JPS59137948A - ドライフイルム状フオトレジスト材料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規なドライフィルム状フォトレジスト材料に
関する。更に詳しくは、警隊性、作業性および保存性が
改善されたドライフィルム状フォトレジスト材料に関す
る。

従来′、プリント配線基板の製造に当り用いられるレジ
スト形成の手段として、スフリーフ印刷法、液体フォト
レジスト法およびドライフィルム状フォトレジスト法な
どが知られている。

前二者に関（７では、解像性または作業性などのに適用
できるので、近年、著じるしい伸びを見せている。

ドライフィルム状フォトレジスト材料の層構成としては
、従来より、特公昭４’ｊ−２６２３／号に記載の構成
、即ち、たわみ性支持体、光重合性層、場合により更に
保護膜の三層より成る積層構造材料が使用されている。

それを用いたプリント配置基板の製造工程を説明するに
、まず、保護膜を剥離、露出した光重合性層をプリント
基板表面に槓Ｊ−シ、像露光後、たわみ性支持体を除去
して液体現像し、レジスト像を形成、最後にエツチング
又はメッキ処理を施す方法が採らｉてきた。しかしなが
ら、この技法はたわみ性支持体を通して＃ｌ露光する為
に解像性に限界があり、その上露光後たわみ性支持体を
手作業により剥離ｄ去する工程を要し、作業性に劣る欠
点があった。

近年、プリント配線板の高密度化、即ち高解像力化、製
造□工程における自動化、省力化等のニーズが強まる中
で、従来の問題点を克服した新規技術が強（要請されて
きた。これに対し、特開昭、ｔ４’−１１７３２号、特
開昭、ｔｇ−，２２１２／号、特開昭ｊμｍ）３２７λ
θ号、特開昭ｊＡ−／弘０３μ１号、特開昭、ｔ７−２
０１７３７号に提案されている技術は部分的にはこれに
答えるものである。即ち、前記たわみ性支持体の材料と
して、現像時に溶解分散−する物足素材を選択すること
により、それの剥離工程を不要化した技術である。しか
しながらこれら技法において用いられる支持体は力学的
強度に耐え得る程度の厚い膜厚を要し、その結果、解像
性や支持体の溶解による現像液疲労の増大等なお課題が
残されていた。これら欠点の解決策を示唆する方法が特
公昭ｓｔ−μＯＬ跡号に開示されている。この手法によ
れば、暫定的支持体と光重合性層との間にｉｓ。

℃以下の温度において非粘着性である分離層を設けるこ
とにより露光前の支持体剥離を可能とし、その結果、解
像性の改善が計られている。

しかし、このフォトンシスト材料は分離層が非粘着性で
ある為に、保存中に暫定的支持体と分離層間で望ましく
ない剥離現象を引き起こしたり、光重合性層と分＃層間
との接着が不安定でトラブルの誘因となる事が分った。

本発明者らは前記問題的に鑑み、種々検討を重ねた結果
不発明に至り７ζものである。即ち、本発明の要旨とす
る所は゛、可撓性支持体上に、光重合性組成物層、更に
必要に１，６じで保饅膜を積層して成るドライフィルム
状フォトレジスト材料において、前記可撓性支持体と光
重合性組成物層の間に、可撓性支持体に対する粘Ｍ性保
持の下限温度がち０℃以上でｉｓｏ℃より低く、且つ、
前記粘着性保持の下限温度以下における可撓性支持体の
剥離操作の際、光重合性組成物層から剥離せず、しかも
、使用する現像液に対して溶解、分散または′＃潤する
中１１℃層を設けたことを特徴とするドライフィルム状
フォトレジスト材料に存する。

