JP4193340B2 - ガルバノマイクロミラーとこれを用いた光ディスク装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガルバノマイクロミラーとこれを用いた光ディスク装置に係り、とくに静電駆動方式のガルバノマイクロミラーに関する。
【0002】
【従来の技術】
光ディスク装置、例えば光磁気ディスク装置は、光ビームにより情報を記録再生するトラック位置にシーク移動する光学ヘッドに、光ビームを光ディスク面に合焦する対物レンズと光ビームの反射(照射)位置を制御するガルバノマイクロミラーとを搭載し、半導体レーザ光源や光検出器などは光学ヘッドに搭載せずベースなどに固定している。
【0003】
例えば、図7の従来技術による光ディスク装置の構成図に示すように、半導体レーザ111 や光検出器112 などの固定光学系113 は、図示しないベースなどに固定される。光ビームLは、同じく固定配置された反射ミラー117 を介して光学ヘッド115 内に搭載された対物レンズ116 に出射される。
【0004】
対物レンズ116 は、光ディスク110 上のトラックに光ビームLを合焦し、その反射光を再び逆の経路で光検出器112 に導く。光学ヘッド115 は、図示しない駆動手段によってトラッキング方向Xおよびフォーカシング方向Yにそれぞれ駆動される。
【0005】
レーザ光の対物レンズ116 への入射角度の微小な変化は、ガルバノミラー114 の揺動角度の制御によって補正される。この角度制御方式に静電駆動制御方式がある。
【0006】
例えば、特願平11−183253号公報に開示されているガルバノマイクロミラーは、図8の分解斜視図に示すように、電極基板20とミラー基板21とを備え、ミラー基板21は枠状の基部22とミラー部23とで構成され、基部22とミラー部23はミラー部23を所定の角度範囲で捩れ可能に支持する一対のトーションバー部24で連結されている。
【0007】
ミラー部23の一方の主面(表面)には、ミラー面25が形成されており、ミラー部23の他方の裏面には、一対の電極26a,26bからなる第1電極26が形成されている。ミラー基板21は、トーションバー部24の軸芯を中心とする線対称に構成されている。
【0008】
電極基板20のミラー部23との対向面には、トーションバー部24の軸芯を中心とする線対称の形状の貫通孔27と、一対の電極26a,26bに対向して一対の電極28a,28bからなる第2電極28とが形成されている。
【0009】
第1電極26の電極26aと電極26bは共通電位とし、第2電極28の電極28aと電極28bとは、電気的に互いに絶縁され、制御装置に接続されている。
【0010】
第1電極26の電位を例えば0Vとし、第2電極28の電極28a,28bに正または負の電圧を印加すると、電極間に静電引力が作用して、トーションバー部24が捻じれ、ミラー部23が回動(揺動)する。
【0011】
このときの揺動角度は印加電圧を変えることにより制御可能で、光ビームの反射方向を変えて光ビームの照射位置を制御する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
光ディスク装置に用いるガルバノマイクロミラーは、光学的にはミラー面の平面度が高いことと同時に、高速で光ディスク上の情報を記録再生するトラック位置に光ビームを正確に照射できるように、ミラー面を高速に角度制御する必要がある。
【0013】
そのため、バルク基板を加工して厚さが数100μmのガルバノマイクロミラーを製作すれば、ミラー面の平面度は問題はないが、ミラー部の質量が大きくなってミラー部の質量が大きくなるため、慣性モーメントが大きくなって高速シークできなくなる。そのため、ミラー部の質量を軽減する必要がある。
【0014】
そのため、例えば特開平6−214181号公報の「光スキャナ用ミラー」は、ミラーの軽量化と高速応答性を改善することを開示している。開示された光スキャナ用ミラーの駆動方式は静電駆動方式ではないが、ミラーの光反射面とは反対側の裏面に複数の凹部を形成することにより、ミラーの厚さを薄くすることなく質量の軽量化を図っている。しかし、この凹部形成による軽量化にもミラー面の平面度を高い精度に維持する関係から限度がある。
【0015】
また一方では、光ディスクの記録密度を高くするため、短波長、例えば400nmの青色光ビームを光源を用いた場合には、ミラー形成部の表面に薄くても反射率の高いアルミニウムや金のような金属膜を用いてミラー面を形成しても、ミラー面を反射する際に位相が回転し、誤った情報が記録再生されるという問題がある。
【0016】
