
って、ミラー板１０の回転方向を選択することができ
る。ミラー板１０の回転動作は、電極１５ａ，１６ａ間
または電極１５ｂ，１６ｂ間に発生する静電力と軸部１
１の捩じり抵抗力とが釣り合う角度において停止する。
また、上記静電力は電極１６ａ，１６ｂに印加される電
圧が高いほど大きい。したがって、電極１６ａ，１６ｂ
に印加される電圧の値を増減調整することにより、ミラ
ー板１０の回転量についても適切に制御することができ
る。
【００６３】次いで、電極１６ｃに電圧を印加した場合
には、この電極１６ｃとこれに対面する電極１５ｃとの
間にこれらを互いに接近させようとする静電力が発生す
る。このため、ミラー板１０は軸部１１に撓み変形を生
じさせながら、このミラー板１０の電極１５ｃが設けら
れている一側縁が補助部材１３に接近する方向に回転す
る。この回転動作は、軸部１１またはその近傍を通過し
て軸部１１の中心軸線Ｌａに直交する方向に延びる軸線
Ｌｂ周りの矢印Ｎ４方向にミラー板１０が回転する動作
である。したがって、このガルバノミラー１において
は、互いに直交する２つの軸線Ｌａ，Ｌｂ周りにミラー
板１０を回転させることが可能となる。軸線Ｌｂ周りの
ミラー板１０の回転動作は、電極１５ｃ，１６ｃ間の静
電力と軸部１１の撓み抵抗力とが釣り合う角度において
停止する。このため、電極１５ｃ，１６ｃに印加される
電圧の値を増減して上記静電力を調整することにより、
軸線Ｌｂ周りのミラー板１０の回転量についても適切に
制御することができる。
【００６４】図３は、本願発明に係るガルバノミラーの
他の例を示している。なお、図３以降の図においては、
各図に表された実施形態よりも先に説明された実施形態
と同一または類似の要素には、先に説明された実施形態
と同一符号を付している。
【００６５】図３に示されたガルバノミラー１Ａは、軸
部１１を介して互いに繋がっているミラー板１０および
支持部材１２が、第１および第２の補助部材１３Ａ，１
３Ｂの間に挟み込みまれた構造を有している。ミラー板
１０、支持部材１２および軸部１１の構成は、上記実施
形態のガルバノミラー１と同様である。ただし、ミラー
板１０の表面には、このミラー板１０の裏面の電極１５
ａ〜１５ｃと同様な配置の３つの電極１５a'〜１５c'が
設けられている。これらの電極１５a'〜１５c'は、電極
１５ａ〜１５ｃと同様にグランド接続されている。第１
の補助部材１３Ａは、ミラー板１０の正面方向から進行
してくる光が光反射面１４に入射するように、光通過用
の開口部１８を有する枠状であり、３つの電極１５a'〜
１５c'にそれぞれ対面する計３つの電極１６a'〜１６c'
を有している。これらの電極１６a'〜１６c'には、正ま
たは負の電圧を個別に印加可能である。第２の補助部材
１３Ｂは、上記実施形態のガルバノミラー１の補助部材
１３と略同様な構造を有するものである。
【００６６】上記構成のガルバノミラー１Ａにおいて
は、まず電極１６ａに電圧を印加するときには、電極１
６b'にも電圧を印加する。すると、電極１５ａ，１６ａ
間および電極１５b'，１６b'間の双方において、それら
の電極どうしを互いに接近させようとする静電力を発生
させることができる。したがって、これら２箇所の静電
力により、ミラー板１０を軸部１１の中心軸線周りの矢
印Ｎ５方向に回転させることができる。また同様に、２
つの電極１６ｂ，１６a'に同時に電圧を印加すると、電
極１６ｂ，１５ｂ間および電極１６a'，１５a'間の双方
に静電力を発生させることができ、ミラー板１０を軸部
１１の中心軸線周りの上記とは反対方向に回転させるこ
とができる。
【００６７】このように、２組の電極間に生じる静電力
を利用してミラー板１０を回転させるようにすれば、図
１および図２に示したガルバノミラー１と比較すると、
１組の電極間に生じさせる静電力は小さくて済む。この
ことは、各電極に印加する電圧値を低くできることを意
味する。また、各電極の面積を小さくできることも意味
する。したがって、このガルバノミラー１Ａにおいて
は、図１および図２に示したガルバノミラー１を用いる
場合よりも、各電極に電圧を印加するための電力供給源
の低電圧化を図ることができる。あるいは、各電極のサ
イズを小さくすることにより、ガルバノミラー全体の縦
横の寸法を小さくすることが可能となる。ただし、ガル
バノミラー全体の構造の簡素化や薄型化を図る観点から
すれば、図１および図２に示すような構成にすることが
望ましい。
【００６８】また、このガルバノミラー１Ａにおいて
は、電極１６c'に電圧を印加することによって、ミラー
板１０をその一側縁が矢印Ｎ７方向に変位させるように
回転させることができる。もちろん、電極１６ｃに電圧
を印加すれば、ミラー板１０を上記とは反対の矢印Ｎ６
方向に変位させるように回転させることができる。した
がって、このガルバノミラー１Ａにおいては、ミラー板
１０を矢印Ｎ６，Ｎ７のいずれの方向にも回転させるこ
とができる分だけ、図１および図２に示したガルバノミ
ラー１よりもミラー板１０の最大回転量を大きくするこ
ともできる。
【００６９】上記した２つのガルバノミラー１，１Ａに
おいては、静電力を利用してミラー板１０を回転させて
いるが、本願発明はこれに限定されない。本願発明にお
いては、たとえば圧電力または電磁力を発生可能な部品
をミラー板１０やこれに対向する補助部材１３，１３
Ａ，１３Ｂに設けた構成とし、この圧電力や電磁力を利
用してミラー板１０を回転させるようにしてもかまわな
い。
【００７０】図４〜図８は、本願発明に係る光ディスク
装置の第１の実施形態を示している。
【００７１】図４および図５によく表れているように、
本実施形態の光ディスク装置Ａは、光ディスクＤがスピ
ンドル７０によって水平に支持されて高速回転できるよ
うに構成されており、スライダ２および上述のガルバノ
ミラー１がサスペンション３の先端部に支持された構造
を有している。サスペンション３は、揺動アーム４の先
端部に支持されている。なお、本実施形態の光ディスク
装置Ａにおいては、ガルバノミラー１に代えて、図３に
示したガルバノミラー１Ａを用いることが可能であり、
これはガルバノミラー１を利用した後述の他の実施形態
においても同様である。
【００７２】揺動アーム４は、その基端部近傍を支持す
る軸４０がモータＭによって回転されることにより、軸
４０周りに揺動自在となっている。揺動アーム４やモー
タＭは、本願発明でいうシーク動作機構の一例を構成す
るものであり、揺動アーム４の揺動動作により、ガルバ
ノミラー１やスライダ２は、光ディスクＤの目的のトラ
ックを検出できるように、光ディスクＤの下方において
矢印Ｔｇで示す所定のトラッキング方向に往復移動可能
となっている。
【００７３】揺動アーム４の基端部上には、光源・検出
部８やミラー６１が搭載されている。光源・検出部８の
光源は、レーザ光を出射するものであり、たとえば図示
されていないレーザダイオードや、このレーザダイオー
ドから出射したレーザ光を平行光とするコリメータレン
ズを備えた構成とされている。光源・検出部８の検出部
は、光ディスクＤの記録層にビームスポットを形成した
ときに、この記録層によって反射されて戻されてくる光
を受けることにより、記録データの検出処理や、それ以
外の所定の信号の検出処理あるいは作成処理を行うよう
に構成されている。光源・検出部８の検出部には、後述
するように、トラッキングエラー検出信号およびビーム
シフト検出信号を作成するための手段が設けられてい
