JPS5864268A - 窒化けい素焼結体およびその製造方法 - Google Patents
窒化けい素焼結体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPS5864268A JPS5864268A JP56163271A JP16327181A JPS5864268A JP S5864268 A JPS5864268 A JP S5864268A JP 56163271 A JP56163271 A JP 56163271A JP 16327181 A JP16327181 A JP 16327181A JP S5864268 A JPS5864268 A JP S5864268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- silicon nitride
- gas
- oxidizing atmosphere
- producing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は高温強度が高く、高密度を有する非酸化物す
なわち窒化物セラミックス焼結体およびその製造方法Ｋ
ｌｉするものである。
なわち窒化物セラミックス焼結体およびその製造方法Ｋ
ｌｉするものである。
鰻近、セラミックス材料特に耐熱性材料としてのセラミ
ックスの開発が盛んに行われており、なかでも高温にお
いて安定な耐熱性物質である共有結合性化合物、特に窒
化けい素（５３，Ｎ、入訳化けい＊ （５４０）が非常
にすぐれた材料であることが知られている。
ックスの開発が盛んに行われており、なかでも高温にお
いて安定な耐熱性物質である共有結合性化合物、特に窒
化けい素（５３，Ｎ、入訳化けい＊ （５４０）が非常
にすぐれた材料であることが知られている。
、一般にセラミックス社、原料セラミックス粉末を成形
焼結して使用されるものであるが、 Ｓｉ３Ｎ２゜Ｓｉ
Ｏなどの場合は、一般の酸化物タラミックスと具なり、
難焼結性物質である丸め、皐独組成たとえばＳｉ畠Ｎ４
粉末のみを焼結しても緻密な焼結体を得ることは困鍜で
ある。
焼結して使用されるものであるが、 Ｓｉ３Ｎ２゜Ｓｉ
Ｏなどの場合は、一般の酸化物タラミックスと具なり、
難焼結性物質である丸め、皐独組成たとえばＳｉ畠Ｎ４
粉末のみを焼結しても緻密な焼結体を得ることは困鍜で
ある。
このため５ｉ１Ｎ４粉末の場合などＫ Ｉｄ ＭｇＯ，
ｋｌ！ｏ＠ 。
ｋｌ！ｏ＠ 。
４０Ｂ 、 Ｃｅ０１ 、 ＢｅＯなどの酸化物粉末を
焼結助剤として添加して焼結することが行われている。
焼結助剤として添加して焼結することが行われている。
焼結助剤を加え九粉末を使′用して通常行われているプ
レス成形後、真！Ｌ１あるいけ常圧で加熱焼結する方＆
は、焼結コストが低く工業的に用いることができる。
レス成形後、真！Ｌ１あるいけ常圧で加熱焼結する方＆
は、焼結コストが低く工業的に用いることができる。
またＳ ｉ 、Ｎ、の場合、焼結しても孔はそのまｔ残
存するのでこの方法で相対密度９７寿程度の焼結体を得
ゐことができる。
存するのでこの方法で相対密度９７寿程度の焼結体を得
ゐことができる。
これに対して、高温下で加圧しながら焼結するホットプ
レス決によれば、よシ緻密な焼結体を得ることができる
。
レス決によれば、よシ緻密な焼結体を得ることができる
。
さらに焼結助剤の混合割合を減少し、あるいは焼結助剤
を添加せずにＭ圧ガス雰囲気中で焼結したり、爆発成型
などで粉末に瞬間的に高圧を加λ−て粉砕したのち、焼
結するなどの方法が試みられているが、何れの方法も焼
結コストが高く、また高ｉｉｓ度の低下現象が伐る欠点
があ抄、工業的な方法として成功していない。
