JP2007286172A - マイクロミラー、及び、電極形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】その表面に凹部が形成された基台と、基台に対して揺動可能に支持された反射ミラーと、反射ミラーとの間に静電引力を発生させるよう当該反射ミラーに近接配置された電極とを備え、反射ミラーの傾き角が所定範囲を越えたとき、その傾きが基台表面によって規制されるよう該凹部上に電極を形成したことを特徴としたマイクロミラーを提供する。
【選択図】図1
Description
12a、12b トーションバー
40 基台
51、52 電極
100 マイクロミラー
Claims (9)
- 静電駆動型のマイクロミラーにおいて、
その表面に凹部が形成された基台と、
前記基台に対して揺動可能に支持された反射ミラーと、
前記反射ミラーとの間に静電引力を発生させるよう当該反射ミラーに近接配置された電極と、を備え、
前記反射ミラーの傾き角が所定範囲を越えたとき、その傾きが前記基台表面によって規制されるよう該凹部上に前記電極を形成したこと、を特徴とするマイクロミラー。 - 静電駆動型のマイクロミラーにおいて、
その表面に凹部が形成された基台と、
前記基台に対して揺動可能に支持された反射ミラーと、
該凹部上に形成された、前記反射ミラーとの間に静電引力を発生させる電極と、を備え、
前記反射ミラーの傾き角が所定範囲を越えたとき、その傾きが前記基台表面によって規制されるよう該凹部を形成したこと、を特徴とするマイクロミラー。 - 前記反射ミラーの傾きは、その端部が前記基台表面に当接することにより規定されること、を特徴とする請求項1又は請求項2の何れかに記載のマイクロミラー。
- 静電駆動型のマイクロミラーにおいて、
その表面に凹部が形成された基台と、
前記基台に対して揺動可能に支持された反射ミラーと、
該凹部上に形成された、前記反射ミラーとの間に静電引力を発生させる電極と、を備え、
前記反射ミラーの揺動可能範囲において当該反射ミラーが描き得る軌跡上に前記電極が位置しないよう該凹部が配置されていること、を特徴とするマイクロミラー。 - 前記電極が前記基台表面よりも低く位置すること、を特徴とする請求項1から請求項4の何れかに記載のマイクロミラー。
- 基台に対して揺動可能に支持された反射ミラーとの間に静電引力を発生させる電極を形成するための電極形成方法において、
該基台表面に感光層を積層する感光層積層ステップと、
該基台表面の所定領域のみが露出されるよう感光層を除去する感光層除去ステップと、
露出された所定領域を、該基台表面に対して凹部となるよう所定の深さまで除去する基台除去ステップと、
形成された凹部上に金属膜を形成する金属膜形成ステップと、
該基台表面の残りの感光層を除去する残感光層除去ステップと、を含んだこと、を特徴とする電極形成方法。 - 前記金属膜形成ステップにおいて、該金属膜を該凹部の深さよりも薄く形成すること、を特徴とする請求項6に記載の電極形成方法。
- 静電駆動型のマイクロミラーにおいて、
請求項6又は7の何れかに記載された電極形成方法により作成された基台及び電極と、
前記基台に対して揺動可能に支持された、前記電極との間に静電引力を発生させる反射ミラーと、を備え、
前記反射ミラーの傾き角が所定範囲を越えたとき、その傾きが前記基台表面によって規制されるよう該凹部を形成したこと、を特徴とするマイクロミラー。 - 静電駆動型のマイクロミラーにおいて、
請求項6又は7の何れかに記載された電極形成方法により作成された基台及び電極と、
前記基台に対して揺動可能に支持された、前記電極との間に静電引力を発生させる反射ミラーと、を備え、
前記反射ミラーの揺動可能範囲において当該反射ミラーが描き得る軌跡上に前記電極が位置しないよう該凹部が配置されていること、を特徴とするマイクロミラー。
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