る。本実施形態の光ディスク装置Ａにおいては、後述す
るように、スライダ２を光ディスクＤに対して浮上させ
ることができ、かつその浮上量を高い精度で一定寸法に
維持させることができるために、フォーカス制御を行う
必要はない。本願発明においては、光源と検出部とを分
離させて設けた構成とすることもできる。
【００７４】ミラー６１は、光源・検出部８から進行し
てくるレーザ光をガルバノミラー１に向けて反射するも
のであり、本実施形態においてはその傾き角度を変更不
能な固定型のミラーとされている。このミラー６１によ
って反射されたレーザ光は、揺動アーム４やサスペンシ
ョン３が延びる方向に進行するが、このレーザ光の進行
方向が本願発明でいう第１の方向に相当し、本実施形態
においては矢印Ｔｇのトラッキング方向と交差する方向
である。
【００７５】サスペンション３は、たとえば一定方向に
延びる板バネ部材により構成されており、矢印Ｆｓで示
すフォーカス方向（本実施形態では上下方向）に可撓性
を有している。このサスペンション３は、その長手方向
に延びる両側縁部が起立した形態とされていることによ
りその剛性が高められている。
【００７６】スライダ２は、図６によく表れているよう
に、たとえば２つのレンズ２０ａ，２０ｂを組み合わせ
た対物レンズ２０を保持している。光ディスクＤ寄りの
レンズ２０ｂは、対物レンズ２０の開口数を高めるのに
好適な固体浸レンズとされている。ただし、本願発明は
これに限定されず、対物レンズに固体浸レンズが用いら
れていない構成としてもかまわない。また、対物レンズ
を１枚のレンズ、あるいはそれ以上の枚数のレンズによ
って構成してもかまわない。スライダ２は、光ディスク
Ｄが高速回転するときには、このスライダ２と光ディス
クＤとの間に空気が流れ込む作用によって光ディスクＤ
の下向きの表面から一定寸法を隔てて浮上するようにな
っている。むろん、本明細書でいう浮上とは、スライダ
が光ディスクの上方に浮く場合に限られるものではな
く、スライダが光ディスクの下方に間隔を隔てて位置す
る場合も含む意である。
【００７７】ガルバノミラー１は、ホルダ６２を介して
サスペンション３に支持されており、ミラー６１から進
行してきたレーザ光を上方に反射して対物レンズ２０に
入射させることができるように、傾斜姿勢とされ、かつ
スライダ２の直下に配されている。より具体的には、図
８によく表れているように、サスペンション３の先端部
にはホルダ６２が固定して取り付けられている（図８
は、図５〜図７とは上下関係が反対となっている）。ホ
ルダ６２は、たとえば一定方向に延びた略直方体状であ
り、その長手方向一端部には傾斜面６２ａが形成されて
いる。ガルバノミラー１は、この傾斜面６２ａに取り付
けられている。
【００７８】ホルダ６２にはピボット用の突起６２ｂが
取り付けられており、この突起６２ｂがジンバルバネ６
３の中央部分に当接している。ジンバルバネ６３の中央
部分の裏面はスライダ２に接合されているとともに、ジ
ンバルバネ６３の外周部分の一部はホルダ６２に接合さ
れている。これにより、スライダ２は、ジンバルバネ６
３を介してホルダ６２に取り付けられており、ジンバル
バネ６３の弾性変形により突起６２ｂの先端部を中心と
して種々の方向に傾斜可能となっている。
【００７９】ガルバノミラー１は、図４および図６によ
く表れているように、そのミラー板１０が水平な軸線Ｌ
１周りの矢印Ｎ２１で示す方向、および軸線Ｌ１に直交
する軸線Ｌ２周りの矢印Ｎ２２で示す方向に回転可能と
されている。軸線Ｌ１は、矢印Ｔｇのトラッキング方向
に延びているが、より正確には、ミラー６１からガルバ
ノミラー１に向けてレーザ光が進行してくる方向に対し
て直交する方向に延びた軸線である。
【００８０】光源・検出部８の検出部には、図９に示す
光電変換器８０と、図１０に示す一対の演算部８１ａ，
８１ｂとが設けられている。これらは、トラッキングエ
ラー検出信号とビームシフト検出信号とを得るためのも
のである。光電変換器８０は、光ディスクＤから反射さ
れてきた光を片面に受けるように設けられており、その
片面には、矩形状の計４つの受光部８２ａ〜８２ｄが設
けられている。これらの受光部８２ａ〜８２ｄは、所定
の基準点Ｏ１を囲むようにして、互いに直交する矢印
ｘ，ｙのそれぞれの方向に並んでいる。基準点Ｏ１は、
光源・検出部８から出射したレーザ光がガルバノミラー
１に向けて本来の適正な経路を辿る場合において、光デ
ィスクＤから反射されくる光の中心に相当する箇所であ
る。トラッキングエラーを生じているときには、光ディ
スクＤからこの光電変換器８０に戻ってくる光は、矢印
ｘ方向に位置ずれを生じることとなる。同様に、ミラー
６１からガルバノミラー１に導かれるレーザ光が、本来
の高さとは異なる高さとなっているとき（ビームシフト
が発生したとき）に光ディスクＤからこの光電変換器８
０に戻ってくる光は、矢印ｙ方向に位置ずれを生じるこ
ととなる。受光部８２ａ〜８２ｄのそれぞれは、光ディ
スクＤから戻ってきた光を受けたときに、その受光量に
対応した大きさの信号Ｓａ〜Ｓｄを出力するように構成
されている。
【００８１】図１０に示すように、受光部８２ａ〜８２
ｄから出力された信号Ｓａ〜Ｓｄは、一対の演算部８１
ａ，８１ｂに入力されるように構成されている。演算部
８１ａは、信号Ｓａ〜Ｓｄの大きさについて、（Ｓａ＋
Ｓｂ）−（Ｓｃ＋Ｓｄ）の演算処理を行うことにより、
ビームシフト検出信号を作成し、この信号を出力するよ
うに構成されている。既述したとおり、上記ビームシフ
トが生じたときには、光電変換器８０に到達する光の中
心は基準点Ｏ１に対して矢印ｙ方向に位置ずれするため
に、受光部８２ａ，８２ｂの受光量の総和と、受光部８
２ｃ，８２ｄの受光量の総和とは相違することとなる。
この相違点からビームシフトの方向および大きさを判別
し、上記ビームシフト検出信号を得ることができる。
【００８２】演算部８１ｂは、信号Ｓａ〜Ｓｄの大きさ
について、（Ｓａ＋Ｓｃ）−（Ｓｃ＋Ｓｄ）の演算処理
を行うことにより、トラッキングエラー検出信号を作成
し、この信号を出力するように構成されている。トラッ
キングが合っていないときには、光電変換器８０に到達
する光の中心は基準点Ｏ１に対して矢印ｘ方向に位置ず
れし、受光部８２ａ，８２ｃの受光量の総和と、受光部
８２ｂ，８２ｄの受光量の総和とは相違することとな
る。したがって、演算部８１ｂにおいて、上記した演算
処理を行うことにより、トラッキングエラーを引き起こ
しているレーザ光の位置ずれ方向とその位置ずれ量とを
判別することができ、上記トラッキングエラー検出信号
を得ることができる。
【００８３】この光ディスク装置Ａにおいては、図１１
に示すように、上記ビームシフト検出信号は、増幅器／
フィルタ８３ａによって増幅およびフィルタリングされ
てから、ガルバノミラー１を駆動するドライバ８３ｂに
入力されるように構成されている。ドライバ８３ｂは、
演算部８１ａから出力されるビームシフト検出信号に基
づいて、後述するようなガルバノミラー１の角度制御を
行うように構成されている。後述するように、トラッキ
ングエラー検出信号に基づいたトラッキング制御も実行
される。
【００８４】次に、上記構成の光ディスク装置Ａの作用
について説明する。
【００８５】まず、図４および図５に示すように、光源
・検出部８から出射されたレーザ光は、ミラー６１およ
びガルバノミラー１によって順次反射されることによ
り、スライダ２の対物レンズ２０に入射する。これによ
り、図６に示すように、光ディスクＤの記録層にビーム