これを避けるため、ミラー形成部の表面に、例えば、SiO2 とTa2 O5 の誘電体層を積層してミラー面を形成する必要があるが、誘電体層の残留応力等のためにミラー面が反ってしまう。この反りを相殺するための誘電体層をミラー形成部の裏面にも積層すると、前記特開平6−214181号公報に開示された複数の凹部形成による軽量化ができないという問題が生じている。
【0017】
上記問題点に鑑み、本発明は静電駆動方式のガルバノマイクロミラーのミラー基板の質量を軽量化して慣性モーメントを小さくし、このガルバノマイクロミラーを用いて高速シークが可能な光ディスク装置を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1のガルバノマイクロミラーにおいては、光ビームを反射するミラー(ミラー面)を形成するためのミラー形成部と、該ミラー形成部を支持する軸部と、前記ミラー形成部を前記軸部の回りに静電気力で回動させるための電極を両面に形成するための電極形成部とを有し、前記ミラー形成部にミラーを、前記電極形成部に前記電極を形成したミラー基板を備え、前記ミラー形成部の厚さよりも前記電極形成部の厚さを薄く形成して構成する。
【0019】
また、請求項2の光ディスク装置においては、光ビームを光ディスク面に合焦する対物レンズと共にシーク移動する光学ヘッド内の前記光ビームの光路に、請求項1記載のガルバノマイクロミラーを組み込んで構成する。
【0020】
このように構成することにより、ミラー形成部に凹部などの加工を施さないため、ミラー形成部のミラー面(反射面)の平面度を損なうことなく、ミラー形成部の質量を軽量化できる。
【0021】
また、短波長光源に適用するため、ミラー形成部の表裏面に誘電体層を積層する場合においてもミラー面の平面度を高い精度に維持したまま、ミラー形成部の質量を軽量化でき、この軽量化されたガルバノマイクロミラーを光学ヘッドに組み込むことにより、光ディスク装置の高速シークが可能となる。更に請求項3のガルバノマイクロミラーにおいては、前記電極成形部に前記電極を電気的に接続するための貫通孔を有してた構成とする。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示した各実施例に基づいて本発明の要旨を詳細に説明する。
片面に平面度の高い高光反射率のミラー(ミラー面)があり、他方の面または両面に静電駆動のための電極を形成したミラー部の両端中央部を2本の軸部で支持した構造をもち、その1次共振周波数がおよそ100Hz乃至数KHzで、ミラー面を±0.1°程度の角度範囲で駆動制御する光ディスク装置用のガルバノマイクロミラーの場合を例にとって説明する。
【0023】
図1は本発明による第1実施例のガルバノマイクロミラーの側断面図、図2は図1の分解斜視図、図3は図2の組立側面図、図4は、図1のミラー基板の裏面形状を示す斜視図である。
【0024】
図1及び図2に示すように、ガルバノマイクロミラーは、ミラー基板1と、一対の電極基板2、即ち第1電極基板2a、第2電極基板2bとからなり、図2のようにミラー基板1の両面から第1電極基板2aと第2電極基板2bで挟んで構成する。なお、図2の第2電極基板2bは、合わせ面から見て図示してあり、円弧矢印方向に反転して重ねられる。(ミラー基板1と第1電極基板2aとは上側から見た斜視図であり、第2電極基板2bは下側から見た斜視図である。)
なお、図2中の1a,2a−1,2b−1は、ミラー基板1,第1電極基板2a,第2電極基板2bのそれぞれの外部接続用電極パッドで、各電極パッドが表面に露出するように基板サイズを段々に大きくし、外部の制御装置に接続するように配置してある。
【0025】
ミラー基板1は、枠状の基部3とミラー部4とで構成し、ミラー部4はミラー形成部5と電極形成部6、即ち左側6a及び右側6bとで構成する。ミラー形成部5と、電極形成部6a及び6bとは、それぞれの厚さが異なり、その厚さの段差位置で区分される。ミラー形成部5にはミラー5a、即ちミラー面(反射面)を形成し、電極形成部6には後述する各電極を形成する。
【0026】
基部3とミラー部4は、ミラー部4のミラー面5aを±0.1°程度の角度範囲で捩れ可能に支持する一対の軸部4a、即ちトーションバー部で一体連結する。したがって、枠状の基部3とミラー部4との間は2本のトーションバー部4aを除いて貫通溝4bで切開された形状になっている。
【0027】
ミラー部4は、ミラー形成部5の一方の主面(表面)に高反射率のアルミニウムなどの金属膜を蒸着したミラー面5aを備え、トーションバー部4aの軸心を中心とする線対称の形状にして構成する。ミラー部4の左右両側の電極形成部6は、裏面に一対の電極7a,7bからなる第1電極7を備え、さらに表面に一対の電極8a,8bからなる第2電極8を備える。
