JPS59121630A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS59121630A JPS59121630A JP23115382A JP23115382A JPS59121630A JP S59121630 A JPS59121630 A JP S59121630A JP 23115382 A JP23115382 A JP 23115382A JP 23115382 A JP23115382 A JP 23115382A JP S59121630 A JPS59121630 A JP S59121630A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- recording medium
- sputtering
- magnetic recording
- curl
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は強磁性金属薄膜を非磁性支持体上に形成して
なる磁気記録媒体を製造する方法に関し、特にカールの
発生を回避しうる様にしたものである。
なる磁気記録媒体を製造する方法に関し、特にカールの
発生を回避しうる様にしたものである。
近年Ｆｅ ＋ Ｃｏ ＋ Ｎｉ及びその合金を主成分と
する強磁性金属をアセテート、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリイミド等の非磁性支持体上に被着してなる薄
膜磁気記録媒体が提供されている。この薄膜磁気記録媒
体は従前の塗布形のものに比べ磁気特性が優れているの
で高密度記録が可能であり、このため脚光を浴びている
。
する強磁性金属をアセテート、ポリエチレンテレフタレ
ート、ポリイミド等の非磁性支持体上に被着してなる薄
膜磁気記録媒体が提供されている。この薄膜磁気記録媒
体は従前の塗布形のものに比べ磁気特性が優れているの
で高密度記録が可能であり、このため脚光を浴びている
。
ところで、この薄膜磁気記録媒体ではテープが幅方向に
湾曲するいわゆるカール現象が認められている。
湾曲するいわゆるカール現象が認められている。
このカールには第１図に示す様に強磁性金属薄膜（１）
を被着した側がくぼむもの（以下圧のカールとする）と
逆に第２図に示す様に強磁性金属薄膜（１）側が突出す
るもの（以下負のカールとする）とに分けられる。なお
、（２）は非磁性支持体である。この様なカールがある
とテープ走行が不安定になり、勢いテープテンションを
高めなければならず、テープダメージが大きくなってし
まう。又、磁気ヘッドと記録媒体等の接触が一様でなく
なるためスペースロスが生じてしまう。又、ひどい場合
には記録媒体や磁気ヘッドに損傷が加わることにもなる
。
を被着した側がくぼむもの（以下圧のカールとする）と
逆に第２図に示す様に強磁性金属薄膜（１）側が突出す
るもの（以下負のカールとする）とに分けられる。なお
、（２）は非磁性支持体である。この様なカールがある
とテープ走行が不安定になり、勢いテープテンションを
高めなければならず、テープダメージが大きくなってし
まう。又、磁気ヘッドと記録媒体等の接触が一様でなく
なるためスペースロスが生じてしまう。又、ひどい場合
には記録媒体や磁気ヘッドに損傷が加わることにもなる
。
第３図〜第５図はこの様なカールを実験により確かめた
ものである。ここでは薄膜磁気記録媒体を約１００φの
円盤シート上に打ち抜いてサンプルを形成し、これを定
盤の上においてサンプルのニップの高さを測定しそれを
カール量とした。第１図の態様のカール量を正とし、第
２図の態様のカール量を負とすることは勿論である。パ
ラメータとしてはサンプルの温度Ｔｓｓ膜厚Ｔを採用し
た。温度Ｔｓはサンプルに近接した位置においた熱電対
で測定し、膜厚Ｔは予め構成しておいた水晶式膜厚計に
よった。
ものである。ここでは薄膜磁気記録媒体を約１００φの
円盤シート上に打ち抜いてサンプルを形成し、これを定
盤の上においてサンプルのニップの高さを測定しそれを
カール量とした。第１図の態様のカール量を正とし、第
２図の態様のカール量を負とすることは勿論である。パ
ラメータとしてはサンプルの温度Ｔｓｓ膜厚Ｔを採用し
た。温度Ｔｓはサンプルに近接した位置においた熱電対
で測定し、膜厚Ｔは予め構成しておいた水晶式膜厚計に
よった。
第３図はサンプルの温度を一定＝±を先だｅ−１！＝−
−とし強磁性金属膜を蒸着し、そ の膜厚を変えた時のカール量を測定したものである。第
４図は膜厚Ｔを一定にしサンプルの温度Ｔｓを変えた時
のカール量を示す。この第３図及び第４図から特定の条
件の下ではカールがＯとなるものの、一般的な場合には
カールが極めて犬となることが確められた。
−とし強磁性金属膜を蒸着し、そ の膜厚を変えた時のカール量を測定したものである。第
４図は膜厚Ｔを一定にしサンプルの温度Ｔｓを変えた時
のカール量を示す。この第３図及び第４図から特定の条
件の下ではカールがＯとなるものの、一般的な場合には
