JPH10308030A

JPH10308030A - ガルバノミラー装置およびこれを用いた光ディスク装置

Info

Publication number: JPH10308030A
Application number: JP9115804A
Authority: JP
Inventors: Kiyotaka Uchimaru; 丸清隆内; Osamu Fujii; 井修藤; Satoshi Izumi; 聡志泉
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-05-06
Filing date: 1997-05-06
Publication date: 1998-11-17

Abstract

(57)【要約】【課題】揺動体の固有振動周波数が低い場合でも電極
から揺動体に供給される駆動トルクに対して揺動体が変
形せず、ビームスポットのトラックへのに追従を可能に
する。【解決手段】反射ミラーを含む揺動体１と、弾性体２
を介して揺動体１を支持すると共に揺動体１に対向する
電極部６ａ，６ｂを有するプレート部５と、を備え、電
極部６ａ，６ｂおよび揺動体１を帯電させて静電気力に
より揺動体１を回転駆動する。揺動体１はシリコンで形
成され、このシリコンの＜１，１，１＞方位または＜
１，１，０＞方位がプレート面１２に平行な方向で、か
つ、前記弾性体を含む前記プレートの揺動体１の支持軸
１５に直交にする方向である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を所定の
方向に反射するガルバノミラー装置およびこれを用いた
光ディスク装置に係り、特に、対物レンズへの入射光の
向きを変化させるガルバノミラー装置と、このガルバノ
ミラー装置により対物レンズへの入射光の入射方向を調
整しながら光ディスクに対する情報の記録再生を行なう
光ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来のガルバノミラーを示す分
解斜視図である。図１０に示されるように、従来のガル
バノミラー装置１００は、装置の中核を構成する第１の
プレート１０１と、第１のプレート１０１の上下に配置
される第２および第３のプレート１０６，１０８と、を
備えている。第１のプレート１０１は、シリコン等の半
導体よりなり、反射ミラー１０２が形成される揺動体１
０３と、２枚の弾性体１０４を介して前記揺動体１０３
を揺動自在に保持する中空部１０５ａが形成された枠体
１０５と、を備えている。

【０００３】前記第２のプレート１０６には、前記揺動
体１０３の反射ミラー１０２に相当する部位に透過孔１
０６ａが形成されており、また、第２のプレート１０６
の下面には一対の電極１０７ａ，１０７ｂが設けられて
いる。また、第３のプレート１０８にも対象な位置関
係，例えば前記弾性体１０４の支持方向を軸にして線対
称となるような位置関係となるように、電極１０９ａ，
１０９ｂが配置され、電極１０７ａ，１０７ｂと電極１
０９ａ，１０９ｂは、それぞれ対向している。第２およ
び第３のプレート１０６，１０７は、それぞれ電気絶縁
された状態で前記第１のプレート１０１に接合されてい
る。

【０００４】上記構成において、揺動体１０３を＋極
（または−極）に帯電させ、また、電極１０７ｂ，１０
９ａを−極（または＋極）に帯電させるか、もしくは電
極１０７ａ，１０９ｂを−極（＋極）に帯電させるかす
ると、揺動体１０３は２枚の弾性体１０４の捻れ変形を
伴いながら、図１０の矢印Ａ（または矢印Ｂ）方向に回
転（揺動）されることになる。

【０００５】次に、上記構成・作用のガルバノミラー装
置を用いた従来の光ディスク装置について図１１を参照
しながら説明する。

【０００６】図１１において、光ディスク装置１１０
は、スピンドルモータ１１１により回転されるディスク
１１２と、光ビームを出射する光学ユニット１１３と、
光ビームを反射する反射ミラーとしての図１０に示され
た構成を備えるガルバノミラー装置１００と、反射され
た光ビームを収束させてビームスポット１１４を形成す
る対物レンズ１１５と、を備えており、ガルバノミラー
装置１００、光学ユニット１１３および対物レンズ１１
５によりディスク１１２の半径方向に移動可能なキャリ
ッジ１１６が構成されている。

【０００７】上記構成を備える光ディスク装置１１０に
おいては、光ディスクに対して情報の記録再生をするた
めに、数１０ｎｍの位置決め精度で、光学ユニット１１
３より出射される光ビームをガルバノミラー装置１００
により反射させ、対物レンズ１１５により形成されたビ
ームスポット１１４を制御する必要がある。さらに、デ
ィスク１１２は図示されない複数本のトラックを周方向
に有しており、各トラックはトラック曲がりを有してい
る。また、図示されないベースに固定された前記スピン
ドルモータ１１１の回転によって、ディスク１１２は、
通常数１０００ｒｐｍの高速で回転させられている。

