JPS59134478A - ヘリウム冷凍液化装置 - Google Patents
ヘリウム冷凍液化装置Info
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- JPS59134478A JPS59134478A JP783983A JP783983A JPS59134478A JP S59134478 A JPS59134478 A JP S59134478A JP 783983 A JP783983 A JP 783983A JP 783983 A JP783983 A JP 783983A JP S59134478 A JPS59134478 A JP S59134478A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、超電導マグネットの冷却等Iこ使用されるヘ
リウム冷凍液化装置に関するものである。
リウム冷凍液化装置に関するものである。
この種のヘリウム冷凍液化装置では、ヘリウム液化機で
液化させた液体ヘリウムを液体チッソにより冷却される
トランスファチューブ内を通して熱負荷たる超電導マグ
ネット等Eこ供給するようlこしたものが一般化してい
る。ところが、従来のものは、前記トランスファーチュ
ーブの冷却■こ使われて気化し1こチッソをそのまま大
気中1こ廃棄するようfこしているので、エネルキーロ
スか大きくランニングコストが高くつくという不都合が
ある。
液化させた液体ヘリウムを液体チッソにより冷却される
トランスファチューブ内を通して熱負荷たる超電導マグ
ネット等Eこ供給するようlこしたものが一般化してい
る。ところが、従来のものは、前記トランスファーチュ
ーブの冷却■こ使われて気化し1こチッソをそのまま大
気中1こ廃棄するようfこしているので、エネルキーロ
スか大きくランニングコストが高くつくという不都合が
ある。
すなわち、液体チッソは、大気を空気分離すること1こ
より得られるが、このとき、空気を液化温度まで冷し込
A、 ?ご上で分離するという仕事が必要となるため、
多大なエネルギを消費する。−万、前記トランスファチ
ューブを冷却して気化したチッソは、いまだ液化点近傍
の低温度に保持されている1こもかかわらす、そのまま
大気中へ廃棄されてしまうため、該チッソが気化した後
、常温fこなるまでの冷熱は何らの仕事をなすこともな
く無駄lこすてられてしまうこと1こなる。そのため、
システム全体を観察した場合tこは、エネルギの有効利
用が十分に図られていないといわざるをえな0゜本発明
は、このような事情に着目してなされたもので、トラン
スファチューブの冷却1こ使用され気化したチッソガス
を常温まで高めることなくヘリウムコンプレッサ用駆動
機構(7)ノfワt:v FflSを利用して再液化
させて便用Iこ供し得るようiこすること1こよって、
構造の復雑化を招くことなし1こエネルギの回収率を太
幅1こ高めることができ、効率のよい運転を行なうこと
ができるヘリウム冷凍液を装置を提供するものである。
より得られるが、このとき、空気を液化温度まで冷し込
A、 ?ご上で分離するという仕事が必要となるため、
多大なエネルギを消費する。−万、前記トランスファチ
ューブを冷却して気化したチッソは、いまだ液化点近傍
の低温度に保持されている1こもかかわらす、そのまま
大気中へ廃棄されてしまうため、該チッソが気化した後
、常温fこなるまでの冷熱は何らの仕事をなすこともな
く無駄lこすてられてしまうこと1こなる。そのため、
システム全体を観察した場合tこは、エネルギの有効利
用が十分に図られていないといわざるをえな0゜本発明
は、このような事情に着目してなされたもので、トラン
スファチューブの冷却1こ使用され気化したチッソガス
を常温まで高めることなくヘリウムコンプレッサ用駆動
機構(7)ノfワt:v FflSを利用して再液化
させて便用Iこ供し得るようiこすること1こよって、
構造の復雑化を招くことなし1こエネルギの回収率を太
幅1こ高めることができ、効率のよい運転を行なうこと
ができるヘリウム冷凍液を装置を提供するものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
