JPH09147390A - 光ディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来の光ディスク装置はガルバノミラーは質量
が大きく、高速シークやディスク高密度化への対応が阻
害されてしまっていた。 【解決手段】本発明では、半導体レーザ3 で生成された
レーザ光は第１のガルバノミラー8，第２のガルバノミ
ラー９，対物レンズ10を介してディスク1 に照射され
る。ここで、第１および第２のガルバノミラー8,9 は光
学ヘッド7 内部に搭載され、静電力により駆動される。
また、第１および第２のガルバノミラー8,9 は相似形状
であるものの、第２のガルバノミラー9 の大きさの方が
第１のガルバノミラー8よりも大きく形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を所定の
方向に反射するためのガルバノミラーを搭載し、対物レ
ンズへの入射光の向きを変化させながら光ディスクへの
情報の記録再生を行う光ディスク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知のとおり、コンパクトディスク（Ｃ
Ｄ）やレーザディスク（ＬＤ）に代表されるように、レ
ーザ光を用いて情報の再生を行う光ディスク装置が広く
普及している。また最近では、光ディスク装置はコンピ
ュータの記憶装置として利用されるようになっている。

【０００３】また、併せてデータの高速記録再生が可能
となるように、光学系を搭載する光学ヘッドの高速移動
が要求されるようになった。このような光学ヘッドの高
速移動の要求に対し、光学ヘッドの質量をできるだけ小
さくして素早いシークを実現する方式が提案されてい
る。このような方式として、半導体レーザ（光源）やフ
ォトディテクタ（検出器）などを光学ヘッドに搭載せ
ず、光ディスクに焦点を形成する対物レンズのみを光学
ヘッドに搭載して移動させる分離光学方式が採用されて
いる。

【０００４】以下、分離光学方式を採用した従来の光デ
ィスク装置の一例を図９を参照して説明する。半導体レ
ーザ111 やフォトディテクタ112 などの固定光学系113
は、図示しないベースなどに固定されている。半導体レ
ーザ111 から照射されたレーザ光L は、同じく固定配置
されたガルバノミラー114 を介して光学ヘッド115 内に
搭載された対物レンズ116 に与えられている。対物レン
ズ116 は光ディスクD 上のピットに焦点を形成し、その
反射光を再び逆の経路でフォトディテクタ112 に導く。
光学ヘッド115 は図示しない駆動手段によってトラッキ
ング方向Ｘおよびフォーカシング方向Ｙにそれぞれ駆動
される。

【０００５】このような方式によれば、光学ヘッド115
をトラッキング方向Ｘへ駆動する際に発生する微小な光
路の傾き（対物レンズ116 へのレーザ光の入射角度の変
化）を、固定配置されたガルバノミラー114 の揺動角度
の制御によって補正することができる。そのため対物レ
ンズ116 自体を傾ける手段などを光学ヘッド115 に搭載
する必要がなくなり、光学ヘッド115 全体の質量を低減
することができ、素早いシークを実現している。

【０００６】このようにして利用される従来のガルバノ
ミラー114 は、具体的には図10乃至図12に示す構造とな
っている。ここで、図10はガルバノミラー114 の平面
図、図11は図10中のＡ−Ａ線断面図、図12は図10中のＢ
−Ｂ線断面図である。

【０００７】ガルバノミラー114 は、レーザ光を反射す
るための反射ミラー117 と、この反射ミラー117 を固定
した揺動体118 と、この揺動体118 を固定部119 に対し
て支持する２枚の支持体120a,120b とを備えている。固
定部119 は、ヨーク121 と磁石122 とから構成されてお
り、揺動体118 の側面に固定されたコイル123 に対して
磁界を作用させることにより、反射ミラー117 を支持体
120a,120b の軸回りに揺動させることができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガルバ
ノミラー114 の反射ミラー117 表面は、温度変化や経年
変化によって徐々に傾いてしまう危険性がある。このよ
うな傾きが発生すると、ガルバノミラー114 からの反射
光を正確に対物レンズ116 へ導くことが困難となってし
まうため、トラッキングオフセットの要因となり、正確
なトラッキング動作を阻害してしまう危険性がある。ま
た、この傾きの影響は、ガルバノミラー114 から対物レ
ンズ116 までの距離に応じて変化するため、ガルバノミ
ラー114 の揺動角度の補正を光学ヘッド115 の現在位置
によってさらに補正するといった複雑な制御が必要とな
ってしまう。