【０００８】したがって、上記高速回転とトラック曲が
りとにより発生するトラックずれに対して前記ビームス
ポット１１４を追従させる必要がある。このため、ディ
スク１１２の半径方向に移動可能に支持されたキャリッ
ジ１１６を、図示しない磁気回路中のリニアモータコイ
ル（図示されず）に通電することにより移動させると共
に、前記キャリッジ１１６に搭載されたガルバノミラー
装置１００の反射ミラー１０２を含む揺動体１０３を、
図１０の矢印Ａ（または矢印Ｂ）方向に高加速度で回転
運動させることにより、前記トラックに対しビームスポ
ット１１４を追従させている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ビームスポット１１４
をディスク１１２のトラックに追従させるためには、揺
動体１０３を高速で運動させなければならないが、揺動
体１０３の固有振動周波数が低い場合には、電極１０７
ａ，１０７ｂ，１０９ａおよび１０９ｂから供給される
静電力によって揺動体１０３に生じる駆動トルクが揺動
体１０３を変形させてしまい、ビームスポット１１４を
ディスク１１２のトラックに追従させることができない
という問題があった。

【００１０】また、揺動体１０３の固有振動周波数を高
くしようとして、揺動体１０３の厚みを増加させると、
揺動体１０３の慣性モーメントが増加し、揺動体１０３
を高速で運動させることができないという問題があっ
た。

【００１１】そこで本発明は、高速動作が可能となると
共に軽量なガルバノミラー装置を提供でき、かつ、この
ガルバノミラー装置を用いて高精度の位置決め動作およ
び高速シークが可能な光ディスク装置を提供することを
目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の請求項１に係るガルバノミラー装置は、反
射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を支持する弾性体
と、前記揺動体に対向する電極部と、前記弾性体を支持
すると共に前記電極部が設けられたプレート部と、を備
えて静電気力により前記揺動体を回転駆動するガルバノ
ミラー装置において、前記揺動体がシリコンで形成さ
れ、このシリコンの＜１，１，１＞方位が前記プレート
部の面に対して平行な方向で、かつ、前記弾性体を含む
前記プレート部の揺動体の支持軸方向に直交にする方向
であることを特徴としている。

【００１３】また、請求項２に係るガルバノミラー装置
は、上記ガルバノミラー装置において、前記揺動体を形
成しているシリコンの（１，１，２）面が、前記プレー
ト部に対して平行であることを特徴としている。

【００１４】また、請求項３に係るガルバノミラー装置
は、請求項１に記載のガルバノミラー装置において、前
記揺動体を形成しているシリコンの（１，１，０）面
が、前記プレート部に対して平行であることを特徴とし
ている。

【００１５】また、請求項４に係るガルバノミラー装置
は、反射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を支持する
弾性体と、前記揺動体に対向する電極部と、前記弾性体
を支持すると共に前記電極部が設けられたプレート部
と、を備えて静電気力により前記揺動体を回転駆動する
ガルバノミラー装置において、前記揺動体がシリコンで
形成され、このシリコンの＜１，１，０＞方位が前記プ
レート部の面に対して平行な方向で、かつ、前記弾性体
を含む前記プレート部の揺動体の支持軸方向に直交にす
る方向であることを特徴としている。

【００１６】また、請求項５に係るガルバノミラー装置
は、請求項４に記載のものにおいて前記揺動体を形成し
ているシリコンの（１，０，０）面が、前記プレート部
に対して平行であることを特徴としている。

【００１７】また、請求項６に係る光ディスク装置は、
レーザ光を出射する光源と、この光源から出射されるレ
ーザ光の光軸を所定方向に変更するガルバノミラー装置
と、光軸方向を変更されたレーザ光を収束させて回転駆
動されるディスク上にスポットを形成する対物レンズと
を備えるものにおいて、前記ガルバノミラー装置は、反
射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を支持する弾性体
と、前記揺動体に対向して設けられた電極部と、前記弾
性体を支持すると共に前記電極部が設けられるプレート
部と、を備えると共に、前記揺動体がシリコンで形成さ
れ、このシリコンの＜１，１，１＞方位が前記プレート
部の面に対して平行な方向で、かつ、前記弾性体を含む
前記プレート部の前記揺動体の支持軸方向に直交にする
方向となるように構成されて静電気力により前記揺動体
を回転駆動することを特徴としている。