カールが極めて犬となることが確められた。
伺、第３図及び第４図から理解される様にサンプル即ち
支持基体の４で 、雰囲気温度Ｔｓ及び蒸着膜４丁を特
定のものに選ぶことによりカールを解消することも考え
られる。第５図は熱膨張係数が１．５ Ｘ １０−５．
１０．０刈ｏ−５程度のものを用い蒸着膜厚を１ｏｏｏ
ｉとしてカールが０となる基板温度Ｔｓ及び熱膨張係数
をプロットしたものである。第５図に示されるものに条
件を設定すればカールを解消することができる。しかし
ながら、薄膜磁気記録媒体の製造に際しては磁気特性や
ヤング率等を考慮しなければならず、この様々条件のみ
に合致させて製造を行なうことができ力いので、極めて
実用に供し得ないものである。
支持基体の４で 、雰囲気温度Ｔｓ及び蒸着膜４丁を特
定のものに選ぶことによりカールを解消することも考え
られる。第５図は熱膨張係数が１．５ Ｘ １０−５．
１０．０刈ｏ−５程度のものを用い蒸着膜厚を１ｏｏｏ
ｉとしてカールが０となる基板温度Ｔｓ及び熱膨張係数
をプロットしたものである。第５図に示されるものに条
件を設定すればカールを解消することができる。しかし
ながら、薄膜磁気記録媒体の製造に際しては磁気特性や
ヤング率等を考慮しなければならず、この様々条件のみ
に合致させて製造を行なうことができ力いので、極めて
実用に供し得ないものである。
又、上述カールを解消するにはその他種々の方法が提案
されている。例えばクラックを入れることもその１つで
ある。しかし金属薄膜にクラックを形成すると錆やすく
なり磁気特性が劣化する恐れがある。
されている。例えばクラックを入れることもその１つで
ある。しかし金属薄膜にクラックを形成すると錆やすく
なり磁気特性が劣化する恐れがある。
この発明はこの様な事情を考慮してなされたものであり
難無くカールを解消できる薄膜磁気記録媒体の製造方法
を提供することを目的としている。
難無くカールを解消できる薄膜磁気記録媒体の製造方法
を提供することを目的としている。
本発明者はこの様な目的を達成するために鋭意研究を重
ね、その結果強磁性金属薄膜の被着方法が真空蒸着の場
合にはカールが一般的に正にカリ、スフ４ツタリングの
場合には負になるという事実を認識するに至った。
ね、その結果強磁性金属薄膜の被着方法が真空蒸着の場
合にはカールが一般的に正にカリ、スフ４ツタリングの
場合には負になるという事実を認識するに至った。
この発明は、上述の事実の下に非磁性支持体に強磁性金
属薄膜を被着する際に真空蒸着とス・やツタリング等を
併せて行なう様にするのである。
属薄膜を被着する際に真空蒸着とス・やツタリング等を
併せて行なう様にするのである。
以下この発明の一実施例について第６図を参照しながら
説明しよう。
説明しよう。
第６図はこの発明の一実施例を示す。この第６図におい
て、ベルジャα■は低真空部（２）及び高真空部α１に
分離され、低真空部（イ）に供給ロールα◆及び巻取ロ
ールα時が配されている。クーリングキャンαＱは低真
空部０■及び高真空部α■の中間に位置している。供給
ロールαφから巻き出される非磁性支持体例えば？リエ
チレンテレフタレートの支持体◇ηはクーリングキャン
◇Ｑに冷却されつつガイドされ、巻取ロールαυに走行
させられる。高真空部α浄には電子銃＜ｌＥ９及び蒸着
源（６）が配されている。蒸着源αつとしてはＣｏが用
いられる。この場合クーリングキャンα・の近傍にシャ
ッタ（イ）が配され、所定の入射角で支持体α力に蒸着
が行なわれる様になっている。
て、ベルジャα■は低真空部（２）及び高真空部α１に
分離され、低真空部（イ）に供給ロールα◆及び巻取ロ
ールα時が配されている。クーリングキャンαＱは低真
空部０■及び高真空部α■の中間に位置している。供給
ロールαφから巻き出される非磁性支持体例えば？リエ
チレンテレフタレートの支持体◇ηはクーリングキャン
◇Ｑに冷却されつつガイドされ、巻取ロールαυに走行
させられる。高真空部α浄には電子銃＜ｌＥ９及び蒸着
源（６）が配されている。蒸着源αつとしてはＣｏが用
いられる。この場合クーリングキャンα・の近傍にシャ
ッタ（イ）が配され、所定の入射角で支持体α力に蒸着
が行なわれる様になっている。
たとえば支持体α力の鉛直方向に対する入射角が例えば
４０°以上され、これにより、いわゆる斜め蒸着が行な
われる様にする。この高真空部α→にはイオン源（２υ
も配されている。このイオン源（２１）はＣＯのスパッ
タリングを行々うためにＡｒイオンを照射するものであ
る。スパッタリングのターグットとしては上述シャッタ
翰を流用する。シャッタ（イ）の電位を負側におとし、
クーリングキャンａＱ側の電位を正とする。そして両者
間に例えば直流１ｋＶ／ｃｒｎの電界を形成する。
４０°以上され、これにより、いわゆる斜め蒸着が行な
われる様にする。この高真空部α→にはイオン源（２υ
も配されている。このイオン源（２１）はＣＯのスパッ
タリングを行々うためにＡｒイオンを照射するものであ
る。スパッタリングのターグットとしては上述シャッタ
翰を流用する。シャッタ（イ）の電位を負側におとし、