【０００９】したがって、ガルバノミラー114 のみ光学
ヘッド115 に搭載し、ガルバノミラー114 と対物レンズ
116 との距離を一定に保った状態の固定光学方式が望ま
れている。

【００１０】ところが、上述のとおり、従来のガルバノ
ミラー114 はヨーク121 ，磁石122，コイル123 などを
備えているため質量が大きく、光学ヘッド115 に搭載す
ると光学ヘッド115 の高速シークが阻害されてしまい実
質的には不可能であった。

【００１１】そこで本発明は、軽量・小形な構成のガル
バノミラーを搭載するとともに、高速シークが可能でデ
ィスク高密度化にも対応可能な光ディスク装置を提供す
ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明では、レーザ光を発生する光源と、静電駆動
により前記光源からのレーザ光を反射制御する第１のガ
ルバノミラーと、前記第１のガルバノミラーよりも大き
な寸法をなし、静電駆動により前記第１のガルバノミラ
ーにより反射されたレーザ光を反射制御する第２のガル
バノミラーと、前記第２のガルバノミラーにより反射し
たレーザ光を受け、光ディスクに焦点を形成する対物レ
ンズと、前記第２のガルバノミラーと前記対物レンズを
搭載し、光ディスクの径方向に駆動制御されるキャリッ
ジと、を有する光ディスク装置とした。

【００１３】ここで、前記第１および第２のガルバノミ
ラーはシリコンを主体とする材料から形成されているこ
とが好ましい。また、前記第１のガルバノミラーは、前
記第２のガルバノミラーよりも低い周波数帯域での制御
動作を行うように構成することができる。

【００１４】以上のような本発明によれば、ガルバノミ
ラーが静電駆動されることから、ヨーク，磁石，コイル
など質量の大きい要素を含むことがない。したがって、
ガルバノミラーが軽量・小型化され、高速シークが可能
な光ディスク装置が実現する。

【００１５】また本発明では、光源に近い第１のガルバ
ノミラーの寸法が、光源から遠い第２のガルバノミラー
よりも小さい構造としている。そのため、第１のガルバ
ノミラーの揺動体の固有振動数を高く設定することが可
能となり、高い周波数領域まで制御動作を行わせること
が可能になる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。まず、図１から図４を用いて本発明の
ガルバノミラーを搭載した光ディスク装置について説明
する。ここで、図１は光ディスク装置の内部構造を示す
断面図、図２は光学ヘッドを含む駆動系の平面図、図３
は光学ヘッドの断面図、図４は光学ユニットの断面図で
ある。

【００１７】情報の記録再生に供されるディスク1 （光
ディスク，光磁気ディスクなど）は、図示しないベース
に固定されたスピンドルモータ2 に対してマグネットチ
ャック等のチャッキング手段により保持されており、記
録再生時にはこのスピンドルモータ2 によって安定に回
転駆動される。

【００１８】ディスク1 に照射するためのレーザ光を生
成する半導体レーザ3 は、フォトディテクタ4 とHOE(Ho
logramic Optical Element) 素子5 などと共に光学ユニ
ット6 を構成しており、この光学ユニット6 は光学ヘッ
ド7 の下部に固定されている。なお、光学ユニット6 の
下部には放熱性を高める目的で複数の凹凸が形成されて
いる。

【００１９】半導体レーザ3 より発せられたレーザ光
は、ガラス面に形成されたHOE 素子5を通過し、HOE 素
子5 の反対面に固定された第１のガルバノミラー8 （詳
細は後述する）の反射ミラー面で90゜向きを変え、第２
のガルバノミラー9 （詳細は後述する）の反射ミラー面
で再び90゜向きを変え、光学ヘッド7 の上部に配置され
た対物レンズ10に導かれる。そして、この対物レンズ10
よりディスク1 の記録トラック上にレーザ光を集光させ
焦点を形成する。