【００１８】また、請求項７に係る光ディスク装置は、
レーザ光を出射する光源と、この光源から出射されるレ
ーザ光の光軸を所定方向に変更するガルバノミラー装置
と、光軸方向を変更されたレーザ光を収束させて回転駆
動されるディスク上にスポットを形成する対物レンズと
を備えるものにおいて、前記ガルバノミラー装置は、反
射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を支持する弾性体
と、前記揺動体に対向して設けられた電極部と、前記弾
性体を支持すると共に前記電極部が設けられるプレート
部と、を備えると共に、前記揺動体がシリコンで形成さ
れ、このシリコンの＜１，１，０＞方位が前記プレート
部の面に対して平行な方向で、かつ、前記弾性体を含む
前記プレート部の前記揺動体の支持軸方向に直交にする
方向となるように構成されて静電気力により前記揺動体
を回転駆動することを特徴としている。

【００１９】以上のような構成を備える本発明によれ
ば、揺動体および電極に所定の電圧を印加することによ
り反射面を微妙に変化させることができるので、反射光
の光軸を高精度に位置決めさせることが可能となり、ま
た、軽量なガルバノミラーを実現できると共に、高速シ
ークが可能な光ディスク装置が実現できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて添付図面を参照しながら詳細に説明する。まず、
図１ないし図４を参照して、本発明の第１実施形態に係
るガルバノミラー装置１０の具体的な構成について説明
する。図１は第１実施形態に係るガルバノミラー装置に
おけるシリコン結晶方位の関係を示す斜視図、図２はガ
ルバノミラー装置の揺動体が駆動力により変形している
状態を示す斜視図、図３は第２のプレートの表面を示す
斜視図、図４はガルバノミラー装置の全体構成を示す斜
視図ある。

【００２１】ガルバノミラー装置１０は、図１に示され
るように、第１のプレート３、第２のプレート４の２つ
のプレートが積層された構造のプレート部５を備えてい
る。第１のプレート３は、前記弾性体２を支持する固定
部７と、ミラー面が形成されている楕円状の揺動体１
と、２枚の弾性体２ａおよび２ｂと、揺動体１を保護す
るためにミラー面を囲むように形成された４つのガード
部８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄと、を備えている。固定部７
は、第１のプレート３の外周部分に対応して形成された
ものであり、第２のプレート４に接合されることにより
第１のプレート３の全体を固定保持している。

【００２２】楕円状に形成された揺動体１は、その全表
面に、後述する半導体レーザ等からのレーザ光を反射す
るべく鏡面加工によりミラー面に仕上げられている。な
お、ミラー面は鏡面加工により形成するとともに、揺動
体１の表面に金属薄膜や誘電体多層膜等を蒸着した反射
膜により構成することもできる。

【００２３】弾性部２ａ，２ｂは、その一端が揺動体１
に、他端が固定部７にそれぞれ接続されることにより、
揺動体１と固定部７とを連結すると共に、揺動体１を吊
設支持している。なお、図３に示されるように、第２の
プレート４には、１ミクロンから２０ミクロン程度の段
差９が形成されており、この段差９の長さ分の空隙部１
１が第１プレート３と第２のプレート４との間に形成さ
れている。また、揺動体１は、ガード部８ａ，８ｂ，８
ｃ，８ｄによって保護されている。

【００２４】ここで、揺動体１を形成するシリコンは、
その結晶方位において、図１に示されるように、＜１，
１，１＞方位が第２のプレート４の平面１２に平行で、
弾性体２ａ，２ｂによる支持軸１５の方向と直交するよ
うに構成されている。また、揺動体１の質量重心は、２
枚の弾性部２ａ，２ｂを結ぶ線上の丁度中間付近となる
ように構成されている。

【００２５】なお、第１のプレート３を構成する固定部
７、揺動体１、２枚の弾性体２ａ，２ｂ、ガード部８
ａ，８ｂ，８ｃおよび８ｄは、異方性を有するドライエ
ッチングにより一体的に形成されている。