図面は、本発明1こ係るヘリウム冷凍液化装置のシステ
ム説明内であり、図中1は該装置の主要g!5をなすヘ
リウム液化機である。ヘリウム液化機1は、例えは、5
5°に程度の低温のヘリウムガスaf圧縮するラジアル
式のコンプレッサ2と、このコンプレッサ2から吐出さ
れる高圧のヘリウムガスaを後述する熱交換器3および
4を通過させること1こより冷却しつつデユワ−5方向
へ導くへリウム高圧管路6と、このヘリウム高圧管路6
の終端部1こ設けられ該管路6内の低温、高圧のヘリウ
ムガスaを自由膨張させてその一部を液化させるジュー
ル・トムソン惑、液化しきらなかった膨張後の低温、低
圧のヘリウムガスaを前記熱交換器4を通過させて前記
コンプレッサ2の入口1こ戻すヘリウム低圧管路8と、
自由膨張fこより液化し前記デユワ−5内fこ溜る液体
ヘリウムa′を熱負荷たる超電導コイル9の配設部fこ
供給するヘリウム供給管路11と、前記超電導コイル9
を冷却すること1こよって気化したヘリウムガスaを前
記ヘリウム低圧管路8内へ戻すヘリウム返還管路12と
を具備してなる。そして、n■記ヘリウム供給管路11
と前記ヘリウム返還管路12とは、前記デユワ−5配設
部から前記超電導コイル9配設部に亘って設けた所要長
さのトランスファチューブ13内に挿通させである。ト
ランスファチューブ13は、前記各管路11.12+こ
対する外部からの熱侵入を防止するためのもので、液体
チッソb′lこよって冷却されている。
ム説明内であり、図中1は該装置の主要g!5をなすヘ
リウム液化機である。ヘリウム液化機1は、例えは、5
5°に程度の低温のヘリウムガスaf圧縮するラジアル
式のコンプレッサ2と、このコンプレッサ2から吐出さ
れる高圧のヘリウムガスaを後述する熱交換器3および
4を通過させること1こより冷却しつつデユワ−5方向
へ導くへリウム高圧管路6と、このヘリウム高圧管路6
の終端部1こ設けられ該管路6内の低温、高圧のヘリウ
ムガスaを自由膨張させてその一部を液化させるジュー
ル・トムソン惑、液化しきらなかった膨張後の低温、低
圧のヘリウムガスaを前記熱交換器4を通過させて前記
コンプレッサ2の入口1こ戻すヘリウム低圧管路8と、
自由膨張fこより液化し前記デユワ−5内fこ溜る液体
ヘリウムa′を熱負荷たる超電導コイル9の配設部fこ
供給するヘリウム供給管路11と、前記超電導コイル9
を冷却すること1こよって気化したヘリウムガスaを前
記ヘリウム低圧管路8内へ戻すヘリウム返還管路12と
を具備してなる。そして、n■記ヘリウム供給管路11
と前記ヘリウム返還管路12とは、前記デユワ−5配設
部から前記超電導コイル9配設部に亘って設けた所要長
さのトランスファチューブ13内に挿通させである。ト
ランスファチューブ13は、前記各管路11.12+こ
対する外部からの熱侵入を防止するためのもので、液体
チッソb′lこよって冷却されている。
ま1こ、このヘリウム液化機1のコンプレッサ2を駆動
機構14+こより作動させるようlこしている。駆動機
構14は、前記コンプレッサ2Iこ直結したタービン1
5と、常温領域に配置した常温コンプレッサ(図示せず
)から吐出される高圧のネオンガスCを熱交換器16.
17および3を順次1こ通過させることlこよって冷却
しつつ前記タービン151こ導くネオン高圧管路18と
、lII記タービニ/15を付勢することによって断熱
膨張した低温低圧のネオンガスCを前記熱交換器8.1
7.16を順次に通過させて前記常温コンプレッサに戻
すネオン低圧管路19とを具備してなる。前記熱交換器
3は、前記ネオン低圧管路19円を流れるネオンガスC
の冷気でNU記ヘリウム高圧管路6内のヘリウムガスa
を冷却するためのものであり、前記熱交換器16.17
は、前記ネオン低圧管路19内を流れるネオンガスCの
冷気で −−一、−− 前記ネオン高圧管路18内を流れるネオンガスCを冷却
するためのものである。
機構14+こより作動させるようlこしている。駆動機
構14は、前記コンプレッサ2Iこ直結したタービン1
5と、常温領域に配置した常温コンプレッサ(図示せず
)から吐出される高圧のネオンガスCを熱交換器16.