【００２０】またディスク1 からの反射光は、対物レン
ズ10に戻り、第２のガルバノミラー9 ，第１のガルバノ
ミラー8 を経由し、HOE 素子5 で向きを変えてフォトデ
ィテクタ4 に戻される。フォトディテクタ4 に取り込ま
れた反射光から、記録情報信号，フォーカスオフセット
信号，トラックオフセット信号等が生成される。そし
て、フォーカスオフセット信号を用いることにより対物
レンズ10のフォーカス方向の位置ズレが検出され、この
位置ズレを補正するようにフォーカスコイル11に電流を
流す制御動作を行う。また、トラックオフセット信号を
用いることにより対物レンズ10のトラック方向の位置ズ
レが検出され、この位置ズレを補正するようにリニアモ
ータコイル12と第１および第２のガルバノミラー8,9 に
電圧を加えて制御動作を行う。

【００２１】対物レンズ10は、プラスチックマグネット
で形成された対物レンズホルダ13に保持されている。ま
た平行板バネ14の一端が対物レンズホルダ13に固定さ
れ、平行板バネ14の他端は光学ヘッド7 に固定されるこ
とにより、対物レンズ10はその光軸方向に移動可能に支
持されている。プラスチックマグネットからなる対物レ
ンズホルダ13と、光学ヘッド7 に巻装固定されたフォー
カスコイル11に流れる電流との間に電磁作用が作用し、
対物レンズ10にフォーカス駆動力を発生させる。

【００２２】リニアモータコイル12は筒状に形成されて
おり、光学ヘッド7 の両側面に各１個が固定されてい
る。光学ヘッド7 のリニアモータコイル12を挟んで両側
には、計４個の滑り軸受15が形成されており、ディスク
1 の径方向に延設された２本のガイドシャフト16とそれ
ぞれ係合している。これにより光学ヘッド7 はディスク
1 の半径方向に移動できるように支持されている。

【００２３】ガイドシャフト16は磁性体で形成されてお
り、磁気回路のヨークとしての役割も果たしている。そ
して、ガイドシャフト16の両端にはコ字形のバックヨー
ク17が固定されている。また磁気ギャップを挟んでリニ
アモータコイル12と対向する位置にはラジアル磁石18が
配置され、バックヨーク17に固定されている。これらガ
イドシャフト16，バックヨーク17，ラジアル磁石18がラ
ジアル磁気回路19を形成しており、リニアモータコイル
12に磁界を作用させ、リニアモータコイル12に流れる電
流との電磁作用により、光学ヘッド7 にディスク1 の半
径方向への駆動力を発生させている。

【００２４】続いて図６乃至図８を参照して第１および
第２のガルバノミラー8,9 の具体的な構造を説明する。
図６はガルバノミラーを示す分解斜視図、図７はその断
面図、図８は第２のプレートの平面図である。

【００２５】本発明に用いられている第１のガルバノミ
ラー8 および第２のガルバノミラー9 は、その基本的構
造は同一である。しかしながら、第２のガルバノミラー
9 の大きさ（寸法）の方が第１のガルバノミラー8 より
も大きく形成されている。ここでは第１および第２のガ
ルバノミラー8,9 は相似形状としてあるため、以下の説
明では、第２のガルバノミラー9 を代表して説明する。
なお、第１のガルバノミラー8 および第２のガルバノミ
ラー9 は相似形状でなくてもよい。

【００２６】ガルバノミラー9 は図６に示されるよう
に、第１のプレート21と第２のプレート22が積層された
構造をなしている。第１のプレート21は、ロ字形をなす
中空構造を有している。この中空部には、半導体レーザ
3 からのレーザ光を反射するための反射ミラー24と、こ
の反射ミラー24を表面に形成してなる揺動体25と、この
揺動体25を第１のプレート21に接続する２枚の弾性体26
とが配置されている。

【００２７】ここで、反射ミラー24と揺動体25を合計し
た可動部分の質量の重心は、ちょうど２枚の弾性体26を
結ぶ線上の中間付近となるように構成されている。そし
て、これら反射ミラー24，揺動体25，弾性体26は、シリ
コンを主体とする半導体の異方性エッチングにより一体
的に形成されており、反射ミラー24の部分は半導体の鏡
面加工により揺動体25上に直接的に製作されている。