以下、本発明の詳細な説明するに、本発明は可撓性支持
体と光重合性組成物層（以下「光重合層」と略すンとの
間に薄い中間層な設け、しかもその中間層に、ある特定
な粘着・特性を賦与することにより、ドライフィルム状
フォトレジスト材料（以下「ドライフィルム」と略す）
の＃特性改善が初めて可能となることを見い出したもの
である。通常公知なポリマー官有組成物は温度の上昇に
伴ない軟化もしくは粘着性を発現する現象はよく知られ
ているが、本発明者らは特定の粘着特性を賦与した中間
１＠（以下「粘着性調整層」と略ｆ）に種々のポリマー
含有組成物を適用し、その粘着温度特性がドライフィル
ムの各種特性に及ぼす効果について詳しく検討した結果
、本発明に用いられる前記粘着性調整層は、可撓性支持
体に対する粘着性保持の下限温度（Ｊ−Ｊ、下「粘着下
限偏度」と略す）が６０℃以上で／　３０℃より低い温
度範囲を有１−でおり、前記粘着下限温度以下のφ件下
で可撓性支持体を剥離した欄合に、光重合層側に接着残
留するものであり、かつ使用現像液忙対し溶解、′分散
またＣ−ま膨潤可能なものである。か嘩な粘着性調整層
を兵役した本発明のドライフィルム材料はり下述べる多
数の利、壱を有する。

（１）長期保存に対し安定した。前層状態を保持。

（２）基板に積層後の支持体剥離が芥易かつ安定。

（３３話光時のパターンマスクフィルムへの非粘着性。

（４）支持体の不存在による解１象件の回−ヒ。

（５）支持体溶解型のものに比し現（象液の長寿命化。

（６）積層後の支持体連続自＠剥離による操作性向上。

１下１−温厚−が前記温度範囲を超えて高過ぎる場合は
、前記（１）、（２）項が不良となり、低過ぎる場合は
（２）、（：（）項が悪化する。更にその結果、（４）
、（５）、（６）項の達成が困難となる。

前記（６）項は本発明のドライフィルム材料の最も有効
で望ましい用法によりもたらされる。即ち、ドライフィ
ルムをプリント基板へ積層後、引き続き粘着下限温度以
下の温度条件で、自動制離巻取りロールにより１５Ｔ撓
性支持体を自動連続剥離し、従ってプリント基板上には
可撓性支持体はもは一′？存在せず、薄い粘着性調整層
で被覆された光重合層が積層された形態で得らｈ、次い
で適宜カットし、像露光し、そのまま現像工程に供され
る。これに対し、常用のドライフィルムの嚇合、滓露光
前に支持体を有する状態でのカットを必要と５し、従っ
て露光後、現滓前に個々に支持体を剥離する方法を取ら
ざるを得ない。かくして本発明のドライフィルム阿使用
すれば、操作性の面からも有利であり、顕著な省力効果
が達成される。

次に、本発明のドライフィルム材料を構成する各層につ
いて説明する。

粘着性調整層は本発明において重要な役割を果す。例え
ば、ドライフィルムのＮ：　＋ｒ　時には安定した積層
状態を保持し、しかし、０．１′撓性支持体の剥離操作
時は可撓性支持体から：′文容易に離反可能であり、光
重合層表面に接；ａ　したままでそれを保護すると共に
慮露元時に用いるパターンフィルムへの粘着汚染を防止
し、ある場合には空気の拡散による感度低下を防ぐ。更
に、通常の一ドライフィルム支付体の膜厚、例えばコｊ
μｍよりはるかにｉ′ｉい、即ち、０．−？〜ｇμｍ、
好ましくは、Ｏ，Ｓ〜３μｍ程度でよい為に秀れた解像
性？得ることができる。