17および3を順次1こ通過させることlこよって冷却
しつつ前記タービン151こ導くネオン高圧管路18と
、lII記タービニ/15を付勢することによって断熱
膨張した低温低圧のネオンガスCを前記熱交換器8.1
7.16を順次に通過させて前記常温コンプレッサに戻
すネオン低圧管路19とを具備してなる。前記熱交換器
3は、前記ネオン低圧管路19円を流れるネオンガスC
の冷気でNU記ヘリウム高圧管路6内のヘリウムガスa
を冷却するためのものであり、前記熱交換器16.17
は、前記ネオン低圧管路19内を流れるネオンガスCの
冷気で −−一、−− 前記ネオン高圧管路18内を流れるネオンガスCを冷却
するためのものである。
また、前記トランスファチューブ13の冷却に使用され
て気化し1こチッソガスbを前記駆動機構14のパワー
の一部を利用して再液化させるためのチッソ液化機21
を設けている。すなわち、このチッソ液化機21は、低
温のチッソガスb7/圧縮するコンプレッサ、22と、
このコンプレッサ22から吐出される加圧されたチッソ
ガスbを熱交換器23および24を通過させること1こ
より冷却しつつデユワ−25方向へ導くチッソ高圧管路
26と、このチッソ高圧管路26の終端部1こ設けられ
該管路26内のチッソガスbを前記デユワ−25内lこ
噴射して自由膨張させることによってその一部を液化さ
せるジュール・トムソン弁27と前記デユワ−25内の
低圧のチッソガスbを前記熱交換器24を通過させ゛(
6’U記コンプレツサ221こ導くチッソ低圧管路28
とを具備している。そして、前記デユワ−251こ、該
デユワ−25内1こ溜る液体チッソbI5−前記トラン
スファチューブ18に供給するチッソ供給系路31と、
前記トランスファチューブ13から導出させたチッソガ
スbを該デユワ−25内に案内するチッソ排出系路32
とをそれぞれ接続している。また、前記コンプレッサ2
21こタービン33を直結している。そして前記ネオン
高圧管路18内を流れろ高圧のネオンガスCの一部を給
気管路34f/−介して前記タービン33に供給すると
とも1こ、このタービン33を付勢することlこよって
断熱膨張した低温、低圧のネオンガスCを前記熱交換器
23を通過する排気系路35を介してgU記キネオン低
圧管路191戻すよう1こしている。なお、このチッソ
液化器21(よ前記ヘリウム液化機1および前記駆動機
m14の主要部を収納したコールドボックス(図示せず
)円に収められている。
て気化し1こチッソガスbを前記駆動機構14のパワー
の一部を利用して再液化させるためのチッソ液化機21
を設けている。すなわち、このチッソ液化機21は、低
温のチッソガスb7/圧縮するコンプレッサ、22と、
このコンプレッサ22から吐出される加圧されたチッソ
ガスbを熱交換器23および24を通過させること1こ
より冷却しつつデユワ−25方向へ導くチッソ高圧管路
26と、このチッソ高圧管路26の終端部1こ設けられ
該管路26内のチッソガスbを前記デユワ−25内lこ
噴射して自由膨張させることによってその一部を液化さ
せるジュール・トムソン弁27と前記デユワ−25内の
低圧のチッソガスbを前記熱交換器24を通過させ゛(
6’U記コンプレツサ221こ導くチッソ低圧管路28
とを具備している。そして、前記デユワ−251こ、該
デユワ−25内1こ溜る液体チッソbI5−前記トラン
スファチューブ18に供給するチッソ供給系路31と、
前記トランスファチューブ13から導出させたチッソガ
スbを該デユワ−25内に案内するチッソ排出系路32
とをそれぞれ接続している。また、前記コンプレッサ2
21こタービン33を直結している。そして前記ネオン
高圧管路18内を流れろ高圧のネオンガスCの一部を給
気管路34f/−介して前記タービン33に供給すると
とも1こ、このタービン33を付勢することlこよって
断熱膨張した低温、低圧のネオンガスCを前記熱交換器
23を通過する排気系路35を介してgU記キネオン低
圧管路191戻すよう1こしている。なお、このチッソ
液化器21(よ前記ヘリウム液化機1および前記駆動機
m14の主要部を収納したコールドボックス(図示せず
)円に収められている。
次いで、この実施例の作動を説明する。
常温コンプレッサから吐出された高圧のネオンガスCが
熱交換器16.17を通過する毎ξこ冷されながらネオ
ン高圧管18に案内されてタービン151こ供給される
と、該タービン15が高速で回転する。そして、このタ
ービン15を伺勢することによつて断熱膨張した低温、
低圧のネオンガスCは、ネオン低圧管路19を通して前
記常温コンプレッサに戻される。このよう1こして、前
記タービン15が回転すると、これ1こ直結されたコン
プレッサ2が作動状態となる。そうすると、このコンプ
