JP2000339725A - マイクロミラー・デバイス及びそれを用いた光ピックアップ装置 - Google Patents

マイクロミラー・デバイス及びそれを用いた光ピックアップ装置

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JP2000339725A JP2000107875A JP2000107875A JP2000339725A JP 2000339725 A JP2000339725 A JP 2000339725A JP 2000107875 A JP2000107875 A JP 2000107875A JP 2000107875 A JP2000107875 A JP 2000107875A JP 2000339725 A JP2000339725 A JP 2000339725A
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ヨン・ズ・イ
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    • G11B7/08564—Arrangements for positioning the light beam only without moving the head, e.g. using static electro-optical elements using galvanomirrors

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光記録媒体の記録密度を増加させることので
きる光ピックアップ装置を提供する。 【解決手段】 シリコン板の中央部に正多角形の微少ミ
ラーを配置し、そのミラーの各辺に沿って片持ちばりを
配置し、その片持ちばりの一端を固定すると共に他端を
ミラーの辺の一端に取り付ける一方、片持ちばりの表面
又は内部に圧電部材を片持ちばりの長手方向に形成さ
せ、全ての圧電部材へ同一の電圧を印加することによっ
て片持ちばりの先端部が曲がるのを利用してミラーを並
進移動させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ピックアップ装置
に関し、特に光記録媒体の記録密度を増加させることの
できるトラッキングに使用するマイクロミラー・デバイ
ス及びそれを用いた光ピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にマルチメディア技術は大容量の情
報を格納する媒体の発達を背景として発達してきた。最
近磁器ハードディスク分野では巨大磁器抵抗（great ma
gnetic reluctance：ＧＭＲ）ヘッドを採用した１０Ｇ
Ｂ級以上の高密度補助記憶装置が開発され、光ディスク
分野ではオーディオ専用ＣＤを初めとしてコンピュータ
補助記憶装置用光ディスク及び既存のＣＤ系列より６〜
７培大きい記憶容量を有するＤＶＤが開発された。
【０００３】光記録媒体は磁器記録媒体に比べ高密度に
情報を記録することが可能であるので、光記録技術は情
報記録媒体の大容量化の傾向に対応できる技術として知
られている。
【０００４】このように、情報記録密度を高めるために
は、記録媒体のデータトラックの間隔を減らして、デー
タ記録マークの間の間隔を縮小しなければならない。し
かし、このような環境ではデータマーク間の間隔が縮小
して、ピックアップ用光の波長程度の大きさとなった場
合、光の回折限界によってデータを区別できなくなる。
【０００５】即ち、一般的な光ピックアップが検出可能
なデータマークの最小の大きさ及びマーク間の間隔Ｄは
次の式のように制限される。 Ｄ＝λ／２ＮＡ ここで、λは光源の波長であり、ＮＡは光学系の開口数
である。光学系の通常の開口数はほぼ０．５〜０．７で
あるから、結局、現在使用中の光記録装置のデータの最
小大きさは使用光源の波長以下に小さくできず、記録密
度が制限されている。
【０００６】回折限界を克服する方法としては光学的近
距離場技術(optical near field technology)が知られ
ている。しかし、このような光技術における回折限界を
克服する方法だけでは高密度光情報を記録／再生するこ
とができず、データを記録／検出するためのピックアッ
プの位置を、小さくなったピッチ間隔以下に、より精密
に制御できる方法が必要となった。
【０００７】現在、ＣＤやＤＶＤ系列の光記録装置では
ボイスコイルモータなどを利用した光ピックアップの位
置制御が用いられているが、１インチ平方当たり数十ギ
ガビットの高密度光記録媒体のデータピッチをトラッキ