粘着性調整層の好適訛組成は、可読性支持体下限温度が
６０℃以上で／　ｊＯ’ｃ：、より低い温度域、好まし
くは７０−７２０℃の副度域を示すものでなければなら
ない。・ 例えば、可撓性支持体がポリエチレンテレフタレートで
あり、現＠液がアルカリ水または有機溶剤含有アルカリ
水の場合、良好な粘着性調整層としては、合成もしくは
天然の親水性高分子物質、例えば、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミド、（メ
タ）アクリル酸共重合体またはそれのアルカリ金属塩、
無水マレイン酸半エステル共重合体またはそれのアルカ
リ金属塩、ゼラチン、デキストリン、７′ラビヤゴム、
カゼイン等が芋げられる。則常、粘着下限温度ｖｆＡ＆
の為、史に配合剤を６加しなければならない。配合剤と
しては例えは、トリメチ、ロールプロパン、グリセリン
、エチレングリコールオリゴエーテル、トリエチレング
リコールジアセテート等の湿潤剤、ジブチルフタレート
、グリセリンモノラウレート等の６．［塑剤、アルキル
ベンセンスルホン酸ナトリウム、艮イ４アルキルスルホ
ン酸ナトリウム、アルキルツーエノールポリエチレング
リコールエーテル等の界面活性剤が適宜用らられる。特
にポリビニルアルコールドトリメチロール７’　Ｏパン
またはグリセリンとの配合物が好適である。前記配合剤
は前記親水−性高分子物貰に対し１０Ｑ１１以下、好ま
しくは、１０−、ｔＯ重量係の量を配合することができ
る。他の可撓性支持体および現１象液の場合においても
、同様に高分子物質に配合剤を添加して調整される。前
記粘着性調整層の粘着下限温度は前述の温度範囲を示す
ものでなければならないがそれは後述の参考例／に記載
した方法に基づいて求める。更に、粘着性調整層はそれ
の粘着下限温度以Ｆにおいて可撓性支持体？剥１・准す
る際、光１合層面に付着残留しなければならない。

次に、本発明に用いられる可撓性支持体について述べる
。可撓性支持体は光重合層をプリント基板に積１層後、
露光前に剥離除去されるので透明性は問わないが機械的
強度とある程度の耐熱性を必要とする。例えば、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニ
リデン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ポリオレフィ
ンまたは酢酸セルローズ等からなるフイルムまたはシー
トである。中でもポリエチレンテレフタレートが好まし
い。フィルム膜厚は、通常、ＩＱμｍないし６０μｍが
好適である。

本発明に使用される光重合層としては、従来開示されて
いる技術、例えば、特公昭μｊ　−一、ｔコ３１号、特
公昭５μ−λより５７号、特公昭ｒ！；−ｔ２１０号等
に記載されたものを含め広範な種類の組成物を用い得る
。好ましい例としては、結合剤として例えば、スチレン
／（メタ）アクリル酸エステル／（メタ）アクリル酸共
重合体、スチレン／（メタ）アクリル酸エステル／無水
マレイン酸半エステルの共重合体、（メ４１）アクリル
酸エステル／（メタ）アクリル酸共重合体または酢酸ビ
ニル／クロトン【２共重甘休等を用い、アクリレートモ
ノマーとし゛〔、例えば、トリノ千ロールプロパントリ
アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート
、ジエチレングリコールジアクリレート、ｎ−ヘキサン
ジアクリレート等を加え、更に、光重合開始剤、例えば
、ベンゾインエーテル、アントラキノン、ベンゾフェノ
ン、ベンジル、ミヒラーケトン等を配合したものである
。熱論、必要ならば着色剤″、ｐ）−安定剤、可塑剤等
公知の添加側を混合することができる。

慣用のドライフィルムに用いられる光重合層はたわみ性
支持体に対し弱い接着力を持つものに限定されるが、本
発明におけるそれは、支持体に対する接着カバランスを
全く考慮する必要が無く、強力な付着性を有するもので
あっても良い点で慣用品に比較し極だった有利性をもつ
。

光重合層の膜厚は使用目的により異なるが、５μｍない
しｉｏｏμｍの範囲より選択される。

必要に応じて、光重合層の外側表面に設けられる保護膜
は、本発明における本質的な要件ではないが、もし用い
る場合、ポリオレフィンフィルムや剥離紙の様な剥離性
を示す、ものが好ましい。