【００２６】一方、第２プレート４は、例えばガラス板
等の電気的絶縁材料により形成されるか、あるいは表面
に電気的絶縁材料（または酸化膜）がコーティングされ
たシリコンにより形成されており、第１のプレート３の
固定部７に対して静電接合や水ガラスを介した接合手法
により接合されている。また、図３に示すように、第２
プレート４上の揺動体１と対向する部位には、揺動体１
よりも大きく、揺動体１のほぼ全周にわたってはみ出し
ている電極６ａおよび６ｂが形成されている。また、電
極６ａ，６ｂはそれぞれ、端子１３ａ，１３ｂにより電
気的に接続されている。そして、外部より端子１３ａ，
１３ｂに電圧を印加することにより、電極６ａ，６ｂに
電圧を印加することができるようになっている。

【００２７】一方、固定部７上には、端子１４ａ，１４
ｂが形成されており、この端子１４ａ，１４ｂはグラン
ドに接続される。これにより揺動体１の電位は常にグラ
ンドと同じレベルになる。このように構成されている第
１実施形態に係るガルバノミラー装置１０は、後述する
光学ヘッドの一部に設けられた端子とガルバノミラー装
置１０に設けられた端子１３ａ，１３ｂとが半田などの
手段により電気的に接続されることにより電気的な駆動
が可能となるよう構成される。

【００２８】上記構成において、揺動体１を＋極（また
は−極）に帯電させ、また、電極１３ａ，１４ｂを−極
（または＋極）に帯電させるか、もしくは電極１３ｂ，
１４ａを−極（＋極）に帯電させるかすると、揺動体１
は２枚の弾性体２ａ，２ｂの捻れ変形を伴いながら、図
４の矢印Ａ（または矢印Ｂ）方向に回転（揺動）される
ことになる。

【００２９】次に、上記構成を有する第１実施形態に係
るガルバノミラーの具体的な駆動方法を説明する。ま
ず、端子１３ａと１４ａ、さらに端子１３ｂと１４ｂの
間に電圧を印加し、印加する電圧を変化させると、揺動
体１と電極６ａ，６ｂがクーロン力により引き合う力の
バランスが崩れるので、揺動体１には回転トルクが作用
し、２枚の弾性部２ａ，２ｂがねじれ変形し、揺動体１
は図４中のＡまたはＢ方向に回転する。

【００３０】図４中の矢印Ａまたは矢印Ｂ方向の回転に
より、光ディスクのトラッキング制御がなされるが、前
述のように、揺動体１は電極６ａ，６ｂのクーロン力に
より吸引されて駆動されるので、図２のように揺動体１
の形状が変化すると、高速で揺動体１を駆動することが
不可能になり、結果として、回転により高速で運動する
光ディスクのトラックにビームスポットを追従すること
ができない。

【００３１】ところで、シリコンは共有結合体であるの
で、金属材料とは異なり、結晶方位により材料の剛性が
変化することは一般によく知られており、等価的なヤン
グ率が最も高い結晶方位は、シリコンの場合、＜１，
１，１＞方位であることも一般に知られている。これ
は、例えば、J.J.Wortman らにより、Young′s Modulu
s,Shear Modulus,and Poisson′s Ratio in Silicon an
dGermanium Journal of Applied Physics Volume 36,Nu
mber 1 January 1965に報告されている。

【００３２】特に、本発明においては、揺動体１を形成
するシリコンの結晶方位において、＜１，１，１＞方位
が第２のプレート４の平面１２に平行で、弾性体２ａ，
２ｂの支持軸１５の方向に直交する方向に形成されてい
るので、揺動体１を図２に示す方向に変形させる力に対
しても、最も剛性が高くなり、高速で揺動体１を駆動す
ることが可能になる。

【００３３】また、揺動体１を形成するシリコンの結晶
方位において、（１，１，２）面を面１２と平行にし、
かつ＜１，１，１＞方位を弾性部２ａ，２ｂの延直方向
に垂直に形成すると、揺動体１を図２に示す方向に変形
させる力に対して、最も剛性が高くなるだけでなく、シ
リコンの結晶方位の対称性と、ガルバノミラーの形状の
対称性が一致するので、弾性部２ａ，２ｂのねじり剛性
が図４における矢印Ａ方向のどちら側にも対称になり、
電極６ａ，６ｂに加える印加電圧に対して、揺動体１の
偏角がより線形になる。