スポットＢｓを形成することができ、たとえば磁界変調
方式や光パルス変調方式による光ディスクＤの記録層へ
のデータの書き込みが可能となる。ビームスポットＢｓ
を形成するレーザ光は、上記記録層によって反射されて
から光源・検出部８に戻される。この光に基づいて、上
記したトラッキングエラー検出信号やビームシフト検出
信号が得られる。光ディスクＤの記録データの読み取り
処理も、光源・検出部８に戻されるレーザ光を利用して
なされる。
【００８６】光ディスクＤへのデータの書込み、または
データの読み取りを行っている際において、光ディスク
Ｄに面振れが生じ、たとえば光ディスクＤが図６に示す
位置（図７の仮想線に示す位置）から図７の実線に示す
位置まで上昇すると、スライダ２やガルバノミラー１は
それに追従して上昇する。一方、ガルバノミラー１に向
けて進行するレーザ光の絶対高さは不変である。このた
め、図７に示すガルバノミラー１に対するレーザ光の中
心Ｃ３の相対的な高さは、図６に示す面振れが生じてい
ない場合のガルバノミラー１に対するレーザ光の中心Ｃ
４の相対的な高さと比較して、スライダ２やガルバノミ
ラー１の上昇寸法ｓ１と同等量だけ低くなる。
【００８７】上記した現象を生じた場合に、ガルバノミ
ラー１の角度が図６に示す元の角度のままであるとする
と、従来技術について説明したのと同様な原理によっ
て、ガルバノミラー１によって上方に反射されるレーザ
光は、図７の矢印Ｎ９方向にシフトする。これに対し、
この光ディスク装置Ａにおいては、そのような事態が発
生すると、ドライバ８３ｂの制御により、ガルバノミラ
ー１のミラー板１０は、軸線Ｌ１周りの矢印Ｎ１０方向
に直ちに回転する。すると、ミラー板１０から上方に反
射されるレーザ光は、矢印Ｎ９方向とは反対方向に振ら
れる。その結果、図７の実線に示すように、上記したレ
ーザ光のシフト現象を解消し、対物レンズ２０の中心軸
またはその近傍に対してレーザ光を適切に入射させるこ
とができるのである。このような制御は、光電変換器８
０および演算部８１ａによってビームシフト検出信号が
作成され、かつこのビームシフト検出信号がドライバ８
３ｂに入力されることによって適切に行われる。
【００８８】上記とは反対に、光ディスクＤが下降する
面振れを生じたときには、ドライバ８３ｂは、ガルバノ
ミラー１を上記矢印Ｎ１０方向とは反対方向に回転させ
る。このようにすると、上記したのと同様な原理によっ
て、対物レンズ２０の中心軸またはその近傍にレーザ光
を適切に入射させることができる。
【００８９】以上の説明から理解されるように、この光
ディスク装置Ａにおいては、光ディスクＤに面振れを生
じても、光ディスクＤの記録層上においてビームスポッ
トＢｓが上記第１の方向に不当に位置ずれしないよう
に、レーザ光の進路修正を行うことができる。ミラー板
１０は軽量であり、その回転動作性能を良好にすること
ができる。したがって、上記修正動作の高速追従性も優
れたものにすることができる。
【００９０】ガルバノミラー１を軸線Ｌ２周りに回転さ
せると、このガルバノミラー１から対物レンズ２０に向
けて進行するレーザ光をトラッキング方向に振ることが
でき、ビームスポットＢｓを同方向に位置ずれさせるこ
とができる。したがって、この光ディスク装置Ａにおい
ては、光ディスクＤへのデータの記録・再生処理を開始
するときのシーク動作については、揺動アーム４の揺動
動作によりスライダ２を移動させて行うことができる一
方、その後のトラッキング制御については、ガルバノミ
ラー１を軸線Ｌ２周りに回転させることによって行うこ
とができる。このトラッキング制御は、図９および図１
０に示した光電変換器８０と演算部８１ｂとから得られ
るトラッキングエラー検出信号に基づいて行うことがで
きる。既述したとおり、ミラー板１０は軽量であり、そ
の回転動作性能を良好にすることができるために、トラ
ッキング制御についても高速追従性に優れたものにする
ことができる。
【００９１】この光ディスク装置Ａにおいては、図８を
参照して説明したように、スライダ２はホルダ６２の突
起６２ｂを中心として種々の方向に傾斜可能であるた
め、光ディスクＤの表面に対して常に一定の姿勢を維持
するように、スライダ２の姿勢を光ディスクＤの傾斜に
追従させることもできる。一方、ガルバノミラー１およ
びホルダ６２の重量はサスペンション３によって負担さ
れており、これらの重量がスライダ２には作用しないよ
うになっている。このため、スライダ２の姿勢が変更さ
れるときの可動部分の重量を小さくし、光ディスクＤの
傾斜に対するスライダ２の追従性能も良好にすることが
可能となる。スライダ２の重心部分をホルダ６２の突起
６２ｂに対向させるようにすれば、スライダ２の重量の
バランスが良くなり、上記追従性能を一層良好にするこ
とができる。加えて、ホルダ６２の長手方向のうちその
重心が存在する部分をサスペンション３に支持させるよ
うにすれば、ホルダ６２の重量バランスもよくなり、ガ
ルバノミラー１やスライダ２を安定させるのに好ましい
ものとなる。
【００９２】図１２は、本願発明に係る光ディスク装置
の第２の実施形態の要部構造を示している。
【００９３】同図に示す構造は、ガルバノミラー１が取
り付けられたホルダ６２がサスペンション３の先端部に
固定して取り付けられている点において、図８に示した
構造と共通している。ただし、本実施形態の構造におい
ては、スライダ２がジンバルバネ６３を介してサスペン
ション３の先端部に取り付けられており、ホルダ６２の
突起６２ｂは、サスペンション３の先端部に設けられた
穴部３０に挿通してジンバルバネ６３の一部分に当接し
ている。このような構成によっても、図８に示した構造
と同様に、ガルバノミラー１やホルダ６２の重量がスラ
イダ２に作用しないようにして、スライダ２を突起６２
ｂを中心として種々の方向に傾斜させることができる。
したがって、光ディスクの傾斜に対するスライダ２の追
従性能を高めることが可能である。本願発明において
は、図８および図１２に示した構造のいずれを採用する
こともできる。むろん、本願発明においては、サスペン
ション３の先端部にミラーやスライダを支持させる手段
として、上記構造とは異なる構造を採用することが可能
である。
【００９４】図１３〜図１６は、本願発明に係る光ディ
スク装置の第３の実施形態を示している。
【００９５】図１３および図１４によく表れているよう
に、本実施形態の光ディスク装置Ａａは、サスペンショ
ン３の先端部に支持されているミラー５Ａ、およびこの
ミラー５Ａにレーザ光を導くミラー５Ｂが、いずれも１
軸回転型のガルバノミラーとされた構成を有している。
【００９６】１軸回転型のガルバノミラーの構造自体は
従来より既知であり、たとえば図１６に示すような構造
を有している。同図に示すガルバノミラーは、光反射面
１４を有するミラー板１０が、２本の軸部１１ａ，１１
ｂを介して支持部材１２に両端支持状態に支持されてい
る。ミラー板１０は、その裏面および補助部材１３の表
面に設けられた電極１５ａ，１６ａ間または電極１５
ｂ，１６ｂ間において発生される静電力によって軸部１
１ａ，１１ｂの中心軸線Ｌａ周りに回転できるようにな
っている。ミラー板１０は、両端支持状態にあるため、
上記した回転方向とは異なる方向への回転動作は不可能
である。
【００９７】図１３〜図１５に示すように、ミラー５Ａ
は、矢印Ｔｇのトラッキング方向に延びる水平な軸線Ｌ
１周りの矢印Ｎ２１方向に回転可能とされている。これ
