JPH1062709A - ガルバノミラー装置およびこれを用いた光ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のガルバノミラーは質量が大きく、光学ヘ
ッドの高速シークが阻害されてしまっていた。 【解決手段】本発明のガルバノミラー装置9 は第１のプ
レート21，第２のプレート22の２つのプレートが積層さ
れた構造をなしている。第１のプレート21は反射ミラー
を備えた揺動部25を有し、シリコンを主体とする半導体
の異方性エッチングにより一体成形されている。また第
２のプレート22は、例えばガラス板等の電気的絶縁材料
で形成され、第１のプレート21に対向配置されている。
ここで揺動部25は楕円形状に形成されているため、揺動
運動の際に作用する慣性モーメントを非常に小さくする
ことができ、駆動効率を最大にすることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を所定の
方向に反射するためのガルバノミラー装置、およびこの
ガルバノミラー装置を搭載し、対物レンズへの入射光の
向きを変化させながら光ディスクへの情報の記録再生を
行う光ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のとおり、コンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）やレーザディスク（ＬＤ）に代表されるように、レ
ーザ光を用いて情報の再生を行う光ディスク装置が広く
普及している。また最近では、光ディスク装置はコンピ
ュータの記憶装置として利用されるようになっている。

【０００３】また、併せてデータの高速記録再生が可能
となるように、光学系を搭載する光学ヘッドの高速移動
が要求されるようになった。このような光学ヘッドの高
速移動の要求に対し、光学ヘッドの質量をできるだけ小
さくして素早いシークを実現する方式が提案されてい
る。このような方式として、半導体レーザ（光源）やフ
ォトディテクタ（検出器）などを光学ヘッドに搭載せ
ず、光ディスクに焦点を形成する対物レンズのみを光学
ヘッドに搭載して移動させる分離光学方式が採用されて
いる。

【０００４】以下、分離光学方式の一例を図16を参照し
て説明する。半導体レーザ111 やフォトディテクタ112
などの固定光学系113 は、図示しないベースなどに固定
されている。半導体レーザ111 から照射されたレーザ光
L は、同じく固定配置されたガルバノミラー114 を介し
て光学ヘッド115 内に搭載された対物レンズ116 に与え
られている。対物レンズ116 は光ディスクD 上のピット
に焦点を形成し、その反射光を再び逆の経路でフォトデ
ィテクタ112 に導く。光学ヘッド115 は図示しない駆動
手段によってトラッキング方向Ｘおよびフォーカシング
方向Ｙにそれぞれ駆動される。

【０００５】このような方式によれば、光学ヘッド115
をトラッキング方向Ｘへ駆動する際に発生する微小な光
路の傾き（対物レンズ116 へのレーザ光の入射角度の変
化）を、固定配置されたガルバノミラー114 の揺動角度
の制御によって補正することができる。そのため対物レ
ンズ116 自体を傾ける手段などを光学ヘッド115 に搭載
する必要がなくなり、光学ヘッド115 全体の質量を低減
することができ、素早いシークを実現している。

【０００６】このようにして利用される従来のガルバノ
ミラー114 は、具体的には図17乃至図19に示す構造とな
っている。ここで、図17はガルバノミラー114 の平面
図、図18は図13中のＡ−Ａ線断面図、図19は図17中のＢ
−Ｂ線断面図である。

【０００７】ガルバノミラー114 は、レーザ光を反射す
るための反射ミラー117 と、この反射ミラー117 を固定
した揺動体118 と、この揺動体118 を固定部119 に対し
て支持する２枚の支持体120a,120b とを備えている。固
定部119 は、ヨーク121 と磁石122 とから構成されてお
り、揺動体118 の側面に固定されたコイル123 に対して
磁界を作用させることにより、反射ミラー117 を支持体
120a,120b の軸回りに揺動させることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガルバ
ノミラー114 の反射ミラー117 表面は、温度変化や経年
変化によって徐々に傾いてしまう危険性がある。このよ
うな傾きが発生すると、ガルバノミラー114 からの反射
光を正確に対物レンズ116 へ導くことが困難となってし
まうため、トラッキングオフセットの要因となり、正確
なトラッキング動作を阻害してしまう危険性がある。ま
た、この傾きの影響は、ガルバノミラー114 から対物レ
ンズ116 までの距離に応じて変化するため、ガルバノミ
ラー114 の揺動角度の補正を光学ヘッド115 の現在位置
によってさらに補正するといった複雑な制御が必要とな
ってしまう。

【０００９】したがって、ガルバノミラー114 のみ光学
ヘッド115 に搭載し、ガルバノミラー114 と対物レンズ
116 との距離を一定に保った状態の固定光学方式が望ま
れている。

【００１０】ところが、上述のとおり、従来のガルバノ
ミラー114 はヨーク121 ，磁石122，コイル123 などを
備えているため質量が大きく、光学ヘッド115 に搭載す
ると光学ヘッド115 の高速シークが阻害されてしまい実
質的には不可能であった。そこで本発明は、軽量・小形
な構成のガルバノミラー装置、および高速シークが可能
な光ディスク装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、反射ミラーを備え非円形状に形成され
た揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体
を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支持
部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配置
される固定部とを有するガルバノミラー装置とした。

【００１２】また、反射ミラーを備え非円形状に形成さ
れた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺動
体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記支
持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向配
置される固定部と、前記揺動体を静電力で駆動するため
の電極とを有するガルバノミラー装置とした。

【００１３】また、反射ミラーを備えた揺動体と、一端
が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設
支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続
されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、
前記揺動体よりも大きな外形を備え前記揺動体を静電力
で駆動する電極とを有するガルバノミラー装置とした。