ングすることは難しい。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
問題を解決するためのものであり、データピッチのトラ
ッキングの精密度を高めることのできるマイクロミラー
・デバイス及びそれを用いた光ピックアップ装置を提供
するが目的である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係るマイクロミ
ラー・デバイスは、平行駆動微細ミラーを用いたもの
で、基板上に所定の形態で形成されるミラー駆動部と、
ミラー駆動部によって並進移動するミラー部とからなる
ことを特徴とする。
【００１０】本発明の他の特徴は、前記ミラー駆動部は
印加される制御信号に従って変位する圧電アクチュエー
タと、ミラー部と圧電アクチュエータに連結され、圧電
アクチュエータの変位をミラー部へ伝達してミラー部を
移動させる連結部と、圧電アクチュエータの変位を制御
する制御部とを含むことである。
【００１１】本発明のまた他の特徴は、圧電アクチュエ
ータが基板上の縁部に所定の厚さに形成されるスペーサ
と、スペーサ上に形成される第１部分とその第１部分か
ら延び先端部が連結部に連結され、基板の表面に対して
一定の間隔離れて形成される第２部分とからなる片持ち
ばりと、片持ちばりの第２部分に長手方向に形成される
圧電体とを含むことである。
【００１２】本発明のまた他の特徴は、前記ミラー部は
入射光を反射させるミラーと、ミラーの下部に形成さ
れ、ミラーを支持する支持体とからなる。
【００１３】本発明に係るマイクロミラー・デバイスを
用いた光ピックアップ装置は、光を発生する光源モジュ
ールと、光源モジュールから発生した光を光記録媒体の
表面に集束する集束部と、光記録媒体により反射した光
を電気的信号に変換する光検出部と、光源モジュール及
び集束部の間に位置して、光源モジュールから発生した
光を集束部へ伝達し、光記録媒体により反射され集束部
を経由した光を光検出部へ伝達する光分離部と、集束部
と光分離部との間に位置して入射光を反射させ、反射し
た光の経路を微細調節するマイクロミラー・デバイスと
より構成されることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、上記のような特徴を有する
本発明の実施形態に係るマイクロミラー・デバイス及び
それを用いた光ピックアップ装置を添付の図面に基づい
て説明する。本実施形態は、マイクロマシーニング技術
とシリコン製造工程により製作された微細マイクロミラ
ーを用いて、記録／再生用レーザービームの位置を微少
変化させ、高密度光記録装置のデータピッチを精密にト
ラッキングするものである。
【００１５】特に、圧電アクチュエータを用いて微細ミ
ラーを平行に駆動させることにより、既存のティルティ
ング（tilting)方式のミラー駆動に比べビームの位置を
より線形的に制御できる長所がある。
【００１６】図１は本実施形態に係るマイクロミラー・
デバイスを用いた光ピックアップ装置を概略的に示す図
面である。本実施形態の光ピックアップ装置はレーザー
光源１１と、第１〜第４光学レンズ１２、１４、１６、
１８と、ビーム分割器１３と、サブマウント１５の４５
°傾斜面に配置した平行駆動マイクロミラー・デバイス
２０と、光電変換素子１９とより構成されている。
【００１７】このように構成される本実施形態の光ピッ
クアップ装置の動作を以下に説明する。まず、レーザー
光源１１から放出した記録／再生用レーザービームは第
１光学レンズ１２を通して平行光となり、ビーム分割器
１３を通過した後、第２光学レンズ１４に入射する。
【００１８】レーザービームは第２光学レンズ１４によ
って平行駆動マイクロミラー・デバイス２０に集束した
後、反射され、第３光学レンズ１６に入射した後、デー
タが記録／再生される光ディスク１７のデータマーク位
置に集束する。
【００１９】ここで、マイクロミラー・デバイス２０は
レーザービームの進行方向と４５°傾いているサブマウ
ント１５上に装着され、入射するレーザービームの経路
を微細に変えることにより、光ディスク１７上に集束す
るレーザービームの位置を調節する。即ち、この実施形
態は、レーザービームの位置をデータトラックピッチよ
り精密に制御することにより、高密度データマークのト
ラックピッチを正確に追求することができる。
【００２０】次いで、光ディスク１７のデータマークに
集束したレーザービームはデータマークから反射し、そ
の光路を逆行して第３光学レンズ１６を経る。そして、
マイクロミラー・デバイス２０で反射された後、第２光
学レンズ１４及びビーム分割器１３を経て、第４光学レ