に対して、ミラー５Ｂは、フォーカス方向に延びる軸線
Ｌ３周りの矢印Ｎ２３方向に回転可能とされている。
【００９８】上記構成の光ディスク装置Ａａにおいて
は、スライダ２およびミラー５Ａが光ディスクＤの面振
れに追従して上昇または下降し、ミラー５Ａに向けて進
行するレーザ光のミラー５Ａに対する相対的な高さが変
動するときには、ミラー５Ａを軸線Ｌ１周りの矢印Ｎ２
１方向に回転させる。これにより、ミラー５Ａから対物
レンズ２０に向けて進行するレーザ光を、上記トラッキ
ング方向とは交差する方向、すなわちこのミラー５Ａに
向けてレーザ光が進行してくる方向に振り、対物レンズ
２０に対して適切に入射させることができる。一方、ミ
ラー５Ｂを軸線Ｌ３周りの矢印Ｎ２３方向に回転させれ
ば、ミラー５Ｂからミラー５Ａに向かうレーザ光の進路
が所定のトラッキング方向に位置ずれし、ビームスポッ
トＢｓをそのトラッキング方向に変位させることができ
る。したがって、このミラー５Ｂの回転動作により、ト
ラッキング制御を適切に行うことができる。
【００９９】図１７は、本願発明に係る光ディスク装置
の第４の実施形態を示している。
【０１００】本実施形態の光ディスク装置Ａｂは、ミラ
ー５Ａにレーザ光を導くためのミラー５Ｃが固定ミラー
とされており、この点において、上記の第３の実施形態
とはその構成が相違している。このような構成において
も、ミラー５Ａを軸線Ｌ１周りの矢印Ｎ２１方向に回転
させることにより、光ディスクＤの面振れに対応したレ
ーザ光の進路補正を行うことが可能であり、本願発明の
目的を達成することができる。トラッキング制御につい
ては、揺動アーム４を揺動させる手段、あるいは先に説
明した従来技術と同様に、トラッキング制御を行うため
の専用の微動アクチュエータをサスペンションの先端部
に設けるといった手段を採用して行うことが可能であ
る。なお、本実施形態や上記第１の実施形態のように、
光源から発せられたレーザ光をサスペンションに支持さ
れたミラーにレーザ光を導くためのミラーを固定型ミラ
ーとする場合には、そのような構成に代えて、固定型ミ
ラーを用いることなく、光源から出射したレーザ光を直
接サスペンションに支持されたミラーに導くようにして
もかまわない。
【０１０１】図１８〜図２０は、本願発明に係る光ディ
スク装置の第５の実施形態を示している。
【０１０２】本実施形態の光ディスク装置Ａｃは、サス
ペンション３の先端部に支持されているミラー５Ｄが、
傾斜角度の変更が不能な固定型のミラーとされている。
これに対し、このミラー５Ｄにレーザ光を導くためのミ
ラーとしては、上述した２軸回転型のガルバノミラー１
が用いられている。
【０１０３】ミラー５Ｄは、図２０によく表れているよ
うに、たとえば三角プリズム５０の斜面を光の全反射が
可能な光反射面５０ａとして構成されたものであり、適
当なホルダ６２Ａに支持されている。ただし、本願発明
においては、このようなプリズムを利用したミラーに代
えて、たとえば金属膜などを有する平板状のミラーを用
いてもよい。図１８および図１９によく表れているよう
に、ガルバノミラー１は、光源・検出部８から出射され
たレーザ光をミラー５Ｄに向けて反射するように揺動ア
ーム４上に搭載されている。このガルバノミラー１は、
軸線Ｌ３，Ｌ４周りの矢印Ｎ２３，Ｎ２４の方向にミラ
ー板１０が回転可能なものであり、このガルバノミラー
１からミラー５Ｄに向かうレーザ光の進路をフォーカス
方向および所定のトラッキング方向に変化させることが
できるようになっている。
【０１０４】上記構成の光ディスク装置Ａｃにおいて
は、図２０に示す状態から光ディスクＤがたとえば上昇
する方向に面振れし、スライダ２やミラー５Ｄがこれに
追随して上昇するときには、ガルバノミラー１のミラー
板１０を軸線Ｌ４周りの所定方向に回転させる。これに
より、このガルバノミラー１からミラー５Ｄに向けて進
行するレーザ光を、同図の仮想線に示すように，上方に
振ることができる。このようにすれば、ミラー５Ｄが上
昇しても、ミラー５Ｄの一定高さ部分にレーザ光を入射
させることができ、ミラー５Ｄにより反射されるレーザ
光を対物レンズ２０に適切に入射させることが可能とな
る。上記とは反対に、スライダ２やミラー５Ｄが下降す
るときには、ガルバノミラー１のミラー板１０を軸線Ｌ
４周りの上記とは反対方向に回転させることによりミラ
ー５Ｄに向かうレーザ光を下方に振る。これにより、ミ
ラー５Ｄの一定高さ部分にレーザ光を入射させることが
でき、やはりレーザ光を対物レンズ２０に適切に入射さ
せることができる。
【０１０５】また、この光ディスク装置Ａｃにおいて
は、ガルバノミラー１のミラー板１０を軸線Ｌ３周りの
矢印Ｎ２３方向に回転させることにより、このガルバノ
ミラー１からミラー５Ｄに向けて進行するレーザ光をト
ラッキング方向に振ると、ミラー５Ｄから対物レンズ２
０に向かうレーザ光の進路もそれと同方向に振れる。こ
のようにすると、光ディスクＤの記録層上に形成される
ビームスポットＢｓを所定のトラッキング方向に変位さ
せることができる。したがって、ガルバノミラー１を利
用することにより、高速追従性に優れた高精度なトラッ
キング制御を行うことも可能となる。
【０１０６】図２１および図２２は、本願発明に係る光
ディスク装置の第６の実施形態を示している。
【０１０７】本実施形態の光ディスク装置Ａｄは、サス
ペンション３に支持されたミラー５Ｅと、このミラー５
Ｅにレーザ光を導くミラー５Ｆとのいずれもが、図１６
に示したような１軸回転型のガルバノミラーとされてい
る。ミラー５Ｅは、軸線Ｌ２周りの矢印Ｎ２２方向に回
転可能であり、レーザ光の反射方向をトラッキング方向
に変化させることができるように設けられている。ミラ
ー５Ｆは、軸線Ｌ４周りの矢印Ｎ２４方向に回転可能で
あり、レーザ光の反射方向をフォーカス方向に変化させ
ることができるように設けられている。
【０１０８】このような構成の光ディスク装置Ａｄにお
いては、光ディスクＤに面振れを生じるときには、ミラ
ー５Ｆを回転させて、このミラー５Ｆからミラー５Ｅに
向けて進行するレーザ光の高さを変更する。これによ
り、ミラー５Ｅの一定高さ部分にレーザ光を入射させる
ことができる。一方、ミラー５Ｅを回転させれば、この
ミラー５Ｅから対物レンズ２０に入射するレーザ光を所
定のトラッキング方向にずらせることができ、トラッキ
ング制御が可能となる。このように、この光ディスク装
置Ａｄにおいても、ミラーの動作を利用して、面振れに
対応するレーザ光の進路修正とトラッキング制御とを行
うことができる。
【０１０９】図２３は、本願発明に係る光ディスク装置
の第７の実施形態を示している。
【０１１０】本実施形態の光ディスク装置Ａｅは、サス
ペンション３に支持されたミラー５Ｇは、固定型のミラ
ーとされているとともに、このミラー５Ｇにレーザ光を
導くミラー５Ｈは、１軸回転型のガルバノミラーとされ
ている。このミラー５Ｈは、上記第６の実施形態と同様
に、軸線Ｌ４周りの矢印Ｎ２４方向に回転可能である。
このような構成においても、ミラー５Ｈを上記方向に回
転させることにより、ミラー５Ｇに向かうレーザ光をフ
ォーカス方向に振ることができるために、光ディスクＤ
の面振れが生じた場合においても、対物レンズ２０にレ
ーザ光が適切に入射できるようにレーザ光の進路修正を
行うことが可能である。
【０１１１】図２４〜図２６は、本願発明に係る光ディ
スク装置の第８の実施形態を示している。
【０１１２】本実施形態の光ディスク装置Ａｆは、いわ