レッサ21こよりヘリウムガスaが圧縮されその圧縮さ
れた高圧のヘリウムガスaがヘリウム高圧管路6を通し
てデユワ−5方向に送られるがその際1こ、このヘリウ
ムガスaは、前記熱交換器3で前述した低温のネオンガ
スCと熱交換を行なうこと1こよって予冷されるととも
に、前記熱交換器4でリターンのヘリウムガスCと熱交
換を行なって反転温度にまで冷却される。その1こめ、
この低温、高圧のヘリウムガスaがジュール・トム゛ノ
ン弁7により自由膨張させられることによって、その一
部が液化しデユワ−5の底部lこ溜る。そして、このデ
ユワ−5内の低圧のヘリウムカスaはヘリウム低圧管路
8を介してコンプレッサ2に戻されて循環する。このよ
うfこして、前記デユワー5内+こ溜った液体ヘリウム
a′は、トランスファチューブ13内lこ挿通させたヘ
リウム供給管路11を通して熱負荷たる超電導コイル9
に供給され、該コイル9の冷却1こ便われる。そして、
この超電導コイル9を冷却すること1こよって気化した
ヘリウムガスaは、ヘリウム返還管路12を通してヘリ
ウム低圧管路8内1こ戻され、前記デユワ−5からコン
プレッサ21こ向うヘリウムガスaIこ合流して循環す
る。また、このような冷凍運転時1こは、チッソ液化機
21も作動状態となる。すなわち、ネオン高圧管路34
円の高圧の半オンガスCの一部が給気管路34を通して
タービン33に供給されると、該タービン33が高速で
回転する。そして、このタービン33を付勢すること1
こよって断熱膨張した低温、低圧のネオンガスCは、排
気管路35を通して前記ネオン低圧管路19中1こ放出
される。このよう1こして、前記タービン33が回転す
ると、これに直結され1こコンプレッサ22が作動状態
となる。そうすると、このコンプレッサ22+こより前
記トランスファチューブ13から戻されるチッソガスb
が圧縮され、その圧縮された高圧のチッソガスbがチッ
ソ低圧管路26を通してデユワ−25方向1こ送られる
力S1その際1こ、このチッソガスbは、前記熱交換器
23で前述しfこ低温のネオンガスCと熱交換を行なう
こと1乙よって予冷されるととも1こ、前記熱交換器2
4でリターンのチッソガスbと熱交換を行なって反転温
度Eこまで冷却される。そのため、この低温、高圧のチ
ッソガスbがジュール・トムソン弁271こより自由膨
張させられること1こよって、その一部力≦液化しデユ
ワ−25の底部に溜る。そして、この液体チッソb!は
、チッソ供給系路31を通してトランスファチューブ1
81こ供給され、該トランスファチューブ18の冷却暑
こ使用される。ま1こ、このトランスファチューブ13
8−冷却することCよって気化したチッソガスbは、チ
ツ゛ノυF出糸路32を通して前記デユワ−25内1こ
戻される。そしてこの戻され1こチッソガスbと前記ジ
ューJし・トムソン弁27]こよって液化しきれな力j
つだチッソガスbは、チッソ低圧管路28を通して前記
コンブレッサ22+こ戻され湯循環する。すなわち、再
び液化され前記トランスファチューブ13の冷却1こ(
突出されることfこなる。
熱交換器16.17を通過する毎ξこ冷されながらネオ
ン高圧管18に案内されてタービン151こ供給される
と、該タービン15が高速で回転する。そして、このタ
ービン15を伺勢することによつて断熱膨張した低温、
低圧のネオンガスCは、ネオン低圧管路19を通して前
記常温コンプレッサに戻される。このよう1こして、前
記タービン15が回転すると、これ1こ直結されたコン
プレッサ2が作動状態となる。そうすると、このコンプ
レッサ21こよりヘリウムガスaが圧縮されその圧縮さ
れた高圧のヘリウムガスaがヘリウム高圧管路6を通し
てデユワ−5方向に送られるがその際1こ、このヘリウ
ムガスaは、前記熱交換器3で前述した低温のネオンガ
スCと熱交換を行なうこと1こよって予冷されるととも
に、前記熱交換器4でリターンのヘリウムガスCと熱交
換を行なって反転温度にまで冷却される。その1こめ、
この低温、高圧のヘリウムガスaがジュール・トム゛ノ
ン弁7により自由膨張させられることによって、その一
部が液化しデユワ−5の底部lこ溜る。そして、このデ
ユワ−5内の低圧のヘリウムカスaはヘリウム低圧管路
8を介してコンプレッサ2に戻されて循環する。このよ
うfこして、前記デユワー5内+こ溜った液体ヘリウム
a′は、トランスファチューブ13内lこ挿通させたヘ
リウム供給管路11を通して熱負荷たる超電導コイル9
に供給され、該コイル9の冷却1こ便われる。そして、
この超電導コイル9を冷却すること1こよって気化した
ヘリウムガスaは、ヘリウム返還管路12を通してヘリ
ウム低圧管路8内1こ戻され、前記デユワ−5からコン
プレッサ21こ向うヘリウムガスaIこ合流して循環す