【００２８】なお、反射ミラー24は、揺動体25に対して
２〜３μm 突出して形成されている。また、弾性体26
は、揺動体25と第１のプレート21とを電気的に絶縁する
材料で形成されている。

【００２９】第２のプレート22は、第１のプレート21に
対して拡散接合や陽極酸化接合等の手段によって接合さ
れている。第２のプレート22はガラス系の部材で形成さ
れており、第１のプレート21に対して電気的に絶縁され
ている。

【００３０】また、第１のプレート21および揺動体25と
第２のプレート22とは、熱膨張係数のほぼ同じ材料で形
成されており、これによって温度変化が揺動体25に与え
る熱歪みの影響を極力防止できるようにしてある。すな
わち第２のプレート22としては、第１のプレート21とほ
ぼ同じ熱膨張係数を持ったガラス系の部材が選択され
る。

【００３１】一方、第２のプレート22の揺動体25と対向
する部位には、２枚の弾性体26を結ぶ線（第１のプレー
ト21の中心線）に対して対称な関係に、計２枚の電極2
8,29が設けられている。これらの電極28,29 は第２のプ
レート22に対して蒸着やスパッタなどの手段により形成
されている。なお、電極28,29 は透明電極で構成されて
いてもよい。

【００３２】以上のように構成されたガルバノミラー9
の駆動方法について説明する。まず、半導体で形成され
た揺動体25を＋極に帯電させ、また電極29を−極に、電
極28を＋極に帯電させる。すると、揺動体25と電極29と
が静電力によって引きつけ合い、２枚の弾性体26がねじ
れ変形することにより揺動体25が回転する。同様に、揺
動体25を−極に帯電させ、また電極29を＋極に、電極28
を−極に帯電させる。すると２枚の弾性体26がねじれ変
形することにより揺動体25が今度は逆方向に回転する。

【００３３】なお、上述の例では、揺動体25を＋に帯電
させ、第１の電極28および第２の電極29を−に帯電させ
る場合を説明したが、例えば揺動体25を−に帯電させ、
第１の電極28および第２の電極29を＋に帯電させても同
様の効果が得られる。さらに、揺動体25をグランドに接
続して電位ゼロの状態に設定した場合には、電極28,29
は共に＋に帯電させるか、あるいは共に−に帯電させて
も同様の効果が得られる。

【００３４】ここで、揺動体25と電極28,29 の間の静電
容量を測定することにより、揺動体25と第２プレート22
とのギャップ長を検出することができ、これによって揺
動体25の回転（揺動）角度を正確に検出することができ
る。そして、その検出値を用いてトラッキングオフセッ
トを電気的に補正するすることにより、ガルバノミラー
特有の回転角度の制約をほとんどなくすことができ、安
定かつ精度の高いトラッキング制御を行うことができ
る。

【００３５】また、静電容量の変化から測定された揺動
体25と第２のプレート22とのギャップ長の変化を用い
て、温度上昇や経時変化による反射ミラー24面の傾きを
補正することもできる。

【００３６】続いて、本発明における信号処理の手順に
ついて説明する。図５は信号処理手段の内部構造、すな
わちトラックオフセット信号の処理手順を示すブロック
図である。

【００３７】まず、トラックオフセット信号は第１のフ
ィルタ41，第２のフィルタ42，第３のフィルタ43にそれ
ぞれ入力される。ここで、第１のフィルタ41は一種のロ
ーパスフィルタが採用されている。したがって、第１の
フィルタ41を通過する信号は低周波数領域の信号とな
り、リニアモータドライバ44およびリニアモータコイル
12のための信号として利用される。

【００３８】また、第３のフィルタ43は第２のガルバノ
ミラー9 の回転（揺動）制御を行うべく、高い周波数領
域の信号を取り込むようなバンドパスフィルタを構成す
るように設定されている。この高周波数領域の信号は第
２のガルバノミラーユニットドライバ46および第２のガ
ルバノミラー9 のための信号として利用される。

【００３９】さらに、第２のフィルタ42を通過する信号
は、第１のフィルタ41および第３のフィルタ43のちょう
ど中間に位置する周波数領域の信号を取り込むようよう
なバンドパスフィルタを構成するように設定されてい
る。そして、第１のガルバノミラーユニットドライバ45
および第１のガルバノミラー8 のための信号として利用
される。