ゆる直進型のシーク動作機構が採用されたものである。
この光ディスク装置Ａｆにおいては、サスペンション３
の基端部がトラッキング方向に移動自在なキャリッジ７
に支持されている。キャリッジ７は、図２６によく表れ
ているように、トラッキング方向に延びる２本のガイド
部材７０によってその長手方向に移動可能に支持されて
おり、ボイスコイルモータＶＣＭによってトラッキング
方向への駆動力が付与されるように構成されている。ボ
イスコイルモータＶＣＭは、キャリッジ７の幅方向両端
に設けられたコイル７１と、このコイル７１を貫通して
トラッキング方向に延びるヨーク７２とを具備して構成
されている。
【０１１３】サスペンション３の先端部には、スライダ
２、ミラー５Ｉ、および光電変換器８０Ａが設けられて
いる。ミラー５Ｉは、１軸回転型のガルバノミラーであ
り、図２４の軸線Ｌ１周りの矢印Ｎ２１方向に回転可能
である。光源・検出部８から出射されたレーザ光は、固
定型のミラー５Ｊを介してミラー５Ｉに向けて進行する
ようになっている。このミラー５Ｉによって上向きに反
射されたレーザ光がスライダ２の対物レンズ２０に入射
する点については、既述の実施形態と同様である。この
光ディスク装置Ａｆにおいては、ミラー５Ｊからミラー
５Ｉに導かれるレーザ光の進行方向（本願発明でいう第
１の方向）が、スライダ２のシーク動作方向であるトラ
ッキング方向と一致している。したがって、本実施形態
においては、ミラー５Ｊからミラー５Ｉに向けてのレー
ザ光がフォーカス方向にシフトすると、ミラー５Ｉから
対物レンズ２０に向かうレーザ光のシフト方向は、トラ
ッキング方向となる。
【０１１４】光電変換器８０Ａは、サスペンション３の
先端部に固定して支持されており、ミラー５Ｉの側方に
配されている。図２７に示すように、この光電変換器８
０Ａは、透光部としての孔８５を有しており、ミラー５
Ｊからこの光電変換器８０Ａに向けて進行してきたレー
ザ光は、この孔８５を通過することによってミラー５Ｉ
に到達するようになっている。孔８５の直径ｄ１は、光
ディスクＤに対するデータの書込みなどに必要な光束径
のレーザ光を通過させ得る寸法とされている。光電変換
器８０のミラー５Ｊに対向する片面には、孔８５を囲む
ようにして上下に配置された矩形状の２つの受光部８４
ａ，８４ｂが設けられている。これらの受光部８４ａ，
８４ｂは、光を受けるとその受光量に対応した大きさの
信号Ｓ１，Ｓ２を出力する。この光電変換器８０Ａに向
けて進行してくるレーザ光の中心が、孔８５の中心に一
致した場合には、信号Ｓ１，Ｓ２の大きさは等しい。こ
れに対し、上記レーザ光がフォーカス方向にシフトし、
上記中心どうしがフォーカス方向に位置ずれした場合に
は、信号Ｓ１，Ｓ２の大きさに差が生じることとなる。
【０１１５】図２４に示されている光源・検出部８の検
出部には、図２８に示すような演算部８１ｃが設けられ
ている。この演算部８１ｃは、光電変換器８０Ａから出
力された信号Ｓ１，Ｓ２の大きさの差を演算することに
より、ビームシフト検出信号を作成し、これを出力する
ものである。信号Ｓ１，Ｓ２の大きさの差を演算すれ
ば、孔８５の中心に対してレーザ光の中心が上下いずれ
の方向にシフトしているか、およびそのシフト量はいず
れであるのかを判断することが可能である。
【０１１６】この光ディスク装置Ａｆにおいては、図２
９に示すように、上記ビームシフト検出信号は、増幅器
／フィルタ８６ａによって増幅およびフィルタリングさ
れてから、演算部８６ｂに入力されるように構成されて
る。ただし、この演算部８６ｂには、光ディスクＤから
の反射光に基づいて別途得られるトラッキングエラー検
出信号も入力される。この場合のトラッキングエラー検
出信号は、従来既知の手法により、あるいは図９および
図１０を参照して説明したのと同様な手法により得るこ
とができる。演算部８１ｃにおいては、フォーカス方向
へのビームシフトをも考慮したトラッキング制御のため
の修正方向および修正量が演算されることとなり、その
信号がミラー５Ｉの角度制御を行うためのドライバ８６
ｃに入力される。このドライバ８６ｃは、上記信号に基
づき、トラッキングエラーを解消するようにミラー５Ｉ
の角度を制御するように構成されている。
【０１１７】上記構成の光ディスク装置Ａｆにおいて
は、ミラー５Ｉを軸線Ｌ１周りの矢印Ｎ２１方向に回転
させることにより、上記第１の実施形態などと同様に、
このミラー５Ｉから対物レンズ２０に入射するレーザ光
の進路を、このミラー５Ｉに向けてレーザ光が進行する
方向に変化させることができる。したがって、光ディス
クＤの面振れに起因して、光ディスクＤの記録層上の所
望箇所にビームスポットが適切に形成されなくなるとい
った事態を生じないようにすることができる。ミラー５
Ｉの回転動作によって光ディスクＤに向かうレーザ光の
進路が変化する方向は、トラッキング方向に一致してい
るため、上記ミラー５Ｉの回転動作によってトラッキン
グ制御を併せて行うこともできる。この光ディスク装置
Ａｆにおいては、ボイスコイルモータＶＣＭの駆動力に
よってキャリッジ７をトラッキング方向に移動させるこ
とにより、シーク動作を行わせることができるととも
に、その後はミラー５Ｉの回転動作により、トラッキン
グ制御と面振れに対応したレーザ光の進路修正とを合理
的に行うことが可能となる。
【０１１８】上記実施形態から理解されるように、本願
発明は、揺動アームを利用してスライダ２をトラッキン
グ方向に揺動させるタイプの光ディスク装置のみなら
ず、スライダ２をトラッキング方向に直進往復動させる
タイプの光ディスク装置にも適用することができる。し
たがって、本願発明においては、たとえば図２４〜図２
６に示した構造の光ディスク装置において、ミラー５Ｉ
を固定ミラーとするとともに、ミラー５Ｊをガルバノミ
ラーとすることにより、ミラー５Ｊからミラー５Ｉに向
かうレーザ光の進路をフォーカス方向に変化させること
が可能な構成とすることもできる。このような構成によ
っても、ミラー５Ｊの回転動作により、トラッキング制
御と面振れに対応したレーザ光の進路修正とを併せて行
うことができる。
【０１１９】図２７に示した構造の光電変換器８０Ａ、
またはこの光電変換器８０Ａと図２８に示した演算部８
１ｃとの組み合わせは、シーク動作機構がいわゆる直進
型である場合（後述の第９実施形態のものも含む）に限
らず、揺動アーム型である場合にも、ビームシフト検出
に用いることができる。
【０１２０】図３０〜図３３は、本願発明に係る光ディ
スク装置の第９の実施形態を示している。
【０１２１】本実施形態の光ディスク装置Ａｇは、キャ
リッジ７に関連する構造が上記第８の実施形態とは相違
しており、サスペンション３やサスペンション３に支持
されたスライダ２などを微動させるための機構を有して
いる。より具体的には、図３１および図３２によく表れ
ているように、この光ディスク装置Ａｇは、サスペンシ
ョン３の基端部が、ボイスコイルモータＶＣＭのコイル
７１を備えた支持部材７３に支持板７３ａを介して取り
付けられた構造とされている。支持部材７３のトラッキ
ング方向の前端および後端は、キャリッジ７の底部から
上方に立ち上がった２枚の板バネ７４ａ，７４ｂの上端
に支持されている。これら２枚の板バネ７４ａ，７４ｂ
は、トラッキング方向に撓み変形可能であり、これらの
下端部はたとえばキャリッジ７の底部に固定して取り付
けられた固定板７６によって支持されている。キャリッ
ジ７は、支持部材７３や２枚の板バネ７４ａ，７４ｂを