ンズ１８によって光電変換素子１９（本実施形態では光
ダイオド）に集束してデータを判別する。
【００２１】光電変換素子１９は第４光学レンズ１８か
ら入射するレーザービームを電気的信号に変換するが、
その電気的信号には光ディスク１７に記録された情報が
含まれている。
【００２２】このように、本実施形態では４５°傾斜面
を有するサブマウント１５上に組み立てられた平行駆動
マイクロミラー・デバイス２０を用いることによって、
光ディスクのデータピッチトラッキングの精密度を高め
るている。上記したマイクロミラー・デバイスについて
以下に説明する。
【００２３】図２及び図３は記録／再生用レーザービー
ムの平行駆動マイクロミラーによる反射を示す斜視図及
び断面図であって、本実施形態においては、図２及び図
３に示すように、平行駆動マイクロミラーの位置が精密
に調節できるので、反射したレーザービームの光経路を
精密に調節することができる。
【００２４】図３に示すように、基板２１上にマイクロ
マシーニング工程、あるいは半導体製造技術で一般に用
いられている技術を使用して基板にマイクロミラー２２
を取り付ける。図３は移動前の位置と制御信号によって
移動させられた後の位置の双方のマイクロミラー２２を
示している。このマイクロミラー２２を移動させる駆動
部は、片持ちばり２３とその上に設けた圧電物質２４と
片持ちばりをミラーに連結する連結部（図４、図５の２
７参照）とで構成されている。特に図示しないがさら
に、圧電物質２４に電圧を適宜調整しながら加えること
ができる制御部とからなっている。後述のように、制御
部から電圧が加えられることによって片持ちばり２４の
先端部に変位が発生し、その変位を連結部でミラー、正
確にはミラーを支持する支持体２６（図４ｃ）でミラー
に伝え、それによってマイクロミラー２２を微細に並進
移動させる。
【００２５】マイクロミラー２２は外部の制御部から印
加される電圧／電流に比例して並進移動して平行変位ｈ
が発生する。この平行変位ｈが発生すると、入力レーザ
ービームの光軸はｄだけ変化する。ｄとｈの関係は入力
レーザービームとサブマウント１５との角度（４５°）
によって次のように決まる。 ｄ＝√２ｈ
【００２６】図４ａ〜図４ｃを参照してマイクロミラー
の構造をより詳細に説明する。まず、図４ａ〜図４ｃに
示すように、本実施形態のマイクロミラーはミラーを駆
動させる駆動部と、ミラー駆動部によって上下に移動す
るミラー部とで構成されている。
【００２７】ミラー駆動部は、片持ちばり２３とその上
に配置された圧電物質２４とからなる圧電アクチュエー
タと、圧電アクチュエータの先端部とミラー部とを連結
させる連結ヒンジ２７と、圧電アクチュエータの変位を
制御する制御部（図示せず）とより構成されている。一
方、ミラー部はミラー２２と、ミラー２２の下部に形成
されミラー２２を支持する支持体２６とより構成されて
いる。本実施形態においては、片持ちばり２３、支持体
２６、連結ヒンジ２７が一体の板部材から切り出して形
成されているが、それぞれ別々に形成させて組み合わせ
ても良い。また、基板２１はシリコンで形成され、同様
に一体とされたミラー支持体２６，片持ちばり２３もシ
リコンで形成されている。もちろん、他の部材で形成さ
せても良いのは当然である。圧電物質２４は片持ちばり
２３の表裏いずれかの面に長手方向に形成させるのが望
ましいが、片持ちばりの内部に形成させても良い。
【００２８】圧電アクチュエータの片持ちばり２３は基
板２１の縁部に所定の厚さに形成されたスペーサ２５の
上に形成されている。すなわち、その一端をスペーサに
固定し、そこからミラーに沿って延ばし、他端を自由端
としている。スペーサ２５によって、片持ちばりのスペ
ーサ２５に載っていない部分は基板２１の表面から一定
間隔離されて形成されている。
【００２９】基板２１の表面から離れた片持ちばり２３
の部分はミラー部の各側辺に平行に配置され、それぞれ
の自由端が矩形の支持部２６のそれぞれの角に連結ヒン
ジ２７で連結されている。この片持ちばりの配置は一例
にすぎず、圧電アクチェータ２４による片持ちばりの自
由端部の変形でミラーが傾斜せずに基板に対して離れた
り近づいたりするように移動できる配置ならどのような
ものでも良い。また、本実施形態はミラーは正方形であ
るが、正方形に限らず、正多角形なら何でもしようでき
る。ただ、その場合片持ちばりはそれぞれの多角形の辺
に沿って配置し、その自由端を多角形の辺の一端に取り
付けるようにする。多角形のそれぞれの角に同じ方向の
力が片持ちばりから加えられるようになっていればミラ
ーの形状、駆動部の形状は任意である。
【００３０】ミラー部の支持体２６は片持ちばり２３と