【００４０】このように処理された信号は、リニアモー
タコイル12を付勢して光学ヘッド7の駆動信号として、
また、第１のガルバノミラー8 の揺動角度の制御信号
（第２のガルバノミラー9 の反射ミラー面に対するレー
ザ光のスポット位置制御信号）として、さらに第２のガ
ルバノミラー9 の揺動角度の制御信号（レーザ光のスポ
ット位置制御信号）として、それぞれ利用される。この
ようにしてディスク1 の記録トラック上に情報が記録さ
れ、またディスク1 の記録トラック上から情報が読み取
られる。

【００４１】このような構成を採用した本発明のガルバ
ノミラー8,9 によれば、ヨーク，磁石，コイルなど質量
の大きい要素を具備していないために従来よりも大幅に
軽量化が図られている。そのため、光学ヘッド7 にガル
バノミラー8,9 を搭載しても光学ヘッド7 は軽量・小形
を維持することができ、光学ヘッド7 の高速シークが可
能となる。

【００４２】また、静電力を利用して駆動力を発生する
構成であるため、消費電力を少なくすることができ、光
学ヘッド7 に搭載される光学ユニット6 や対物レンズ10
などに与える熱的悪影響を極力回避することができる。

【００４３】さらに、本発明では、第１のガルバノミラ
ー8 を第２のガルバノミラー9 よりも小さく構成するこ
とにより、第１のガルバノミラー8 の揺動体25の固有振
動数を高く設定することが可能となり、高い周波数領域
まで制御動作を行わせることが可能になる。また、外部
から加わる衝撃などの外乱は、各周波数において、その
加速度が一定であることが予想されており、高い周波数
領域において必要とされる移動量は少なくて済む。その
ため、第１のガルバノミラー8 の揺動（回転）角度を比
較的少なくすることができる。一方、ガルバノミラー8,
9 が回転することにより発生するトラッキングオフセッ
トは、対物レンズ10までの距離が長いほど大きくなる
が、第１のガルバノミラー8 に必要とされる揺動角度
は、上述の理由から少なくて済むため、トータルのオフ
セット量を少なく抑えることができるた。したがって、
良好な記録再生動作が可能となる。

【００４４】また、揺動体25の回転軸上、すなわち２枚
の弾性体26を結ぶ線上に揺動体25の重心が配置され、こ
れら弾性体26のねじれ変形により回転（揺動）が実現し
ているため、外乱加速度が作用しても回転変形に影響を
及ぼすことがない。

【００４５】さらに、対物レンズ10を駆動するために用
いられているコイルや磁石といった電磁駆動要素に対し
て、電磁力を全く必要としない静電駆動要素からなるガ
ルバノミラーを用いている。すなわち、電磁力と静電力
とを用いることにより、互いの駆動力が干渉し合うなど
といった不具合をほぼ完全に防止することができる。そ
のため、第１および第２のガルバノミラー8,9 を光学ヘ
ッド7 へ搭載することによる悪影響が排除できるととも
に、第１および第２のガルバノミラー8,9 と対物レンズ
10とを極めて近接した位置（例えば図１に示すように対
物レンズ10の真下に第２のガルバノミラー9 を配置する
など）に配置することも容易となり、装置設計の自由度
が大幅に改善される。そして、ガルバノミラーを揺動し
傾けることによる光軸中心の対物レンズ位置での移動を
抑制することが可能となり、結果としてトラッキングお
よびフォーカス制御信号に発生するオフセットを小さく
することができ、スポット位置をより高精度に定めるこ
とが可能となる。

【００４６】また、従来はガルバノミラーと揺動体との
接合、およびコイルと揺動体との接合が接着剤などで行
われていたが、本発明では接着剤などの介在物が一切用
いられていない。そのため、コイルや磁石などで発生す
るトルクが接着層を介して伝達されることがなく、振周
波数を極めて高く設定することが可能となる。つまり、
接着部分の剛性不足によってガルバノミラーの駆動周波
数特性が劣化すること（例えば20kHz 付近に共振点を持
ち、高域までサーボをかけることができなくなってしま
うというような不都合）がないため、高周波帯域まで制
御動作を行うことが極めて容易となり、精度の高い位置
決め動作が可能になる。