【００１４】また、反射ミラーを備え楕円形状に形成さ
れた揺動体と、一端が前記揺動体の短半径上に接続さ
れ、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部
材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺
動体と対向配置される固定部とを有するガルバノミラー
装置とした。

【００１５】また、反射ミラーを備え楕円形状に形成さ
れた揺動体と、一端が前記揺動体の短半径上に接続さ
れ、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部
材と、前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺
動体と対向配置される固定部と、前記揺動体を静電力で
駆動するための電極とを有するガルバノミラー装置とし
た。

【００１６】なお、これらにおいて、前記揺動体を楕円
形状とすることができる。また前記揺動体を楕円を内接
円とする六角形以上の多角形とすることができる。ま
た、前記電極の表面を、光の反射率が低い材料で被覆す
ることができる。また前記電極の表面を、光が乱反射す
る状態に処理することができる。

【００１７】さらに、反射ミラーを備えた揺動体と、一
端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊
設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接
続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と
を有するガルバノミラー装置において、前記ガルバノミ
ラーはその反射ミラー面に、光を乱反射する領域もしく
は光の反射率が低い領域を楕円形状に形成してなるガル
バノミラー装置とした。

【００１８】さらに、本発明では、レーザ光源と、前記
レーザ光源から照射されたビームを反射させるガルバノ
ミラーと、前記ガルバノミラーにより反射したビームを
記録媒体に集束する対物レンズと、前記ガルバノミラー
および前記対物レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光
学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手段とを
有する光ディスク装置において、前記ガルバノミラー
は、反射ミラーを備え非円形状に形成された揺動体と、
一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
吊設支持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が
接続されるとともに前記揺動体と対向配置される固定部
とを有する光ディスク装置とした。

【００１９】また、レーザ光源と、前記レーザ光源から
照射されたビームを反射させるガルバノミラーと、前記
ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に集束
する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対物
レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光学ヘッドを前記
記録媒体に対して駆動する駆動手段とを有する光ディス
ク装置において、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを
備え非円形状に形成された揺動体と、一端が前記揺動体
に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支持する一対
の支持部材と、前記支持部材の他端が接続されるととも
に前記揺動体と対向配置される固定部と、前記揺動体を
静電力で駆動するための電極とを有する光ディスク装置
とした。

【００２０】また、レーザ光源と、前記レーザ光源から
照射されたビームを反射させるガルバノミラーと、前記
ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に集束
する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対物
レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光学ヘッドを前記
記録媒体に対して駆動する駆動手段とを有する光ディス
ク装置において、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを
備えた揺動体と、一端が前記揺動体に接続され、前記揺
動体を揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、前記
支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と対向
配置される固定部と、前記揺動体よりも大きな外形を備
え前記揺動体を静電力で駆動する電極とを有する光ディ
スク装置とした。

【００２１】また、レーザ光源と、前記レーザ光源から
照射されたビームを反射させるガルバノミラーと、前記
ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に集束
する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対物
レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光学ヘッドを前記
記録媒体に対して駆動する駆動手段とを有する光ディス
ク装置において、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを
備え楕円形状に形成された揺動体と、一端が前記揺動体
の短半径上に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支
持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続さ
れるとともに前記揺動体と対向配置される固定部とを有
する光ディスク装置とした。

【００２２】また、レーザ光源と、前記レーザ光源から
照射されたビームを反射させるガルバノミラーと、前記
ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に集束
する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対物
レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光学ヘッドを前記
記録媒体に対して駆動する駆動手段とを有する光ディス
ク装置において、前記ガルバノミラーは、反射ミラーを
備え楕円形状に形成された揺動体と、一端が前記揺動体
の短半径上に接続され、前記揺動体を揺動可能に吊設支
持する一対の支持部材と、前記支持部材の他端が接続さ
れるとともに前記揺動体と対向配置される固定部と、前
記揺動体を静電力で駆動するための電極とを有する光デ
ィスク装置とした。

【００２３】なお、これらにおいて、前記揺動体を楕円
形状とすることができる。また前記揺動体を楕円を内接
円とする六角形以上の多角形とすることができる。ま
た、前記電極の表面を、光の反射率が低い材料で被覆す
ることができる。また前記電極の表面を、光が乱反射す
る状態に処理することができる。

【００２４】さらに、レーザ光源と、前記レーザ光源か
ら照射されたビームを反射させるガルバノミラーと、前
記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に集
束する対物レンズと、前記ガルバノミラーおよび前記対
物レンズを搭載する光学ヘッドと、前記光学ヘッドを前
記記録媒体に対して駆動する駆動手段とを有する光ディ
スク装置において、前記ガルバノミラーはそのビーム反
射面に、光を乱反射する領域もしくは光の反射率が低い
領域を楕円形状に形成してなる光ディスク装置とした。

【００２５】以上のような構成の本発明によれば、ヨー
ク，磁石，コイルなど質量の大きい要素を含むことな
く、軽量・小形な構成のガルバノミラー装置、および高
速シークが可能な光ディスク装置が実現する。

【００２６】特に本発明では、反射ミラーを備えた揺動
部が非円形状（例えば楕円形状）に形成されており、揺
動部を駆動する際に作用する慣性モーメントを小さくす
ることができる。そのため、揺動部の駆動効率を最大に
することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。まず、図１から図４を用いて本発明の
ガルバノミラー装置を搭載した光ディスク装置について
説明する。ここで、図１は光ディスク装置の内部構造を
示す断面図、図２は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、
図３は光学ヘッドの断面図、図４は光学ユニットの断面
図である。