本発明において用いられる現ｆ象液は特に限定されるも
のではないが、作業環境やランニングコストの面からア
ルカリ水もしくは有機溶剤含有のアルカリ水から成るも
のが有機溶剤現像液より好ましい。

本発明のドライフィルム材料を製造する方法は、可撓性
支持体上に、まず、粘着調整層を塗布、乾砺し、次に粘
着調整層に対して貧溶媒であるが光重合層は溶解する溶
剤を用いて光重合層を重ね塗布する方法或いは、支持体
上に粘着調整；−１保護膜上に光重合層を各々設けた後
、両者を積層する方法等が挙げられる。

本発明の材料に適用される光源は、高圧水鋼溶、キセノ
ンランプ、メタルハライドランプ等の汎用光源、ヘリウ
ム−カドミウムレーザー、アルゴンイオンレーザ−等の
レーザー光源を用いることができる。

本発明のドライフィルムの応用分野はプリント配線基板
の他に集積回路、印刷版、腐食版、更に画１象腹製分野
への応用が可能である。

次に参考例、実施例、比較例を用いて具体的に説明する
が、本発明はその要旨を越えない限りそれらに限定され
るものではない。

参考例１ （粘着下限温度の測定法） 可撓性支持体に対する粘着性調整層試料の粘着下限温度
の測定は以下の方法に基づいて実施した。２５μｍ厚の
可撓性支持上にアプリケーターを用いて粘着性調整層テ
スト試料を乾燥膜厚ｌ−２μｍとなる様塗布、乾燥し、
層を形成した。次いで熱板および雰囲気が設定温度に調
整された熱板上に前記の塗布フィルムを塗布面が上側と
なる様に置き、更に前記と同一の可撓性支持体をその上
側に配して１ｃｒｌの面積にｓｏｏｇの加重を３秒間か
ける。引き続き、加重を解除し同温度下で重ね合された
ノ枚のフィルムを互いに柳逆方向に引張ってずらす。そ
の際ずらし剥離が困難ないし強い力を要゛ｆる領域は粘
着性を示す範囲であり、無抵抗ないし僅かの力しか要し
ない場合は非粘着性である。粘着下限温度は設定温度を
種々変化させ、粘着／非粘着の境界温度として求める。

実施例１ ２５μｍ　膜厚のポリエチレンテレフタレートフィルム
上にポリビニルアルコール“ＧＬ−Ｏｊ“（日本合成化
学社製）６重遍・チおよびグリセリンλ重箪係を含む水
溶液を乾燥膜厚コμｍとなる様にアプリク°−ターによ
り塗イｂ乾燥し、粘着性調整層を設けた。これの粘着下
限温度４ｔり０℃であった。次に下記組成より成る光重
合性ＦＡ放物の溶液を乾燥膜厚≠６μｍとなる様塗布乾
燥し、ドライフィルム試料をｆ「成した。

スチレン／無水コノ・り酸誘導体共 重合体（スチライトＣＭ−コＬ。

大同工業社製）　　　　　　　　　　３・りＳ）　ＩＪ
　／　チＣｌ　　／ｌ／ｌ／ブロントリアクリ　　し　
−　　ト　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　ｔ、３ｊｌベンジル　　　　　　　　　　　　　ｊＯ
■ミヒラーズケトン　　　　　　　　　１ｓＩｎ９ピク
トリテビユアープルーＢＯＨλ■ メチルエチルケト７７ｇ 一方、予めナイロンブラシにより粗面１ヒし、トリクレ
ンにより脱脂を行なったプリント基板の銅表面上に前述
の試料片の光重合層面を接触させ、１１０℃の熱ロール
を用いて加圧、積層した。次いで、３０℃の雰囲気下で
ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離したところ
、容易に剥離し得、粘着性調整層で被覆された光重合層
を有するプリント基板が得られた。これにネガパターン
マスクを重ね、プリンター中真空密着させ、６０秒間、
ＪＫＷの高圧水鋼溶により露光した。常圧に戻した後ネ
ガノくターンマスクは容易に増り去る事ができ、マスク
へσ）付着汚染も全く認められなかった。像露光を行な
ったプリント基板を７重量％の炭酸ナトリウム水溶液よ
り成る現像液により、ｔθ℃の条件下でスプレー観像を
４Ａｊ秒間行ない、続いて≠０６ボーメの塩化第二鉄水
溶液によりエツチング処理を行なった結果、秀れた画像
性をもつプリント配ｆｉＩ＠、を得ることができた。−
万、前記ドライフィルム材料の別の試料片に、室温下で
、２５μｍ膜淳のポリエチレンフィルムより成る保護膜
を光重合層面上に積層した後、ｊｊ℃条件下で保存安定
試験を行なったが、λ週間以上の期間において各層の積
層状態および画像形成特性に異状が認められなかった。