同様に、基板２１の表面から一定の間隔離れている。基
板２１の表面から離れた片持ちばり２３の上や内部に圧
電物質２４が形成されて圧電アクチュエータ構造が形成
される。この実施形態においては基板２１を板状のもの
としてスペーサ２５で駆動部を基板から離しているが、
図４ｄのように、基板を駆動部とミラー部を配置させる
部分を空間を形成させた形状とすることもできる。
【００３１】図４ｄは本実施形態に係るマイクロミラー
・デバイスのそのようにした実施形態である。このよう
な構造はバルクマイクロマシーニング技術を用いること
で図４ｃのようなスペーサ２５を使用せず、基板２１の
背面をエッチングして片持ちばり２３と支持体２６の部
分を分離させたものである。
【００３２】前記構造を有するマイクロミラーの動作原
理は次の通りである。使用に当たっては、図５ａに示す
ように、圧電物質２４の上部と片持ちばり２３の表面に
形成された電極に電源を連結する。電圧を印加しない場
合（Ｖ1＝０）は、圧電物質２４と片持ちばり２３が変
化しないため、片持ちばり２３に連結された連結ヒンジ
２７も変化しない。
【００３３】一方、図５ｂに示すように、電源から駆動
電圧Ｖ2が印加されると、圧電物質２４が変形して、そ
れに応じて片持ちばり２３が変形する。従って、片持ち
ばり２３の先端部に垂直方向にｈだけ変位し、片持ちば
り２３に連結された連結ヒンジ２７もまた変位ｈだけ移
動する。この連結ヒンジ２７はミラー部のミラー支持体
２６に角部で連結されているので、片持ちばり２３の変
位ｈをミラー支持体２６へ伝達する。それぞれの片持ち
ばり２３でミラー支持体２６の四隅へその変位ｈが伝え
られる。
【００３４】このミラー支持体２６の四隅への変位の伝
達によって、ミラー支持体２６とその上に形成されたミ
ラー２２はミラー面に垂直方向に微細に移動する。ミラ
ー支持体２６の四隅に同じ変位が加えられるので、ミラ
ーは平衡を保ったまま移動する。すなわち並進する。し
たがって、入射するレーザービームの光経路を精密に調
節することができる。このような原理を有する本実施形
態のマイクロミラー・デバイスを有限要素法（finite e
lement method)シミュレーションによってシミューレー
トした結果、マイクロミラーの駆動変位ｈは印加電圧Ｖ
2に大略線形的に比例することが分かった。
【００３５】図６に示すように、シリコンで形成された
約２μｍ厚さの片持ちばり上に約０．４μｍ厚さのＰＺ
Ｔ圧電体が蒸着された約３００μｍ長さの圧電アクチュ
エータを用いて、光軸の変化を計算すると次の通りであ
った。
【００３６】駆動電圧を約０．１Ｖの精密度で調節する
と、マイクロミラーは約３９５Åだけ平行に移動し、光
軸はこの値の√２培の約５５９Åだけ変化する。したが
って、高密度光記録媒体のデータマークトラック間のピ
ッチを十分に区別することができるようになる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るマイク
ロミラー・デバイス及びそれを用いた光ピックアップ装
置は光記録装置のデータトラックのピッチ間の位置調節
精密度を著しく高めることができるだけでなく、トラッ
キング速度を高めることができる。
【００３８】また、本発明のマイクロミラー・デバイス
を用いた技術及び光記録媒体の記録密度を増加させる技
術を結合すると、平方インチ当たり数十ギガビット以上
の高密度光記録媒体を実現することができる。
【００３９】以上説明した内容は、本実施形態の技術思
想を離脱しない限り、多様な変更及び修訂が可能である
ということは当業者にとっては自明なこどであろう。そ
れゆえ、本発明の技術的範囲は実施形態に記載の内容に
限らず、特許請求の範囲によって限定されるべきもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
を用いた光ピックアップ装置を示す図。
【図２】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
によるレーザービームの反射及び光軸の変化を示す図。
【図３】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
によるレーザービームの反射及び光軸の変化を示す図。
【図４ａ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの構造を示す斜視図。
【図４ｂ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの構造を示す平面図。
【図４ｃ】 図４ａと図４ｂのＩ−Ｉ線断面図。