【００２８】情報の記録再生に供されるディスク1 （光
ディスク，光磁気ディスクなど）は、図示しないベース
に固定されたスピンドルモータ2 に対してマグネットチ
ャック等のチャッキング手段により保持されており、記
録再生時にはこのスピンドルモータ2 によって安定に回
転駆動される。

【００２９】ディスク1 に照射するためのレーザ光を生
成する半導体レーザ3 は、フォトディテクタ4 とHOE(Ho
logramic Optical Element) 素子5 などと共に光学ユニ
ット6 を構成しており、この光学ユニット6 は光学ヘッ
ド7 の後部に固定されている。なお、図２に示すよう
に、光学ユニット6 の側面には放熱性を高める目的で複
数の凹凸が形成されている。

【００３０】半導体レーザ3 より発せられたレーザ光
は、ガラス面に形成されたHOE 素子5を通過し、HOE 素
子5 の反対面に固定されたコリメートレンズ8 で平行光
束L1となり、ガルバノミラー装置9 （詳細は後述する）
でθ（約90゜）だけ向きを変えた平行光束L2となり、絞
り43を経て光学ヘッド7 の上部に配置された対物レンズ
10に導かれる。そして、この対物レンズ10よりディスク
1 の記録トラック上にレーザ光を集光させ焦点を形成す
る。

【００３１】またディスク1 からの反射光は、対物レン
ズ10に戻り、ガルバノミラー装置9，コリメートレンズ8
を経由し、HOE 素子5 で向きを変えてフォトディテク
タ4に戻される。フォトディテクタ4 に取り込まれた反
射光から、記録情報信号，フォーカスオフセット信号，
トラックオフセット信号等が生成される。そして、フォ
ーカスオフセット信号を用いることにより対物レンズ10
のフォーカス方向の位置ズレが検出され、この位置ズレ
を補正するようにフォーカスコイル11に電流を流す制御
動作を行う。また、トラックオフセット信号を用いるこ
とにより対物レンズ10のトラック方向の位置ズレが検出
され、この位置ズレを補正するようにリニアモータコイ
ル12とガルバノミラー装置9 に電圧を加えて制御動作を
行う。このようにしてディスク1 の記録トラック上に情
報が記録され、またディスク1 の記録トラック上から情
報が読み取られる。

【００３２】対物レンズ10は、プラスチックマグネット
で形成された対物レンズホルダ13に保持されている。ま
た平行板バネ14の一端が対物レンズホルダ13に固定さ
れ、平行板バネ14の他端は光学ヘッド7 に固定されるこ
とにより、対物レンズ10はその光軸方向に移動可能に支
持されている。プラスチックマグネットからなる対物レ
ンズホルダ13と、光学ヘッド7 に巻装固定されたフォー
カスコイル11に流れる電流との間に電磁作用が作用し、
対物レンズ10にフォーカス駆動力を発生させる。

【００３３】リニアモータコイル12は筒状に形成されて
おり、光学ヘッド7 の両側面に各１個が固定されてい
る。光学ヘッド7 のリニアモータコイル12を挟んで両側
には、計３個の滑り軸受15a,15b,15c が形成されてお
り、ディスク1 の径方向に延設された２本のガイドシャ
フト16とそれぞれ係合している。これにより光学ヘッド
7はディスク1 の半径方向に移動できるように支持され
ている。なお、図３に示すように、軸受15a のみその孔
の断面が長円状に形成されているため、ガイドシャフト
16に対して微小な隙間を有している。

【００３４】ガイドシャフト16は磁性体で形成されてお
り、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。そ
して、ガイドシャフト16の両端にはコ字形のバックヨー
ク17が固定されている。また磁気ギャップを挟んでリニ
アモータコイル12と対向する位置にはラジアル磁石18が
配置され、バックヨーク17に固定されている。これらガ
イドシャフト16，バックヨーク17，ラジアル磁石18がラ
ジアル磁気回路19を形成しており、リニアモータコイル
12に磁界を作用させ、リニアモータコイル12に流れる電
流との電磁作用により、光学ヘッド7 にディスク1 の半
径方向への駆動力を発生させている。

【００３５】続いて図５乃至図８を参照してガルバノミ
ラー装置9 の具体的な構造を説明する。図５はガルバノ
ミラー装置の第１実施例を示す斜視図、図６は揺動部を
模式的に示す平面図、図７は第１のプレートの裏面を示
す斜視図、図８は第２のプレートの表面を示す斜視図で
ある。

【００３６】ガルバノミラー装置9 は図５に示されるよ
うに、第１のプレート21，第２のプレート22の２つのプ
レートが積層された構造をなしている。第１のプレート
21には、図７に示されるように、円弧状の溝２３ａ，２
３ｂ，２３ｃ，２３ｄが形成されている。これら溝２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ によって第１のプレート
21は固定部24、揺動部25、および２枚の弾性部（支持部
材）26a,26b に区分されている。また、第１のプレート
21と一体的にガード部3 0a,30b,30c,30dが形成されてお
り、特にガード部30a,30b は固定部24に接続形成された
ものとなっている。

【００３７】固定部24は、図７に示されるように、第１
のプレート21の外周部分に対応して形成されたものであ
り、第２のプレート22に接合されることにより第１のプ
レート21全体を固定保持している。図５に見られるよう
に、固定部24上には端子29a,29b が形成され、グランド
に接続されている。

【００３８】揺動部25は、第１のプレート21に包囲され
る関係に楕円形状に形成されており、その表面には半導
体レーザ3 からのレーザ光を反射するべくミラー面が、
鏡面加工などの手段によって全面に一体形成されてい
る。