比較例／ 実施例／におい゛（ポリビニルアルコール６重、を保お
よびグリセ９７２重ｔ％を含む水溶液に代えてポリビニ
ルアルコール６重縫チのみを含む水溶液を用いて同様に
粘着性調整層を形成した。粘着下限温度はｉｚｏ℃以上
であった。以下の操作は実施例１同様に行なったところ
、プリント基板への積層後、ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを剥離除去する際に、粘着性調整層の一部が
光重合層との界面で剥離を起こした。

比較例λ 実施例１においてグリセリンλ重ａ係に代えてグリセリ
ンを重Ｊｉ％とし、粘着調整層を形成した。粘着下限温
度は５０℃であった。以下同様の操作により検討を行な
ったところ、ポリエチレンテレフタレートフィルムのＩ
Ｆ離性は不良でぶつ強い力を要した。

比較例３ 実施例１において粘着調整層の形成を省き、光重合層を
直接ポリエチレンテレフタレートフィルム上に設けた。

同様にプリント基板上に頂層シた後ポリエチレンテレフ
タレートフィルムを剥離除去したが剥離性は不良で）・
つた。次いで、ネガパターンフィルムを凧ね合せ、同様
に露光を行なった。ネガパターンフィルムは光重合層に
強（付着し、一部領域においては空気の封じ込め現象が
見られ真空密着は不完全であつ−た。露光後、ネガパタ
ーンフィルムな取りはずす際強い力を要し、更に現像後
得ら灼たレジスト像は劣悪なものであった。

実施例 実施例１においてポリビニルアルコール’ＧＬ−Ｏｊ’
およびグリセリンの組合せに代え、ポリビニルアルコー
ル“ＧＨ−コＱ″（日本合成化学社製）６重量％および
グリセリンＪ重量：％とじて粘着調整層を形成した。粘
着下限温度は／　００’Ｑであった。以下向様な方法に
より評価を行ない、実施例１と同様な良好な結果を得た
。

比較例弘 実施例λにおいてポリビニルアルコール”ＧＨ−Ｊ　Ｏ
“およびグリセリンの組合せに代え、ポリビニルアルコ
ール“ＧＨ−一□′乙重ＩＩｔ％のみを百８水溶液を用
いて粘Ｎ調整層を形成した。粘着下限温度はｉｓｏ℃以
上であった。

以下同１須に評価を行なったところ、プリント基板へ積
層後、ポリエチレンテレ７タレー）フィルムを剥離除去
する際に粘着調整層が部分的に剥離した。一方、前記ド
ライフィルム材料の別の試料片に実施例１と同様、保護
膜を績ノーシ保存に尾性試験を行なった結果、！よ℃、
ＩＱ日日間ポリエチレンテレフタレートと粘着性調整層
との界面で一部剥離した。

実施例３ 夾施伊〜においてポリビニルアルコール“ＧＬ−０４−
”およびグリヒリンの組合せに代えポリビニルアルコー
ル’ＧＬ−０１“６重量倦およびトリメチロールプロパ
ン−重量％の水溶液を用いて粘着性調整層を形成した。