【0028】
ミラー基板1を両面から挟む第1電極基板2a及び第2電極基板2bは、ミラー部4のミラー面5aとのそれぞれの対向部分を貫通させて形成した、トーションバー部4aの軸心を中心とする線対称の形状の貫通孔9,10を備える。第2電極基板2b側の貫通孔10は光ビームと反射光を通過させるためのもので、第1電極基板2a側の貫通孔9は必ずしも必要としないが、第1電極基板とミラー部の空間にある空気層によるミラー部のダンピングの軽減とガルバノマイクロミラー全体の軽量化には効果がある。
【0029】
ミラー基板1の下側に重ねた第1電極基板2aは、一対の電極7a,7bに対向して一対の電極11a,11bからなる第3電極を備える。また、ミラー基板1の上側に重ねた第2電極基板2bは、一対の電極8a,8bに対向して一対の電極12a,12bからなる第4電極を備える。
【0030】
電極7aと電極8a、及び電極7bと電極8bは、それぞれの電極領域に貫通形成した接続孔13内に設けた導電体13a(導電性ペーストの充填またはパターン配線による)より電気的に接続し、配線パターン14及び端子パッド1a(図1、図2参照)を介して共通電位とする。
【0031】
第3電極の電極11aと電極11b、及び第4電極の電極12aと電極12bは電気的に絶縁する。第3電極の電極11aと電極11bは、配線パターン15により端子パッド2a−1(図2参照)を介して図示しない制御装置に接続する。
【0032】
第4電極の電極12aと電極12bは、外部との電気的接続を可能にするため、接続孔16内に設けた導電体16a(導電性ペーストの充填またはパターン配線による)より外面側に導出し、点線で示す配線パターン17を介して端子パッド2b−1から図示しない制御装置に接続する。
【0033】
いま、ミラー面5aをトーションバー部4aを軸心にして反時計方向に回動するには、電位が例えば0Vの電極7b,電極8aに対し、電極11b,電極12aに正(または負)の角度制御電圧を印加し、またミラー面5aを時計方向に回動するには、電位が例えば0Vの電極7a,電極8bに対し、電極11a,電極12bに正(または負)の角度制御電圧を交互に印加する。このように電圧を印加することにより、電極間に静電引力が作用して、トーションバー部4aが捩じられてミラー部4を回動させることができる。
【0034】
また、上記2種類の電圧を交互に印加することによりミラー部4を揺動させることができる。このときの揺動角度制御は、反射光の検出出力に応じて印加電圧を変化させて行い、光ビームの反射方向を変化させて光ビームの照射位置を制御することができる。
【0035】
この第1の実施例では、ミラー基板1は、厚さ300μm、面積7mm×6.5mmで、(1,0,0)面の異方性を有するシリコンウエハを使用し、周知のホトリソグラフィ技術による異方性エッチングプロセスを経て形成する。ミラー形成部5は、面積2mm×3mm、厚さ300μmで、トーションバー部4aの断面積は厚さ50μm×幅50μmでその長さは500μmとする。
【0036】
ミラー部4の左右両側の電極形成部6(片側領域のサイズは1.5mm×4.0mm)の厚さを、ミラー部4の厚さ300μmより200μmだけウエットまたはドライエッチングにより除去して100μmと薄くすることにより、薄くしないものに比べてミラー部4の電極形成部6の質量を約60%程度に軽量化でき、ガルバノマイクロミラーの加速度を高速化できる。
【0037】
なお、電極形成部6の厚さを100μmと薄くしてもガルバノマイクロミラーに組み立てた後や揺動時において、ミラー面5aに反りは発生せず、電極形成部6に数100nm以下の反りや湾曲が生じても、光ディスク装置用としてのガルバノマイクロミラーの動作性能に影響することはない。
【0038】
つぎの図5は本発明による第2の実施例のミラー基板の側断面図である。ガルバノマイクロミラーは、情報の高密度記録に有効な短波長、例えば400nmの青色光ビームなどの光源に適用するため、ミラー形成部5の表裏面にSiO2 とTa2 O5 、またはSiO2 とTiO2 などの誘電体層21a,21bを積層してミラー面を形成している。裏面に積層した誘電体層21bは、ミラー面として積層した誘電体層21aの残留応力を相殺するものである。ミラー基板1の他の構成要素及びミラー基板1を挟む一対の電極基板2、即ち第1の電極基板2aと第2の電極基板2bは第1の実施例と同じで、それぞれの説明は省略する。
【0039】