【００３９】弾性部26a,26b は、その一端が揺動部25
に、他端が固定部24にそれぞれ接続されることにより、
揺動部25と固定部24とを連結し吊設支持している。な
お、弾性部26a,26b には１μｍから20μｍ程度の段差39
a,39b が形成されており、第２のプレート22との間に隙
間が形成される。

【００４０】ガード部30a,30b,30c,30d は揺動部25の側
面に対して数μｍの隙間を介した張出し形状となってい
る。ガード部30a,30b,30c,30d は、揺動部25が過剰に揺
動してしまうことを防止するために、揺動部25が必要以
上に傾いた場合にその側面に当接し、制動を働かせるよ
う機能する。

【００４１】ここで、揺動部25（可動部分）の質量の重
心は、ちょうど２枚の弾性部26a,26b を結ぶ線上の中間
付近となるように構成されている。なお、第１のプレー
ト21を構成する固定部24、揺動部25、２枚の弾性部26a,
26b 、ガード部30a,30b,30c,30d は、シリコンを主体と
する半導体の異方性エッチングにより一体的に形成され
ている。そして、エッチングの後、切削加工により段差
39a,39b を形成する。また揺動部25の表面のミラー面
は、このエッチング加工を行う前に鏡面加工により仕上
げられる。なお、ミラー面は鏡面加工により形成する他
に、揺動部25の表面に金属薄膜や誘電体多層膜等を蒸着
した反射鏡で構成することもできる。

【００４２】一方、第２のプレート22は、例えばガラス
板等の電気的絶縁材料で形成されるか、あるいは表面に
電気的絶縁材料（または酸化膜）がコーティングされた
シリコンで形成されており、第１のプレート21の固定部
24に対して静電接合，拡散接合，陽極酸化接合等の手段
で接合されている。

【００４３】また、図８に示されたように、第２プレー
ト22上の揺動部25と対向する部位には、２枚の弾性部26
a,26b を結ぶ線を境として左右対称に電極27a,27b が形
成されている。電極27a,27b の厚みは、例えば10μｍか
ら200 μｍの範囲に設定される。

【００４４】２つの電極27a,27b は揺動部25と同様に全
体として楕円形状をなしているが、図５からも明らかな
ように、電極27a,27b の方が揺動部25よりもやや大きな
外形を有するように、揺動部25の全周にわたって張出し
ている。電極27a,27b と揺動部25とはほぼ相似形状の関
係となっている。

【００４５】また、電極27a,27b はそれぞれ、端子28a,
28b により電気的に接続されている。そして、外部より
端子28a,28b に電圧を印加することにより電極27a,27b
に電圧を印加することができるようになっている。その
一方で、電極27a,27b と端子28a,28b は第１のプレート
21側とは電気的に接続されないように設計されている。
具体的には、電極27a,27b と第１のプレート21には前記
段差39a,39b によって１μｍから20μｍ程度の隙間が形
成され、また端子28a,28b は第１のプレート21に形成さ
れた空間部分に位置決めされるようになっている。

【００４６】また、弾性部26a,26b の断面形状は、揺動
部25に形成された反射ミラー面と平行な方向の長さに対
して、反射ミラー面と直交する方向の長さが長く形成さ
れている。

【００４７】なお、第１プレート21と第２プレート22と
は、ほぼ同じ熱膨張係数を有する材料が選択されている
ことが好ましい。このように構成されている本実施例の
ガルバノミラー装置9 は、光学ヘッド7の一部に設けら
れた端子とガルバノミラー装置9 に設けられた端子28a,
28b とが半田などの手段により電気的に接続され、また
機械的にも強固に接続されている。

【００４８】続いて、揺動部25の具体的構造について説
明する。揺動部25は、対物レンズ10の有効領域全体に半
導体レーザ3 からのレーザ光を反射できることが好まし
い。そのために、絞り43を通過した平行光束が揺動部25
に投射される際に形成される楕円50（図６参照）が、ミ
ラー面内に完全に包含されるように設計しておく必要が
ある。

【００４９】ここで、絞り43の半径をr0、ガルバノミラ
ー装置9 と絞り43との取付け誤差を考慮した余裕分の半
径をr1とした場合、ミラー面の外形は次のように規定さ
れる。

【００５０】・短軸半径：（r0＋r1） ・長軸半径：（r0＋r1）／cos(θ/2) したがって、図６に示した楕円51は上記２式を満足する
ような形状となるように構成することが好ましい。本実
施例ではミラー面の外形と揺動部25の外形とが等しいた
め、揺動部25の外形を楕円51に一致させるように形成す
ればよいことになる。

【００５１】なお、r0はディスク1 の透明部（光透過部
分）の厚み、対物レンズ10からディスク1 までの距離、
対物レンズ10のNA（Numeric Aperture：開口数）などに
よって定めることができ、通常は1 〜2 μｍ程度であ
る。またr1はガルバノミラー装置9 や絞り43などの機械
部品の取付け誤差であるため100 μｍ程度、θは約90゜
である。

【００５２】続いて、本発明のガルバノミラー装置の具
体的な駆動方法を説明する。まず、端子28a,28b を介し
て電流を流すことにより、半導体で形成された揺動体25
を例えば＋に帯電させ、また同様に電極27a を−に、電
極27b を＋に帯電させる。すると電極27a が揺動部25を
吸引する力と、電極27b が揺動部25を吸引する力とのバ
ランスが崩れ、揺動部25に回転トルクが発生し、２枚の
弾性体26a,26b がねじれ変形することにより揺動体25が
図５中Ａで示す方向に回転する。これとは逆に、揺動体
25を＋に帯電させ、また電極27a を＋に、電極27b を−
に帯電させることにより、２枚の弾性体26a,26b がねじ
れ変形を起こし揺動体25が図５中Ｂで示す方向に回転す
る。