る。また、このような冷凍運転時1こは、チッソ液化機
21も作動状態となる。すなわち、ネオン高圧管路34
円の高圧の半オンガスCの一部が給気管路34を通して
タービン33に供給されると、該タービン33が高速で
回転する。そして、このタービン33を付勢すること1
こよって断熱膨張した低温、低圧のネオンガスCは、排
気管路35を通して前記ネオン低圧管路19中1こ放出
される。このよう1こして、前記タービン33が回転す
ると、これに直結され1こコンプレッサ22が作動状態
となる。そうすると、このコンプレッサ22+こより前
記トランスファチューブ13から戻されるチッソガスb
が圧縮され、その圧縮された高圧のチッソガスbがチッ
ソ低圧管路26を通してデユワ−25方向1こ送られる
力S1その際1こ、このチッソガスbは、前記熱交換器
23で前述しfこ低温のネオンガスCと熱交換を行なう
こと1乙よって予冷されるととも1こ、前記熱交換器2
4でリターンのチッソガスbと熱交換を行なって反転温
度Eこまで冷却される。そのため、この低温、高圧のチ
ッソガスbがジュール・トムソン弁271こより自由膨
張させられること1こよって、その一部力≦液化しデユ
ワ−25の底部に溜る。そして、この液体チッソb!は
、チッソ供給系路31を通してトランスファチューブ1
81こ供給され、該トランスファチューブ18の冷却暑
こ使用される。ま1こ、このトランスファチューブ13
8−冷却することCよって気化したチッソガスbは、チ
ツ゛ノυF出糸路32を通して前記デユワ−25内1こ
戻される。そしてこの戻され1こチッソガスbと前記ジ
ューJし・トムソン弁27]こよって液化しきれな力j
つだチッソガスbは、チッソ低圧管路28を通して前記
コンブレッサ22+こ戻され湯循環する。すなわち、再
び液化され前記トランスファチューブ13の冷却1こ(
突出されることfこなる。
なお、ヘリウム冷凍機の構成は、図示実施例のもの1こ
限定されないのは勿論であり、例えは、コンプレッサ1
こより圧縮し1こヘリウムガスを液化させる冷凍液化部
分と、ヘリウムを循環させて熱負荷を冷却する冷却部分
とをそれぞれ独立し1こ閉ループlこよって構成し、醪
記冷凍液化部分の冷熱で前記冷却部分のヘリウムを液化
させるようにしtこもの等であってもよい。
限定されないのは勿論であり、例えは、コンプレッサ1
こより圧縮し1こヘリウムガスを液化させる冷凍液化部
分と、ヘリウムを循環させて熱負荷を冷却する冷却部分
とをそれぞれ独立し1こ閉ループlこよって構成し、醪
記冷凍液化部分の冷熱で前記冷却部分のヘリウムを液化
させるようにしtこもの等であってもよい。
ま1こ、駆動機構の構成も前記実施例のものに限られる
ものではなく、例えは、半オンガスの代わり1こ、チッ
ソガス、アルゴンガス、酸素ガス、水素ガス、乾燥空気
あるいはこれらの混合ガス等を用いtこものであっても
よい。
ものではなく、例えは、半オンガスの代わり1こ、チッ
ソガス、アルゴンガス、酸素ガス、水素ガス、乾燥空気
あるいはこれらの混合ガス等を用いtこものであっても
よい。
さら1こ、チッソ液化機の構成も図示実施例のもの1こ
限られず、例えは、コンプレッサ22の代わり3こファ
ンを用いたものでもよ(゛。ま1こ、タービン83 +
c供給する作動ガスの温度を低く設定すれは、ジュール
・トムソン弁27を用いないでチッソガスを液化させる
こともできる。
限られず、例えは、コンプレッサ22の代わり3こファ
ンを用いたものでもよ(゛。ま1こ、タービン83 +
c供給する作動ガスの温度を低く設定すれは、ジュール
・トムソン弁27を用いないでチッソガスを液化させる
こともできる。
本発明は、以上のような構成であるから、仄のような効
果が得られる。
果が得られる。
ます、トフンスファチューブの冷却lこ炉用され気化し
1こチッソを常温1こ戻る前lこチッソ液化機で再液化
させて再びトランスファチューブの冷却Iこ用い得るよ
う1こしているので、常温の空気を液化温度lこまで冷
し込むことfこよってチッソを分離し、その分離したチ
ッソをC史いすて1こするような場合1こ比べてはるか
1こ少量のエネルギで熱負荷の冷却を続けることができ
る。すなオっち、本発明lこよれは、前記チッソ液化機
tこチッソの潜熱に相当するエネルギを付与すること1
こよってチッソを再液化させ再使用することができる。
1こチッソを常温1こ戻る前lこチッソ液化機で再液化
させて再びトランスファチューブの冷却Iこ用い得るよ
う1こしているので、常温の空気を液化温度lこまで冷
し込むことfこよってチッソを分離し、その分離したチ
ッソをC史いすて1こするような場合1こ比べてはるか
1こ少量のエネルギで熱負荷の冷却を続けることができ
る。すなオっち、本発明lこよれは、前記チッソ液化機