【図４ｄ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの他の実施形態を示す断面図。
【図５】 マイクロミラー・デバイスの圧電アクチュエ
ータの駆動原理を示す図。
【図６】 マイクロミラー・デバイスの駆動特性を示す
グラフ。
【符号の説明】
１１：レーザー光源 １２、１４、１６、１８：第１〜４光学レンズ １３：ビームスプリット １５：サブマウント １７：光ディスク １９：光電変換素子 ２０：駆動マイクロミラー ２１：基板 ２２：マイクロミラー ２３：片持ちばり ２４：圧電物質 ２５：スペーサ ２６：支持体 ２７：連結ヒンジ
【手続補正書】
【提出日】平成１２年６月２８日（２０００．６．２
８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
を用いた光ピックアップ装置を示す図。
【図２】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
によるレーザービームの反射及び光軸の変化を示す図。
【図３】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイス
によるレーザービームの反射及び光軸の変化を示す図。
【図４ａ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの構造を示す斜視図。
【図４ｂ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの構造を示す平面図。
【図４ｃ】 図４ａと図４ｂのＩ−Ｉ線断面図。
【図４ｄ】 本実施形態に係るマイクロミラー・デバイ
スの他の実施形態を示す断面図。
【図５ａ】 マイクロミラー・デバイスの圧電アクチュ
エータの駆動原理を示す図。
【図５ｂ】 マイクロミラー・デバイスの圧電アクチュ
エータの駆動原理を示す図。
【図６】 マイクロミラー・デバイスの駆動特性を示す
グラフ。
【符号の説明】 １１：レーザー光源 １２、１４、１６、１８：第１〜４光学レンズ １３：ビームスプリット １５：サブマウント １７：光ディスク １９：光電変換素子 ２０：駆動マイクロミラー ２１：基板 ２２：マイクロミラー ２３：片持ちばり ２４：圧電物質 ２５：スペーサ ２６：支持体 ２７：連結ヒンジ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基板上に所定の形態で形成されるミラー
    駆動部と、 前記ミラー駆動部によって上下に平行に移動されるミラ
    ー部と、より構成されることを特徴とするマイクロミラ
    ー・デバイス。
  2. 【請求項２】 前記ミラー駆動部は印加される制御信号
    に応じて変位が生じる圧電アクチュエータと、 前記ミラー部と圧電アクチュエータに連結され、前記圧
    電アクチュエータの変位を前記ミラー部へ伝達して、前
    記ミラー部を移動させる連結部と、 前記圧電アクチュエータの変位を制御する制御部と、を
    含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロミラー
    ・デバイス。
  3. 【請求項３】 前記圧電アクチュエータは基板上の縁部
    に所定の厚さに形成されるスペーサと、 前記スペーサ上に形成される第１部分と、前記第１部分
    と連結部に連結され、前記基板の表面に対して一定の間
    隔離して形成される第２部分とからなる片持ちばりと、 前記片持ちばりの第２部分に長手方向に形成される圧電
    体と、を含むことを特徴とする請求項２に記載のマイク
    ロミラー・デバイス。
  4. 【請求項４】 前記片持ちばりの第２部分は第１部分か
    ら前記ミラー部に沿って一定の間隔を置いて形成され、
    第１部分の反対側の端部を前記ミラー部のそれぞれの隅
    部に連結部で連結されることを特徴とする請求項３に記
    載のマイクロミラー・デバイス。
  5. 【請求項５】 前記ミラー部は入射光を反射させるミラ
    ーと、 前記ミラーの下部に形成され、ミラーを支持する支持体
    と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のマイクロ
    ミラー・デバイス。
  6. 【請求項６】 前記ミラー部は前記基板に対して一定の
    間隔離して形成されることを特徴とする請求項１に記載
    のマイクロミラー・デバイス。
  7. 【請求項７】 前記基板は所定の位置に貫通ホールを有
    することを特徴とする請求項１に記載のマイクロミラー
    ・デバイス。