【００５３】なお、上述の例では、揺動体25を＋に帯電
させ、第１の電極28および第２の電極29を−に帯電させ
る場合を説明したが、例えば揺動体25を−に帯電させ、
第１の電極28および第２の電極29を＋に帯電させても同
様の効果が得られる。さらに、揺動体25をグランドに接
続して電位ゼロの状態に設定した場合には、電極28,29
は共に＋に帯電させるか、あるいは共に−に帯電させて
も同様の効果が得られる。

【００５４】ここで、揺動体25と電極27a,27b の間の静
電容量を測定することにより、揺動体25と第２のプレー
ト22とのギャップ長を検出することができ、これによっ
て可動体25の回転（揺動）角度を正確に検出することが
できる。そして、その検出値を用いてトラッキングオフ
セットを電気的に補正するすることにより、ガルバノミ
ラー特有の回転角度の制約をほとんどなくすことがで
き、安定かつ精度の高いトラッキング制御を行うことが
できる。

【００５５】また、静電容量からギャップ長の変化を測
定することにより、温度上昇や経時変化によるミラー面
の傾きを補正することもできる。このような構成のガル
バノミラー装置9 によれば、ヨーク，磁石，コイルなど
質量の大きい要素を具備していない。したがって、従来
に比べて大幅な軽量化を図ることが可能となる。そのた
め、光学ヘッド7 にガルバノミラー装置9 を搭載しても
光学ヘッド7 は軽量・小型を維持することができ、光学
ヘッド7 の高速シークが可能となる。

【００５６】特に本発明では、揺動部25が楕円形状をな
しており、その外形が図６に示す楕円51にほぼ一致して
いる。すなわち、揺動部25の実質的な面積を最小限に抑
えた形状に構成されている。したがって、例えば楕円50
を内接円とするように揺動部全体を四角形に形成した場
合と比べて、揺動部25を揺動運動させる際に慣性負荷と
して作用する慣性モーメントを非常に小さくすることが
できる。また、揺動部25と電極27a,27b との空隙中の空
気による粘性減衰力も必然的に小さくなるため、揺動部
25の駆動効率を最大にすることが可能となる。

【００５７】また、図５に示すように、電極27a,27b の
外形は揺動部25よりも大きく、揺動部25の全周にわたっ
て張出している。そのため、第１のプレート21と第２の
プレート22とを接合する際に多少の貼り合わせ誤差が生
じたとしても、電極27a,27bの外周の範囲内に揺動部25
を包含することが十分可能となり、揺動部25に作用する
静電気力を均一に保つことができ揺動部25の傾き（図５
中のＡまたはＢの方向への変位）を抑制することができ
る。

【００５８】また、ミラー面が接着剤などを介すること
なく揺動部25自体に直接形成されているため、回転駆動
力はミラー面に直接的に作用することになる。したがっ
て、位相が180 ゜を越える共振モードの共振周波数を高
くすることができる。そのため、精度の高いトラッキン
グ制御が可能となるので、トラックピッチの狭い光ディ
スクなどにも十分に対応することができ、記録密度の向
上を図ることができる。

【００５９】また、静電力を利用して駆動力を発生する
構成であるため、消費電力を少なくすることができ、光
学ヘッド7 に搭載される光学ユニット6 や対物レンズ10
などに与える熱的悪影響を極力回避することができる。

【００６０】さらに、対物レンズ10を駆動するために用
いられているコイルや磁石といった電磁駆動要素に対し
て、電磁力を全く必要としない静電駆動要素からなるガ
ルバノミラー装置を用いている。すなわち、電磁力と静
電力とを用いることにより、互いの駆動力が干渉し合う
などといった不具合をほぼ完全に防止することができ
る。そのため、ガルバノミラー装置9 を光学ヘッド7 へ
搭載することによる悪影響が排除できるとともに、ガル
バノミラー装置9 と対物レンズ10とを極めて近接した位
置（例えば図１に示すように対物レンズの真下など）に
配置することも容易となり、装置設計の自由度が大幅に
改善される。そして、ミラー面を揺動し傾けることによ
る光軸中心の対物レンズ位置での移動を抑制することが
可能となり、結果としてトラッキングおよびフォーカス
制御信号に発生するオフセットを小さくすることがで
き、スポット位置をより高精度に定めることが可能とな
る。

【００６１】また、従来は反射ミラーと揺動体との接
合、およびコイルと揺動体との接合が接着剤などで行わ
れていたが、本発明では接着剤などの介在物が一切用い
られていない。そのため、コイルや磁石などで発生する
トルクが接着層を介して伝達されることがなく、振周波
数を極めて高く設定することが可能となる。つまり、接
着部分の剛性不足によってガルバノミラーの駆動周波数
特性が劣化すること（例えば20kHz 付近に共振点を持
ち、高域までサーボをかけることができなくなってしま
うというような不都合）がないため、高周波帯域まで制
御動作を行うことが極めて容易となり、精度の高い位置
決め動作が可能になる。

【００６２】また、揺動体25の回転軸と弾性体26a,26b
の長手方向とがほぼ一致しており、しかも揺動部25（可
動部分）の質量の重心がちょうど２枚の弾性部26a,26b
を結ぶ線上の中間付近となるように構成されている。そ
のため、装置に外乱加速度が作用したとしても、揺動体
25の回転動作に影響を及ぼすことがない。