【００４７】また、揺動体25の回転軸と弾性体26の長手
方向とがほぼ一致しており、しかも揺動部25（可動部
分）の質量の重心がちょうど２枚の弾性部26を結ぶ線上
の中間付近となるように構成されている。そのため、装
置に外乱加速度が作用したとしても、揺動体25の回転動
作に影響を及ぼすことがない。

【００４８】なお、上述した実施例においては、第２の
プレート22はガラス板等の電気的絶縁材料で形成されて
いるが、例えばシリコンを主体とする半導体の表面に酸
化膜による絶縁層を設けたものを用いてもよい。このよ
うな構成であっても同様な効果が得られる。

【００４９】なお、本発明は上述した各実施例および変
形例に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しない
範囲で種々変形して実施できることは言うまでもない。
例えば、上述の実施例では第１および第２のガルバノミ
ラー8,9 を共に光学ヘッド7に搭載した例を示したが、
少なくとも第２のガルバノミラー9 が光学ヘッド7 に搭
載されていれば同等の効果を得ることができる。この場
合、第１のガルバノミラー8 だけでなく光学ユニット6
も、光学ヘッド7 と独立に配置することが好ましい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ルバノミラーが静電駆動されることから、ヨーク，磁
石，コイルなど質量の大きい要素を含むことがない。し
たがって、ガルバノミラーが軽量・小型化され、高速シ
ークが可能な光ディスク装置が実現する。

【００５１】また本発明では、第１のガルバノミラーを
第２のガルバノミラーよりも小さく構成することによ
り、第１のガルバノミラーの揺動体の固有振動数を高く
設定することが可能となり、高い周波数領域まで制御動
作を行わせることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光ディスク装置の内部構造を示す
断面図。

【図２】光学ヘッドを含む駆動系の平面図。

【図３】光学ヘッドの断面図。

【図４】光学ユニットの断面図。

【図５】トラックオフセット信号の処理手順を示すブロ
ック図。

【図６】第１および第２のガルバノミラーを示す分解斜
視図。

【図７】ガルバノミラーの断面図。

【図８】第２のプレートの平面図。

【図９】従来の光ディスク装置の一例を示す構成図。

【図１０】従来のガルバノミラーを示す平面図。

【図１１】図10中のＡ−Ａ線断面図。

【図１２】図10中のＢ−Ｂ線断面図。

【符号の説明】

１…ディスク ２…スピンドルモータ ３…半導体レーザ ４…フォトディテクタ ５…ＨＯＥ素子 ６…光学ユニット ７…光学ヘッド ８…第１のガルバノミラー ９…第２のガルバノミラー 10…対物レンズ 11…フォーカスコイル 12…リニアモータコイル 13…対物レンズホルダ 14…平行板バネ 15…滑り軸受 16…ガイドシャフト 17…バックヨーク 18…ラジアル磁石 19…ラジアル磁気回 21…第１のプレート 22…第２のプレート 24…反射ミラー 25…揺動体 26…弾性体 28,29 …電極 41…第１のフィルタ 42…第２のフィルタ 43…第３のフィルタ 44…リニアモータドライバ 45…第１のガルバノミラードライバ 46…第２のガルバノミラードライバ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】レーザ光を発生する光源と、 静電駆動により前記光源からのレーザ光を反射制御する
   第１のガルバノミラーと、 前記第１のガルバノミラーよりも大きな寸法をなし、静
   電駆動により前記第１のガルバノミラーにより反射され
   たレーザ光を反射制御する第２のガルバノミラーと、 前記第２のガルバノミラーにより反射したレーザ光を受
   け、光ディスクに焦点を形成する対物レンズと、 前記第２のガルバノミラーと前記対物レンズを搭載し、
   光ディスクの径方向に駆動制御されるキャリッジと、を
   有することを特徴とする光ディスク装置。
2. 【請求項２】前記第１および第２のガルバノミラーはシ
   リコンを主体とする材料から形成されていることを特徴
   とする請求項１記載の光ディスク装置。
3. 【請求項３】前記第１のガルバノミラーは、前記第２の
   ガルバノミラーよりも低い周波数帯域での制御動作を行
   うことを特徴とする請求項１記載の光ディスク装置。