【００３４】このような構成のガルバノミラー装置１０
によれば、揺動体２７の剛性が高いので、例えば高速で
運動する光ディスクのトラックに対して、より高い精度
でビームスポットを追従させることができる。このよう
な構成のガルバノミラー１０によれば、シリコン等の半
導体の材料によって全体が構成されているので、ヨー
ク、磁石、コイルなど質量の大きい要素を具備していな
い。したがって、従来に比べて大幅な軽量化を図ること
が可能となる。そのため、例えば光ディスク装置の光学
ヘッド等にこのガルバノミラー装置１０を搭載し多場合
には、光学ヘッドを軽量・小型にすることができ、ま
た、光学ヘッドの高速シークが可能となる。次に、本発
明の第２実施形態に係るガルバノミラー装置について説
明する。なお、以下に説明する各実施形態においては、
前述の第１実施形態と同一構成要素には同一符号を付し
て重複する説明を省略する。図５は図１と同じく、第２
実施形態に係るガルバノミラー装置を構成する揺動体１
Ｂとシリコン結晶方位の関係を示す斜視図である。

【００３５】本第２実施形態が第１実施形態と異なる点
は、シリコン結晶方位にある。すなわち、図５に示すよ
うに、第２実施形態のガルバノミラー装置１０Ａにおい
ては揺動体１Ｂを形成するシリコンは、その結晶方位に
おける＜１，１，０＞方位が弾性体２ａ，２ｂの支持軸
１５の方向と直交する方向に構成されている。

【００３６】ガルバノミラー装置１０Ａの第１のプレー
ト３、第２のプレート４はシリコンウェハをダイシング
することにより得られるが、半導体用途として一般に用
いられるウェハは（１，０，０）面をウェハ面とするウ
ェハであり、第１の実施形態に示した（１，１，２）面
をウェハ面とするウェハは、流通量が少なく高価であ
る。そこで、この（１，０，０）ウェハを用いることに
より、ガルバノミラー装置１０Ａを構成すると、材料コ
ストを低減させることができる。

【００３７】図５のように、（１，０，０）ウェハを用
いる際に、＜１，１，０＞方位が弾性体２ａ，２ｂの支
持軸方向と直角になるように構成されたガルバノミラー
装置においては、揺動体１Ｂを図５に示す矢印Ａおよび
矢印Ｂの方向に変形させる力に対して、剛性が高いだけ
でなく、シリコンの結晶方位の対称性と、ガルバノミラ
ーの形状の対称性が一致するので、弾性体２ａ，２ｂの
ねじり剛性が図５中Ａ方向のどちら側にも対称になり、
電極６ａ，６ｂに加える入力電圧に対して、揺動体１Ｂ
の偏角がより線形になる。

【００３８】次に、上記第１および第２実施形態に係る
ガルバノミラー装置を用いた光ディスク装置について説
明する。まず、図６から図９を用いて本発明のガルバノ
ミラーを搭載した光ディスク装置について説明する。こ
こで、図６は光ディスク装置の内部構造を示す断面図、
図７は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、図８は光学ヘ
ッドの断面図、図９は光学ユニットの断面図である。

【００３９】図６において、ガルバノミラー装置１０を
用いた光ディスク装置２０は、情報の記録再生に供され
る光ディスクや光磁気ディスク等のディスク２１と、ベ
ース（図示されず）に固定されたスピンドルモータ２２
と、を備えている。ディスク２１は、スピンドルモータ
２２に対してマグネットチャック等のチャッキング手段
により保持されており、記録再生時にはこのスピンドル
モータ２２によって安定に回転駆動される。

【００４０】ディスク２１に照射するためのレーザ光を
生成する半導体レーザ２３は、図９に詳細に示すよう
に、フォトディテクタ２４およびＨＯＥ（Holographic
Optical Element ）素子２５と共に光学ユニット２６を
構成しており、この光学ユニット２６は光学ヘッド２７
に固定されている。なお、光学ユニット２６には放熱性
を高める目的で複数の凹凸が形成されている。

【００４１】半導体レーザ２３より発せられたレーザ光
は、ガラス面に形成されたＨＯＥ素子２５を通過し、コ
リメートレンズ２８により平行光束２９とされる。ガル
バノミラー装置１０は、この平行光束２９と対物レンズ
３０の光軸がなす角をθとすると、平行光束２９、対物
レンズ３０の光軸と共に角度θ／２で交わる平面３１に
固定される。