【００６３】さらに、端子29a,29b がグランドに接続さ
れているために、揺動部25が静電気を帯びてしまうこと
がない。そのため、浮遊するチリ等の浮遊物が反射ミラ
ーに吸着してしまう危険性が大幅に低下し、ガルバノミ
ラー装置9 の性能が長期間維持される。

【００６４】なお、上述した実施例においては、第２の
プレート22はガラス板等の電気的絶縁材料で形成されて
いるが、例えばシリコンを主体とする半導体の表面に酸
化膜による絶縁層を設けたものを用いてもよい。このよ
うな構成であっても同様な効果が得られる。

【００６５】またその際、第２のプレート22の反射ミラ
ー面と平行な平面を１１０面とし、かつ電極27a,27b が
設けられる部位をエッチングによって第１のプレート21
と接合される部分より低く（溝状に）加工することによ
り、電極27a,27b の反射ミラー面に対する高い平行度を
保持しながら加工できるといった効果が得られる。すな
わち、シリコンの共有結合における１１０面は異方性エ
ッチングにより各原子の層が一層づつ平行度を保ちなが
らエッチングされる性質があるためである。

【００６６】続いて、本発明の第２実施例を説明する。
なお、以下の各実施例の説明においては、前述の第１実
施例と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明
を省略する。

【００６７】図９はガルバノミラー装置の第２実施例を
示す斜視図、図10は揺動部を模式的に示す平面図であ
る。本実施例が第１実施例と異なる点は、揺動部の形状
にある。すなわち本実施例では、揺動部52は楕円形状で
はなく六角形に形成されている。ここで使用される六角
形は、図10に示されるように、上述の楕円51に内接する
関係に形成された六角形となっている。

【００６８】このように形成された揺動部52を採用すれ
ば、上述の第１実施例と同様、例えば楕円50を内接円と
するように揺動部全体を四角形に形成した場合と比べ
て、揺動部25を揺動運動させる際に慣性負荷として作用
する慣性モーメントを非常に小さくすることができる。
また、揺動部25と電極27a,27b との空隙中の空気による
粘性減衰力も必然的に小さくなるため、揺動部25の駆動
効率を最大にすることが可能となる。

【００６９】なお、揺動部の形状は六角形である必要は
なく、楕円51を内接円とする六角形以上の多角形であれ
ばほぼ同等の効果を期待することができる。もちろん、
角の数が大きい程楕円に近づくことになるため、その効
果は徐々に増すことになる。ただし、揺動部の形状を四
角形から六角形とする場合が、その面積減少の効果が最
も顕著に現れるようである。さらに、揺動部の形状を略
楕円形状とすべく、曲線を含む外形で構成してももちろ
んよい。

【００７０】このような構造のガルバノミラー装置9 で
あっても、前述の実施例と同様の効果を得ることができ
る。続いて、本発明の第３実施例を説明する。図11は本
発明の第３実施例に係るガルバノミラー装置を示す斜視
図、図12は第２のプレートの表面を示す斜視図である。
本実施例が上述の各実施例と異なる点は、２つの電極27
a,27b にわたってその上面に被膜53が形成されている点
にある。ここで用いられる被膜53は、半導体レーザ3 か
ら照射されるレーザ光に対する反射率が低い（光の吸収
率の高い）材料、例えばSiO2（酸化シリコン）やAl2O3
（酸化アルミニウム）からなっており、スパッタや蒸着
などの手段あるいは塗布によりコーティングされてい
る。

【００７１】なお、被膜53としてのSiO2やAl2O3 の厚み
は、被膜53表面と電極27a,27b 表面とで反射する光が半
波長分ずれるようにすべく、使用する波長に合わせた厚
みに設定されている。

【００７２】このように構成された本実施例によれば、
半導体レーザ3 から照射されたレーザ光のうちミラー面
の周囲（すなわち電極27a,27b に相当する部分）にはみ
出したレーザ光は、被膜53の影響によりほとんど反射す
ることがない。したがって、対物レンズ10に入射するレ
ーザ光のスポット径（ビーム有効径）をミラー面（もし
くは揺動部25）の形状で規定することが可能となり、図
１に示した絞り43を省略するなど装置設計に余裕を持た
せることができる。

【００７３】続いて、本発明の第４実施例を説明する。
図13は本発明の第４実施例に係るガルバノミラー装置の
第２のプレートの表面を示す斜視図である。本実施例が
前述の各実施例と異なる点は、表面が梨地状に荒らされ
た状態の電極54a,54b が用いられている点にある。電極
54a,54b の表面には、例えばスパッタなどの方法により
プラズマによる打撃を与え、所定以上の表面荒さが確保
されている。

【００７４】このように構成された本実施例によれば、
半導体レーザ3 から照射されたレーザ光のうちミラー面
の周囲（すなわち電極54a,54b に相当する部分）にはみ
出したレーザ光は、その表面荒さの影響で乱反射してし
まい、対物レンズ10に入射することはほとんどない。し
たがって、上述の第３実施例と同様に、対物レンズ10に
入射するレーザ光のスポット径（ビーム有効径）をミラ
ー面（もしくは揺動部25）の形状で規定することが可能
となり、図１に示した絞り43を省略するなど装置設計に
余裕を持たせることができる。

【００７５】もちろん、電極54a,54b の表面荒さは大き
い程好ましいが、乱反射の度合いに応じて表面荒さの程
度は任意に設定することができる。続いて、本発明の第
５実施例を説明する。図14は本発明の第５実施例に係る
ガルバノミラー装置を示す平面図である。本実施例で
は、揺動部25の周囲部分およびミラー面表面に対して、
光が乱反射するよう表面を荒らした処理領域55,56 を設
けている。ミラー面の外周形状は処理領域5 5 によって
規定されており、また処理領域55と処理領域56とは互い
に同心円の楕円形状でかつ相似形状となっている。