ミラー形成部5の表裏面に誘電体層21a,21bを積層した場合も、電極形成部6の厚さを100μmと薄くすることにより、ミラー面の平面度を高い精度に維持しながらミラー形成部の質量を第1の実施例と同様に約60%程度に軽量化でき、ガルバノマイクロミラーの加速度を高速化できる。
【0040】
なお、ミラー基板と電極基板の貼合わせ作業は、それぞれをチップ状に切断した後に行っても良いし、ミラー基板及び電極基板のチップパターンを形成したシリコンウエハをウエハ状態のまま貼り付け、貼り付け終了後にチップ状に切断しても良い。
【0041】
このように、ミラー形成部を軽量化して慣性モーメントを小さくした構造のガルバノマイクロミラーは、シーク時における高周波領域の高速応答性能に優れ、図6の光ディスク装置の構成図(図7の従来の光ディスク装置と同じ構成要素は同一符号が付してある)に示すように、本発明によるガルバノマイクロミラー100を対物レンズ116と共に光学ヘッド115の光路に組み込むことにより、光ディスク110の情報トラックへの高速シークが可能となる。とくに、短波長の青色光ビームの光源などに適用して、情報の高密度記録化に貢献できる。
【0042】
なお、本発明の上記説明は、ミラー基板を両側から第1電極基板と第2電極基板で挟む構成としたが、片方の第1電極基板を重ねた構成であっても従来と同じようにミラー面の揺動制御が静電駆動方式によって可能である。
【0043】
また、上記説明はミラー部を回動(揺動)支持するのは、そのものが捩じられるトーションバー部としたが、軸受などで枢着されてそのものが捩じられない回転軸であってもよい。
【0044】
また、上記説明はミラー形成部の両側に電極を形成したが、ミラー部が回動(揺動)支持されている限り、片側に電極を形成した場合にも適用できる。
また、電極形成部の厚さは、ミラー形成部との境界部は直角の段差でなく曲面または傾斜面でなだらかにつながっていてもよい。これらの変形構造は、上記2実施例と同様の作用、効果を発揮するものである。
【0045】
【発明の効果】
以上、詳述したように本発明によれば、従来と同様のミラー面の高い平面度を維持したまま、ミラー形成部の軽量化が可能となってその慣性モーメントを小さく軽減できるため、光ディスク装置用のガルバノマイクロミラーの加速度性能を向上できる。
【0046】
また、この慣性モーメントの小さいガルバノマイクロミラーを光ディスク装置の光学ヘッドに組み込むことにより、情報を記録再生するトラック位置への高速シークが可能となり、短波長光ビームによる情報の高密度記録化に貢献できるという産業上極めて有用な効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による第1実施例のガルバノマイクロミラーの側断面図
【図2】 図1の分解斜視図
【図3】 図2の組立側面図
【図4】 図1のミラー基板の裏面形状を示す斜視図
【図5】 本発明による第2の実施例のミラー基板の側断面図
【図6】 本発明によるガルバノマイクロミラーを用いた光ディスク装置の構成図
【図7】 従来技術による光ディスク装置の構成図
【図8】 従来技術によるガルバノマイクロミラーの分解斜視図
【符号の説明】
1:ミラー基板
2:一対の電極基板
2a:第1電極基板
2b:第2電極基板
3:基部
4:ミラー部
4a:軸部(トーションバー部)
4b:貫通溝
5:ミラー形成部
5a:ミラー(ミラー面)
6:電極形成部
7:第1電極
7a,7b:一対の電極
8:第2電極
8a,8b:一対の電極
9,10:貫通孔
11:第3電極
11a,11b:一対の電極
12:第4電極
12a,12b:一対の電極
21a,21b:誘電体層
100:ガルバノマイクロミラー
Claims (3)
- 光ビームを反射するミラーを形成するためのミラー形成部と、該ミラー形成部を支持する軸部と、前記ミラー形成部の両端にあって、前記ミラー形成部を前記軸部の回りに静電気力で回動させるための電極を両面に形成するための電極形成部とを有し、前記ミラー形成部にミラーを、前記電極形成部に前記電極を形成したミラー基板を備え、
前記ミラー形成部の厚さよりも前記電極形成部の厚さが薄く形成されていることを特徴とするガルバノマイクロミラー。 - 光ビームを光ディスク面に合焦する対物レンズと共にシーク移動する光学ヘッド内の前記光ビームの光路に、請求項1記載のガルバノマイクロミラーが組み込まれてなることを特徴とする光ディスク装置。
- 前記電極成形部に前記電極を電気的に接続するための貫通孔を有したことを特徴する請求項1に記載のガルバノマイクロミラー。
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