  8. 【請求項８】 前記貫通ホールは前記ミラー部の下部面
    に位置することを特徴とする請求項７に記載のマイクロ
    ミラー・デバイス。
  9. 【請求項９】 光を発生する光源モジュールと、 前記光源モジュールから発生した光を光記録媒体の表面
    に集束する集束部と、 前記光記録媒体により反射した光を電気的信号に変換す
    る光検出部と、 前記光源モジュール及び集束部の間に位置して、前記光
    源モジュールから発生した光を前記集束部へ伝達し、前
    記光記録媒体により反射され前記集束部を経由した光を
    前記光検出部へ伝達する光分離部と、 前記集束部と光分離部との間に位置して入射光を反射さ
    せ、前記反射した光の経路を微細調節するマイクロミラ
    ー・デバイスと、より構成されることを特徴とするマイ
    クロミラー・デバイスを用いた光ピックアップ装置。
  10. 【請求項１０】 前記マイクロミラー・デバイスは光源
    からの光の進行方向に４５°傾けて配置されていること
    を特徴とする請求項９に記載のマイクロミラー・デバイ
    スを用いた光ピックアップ装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100400742B1 (ko) * 2001-04-19 2003-10-08 엘지전자 주식회사 압전 구동형 미소 거울 및 그 제조방법
US7649301B2 (en) 2004-12-15 2010-01-19 Seiko Epson Corporation Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle
JP2012123140A (ja) * 2010-12-08 2012-06-28 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030023305A (ko) * 2001-09-13 2003-03-19 엘지전자 주식회사 광픽업 장치
US6738539B2 (en) * 2001-10-03 2004-05-18 Continuum Photonics Beam-steering optical switching apparatus
WO2006110908A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 University Of Florida Research Foundation, Inc. Microactuator having multiple degrees of freedom

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH027057U (ja) * 1988-06-23 1990-01-17
DE3935891A1 (de) * 1988-12-23 1990-07-19 Teldix Gmbh Anordnung zum verstellen eines spiegels in einem laserkreisel
JPH09204696A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Hitachi Maxell Ltd 光記録媒体製造用の原盤露光装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100400742B1 (ko) * 2001-04-19 2003-10-08 엘지전자 주식회사 압전 구동형 미소 거울 및 그 제조방법
US7649301B2 (en) 2004-12-15 2010-01-19 Seiko Epson Corporation Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle
US7880365B2 (en) 2004-12-15 2011-02-01 Seiko Epson Corporation Actuator capable of driving with large rotational angle or large deflection angle
JP2012123140A (ja) * 2010-12-08 2012-06-28 Seiko Epson Corp アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置

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