【００７６】このように構成された本実施例によれば、
半導体レーザ3 から照射されたレーザ光の一部が処理領
域55によって乱反射してしまうため、この処理領域55で
反射したレーザ光が対物レンズ10に入射することがなく
なる。したがって、上述の実施例と同様、対物レンズ10
に入射するレーザ光のスポット径（ビーム有効径）を処
理領域55の形状で規定することが可能となり、図１に示
した絞り43を省略するなど装置設計に余裕を持たせるこ
とができる。

【００７７】一般に、厚みの異なるディスクに対する記
録再生を行う場合（例えばディスクの厚みが大きな場
合）、対物レンズ10面の中心付近の領域を通過するレー
ザ光は収差の影響が少ないためディスクからの戻り光は
正常な信号を再生する。しかし、レーザ光の通過領域が
対物レンズ10面の中心付近から離れる程、ディスクから
の戻り光は不適当な信号を重畳することになる。

【００７８】このことをより具体的に説明すると、図15
に示すように表現できる。すなわち、通常使われる厚み
のディスクを用いた場合には、領域ａに入射したレーザ
光は領域ａに、領域ｂに入射したレーザ光は領域ｂに同
様に、そして領域ｃに入射したレーザ光は領域ｃに戻
る。また、厚みの大きなディスクを用いた場合には、領
域ａに入射したレーザ光は領域ａに戻るものの、領域ｂ
に入射したレーザ光は領域ｃに、そして領域ｃに入射し
たレーザ光は領域ｄ（対物レンズ10の外側である鍔の部
分）に戻ることになる。

【００７９】上述のように、領域ａを通過するレーザ光
は光学的収差が少ないため正常な信号を再生するもの
の、領域ｃを通過するレーザ光は収差が大きく、戻り光
は不適当な信号を重畳している。したがって、厚みの大
きなディスクを用いる場合には実質的には領域ａの範囲
しか使用することができない。

【００８０】そこで、本実施例においては、ガルバノミ
ラー9 のミラー面に処理領域56を形成することによって
ミラー面が処理領域56およびその内周，外周とに３分割
され、これらの３つの領域が図15で示した３つの領域に
光学的に対応するようになっている。

【００８１】このように設定されたガルバノミラー9 を
用いると、図14中の領域Ａで反射したレーザ光は対物レ
ンズ10の領域ａを経て厚みの大きなディスクの反射面で
反射し、再び領域ａおよび領域Ａに至る経路をたどるこ
とになる。一方、領域Ｂ（処理領域56）ではレーザ光が
乱反射して散乱しまうため、レーザ光が対物レンズ10に
到達することが防止されている。さらに、領域Ｃで反射
したレーザ光は対物レンズ10の領域ｃを経て厚みの大き
なディスクの反射面で反射するが、この戻り光は領域ｄ
で遮断されてしまうためガルバノミラー9 に至ることは
ない。したがって、本実施例のようなガルバノミラー9
を用いれば、厚みの大きなディスクに対して対物レンズ
10の領域ａのみを利用することができ、ディスクから安
定した再生信号を取り出すことができる。

【００８２】なお、この第５実施例を実施するにあたっ
ては、処理領域55,56 が楕円形状となっていれば、揺動
部もしくはミラー面自体が楕円形状をなしていなくても
同等の効果を期待することができる。また、処理領域5
5,56 を製作するに当たっては、スパッタなどの方法に
よりプラズマによる打撃を与える方法が考えられるが、
例えば対物レンズ上に光の反射率の低い材料（光の吸収
率の高い材料）を楕円状にコーティングしたり、楕円状
の溝を刻設したり、あるいは楕円形状の突起を設けるな
どの方法によっても、同様の効果を期待することができ
る。

【００８３】以上、本発明の各実施例について説明した
が、本発明は上述した各実施例および変形例に限定され
るものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施できることは言うまでもない。

【００８４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、軽
量・小形な構成のガルバノミラー装置、および高速シー
クが可能な光ディスク装置が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ディスク装置の内部構造を示す
断面図。

【図２】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。

【図３】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。

【図４】光学ユニットの断面図。

【図５】ガルバノミラー装置の第１実施例を示す斜視
図。

【図６】ガルバノミラー装置の揺動部を模式的に示す
図。

【図７】第１のプレートの裏面を示す斜視図。

【図８】第２のプレートの表面を示す斜視図。

【図９】本発明の第２実施例に係るガルバノミラー装置
を示す斜視図。

【図１０】ガルバノミラー装置の揺動部を模式的に示す
図。

【図１１】本発明の第３実施例に係るガルバノミラー装
置を示す斜視図。

【図１２】第２のプレートの表面を示す斜視図。

【図１３】本発明の第４実施例に係るガルバノミラー装
置の第２のプレートの表面を示す斜視図。

【図１４】本発明の第５実施例に係るガルバノミラー装
置を示す斜視図。

【図１５】ディスクの厚みが異なる場合のレーザ光の入
射領域を説明するための図。

【図１６】従来の分離光学方式の一例を示す構成図。

【図１７】従来のガルバノミラーを示す平面図。

【図１８】図13中のＡ−Ａ線断面図。

【図１９】図13中のＢ−Ｂ線断面図。

【符号の説明】

１…ディスク ２…スピンドルモータ ３…半導体レーザ ４…フォトディテクタ ５…ＨＯＥ素子 ６…光学ユニット ７…光学ヘッド ８…コリメートレンズ ９…ガルバノミラー 10…対物レンズ 11…フォーカスコイル 12…リニアモータコイル 13…対物レンズホルダ 14…平行板バネ 15…滑り軸受 16…ガイドシャフト 17…バックヨーク 18…ラジアル磁石 19…ラジアル磁気回 21…第１のプレート 22…第２のプレート 23a,23b,23c,23d …溝 24…固定部 25,52 …揺動部 26a,26b …弾性部（支持手段） 27a,27b,54a,54b …電極 28a,28b,29a,29b …端子 30a,30b,30c,30d …ガード部 39a,39b …段差 43…絞り 50,51 …楕円 53…被膜 55,56 …処理領域