【００４２】平行光束２９は、上述したガルバノミラー
装置１０によって角度θだけ向きを変え、絞り３２によ
り対物レンズ３０の有効領域に入射されるよう平行光束
３３となり、対物レンズ３０よりディスク２１の記録ト
ラック上に集光され、焦点を形成する。

【００４３】また、ディスク２１からの反射光は、対物
レンズ３０に戻り、絞り３２を通過し、ガルバノミラー
装置１０、コリメートレンズ２８を経由し、ＨＯＥ素子
２５で向きを変えてフォトディテクタ２４に戻される。
フォトディテクタ２４に取り込まれた反射光から、記録
情報信号、フォーカスエラー信号、トラックエラー信号
等が生成される。そして、フォーカスエラー信号を用い
ることにより対物レンズ３０のフォーカス方向の位置ズ
レが検出され、この位置ズレを補正するようにフォーカ
スコイル３４に電流を流す制御動作を行なう。

【００４４】また、図７に示すように、トラックエラー
信号を用いることにより対物レンズ３０のトラック方向
の位置ズレが検出され、この位置ズレを補正するように
リニアモータコイル３５とガルバノミラー装置１０に電
圧を加えて制御動作を行なうようにしている。このよう
にしてディスク２１の記録トラック上に情報が記録さ
れ、またディスク２１の記録トラック上から情報が読み
取られる。

【００４５】対物レンズ３０は、図８に示すように、プ
ラスチックマグネットで形成された対物レンズホルダ３
６に保持されている。また平行板バネ３７の一端が対物
レンズホルダ３６に固定され、平行板バネ３７の他端は
光学ヘッド２７に固定されることにより、対物レンズ３
０はその光軸方向に移動可能に支持されている。プラス
チックマグネットからなる対物レンズホルダ３６と、光
学ヘッド２７に巻装固定されたフォーカスコイル３４に
流れる電流との間に電磁力が作用して、対物レンズ３０
にフォーカス駆動力を発生させる。

【００４６】リニアモータコイル３５は筒状に形成され
ており、光学ヘッド２７の両側面に各１個が固定されて
いる。光学ヘッド２７のリニアモータコイル３５を挟ん
で両側には、計３個の滑り軸受３８が形成されており、
ディスク２１の径方向に延設された２本のガイドシャフ
ト３９とそれぞれ係合している。これにより光学ヘッド
２７はディスク２１の半径方向に移動できるように支持
されている。

【００４７】ガイドシャフト３９は磁性体で形成されて
おり、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。
そして、ガイドシャフト３９の両側にはコ字形のバック
ヨーク４１が固定されている。また磁気ギャップを挟ん
でリニアモータコイル３５と対向する位置にはラジアル
磁石４２が配置され、バックヨーク４１に固定されてい
る。これらガイドシャフト３９、バックヨーク４１、ラ
ジアル磁石４２がラジアル磁気回路４０を形成してお
り、リニアモータコイル３５に磁界を作用させ、リニア
モータコイル３５に流れる電流との電磁作用により、光
学ヘッド２７にディスク２１の半径方向への駆動力を発
生させている。

【００４８】上記構成を備える第３実施形態に係る光デ
ィスク装置によれば、光源からの光軸を対物レンズ方向
に反射させるガルバノミラー装置により光源からの光軸
を高精度に微調整して対物レンズ方向に出射させること
ができ、高速シークが可能な光ディスク装置を実現でき
る。なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変
形変更が可能なことは言うまでもない。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
精度に光軸の位置決め動作が可能となると共に半導体材
料により軽量なガルバノミラー装置を提供することがで
き、さらにこれを用いて光ディスクの情報記録トラック
上に光スポットを形成する際の高速シークが可能な光デ
ィスク装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るガルバノミラー装
置におけるミラーとシリコン結晶方位との関係を示す斜
視図。