内部に収容可能なボックス状またはそれに近い形態とさ
れており、トラッキング方向において板バネ７４ａ，７
４ｂを挟み、かつこれら板バネ７４ａ，７４ｂとの間に
適当な隙間ｓ２，ｓ３を介して対面する前壁部７５ａお
よび後壁部７５ｂを有している。サスペンション３に支
持されているミラー５Ｋは、たとえば三角プリズムを利
用した固定型のミラーとされている。
【０１２２】このような構成の光ディスク装置Ａｇにお
いては、ボイスコイルモータＶＣＭを駆動させることに
より、支持部材７３およびサスペンション３を、次に述
べる２種類の態様でトラッキング方向に移動させること
ができる。すなわち、第１の態様は、２枚の板バネ７４
ａ，７４ｂに撓み変形を生じさせながら、たとえば図３
３に示すように、板バネ７４ａ，７４ｂの各上端がキャ
リッジ７の前壁部７５ａおよび後壁部７５ｂのいずれか
に当接するまで支持部材７３を移動させる態様である。
この第１の態様においては、支持部材７３を隙間ｓ２，
ｓ３の範囲内において微動させることが可能であり、キ
ャリッジ７は移動しない。したがって、キャリッジ７を
移動させない分だけ、可動部分を軽量にすることがで
き、ボイスコイルモータＶＣＭの駆動に対する支持部材
７３の応答性や移動速度を高めることができる。
【０１２３】第２の態様は、たとえば図３３に示すよう
に、板バネ７４ａの上端を前壁部７５ａに当接させた状
態において、この板バネ７４ａおよび支持部材７３によ
ってキャリッジ７を押圧することにより、支持部材７３
をキャリッジ７とともに移動させる態様である。もちろ
ん、板バネ７４ｂの上端を後壁部７５ｂに当接させるこ
とにより、上記とは反対方向に支持部材７３およびキャ
リッジ７を移動させることもできる。このような第２の
態様においては、ガイド部材７０によってガイトされた
キャリッジ７とともに支持部材７３を移動させるため
に、この支持部材７３をトラッキング方向の長い距離に
わたって安定させて移動させることができる。
【０１２４】この光ディスク装置Ａｇにおいては、支持
部材７３を上記した第２の態様でトラッキング方向に移
動させることによって、スライダ２およびミラー５Ｋを
トラッキング方向に移動させて、シーク動作を適切に行
わせることが可能である。また、支持部材７３を上記し
た第１の態様でトラッキング方向に微動させることによ
って、スライダ２およびミラー５Ｋをトラッキング方向
に微動させることができるために、高速追従性に優れた
トラッキング制御が可能である。この光ディスク装置Ａ
ｇにおいては、既述した実施形態の光ディスク装置とは
異なり、光ディスクＤに面振れが発生することに起因し
て、ミラー５Ｋによって反射されたレーザ光が対物レン
ズ２０から外れてしまうほどレーザ光がシフトする場合
には、支持部材７３をトラッキング方向に微動させるこ
とによってこれを解消することはできない。支持部材７
３をトラッキング方向に移動させても、ミラー５Ｋから
対物レンズ２０に向かうレーザ光の向きは一定だからで
ある。しかし、レーザ光のシフト量が小さく、光ディス
クＤの面振れに起因して単なるトラッキングエラーを生
じるに過ぎない場合には、トラッキングエラー検出信号
に基づく支持部材７３の微動動作によりビームスポット
Ｂｓをトラッキング方向に変位させることができるため
に、このエラーを無くすことができる。したがって、こ
の光ディスク装置Ａｇにおいては、このような意味にお
いて光ディスクの面振れに対応したレーザ光の進路補正
を行うことができる。
【０１２５】また、この光ディスク装置Ａｇにおいて
は、支持部材７３についての上記第１および第２の態様
の移動動作のいずれについても、ボイスコイルモータＶ
ＣＭの駆動力を利用して行わせている。したがって、ボ
イスコイルモータＶＣＭとは別個の駆動源を用いて支持
部材７３を微動させる場合と比較すると、光ディスク装
置の構造が合理的となり、構造の簡素化を図ることが可
能となる。ただし、本願発明においては、光ディスクＤ
の面振れに対応するレーザ光の進路修正を行うための微
動アクチュエータをボイスコイルモータＶＣＭとは別個
に設けた構成としてもかまわない。微動アクチュエータ
としては、たとえば図３７に示した従来技術（特開平１
１−２１３４１９号公報）において用いられている公知
の微動アクチュエータと同様な構造のものを用いること
が可能である。ただし、本願発明において微動アクチュ
エータを用いる場合には、サスペンションにより支持さ
れたミラーから対物レンズに向けて進行するレーザ光
を、そのミラーに向かうレーザ光の進行方向にシフトす
ることができるように設ける必要があり、従来技術にお
ける微動アクチュエータとは、その動作方向を相違させ
る必要がある。
【０１２６】図３４および図３５は、本願発明に係る光
ディスク装置の第１０の実施形態を示している。
【０１２７】本実施形態においては、サスペンション３
が２枚の板バネ３１ａ，３１ｂを用いて構成されてい
る。より具体的には、板バネ３１ａ，３１ｂは、その長
手方向に延びる両側縁部に起立部が設けられていない薄
板状とされており、これらの先端部間には、ミラー５Ｌ
を保持するホルダ６２が挟み込まれている。ホルダ６２
に設けられたピボット用の突起６２ｂは、板バネ３１ｂ
の穴部３２に挿通しており、この突起６２ｂの先端部に
ジンバルバネ６３が取り付けられ、さらにはこのジンバ
ルバネ６３にスライダ２が取り付けられている。板バネ
３１ａ，３１ｂの基端部間には、スペーサ３３が挟み込
まれている。これにより、板バネ３１ａ，３１ｂどうし
は互いに適当な間隔を隔てて平行または略平行となって
いる。
【０１２８】上記構成によれば、２枚の板バネ３１ａ，
３１ｂを互いに間隔を隔てるようにして組み合わせてい
るために、サスペンション３のフォーカス方向への撓み
変形機能を大きく損なうことなく、たとえばそれらの幅
方向への曲げ剛性を大きくすることが可能となる。した
がって、サスペンション３を移動させたときにこのサス
ペンション３に不当な振動を生じ難くすることができ、
サスペンション３の先端部に支持されたミラー５Ｌやス
ライダ２を安定させるのに好適となる。
【０１２９】本願発明に係る光ディスク装置およびガル
バノミラーの各部の具体的な構成は、上述した実施形態
以外にも種々に設計変更自在である。たとえば、従来技
術として説明した光ディスク装置と同様に、スライダを
光ディスクの上方に配置させてもかまわない。
【０１３０】
【発明の効果】以上説明したように、本願発明に係る光
ディスク装置によれば、光ディスクに面振れが生じて
も、これに起因して対物レンズへのレーザ光の入射が不
適切にならないようにしたり、あるいは面振れに起因す
るビームスポットの位置ずれを修正することができ、光
ディスクへのデータの書き込みや読み出しを適切に行わ
せることが可能となる。また、本願発明に係るガルバノ
ミラーは、本願発明に係る光ディスク装置の部品として
好適に利用することができる。とくに、このガルバノミ
ラーは、受けたレーザ光の反射方向を２種類の方向に変
化させることができるために、たとえば揺動アームを備
えた光ディスク装置において、トラッキング制御と光デ
ィスクの面振れに対応するレーザ光の進路修正とを併せ
て行うのに最適となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明に係るガルバノミラーの一例を示す断
面図である。
【図２】図１に示すガルバノミラーの分解斜視図であ
る。