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】反射ミラーを備え非円形状に形成された揺
   動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
   吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、を有することを特徴とするガ
   ルバノミラー装置。
2. 【請求項２】反射ミラーを備え非円形状に形成された揺
   動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
   吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
   ことを特徴とするガルバノミラー装置。
3. 【請求項３】反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
   吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、 前記揺動体よりも大きな外形を備え前記揺動体を静電力
   で駆動する電極と、を有することを特徴とするガルバノ
   ミラー装置。
4. 【請求項４】反射ミラーを備え楕円形状に形成された揺
   動体と、 一端が前記揺動体の短半径上に接続され、前記揺動体を
   揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、を有することを特徴とするガ
   ルバノミラー装置。
5. 【請求項５】反射ミラーを備え楕円形状に形成された揺
   動体と、 一端が前記揺動体の短半径上に接続され、前記揺動体を
   揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
   対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
   ことを特徴とするガルバノミラー装置。
6. 【請求項６】前記揺動体は楕円形状であることを特徴と
   する請求項１乃至３記載のガルバノミラー装置。
7. 【請求項７】前記揺動体は楕円を内接円とする六角形以
   上の多角形であることを特徴とする請求項１乃至３記載
   のガルバノミラー装置。
8. 【請求項８】前記電極の表面を、光の反射率が低い材料
   で被覆してなることを特徴とする請求項２または３また
   は５記載のガルバノミラー装置。
9. 【請求項９】前記電極の表面を、光が乱反射する状態に
   処理してなることを特徴とする請求項２または３または
   ５記載のガルバノミラー装置。
10. 【請求項１０】反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
    吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、を有するガルバノミラー装置
    において、 前記ガルバノミラーはその反射ミラー面に、光を乱反射
    する領域もしくは光の反射率が低い領域を楕円形状に形
    成してなることを特徴とするガルバノミラー装置。
11. 【請求項１１】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、 前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手
    段と、を有する光ディスク装置において、前記ガルバノ
    ミラーは、 反射ミラーを備え非円形状に形成された揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
    吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、を有することを特徴とする光
    ディスク装置。
12. 【請求項１２】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、 前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手
    段と、を有する光ディスク装置において、前記ガルバノ
    ミラーは、 反射ミラーを備え非円形状に形成された揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
    吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
    ことを特徴とする光ディスク装置。
13. 【請求項１３】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、 前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手
    段と、を有する光ディスク装置において、前記ガルバノ
    ミラーは、 反射ミラーを備えた揺動体と、 一端が前記揺動体に接続され、前記揺動体を揺動可能に
    吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、 前記揺動体よりも大きな外形を備え前記揺動体を静電力
    で駆動する電極と、を有することを特徴とする光ディス
    ク装置。
14. 【請求項１４】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆
    動する駆動手段と、を有する光ディスク装置において、
    前記ガルバノミラーは、 反射ミラーを備え楕円形状に形成された揺動体と、 一端が前記揺動体の短半径上に接続され、前記揺動体を
    揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、を有することを特徴とする光
    ディスク装置。
15. 【請求項１５】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、 前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手
    段と、を有する光ディスク装置において、前記ガルバノ
    ミラーは、 反射ミラーを備え楕円形状に形成された揺動体と、 一端が前記揺動体の短半径上に接続され、前記揺動体を
    揺動可能に吊設支持する一対の支持部材と、 前記支持部材の他端が接続されるとともに前記揺動体と
    対向配置される固定部と、 前記揺動体を静電力で駆動するための電極と、を有する
    ことを特徴とする光ディスク装置。
16. 【請求項１６】前記揺動体は楕円形状であることを特徴
    とする請求項１１乃至１３記載の光ディスク装置。
17. 【請求項１７】前記揺動体は楕円を内接円とする六角形
    以上の多角形であることを特徴とする請求項１１乃至１
    ３記載の光ディスク装置。
18. 【請求項１８】前記電極の表面を、光の反射率が低い材
    料で被覆してなることを特徴とする請求項１２または１
    ３または１５記載の光ディスク装置。
19. 【請求項１９】前記電極の表面を、光が乱反射する状態
    に処理してなることを特徴とする請求項１２または１３
    または１５記載の光ディスク装置。
20. 【請求項２０】レーザ光源と、 前記レーザ光源から照射されたビームを反射させるガル
    バノミラーと、 前記ガルバノミラーにより反射したビームを記録媒体に
    集束する対物レンズと、 前記ガルバノミラーおよび前記対物レンズを搭載する光
    学ヘッドと、 前記光学ヘッドを前記記録媒体に対して駆動する駆動手
    段と、を有する光ディスク装置において、 前記ガルバノミラーはそのビーム反射面に、光を乱反射
    する領域もしくは光の反射率が低い領域を楕円形状に形
    成してなることを特徴とする光ディスク装置。