を添加せずにＭ圧ガス雰囲気中で焼結したり、爆発成型
などで粉末に瞬間的に高圧を加λ−て粉砕したのち、焼
結するなどの方法が試みられているが、何れの方法も焼
結コストが高く、また高ｉｉｓ度の低下現象が伐る欠点
があ抄、工業的な方法として成功していない。
ところで従来から弗酸化物セラミックス焼結体の出発原
料である５ｉｌＮ４粉末の製造法は、シリコンまたはシ
リカ粉末と脚巣粉末との混合物をＮ□ガス気流中で１８
００〜１７００℃で加熱し、窒化すイし る方法、あるいはシランガスと窒素の水素施合物を８０
０〜１９００℃の麺皮範囲で気相反応させて得る方法な
どがある。
料である５ｉｌＮ４粉末の製造法は、シリコンまたはシ
リカ粉末と脚巣粉末との混合物をＮ□ガス気流中で１８
００〜１７００℃で加熱し、窒化すイし る方法、あるいはシランガスと窒素の水素施合物を８０
０〜１９００℃の麺皮範囲で気相反応させて得る方法な
どがある。
この餌れの方法によね製造されたＳｉ、Ｎ、粉末もその
まま焼結成形体の製３ＩＬｍ料として使用することがで
きる。
まま焼結成形体の製３ＩＬｍ料として使用することがで
きる。
このようにして製造されるＳｉ３Ｎ２の焼結体は、耐熱
衝撃性が＾く、かつ靭性のあるセラミックストシて自動
車用エンジン中タービンエンジンへの応用が検討されて
いるし、また種々の治工具類への応用もすでに行われて
いる。
衝撃性が＾く、かつ靭性のあるセラミックストシて自動
車用エンジン中タービンエンジンへの応用が検討されて
いるし、また種々の治工具類への応用もすでに行われて
いる。
５１１Ｎ４焼結体の別の特徴Ｆｉ硬度がＡｔ、０−や別
Ｃなどに比較して１〜２ｍ＋１低いことである。
Ｃなどに比較して１〜２ｍ＋１低いことである。
従って、従来の５ｔｌＮ４焼結体を耐摩部品として使用
する場合にはどうしてもＡｔｚＯＢ ？ ＳｉＣＫ劣る
という欠点があった。
する場合にはどうしてもＡｔｚＯＢ ？ ＳｉＣＫ劣る
という欠点があった。
本発明者らは、Ｓｉ、Ｎ、焼結体における上記の欠点を
解消するべく検討の結果、この発明に至ったものである
。
解消するべく検討の結果、この発明に至ったものである
。
−ち、この発明は、５ｉｌＮ４粉末にＦｅ１０１１ 、
Ｃａｂ。
Ｃａｂ。
Ｔｉ０１ ｅ ＭＪＯ−Ａｔｔｏ＠ 、 Ｂｅｄ、 Ｎ
ｓＯ＊ Ｃｒ ＠Ｏ＠ ｅ Ｚ ｒ０２ 、 Ｙ １
０ｇ 。
ｓＯ＊ Ｃｒ ＠Ｏ＠ ｅ Ｚ ｒ０２ 、 Ｙ １
０ｇ 。
Ｃｅ０１．５４０１などの酸化物系焼結助剤の少くとも
１株以上を１〜２０重量傷とＣａ ＊ Ｔ＋ ｅ Ｚｒ
＊ Ｎｂ ｅ Ｔａ ＩＣｒ＊ Ｍｏ、Ｌ Ｆｅｅ
Ｃｏ、 Ｎｉ ＃ Ｙ などの金鋼の珪化物粉本の少
くとも１檜以上を５〜４０重１％を加えた混合粉末を用
い、非酸化性雰囲気中で焼結すること、あるいＦｉ非酸
化性雰囲気中でバッキング材の−ＳにＣ粉末を使用して
焼結すること、にょって耐摩耗性にすぐれた窒化けい未
焼結体が得られることを見出したものである。
１株以上を１〜２０重量傷とＣａ ＊ Ｔ＋ ｅ Ｚｒ
＊ Ｎｂ ｅ Ｔａ ＩＣｒ＊ Ｍｏ、Ｌ Ｆｅｅ
Ｃｏ、 Ｎｉ ＃ Ｙ などの金鋼の珪化物粉本の少
くとも１檜以上を５〜４０重１％を加えた混合粉末を用
い、非酸化性雰囲気中で焼結すること、あるいＦｉ非酸
化性雰囲気中でバッキング材の−ＳにＣ粉末を使用して
焼結すること、にょって耐摩耗性にすぐれた窒化けい未
焼結体が得られることを見出したものである。
一般に５ｉｌＮ４粉末を用いてＳｉ、Ｎ４焼結体を得る
に＃ｉＮ！ガス中、１７００℃以上で焼結することが知
られており、この際Ｓ ｉ ＠ Ｎ ４粉木Ｋ Ａ７，
０．、 ＭｇＯ。
に＃ｉＮ！ガス中、１７００℃以上で焼結することが知
られており、この際Ｓ ｉ ＠ Ｎ ４粉木Ｋ Ａ７，