【図３】本願発明に係るガルバノミラーの他の例を示す
断面図である。
【図４】本願発明に係る光ディスク装置の第１の実施形
態を示す概略平面図である。
【図５】図４の概略側面図である。
【図６】図５の要部拡大断面図である。
【図７】図６に示す構造の動作説明図である。
【図８】図６に示す構造の分解斜視図である。
【図９】（ａ）は、光源・検出部の光電変換器を示す側
面図であり、（ｂ）は、その正面図である。
【図１０】信号作成回路のブロック図である。
【図１１】制御系の具体例を示すブロック図である。
【図１２】本願発明に係る光ディスク装置の第２の実施
形態の要部構造を示す分解斜視図である。
【図１３】本願発明に係る光ディスク装置の第３の実施
形態を示す概略平面図である。
【図１４】図１３の概略側面図である。
【図１５】図１４の要部拡大断面図である。
【図１６】図１３および図１４に示す光ディスク装置に
用いられている１軸回転型のガルバノミラーの分解斜視
図である。
【図１７】本願発明に係る光ディスク装置の第４の実施
形態を示す概略平面図である。
【図１８】本願発明に係る光ディスク装置の第５の実施
形態を示す概略平面図である。
【図１９】図１８の概略側面図である。
【図２０】図１９の要部拡大断面図である。
【図２１】本願発明に係る光ディスク装置の第６の実施
形態を示す概略平面図である。
【図２２】図２１の概略側面図である。
【図２３】本願発明に係る光ディスク装置の第７の実施
形態を示す概略平面図である。
【図２４】本願発明に係る光ディスク装置の第８の実施
形態を示す概略平面図である。
【図２５】図２４の概略側面図である。
【図２６】図２４および図２５の要部側面図である。
【図２７】（ａ）は、光電変換器を示す側面図であり、
（ｂ）は、その正面図である。
【図２８】信号作成回路のブロック図である。
【図２９】制御系の具体例を示すブロック図である。
【図３０】本願発明に係る光ディスク装置の第９の実施
形態を示す要部斜視図である。
【図３１】図３０の一部断面斜視図である。
【図３２】図３０の要部側面断面図である。
【図３３】図３２に示す構造の動作説明図である。
【図３４】本願発明に係る光ディスク装置の第１０の実
施形態を示す要部斜視図である。
【図３５】図３４の分解斜視図である。
【図３６】従来技術の平面図である。
【図３７】従来技術の側面図である。
【図３８】従来技術の作用説明図である。
【符号の説明】
Ａ，Ａａ〜Ａｇ 光ディスク装置 Ｄ 光ディスク Ｂｓ ビームスポット １，１Ａ ガルバノミラー ２ スライダ ３ サスペンション ４ 揺動アーム ５Ａ〜５Ｌ ミラー ７ キャリッジ ８ 光源・検出部 １０ ミラー板 １１ 軸部 １２ 支持部材 １３ 補助部材 １５ａ〜１５ｃ 電極 １６ａ〜１６ｃ 電極 ２０ 対物レンズ ４０ 軸 ６１ ミラー ６２ ホルダ ６３ ジンバルバネ ７３ 支持部材 ７４ａ，７４ｂ 板バネ ８０，８０Ａ 光電変換器 ８１ａ〜８１ｃ 演算部
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 21/21 １０１ Ｇ１１Ｂ 21/21 １０１Ｚ Ｆターム(参考） 5D059 AA07 BA01 CA08 DA01 EA02 EA03 5D118 AA16 BA01 CD02 CD03 CD06 CF03 CF05 CG38 CG39 DC07 EA02 EA08 EB02 EB03 FA33 FC04 5D119 AA28 BA01 CA05 EA02 EA03 EA10 EC16 EC20 JA52 JC04 KA17 KA19 MA05 MA06

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 対物レンズを保持しており、かつ光ディ
    スクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部に支
    持されているスライダと、 このスライダに対してフォーカス方向に重なるようにし
    て上記サスペンションの先端部に支持されており、かつ
    光源から上記フォーカス方向と交差する第１の方向に進
    行してきたレーザ光を上記対物レンズに入射させるよう
    に上記フォーカス方向に反射するミラーと、 このミラーおよび上記スライダをトラッキング方向に移
    動させるように上記サスペンションを移動させるシーク
    動作機構と、 を具備している、光ディスク装置であって、 上記ミラーは、上記レーザ光の反射方向を上記第１の方
    向に変化させることができるように角度変更自在である
    ことを特徴とする、光ディスク装置。
  2. 【請求項２】 上記ミラーは、上記レーザ光の反射方向
    を上記第１の方向に交差する第２の方向にも変化させる
    ことが可能に互いに交差する２軸周りに角度変更自在で
    ある、請求項１に記載の光ディスク装置。
  3. 【請求項３】 上記光源から上記ミラーに至るまでの光
    路には、上記光源から進行してきたレーザ光を受けてか
    ら上記ミラーに向けて反射する他のミラーが設けられて
    おり、かつ、 この他のミラーは、この他のミラーによる上記レーザ光
    の反射方向を上記第１の方向に交差する第２の方向に変
    化させることが可能に角度変更自在である、請求項１に
    記載の光ディスク装置。
  4. 【請求項４】 対物レンズを保持しており、かつ光ディ
    スクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部に支
    持されているスライダと、 このスライダに対してフォーカス方向に重なるようにし
    て上記サスペンションの先端部に支持されており、かつ
    光源から上記フォーカス方向と交差する第１の方向に進
    行してきたレーザ光を上記対物レンズに入射させるよう
    に上記フォーカス方向に反射する第１のミラーと、 この第１のミラーおよび上記スライダをトラッキング方
    向に移動させるように上記サスペンションを移動させる
    シーク動作機構と、 を具備している、光ディスク装置であって、 上記光源から上記第１のミラーに至るまでの光路には、
    上記光源から進行してきたレーザ光を受けてから上記第
    １のミラーに向けて反射する第２のミラーが設けられて
    おり、かつ、 この第２のミラーは、この第２のミラーによる上記レー
    ザ光の反射方向を上記フォーカス方向に変化させること
    が可能に角度変更自在であることを特徴とする、光ディ
    スク装置。
  5. 【請求項５】 上記第２のミラーは、この第２のミラー
    による上記レーザ光の反射方向を上記第１の方向に交差
    する第２の方向にも変化させることが可能に互いに交差
    する２軸周りに角度変更自在である、請求項４に記載の
    光ディスク装置。
  6. 【請求項６】 上記第１のミラーは、この第１のミラー
    による上記レーザ光の反射方向を上記第１の方向に交差
    する第２の方向に変化させることが可能に角度変更自在
    である、請求項４に記載の光ディスク装置。
  7. 【請求項７】 上記シーク動作機構は、上記サスペンシ
    ョンの基端部を支持して上記トラッキング方向に揺動さ
    せる揺動アームを具備して構成されているとともに、上
    記第１の方向は、上記トラッキング方向と交差する方向