粘着下限温度は９０℃であった。以下実施例１と同様に
評価したところ、同様に良好な結果を得た。

実施例μ 実施例１において、粘着性調整層をポリビニルピロリド
ン（平均分子ｙ３ｇｏ、ｏｏｏ　）ＡＭ毎係、グリセリ
ンＪ屯Ｉ％の水溶液より形成した。

粘着下限温度は１００℃であった。以下実施例１と同様
評価したところ、同様な好結果を得た。

実施例！ 実施例１における粘着性調整層を、メチルメタクリレー
トｊ　ｊ　ｆｇ　Ｑ　Ｔｏ　／メタクリル酸ナトリウム
塩ηｊ重に％よりなる共重合体ｉ３重ｉ％、グリセリン
３重陰係および界面活性剤“リポノックスＮＯ工“（ラ
イオン？由Ｖ旨製）０．ＫＭ量悌を含む水溶液より形成
した。粘着下限温度は７２０℃であった。続いて下記組
成より成る光重合性組成物溶液を乾燥膜厚３ｏμｍとな
る様塗布、乾燥した。

メチルメタクリレートｊｊ重量％／ メタクリル酸３０重量％／エチル アクリレート／ｊ重Ｊｌチより成る 共重合体　　　　　　　　　　　　　　μｇペンタエリ
スリトールトリアクリ レ　−　）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｘ、　ｓｇ
ベンジル　　　　　　　　　　　　　７ｏ■ミヒラーズ
ケトン　　　　　　　　　　！θ〜ビクトリアピュアー
ブルーＢ　ＯＨｊ　ｍ９メチルエチルケトン　　　　　
　　　　タＩ以下実施例１と同様に評価したところ、良
好な結果を得た。

比較例ｊ 実施例ｊにおいて、グリセリンｊＭ量係をグリセリン１
３重量優に代え、同様に粘着性調整層を形成した。粘着
下限温度はｕｏ℃であった。

以下、実施例ｊ同様評価したところ、ポリエチレンテレ
フタＶ−）フィルムの除去４８　作＆Ｌ　６ｔＪａい力
を要し不良なものであった。

実施例を 実施例１において、粘着性調整層をアラビアガム６重量
係およびグリセ”リンー重量係を含む水溶液より形成し
た。粘着下限温度はりＯ℃であった。以下、実施例１同
様評価したところ、同様な好結果を得た。

実施例７　　′ 実施例１において粘着性調整１つな、ゼラチンを重埴°
チおよびグリセリフ２重量％より成る水溶液より形成し
た。粘着下限湿度は７０℃であった。以下実施例１同様
に評価したところ、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムの剥離はやや強い力を必要としたかはｙ良好な剥離性
を示した。

実施例ｇ 実施例１において粘着性調整層を、デキストリン６重量
係およびグリセリンλ１１をきむ水溶液より形成した。

粘着下限温度はり０℃であった。以下実施例ノ同様に評
価したところ、好結果を得た。

実施例り ３０μｍ膜厚のポリ塩化ビニルフィルム上にポリビニル
アルコール“ＧＬ−１７ｊ’Ａ重ｌｔ％、トリ°メチロ
ールプロパン１％ノ重量％および界面活性剤“サンノー
ルＮ１１ｉＢ”（ライオン油脂社製）０．７重量％を含
む水溶液を乾煽膜厚コμｍとなる様に塗布、乾燥し粘着
性調整層を設けた。

これのポリ塩化ビニルフィルムに対する粘着下限温度は
り０℃であった。次に、実施例ｊに記載の光重合性組成
物を乾燥膜厚３０μｍとなる様に塗布、乾燥した。以下
同様に評価を行なったところ、実施例ｊと同様な好結果
を得た。

実施例ＩＱ 実施例りにｉいてポリ塩化ビニルフィルムを２７μｍ厚
のポリスチレンフィルムに代え、史に、積層温度を９層
℃とした。粘着性調整Ｊ沓σ）ポリスチレンフィルムに
対する粘着下限温度＆１１０℃であった。以下、実施例
り同様に評価したところ、はｙ良好な結果を得た。