tこチッソの潜熱に相当するエネルギを付与すること1
こよってチッソを再液化させ再使用することができる。
そのため、使用後のチッソを廃棄している従来のものl
こ比べてシステム効率を大幅Iこ向上させることが可能
であり、ランニングコスl−を有効1こ低減させること
ができる。
こ比べてシステム効率を大幅Iこ向上させることが可能
であり、ランニングコスl−を有効1こ低減させること
ができる。
ま1こ、前記チッソ液化機をヘリウム液化機用駆動機構
のパワーの一部を利用して作動させ得るよう★こしてい
るので、構造の簡略化が可能であり、ま1こ、ヘリウム
液化機とチッソ液化機とを1つのコールドボックスlこ
納めることができ、ノステム全体が大形化するのを有効
Iこ防止することができるものである。
のパワーの一部を利用して作動させ得るよう★こしてい
るので、構造の簡略化が可能であり、ま1こ、ヘリウム
液化機とチッソ液化機とを1つのコールドボックスlこ
納めることができ、ノステム全体が大形化するのを有効
Iこ防止することができるものである。
図面は本発明の一実施例を示すシステム説明図である。
1−・ヘリウム液化機
2・・・コンプレッサ
13・・・トランスファチューブ
14・・駆動機構 21・・・チッソ液化機31・・
チッソ供給系路 32・・チッソ排出系路 代理人 弁理士 赤澤−博
チッソ供給系路 32・・チッソ排出系路 代理人 弁理士 赤澤−博
Claims (1)
- ヘリウムガスを液化させるととも1こその液体ヘリウム
を液体チッソ1こより冷却されるトランスファチューブ
内を通して熱負荷配設部1こまで供給するヘリウム液化
機と、このヘリウム液化機のコンプレッサを駆動する駆
動機構と、前記トランスファチューブ1こ液体チッソを
供給するチッソ供給系路と、前記トランスファチューブ
から気化し1こチッソガスを導出させるチッソ排出系路
と、このチッソ排出系路を通して導出される低温のチッ
ソガスfF前記駆動機構のパワーの一部を利用して液化
させるとともにその液体チッソを前記チッソ供給系路内
1こ送り込むチッソ液化機とを具備してなることを特徴
とするヘリウム冷凍液化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP783983A JPS59134478A (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | ヘリウム冷凍液化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP783983A JPS59134478A (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | ヘリウム冷凍液化装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59134478A true JPS59134478A (ja) | 1984-08-02 |
JPH0321833B2 JPH0321833B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=11676774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP783983A Granted JPS59134478A (ja) | 1983-01-19 | 1983-01-19 | ヘリウム冷凍液化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59134478A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01127876A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Japan Atom Energy Res Inst | 極低温冷媒移送方法 |
-
1983
- 1983-01-19 JP JP783983A patent/JPS59134478A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01127876A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Japan Atom Energy Res Inst | 極低温冷媒移送方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0321833B2 (ja) | 1991-03-25 |
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