    とされている、請求項１ないし６のいずれかに記載の光
    ディスク装置。
  8. 【請求項８】 上記光ディスクによって反射されてから
    一定の経路で戻されてきた反射光を受ける検出部を有し
    ており、かつ、 この検出部は、上記反射光の復帰経路が所定の基準位置
    に対して上記トラッキング方向および上記第１の方向の
    それぞれに対応する方向に位置ずれしているときに、そ
    れらの位置ずれ方向および位置ずれ量に対応するトラッ
    キングエラー検出信号およびビームシフト検出信号を出
    力するように構成されている、請求項７に記載の光ディ
    スク装置。
  9. 【請求項９】 上記検出部には、光電変換器と演算手段
    とが具備されており、かつ、 上記光電変換器は、上記基準位置を中心として上記トラ
    ッキング方向および上記第１の方向のそれぞれに対応す
    る方向に互いに位置ずれするように配列された少なくと
    も４つの受光部を有するとともに、これらの受光部のそ
    れぞれが上記反射光を受けたときにはそれらの各受光量
    に対応した信号を出力するように構成されており、 上記演算手段は、上記トラッキング方向に対応する方向
    に位置ずれしている複数の受光部のそれぞれから出力さ
    れる信号の差に基づいて上記トラッキングエラー検出信
    号を得るとともに、上記第１の方向に対応する方向に位
    置ずれしている複数の受光部のそれぞれから出力される
    信号の差に基づいて上記ビームシフト検出信号を得るよ
    うに構成されている、請求項８に記載の光ディスク装
    置。
  10. 【請求項１０】 上記シーク動作機構は、上記サスペン
    ションを上記トラッキング方向に往復直進動作させるよ
    うに構成されており、かつ上記第１の方向は、上記トラ
    ッキング方向と一致している、請求項１ないし６のいず
    れかに記載の光ディスク装置。
  11. 【請求項１１】 上記サスペンションには、光電変換器
    が設けられており、かつ、 この光電変換器は、上記光源から上記サスペンションに
    支持されているミラーに向けて進行するレーザ光を透過
    させる透光部を有するとともに、上記レーザ光が上記透
    光部に対して上記フォーカス方向に位置ずれしたときに
    は、その位置ずれしたレーザ光を受光することによって
    その位置ずれ方向および位置ずれ量に対応する信号を出
    力するように構成されている、請求項１ないし７、およ
    び請求項１０のいずれかに記載の光ディスク装置。
  12. 【請求項１２】 上記光電変換器は、上記透光部を囲む
    ようにして上記フォーカス方向に並ぶ少なくとも２つの
    受光部を具備しており、かつこれら受光部のそれぞれが
    上記レーザ光を受けたときには、その受光量に対応した
    信号が個々に出力されるように構成されている、請求項
    １１に記載の光ディスク装置。
  13. 【請求項１３】 演算手段をさらに具備しており、かつ
    この演算手段は、上記少なくとも２つの受光部のそれぞ
    れから出力される信号の差に基づいてビームシフト検出
    信号を得るように構成されている、請求項１２に記載の
    光ディスク装置。
  14. 【請求項１４】 対物レンズを保持しており、かつ光デ
    ィスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部に
    支持されているスライダと、 このスライダに対してフォーカス方向に重なるようにし
    て上記サスペンションの先端部に支持されており、かつ
    光源から上記フォーカス方向と交差する第１の方向に進
    行してきたレーザ光を上記対物レンズに入射させるよう
    に上記フォーカス方向に反射するミラーと、 このミラーおよび上記スライダをトラッキング方向に移
    動させるように上記サスペンションを移動させるシーク
    動作機構と、 を具備している、光ディスク装置であって、 少なくとも上記スライダおよび上記ミラーを、上記第１
    の方向に微動させることが可能な微動動作手段を備えて
    いることを特徴とする、光ディスク装置。
  15. 【請求項１５】 上記シーク動作機構は、上記サスペン
    ションの基端部を支持する支持部材と、この支持部材を
    支持し、かつ上記トラッキング方向に延びるガイド部材
    に沿って移動可能なキャリッジと、このキャリッジを上
    記ガイド部材に沿って往復動作させるための駆動力を発
    生させるボイスコイルモータとを具備して構成されてお
    り、かつ、 上記微動動作手段は、上記ボイスコイルモータの駆動力
    によって上記支持部材を上記キャリッジに相対させて移
    動可能とする機構である、請求項１４に記載の光ディス
    ク装置。
  16. 【請求項１６】 上記サスペンションの先端部には、ミ
    ラー保持用のホルダが取り付けられているとともに、上
    記スライダは、上記ホルダに対する姿勢が変更可能にジ
    ンバルバネを介して上記ホルダまたは上記サスペンショ
    ンに取り付けられている、請求項１ないし１５のいずれ
    かに記載の光ディスク装置。
  17. 【請求項１７】 上記サスペンションは、２枚の板バネ
    がそれらの厚み方向に間隔を隔てて重ね合わされたもの
    である、請求項１ないし１６のいずれかに記載の光ディ
    スク装置。
  18. 【請求項１８】 対物レンズを保持しており、かつ光デ
    ィスクに対面して浮上可能にサスペンションの先端部に
    支持されているスライダと、 このスライダに対してフォーカス方向に重なるようにし
    て上記サスペンションの先端部に支持されており、かつ
    光源から上記フォーカス方向と交差する第１の方向に進
    行してきたレーザ光を上記対物レンズに入射させるよう
    に上記フォーカス方向に反射するミラーと、 このミラーおよび上記スライダをトラッキング方向に移
    動させるように上記サスペンションを移動させるシーク
    動作機構と、 を具備している、光ディスク装置であって、 上記サスペンションの先端部に取り付けられ、かつ上記
    ミラーを保持するホルダを具備しているとともに、 上記スライダは、上記ホルダに対する姿勢が変更可能に
    上記ホルダまたは上記サスペンションにジンバルバネを
    介して取り付けられていることを特徴とする、光ディス
    ク装置。
  19. 【請求項１９】 光反射面を有するミラー板と、 このミラー板に一端が繋がっている軸部と、 この軸部を介して上記ミラー板を片もち状に支持するよ
    うに上記軸部の他端が繋がっている支持部材と、 上記ミラー板の正面および背後の少なくとも一方に設け
    られた補助部材と、 上記軸部が捩じられる方向に上記ミラー板を回転させる
    ように上記ミラー板を上記補助部材に相対させて移動さ
    せる力を発生する第１の移動力発生手段と、 上記軸部が撓む方向に上記ミラー板を回転させるように
    上記ミラー板を上記補助部材に相対させて移動させる力
    を発生する第２の移動力発生手段と、を具備しているこ
    とを特徴とする、ガルバノミラー。
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