【図２】第１実施形態に係るガルバノミラー装置の揺動
体が駆動力により変形している状態を示す斜視図。

【図３】第１実施形態に係るガルバノミラー装置におけ
る第２のプレートの表面を示す斜視図。

【図４】第１実施形態に係るガルバノミラー装置の全体
を示す斜視図。

【図５】本発明の第２実施形態に係るガルバノミラー装
置におけるミラーとシリコン結晶方位との関係を示す斜
視図。

【図６】本発明の第３実施形態に係る光ディスク装置の
内部構造を示す断面図。

【図７】第３実施形態に係る光ディスク装置における光
学ヘッドを含む駆動系を示す平面図。

【図８】第３実施形態における光学ヘッドを示す断面
図。

【図９】第３実施形態における光学ユニットを示す断面
図。

【図１０】従来のガルバノミラー装置を示す斜視図。

【図１１】従来のガルバノミラー装置を用いた光ディス
ク装置の内部構造を示す断面図。

【符号の説明】

１揺動体２弾性体（支持手段）３第１のプレート４第２プレート５プレート部６ａ，６ｂ電極１０ガルバノミラー１２，３１平面１３ａ，１３ｂ端子１４ａ，１４ｂ端子１５支持軸２１ディスク２３半導体レーザ２６光学ユニット２７光学ヘッド３０対物レンズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を
支持する弾性体と、前記揺動体に対向して設けられた電
極部と、前記弾性体を支持すると共に前記電極部が設け
られるプレート部と、を備えて静電気力により前記揺動
体を回転駆動するガルバノミラー装置において、前記揺動体がシリコンで形成され、このシリコンの＜
１，１，１＞方位が前記プレート部の面に対して平行な
方向で、かつ、前記弾性体を含む前記プレート部の前記
揺動体の支持軸方向に直交にする方向であることを特徴
とするガルバノミラー装置。
【請求項２】前記揺動体を形成しているシリコンの
（１，１，２）面が、前記プレート部に対して平行であ
ることを特徴とする請求項１に記載のガルバノミラー装
置。
【請求項３】前記揺動体を形成しているシリコンの
（１，１，０）面が、前記プレート部に対して平行であ
ることを特徴とする請求項１に記載のガルバノミラー装
置。
【請求項４】反射ミラーを含む揺動体と、この揺動体を
支持する弾性体と、前記揺動体に対向して設けられた電
極部と、前記弾性体を支持すると共に前記電極部が設け
られるプレート部と、を備えて静電気力により前記揺動
体を回転駆動するガルバノミラー装置において、前記揺動体がシリコンで形成され、このシリコンの＜
１，１，０＞方位が前記プレート部の面に対して平行な
方向で、かつ、前記弾性体を含む前記プレート部の前記
揺動体の支持軸方向に直交にする方向であることを特徴
とするガルバノミラー装置。
【請求項５】前記揺動体を形成しているシリコンの
（１，０，０）面が、前記プレート部に対して平行であ
ることを特徴とする請求項４記載のガルバノミラー装
置。
【請求項６】レーザ光を出射する光源と、この光源から
出射されるレーザ光の光軸を所定方向に変更するガルバ
ノミラー装置と、光軸方向を変更されたレーザ光を収束
させて回転駆動されるディスク上にスポットを形成する
対物レンズと、を備える光ディスク装置において、前記ガルバノミラー装置は、反射ミラーを含む揺動体
と、この揺動体を支持する弾性体と、前記揺動体に対向
して設けられた電極部と、前記弾性体を支持すると共に
前記電極部が設けられるプレート部と、を備え、前記揺
動体がシリコンで形成され、このシリコンの＜１，１，
１＞方位が前記プレート部の面に対して平行な方向で、
かつ、前記弾性体を含む前記プレート部の前記揺動体の
支持軸方向に直交にする方向となるように構成されて静
電気力により前記揺動体を回転駆動することを特徴とす
る光ディスク装置。
【請求項７】レーザ光を出射する光源と、この光源から
出射されるレーザ光の光軸を所定方向に変更するガルバ
ノミラー装置と、光軸方向を変更されたレーザ光を収束
させて回転駆動されるディスク上にスポットを形成する
対物レンズと、を備える光ディスク装置において、前記ガルバノミラー装置は、反射ミラーを含む揺動体
と、この揺動体を支持する弾性体と、前記揺動体に対向
して設けられた電極部と、前記弾性体を支持すると共に
前記電極部が設けられるプレート部と、を備え、前記揺
動体がシリコンで形成され、このシリコンの＜１，１，
０＞方位が前記プレート部の面に対して平行な方向で、
かつ、前記弾性体を含む前記プレート部の前記揺動体の
支持軸方向に直交にする方向となるように構成されて静
電気力により前記揺動体を回転駆動することを特徴とす
る光ディスク装置。