クーリングキャンａＱ側の電位を正とする。そして両者
間に例えば直流１ｋＶ／ｃｒｎの電界を形成する。
この様な構成において、供給ロール（１４１及び巻取ロ
ールαＧで非磁性支持体へ→をクーリングキャンαＱ側
面に走行させ、この時蒸着源αつから斜め蒸着を行なう
。後段の糸路では更にスパッタリングが行なわれる。即
ち、イオン源（２１ＪからＡｒイオンがターグットとし
てのシャッタ（イ）に照射され、これによりここに配さ
れているＣｏがだたきだされ、最終的に支持体α→にＣ
ｏが被着形成されるのである。伺、蒸着による膜厚とス
ノぐツタリングによる膜厚との比は強磁性金属の種類（
本例ではＣｏ ）によって所望のものに選定することが
できる。伺、第３図及び第４図から蒸着による場合にも
、負のカールとなることがあり得る。但し一般の条件の
もとでは正のカールとなることが多くこの様な条件のも
とて本実施例を行々えばなんら支障が生ずることはない
。
ールαＧで非磁性支持体へ→をクーリングキャンαＱ側
面に走行させ、この時蒸着源αつから斜め蒸着を行なう
。後段の糸路では更にスパッタリングが行なわれる。即
ち、イオン源（２１ＪからＡｒイオンがターグットとし
てのシャッタ（イ）に照射され、これによりここに配さ
れているＣｏがだたきだされ、最終的に支持体α→にＣ
ｏが被着形成されるのである。伺、蒸着による膜厚とス
ノぐツタリングによる膜厚との比は強磁性金属の種類（
本例ではＣｏ ）によって所望のものに選定することが
できる。伺、第３図及び第４図から蒸着による場合にも
、負のカールとなることがあり得る。但し一般の条件の
もとでは正のカールとなることが多くこの様な条件のも
とて本実施例を行々えばなんら支障が生ずることはない
。
以上述べた様にこの発明によれば非磁性支持体上に強磁
性金属材料を被着形成して薄膜形磁気記録媒体を形成す
る際に真空蒸着とスパッタリング等を合せ行なうことに
よりいわゆるカールを解消する様にしている。従って磁
気記録媒体自体や磁気ヘッドに損傷が加わることがなく
デ′−タ゛の記録再生も良好なものとなる。勿論強磁性
金属薄膜の膜厚や非磁性支持体の膜厚等種々のものをフ
レクシビリティにとんで選定することが可能である。
性金属材料を被着形成して薄膜形磁気記録媒体を形成す
る際に真空蒸着とスパッタリング等を合せ行なうことに
よりいわゆるカールを解消する様にしている。従って磁
気記録媒体自体や磁気ヘッドに損傷が加わることがなく
デ′−タ゛の記録再生も良好なものとなる。勿論強磁性
金属薄膜の膜厚や非磁性支持体の膜厚等種々のものをフ
レクシビリティにとんで選定することが可能である。
幸
第１図は磁気記録媒体カールを示す断面図、第２図は同
様の断面図、第３図〜第５図は上述磁気記録媒体のカー
ルを説明するだめのグラフ、第６図はこの発明の一実施
例を示す模式図である。 αりは支持体、０樽は電子銃、αりは蒸着源、■０はス
パッタリングのターゲットを兼ねるシャッタ、（２Ｉ）
はイオン源である。 １１４蚊の舶月会ぞ１にイｈ馨父（ｘｌＯ−’）第３図 Ａ莫厚Ｔ（入）
様の断面図、第３図〜第５図は上述磁気記録媒体のカー
ルを説明するだめのグラフ、第６図はこの発明の一実施
例を示す模式図である。 αりは支持体、０樽は電子銃、αりは蒸着源、■０はス
パッタリングのターゲットを兼ねるシャッタ、（２Ｉ）
はイオン源である。 １１４蚊の舶月会ぞ１にイｈ馨父（ｘｌＯ−’）第３図 Ａ莫厚Ｔ（入）
Claims (1)
- 強磁性金属薄膜を非磁性支持体上に形成してなる磁気記
録媒体の製造方法において、非磁性支持体上に強磁性金
属材料を真空蒸着すると同時に、上記強磁性金属とほと
んど同一組成の強磁性金属材料をス・ぐツタリングによ
り上記非磁性支持体上に被着することを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23115382A JPS59121630A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23115382A JPS59121630A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59121630A true JPS59121630A (ja) | 1984-07-13 |
Family
ID=16919119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23115382A Pending JPS59121630A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59121630A (ja) |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP23115382A patent/JPS59121630A/ja active Pending
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