実施例１１ 実施例１と同様にして、２５μｍ膜厚のポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に粘着性調整層を設けた後、下
記組成より成る光重合組成物を乾慄膜ノＯμｍとなる様
に塗布、乾燥した。

スチレン３ｊＺ量％／エチルアク リレートｉ３重ｉｉ＋′％／メチルメタタリンートコｊ
市＃％／メチルメ タフリレート２ｊ重量％より成る 共重合体　　　　　　　　　　　　　　７ｇトリメチロ
ールプロパントリアク リ　　し′　−ト　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　、？　　　ｇテトラエチレングリコー
ルシアク リ　　し　−　　ト　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　ｉｐベンジル　　　　　　　　　　
　　　ｉｓｏｍｇミヒラーズケトン　　　　　　　　　
　３ｊＴｎ９ビクトリアピユアーブルーＢ　ＯＨ３ｎＱ
メチルエチルケトン　　　　　　　　ｉｓｇ得られたド
ライフィルム材料の試料片を実施例１同隊な方法により
プリント基板上に加熱、加圧ロールにより積層し、続い
てポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離除去した
。この粘着性調整層で被覆された光ｌ°合層を積層した
プリント基板上にステップタブレットフイ°ルム（イー
ストマンコダック社製）および解像力チャートフィルム
（凸版印刷社製）を配して、真空プリンター中、高圧水
鋼溶により露光した。

実施例１同様に現像を行なった結果、硬化段数り段で秀
れたレジストハターンを得、その解像性は３７μｍであ
った。

比較例６ 実施例１／において粘着性調整ｊ槁の形成を施こさず、
直接ポリエチレンテレフタレートフィルム上に回倒で用
いたものと同一の光重合層を同一膜厚となる様、塗設し
た。得られたドライフィルム試料片を実施例／ｌと同様
な条件でプリント基板に積層し、慣用方法に従がい、ポ
リエチレンテレフタレートフィルムを保持したまま同様
評価しｆｔｏ現像の結果、硬化段数９段において解暉性
は５０μｍであり、実施例１／よりかなり劣っていた。

実施例／、１ 実施ド１１１／におけるドライフィルム羽料の光重合層
表面上に、２５μｍ膜厚のポリエチレン保護膜を狽ｊ−
シた層構成な竹する、ロール状に巻き取ったドライフィ
ルム材料を製造した。このドラ・ｆフィルム材料を、積
層用加熱、加圧ロール、基板取出しロールに引き続き、
可撓性支持体、即ちポリエチレンテレフタレートフィル
ムの自動巻取りロールを付設しであるラミネーターに取
り付けた１、保護膜と支持体の頭出しを施こした後、複
数枚のプリント基板を連続的に／　ｔ　□　Ｃの温度下
で積層し、同時に、搬送速度と同期して最上１層の−Ｘ
、持体ン連紐的に剥に４ｉ１ｅ　Ｌ、巻取った。その剥
離温度はμθｔｌＪソ下であった。

運らなって増量される各プリント基板け、各々の後続す
る基板との間隙でナイフカットした。

か様にして得られた／１！ｒ基板な呆施例１に示した方
法により露光、現像、エツチングの各処理を行ない、秀
れた特性をもつ配鯨基板を４４１だ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）可撓性支持体上Ｋ、光重合性組成物層、更に必要
   に応じて保護膜を積層して成るドライフィルム状フォト
   レジスト材料において、前記可撓性支持体と光重合性組
   成物層の間に、可読性支持体に対する粘着性保持の下限
   温度が６０℃以上で１３０℃より低（、且つ、前記粘着
   性保持の下限温度以下における可撓性支持体の剥離操作
   の際、光重合性組成物層から剥離せず、しかも、使用す
   ′る現像液に対して溶解、分散または膨潤する中間層を
   設けたことを特徴とするドライフィルム状フォトレジス
   ト材料。