０．、 ＭｇＯ。
ＦｅＯなどの酸化物粉末を焼結助剤として添加すること
も知られている。
も知られている。
ところがこのようにして得られるＳｉ、Ｎ４焼結体は高
強度、高密度の性質は有する屯のの耐摩耗性に欠けてい
る。
強度、高密度の性質は有する屯のの耐摩耗性に欠けてい
る。
このため、この発明では高強度、高密度の性質を有し、
かつ耐摩耗性にもすぐれた５ｉｌＮ４焼結体を得るため
にＳｉ、Ｎ、粉末に酸化物系焼結助剤とさらにＣａ、Ｔ
ｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗなどの金属の珪化物粉本を加
えることを第１の特徴とするものである。
かつ耐摩耗性にもすぐれた５ｉｌＮ４焼結体を得るため
にＳｉ、Ｎ、粉末に酸化物系焼結助剤とさらにＣａ、Ｔ
ｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗなどの金属の珪化物粉本を加
えることを第１の特徴とするものである。
そしてこのよう々混合粉末を非酸化性雰囲気中、特に浸
炭性雰囲気中で焼結することを第２の特徴とし、さらに
は混合粉末をＢＮｔた１ｊＡｊＮなどのバッキング材と
混合して非酸化性雰囲気中で焼結する時にバッキング材
の一部としてＣ粉末を使用することを第８の特徴とする
のである。
炭性雰囲気中で焼結することを第２の特徴とし、さらに
は混合粉末をＢＮｔた１ｊＡｊＮなどのバッキング材と
混合して非酸化性雰囲気中で焼結する時にバッキング材
の一部としてＣ粉末を使用することを第８の特徴とする
のである。
上記においてバンキング材の一部にＣ粉末を使用する場
合の非酸化性雰囲気としてはＣＯガス、ＣＯ十Ｎ、の混
ｂガスのほかＮ２ガス単独の雰囲気であってもよいが、
それ以外ＦｉＣＯガスまた１ｊｃＯガスを含んだいわゆ
る浸炭性雰囲気とすることか必要である。
合の非酸化性雰囲気としてはＣＯガス、ＣＯ十Ｎ、の混
ｂガスのほかＮ２ガス単独の雰囲気であってもよいが、
それ以外ＦｉＣＯガスまた１ｊｃＯガスを含んだいわゆ
る浸炭性雰囲気とすることか必要である。
この発明において金属珪化物を使用するのけ、これが焼
結時に縦比されて焼結体表面にＳｉＣ層を析出させるた
めであり、要するにこの炭化物層が焼結体の耐摩耗性を
向上させるのである。
結時に縦比されて焼結体表面にＳｉＣ層を析出させるた
めであり、要するにこの炭化物層が焼結体の耐摩耗性を
向上させるのである。
このような効果を与える金属珪化物の使月蝕としては、
５〜４０重ｉｉｇＩＩが適当である。
５〜４０重ｉｉｇＩＩが適当である。
その理由Ｆｉ５重量倦以下では焼結体の表向に生成する
ＳｉＣの量か少なくて添加の効果があられれず、また４
０１１ｊ１以上を用いると、Ｓｌ、ＩＮ４焼結体として
の特徴が失なわれるためである。
ＳｉＣの量か少なくて添加の効果があられれず、また４
０１１ｊ１以上を用いると、Ｓｌ、ＩＮ４焼結体として
の特徴が失なわれるためである。
金属珪化物としては、原子比の異なる化合物が多数存在
するが、それらのなかでもこの光り］においてはＴｉＳ
：、 Ｚｒｂｔ ｚ ｅ Ｚｒ５ｓ ＃ Ｎｂ５ｔ ２
ｍ ”Ｉ’ａｚＳ １ ｅ ＴａＳｉ ２１ＷＳｉ！
などが特に有効、τある。
するが、それらのなかでもこの光り］においてはＴｉＳ
：、 Ｚｒｂｔ ｚ ｅ Ｚｒ５ｓ ＃ Ｎｂ５ｔ ２
ｍ ”Ｉ’ａｚＳ １ ｅ ＴａＳｉ ２１ＷＳｉ！
などが特に有効、τある。
またＭｇＯ＊ Ｂ ｅＯ＃ Ｎ ｓ Ｕなどの酸化物系
焼結助剤の使用ｉｌｋは１〜２０亜に％が好ましい。
焼結助剤の使用ｉｌｋは１〜２０亜に％が好ましい。
これ＃ｉ１：ｆＬｉｔ％以下では焼結時に密度の向−Ｅ
−得られないために充分な焼結か不可能であ抄、壕九’
２０ｍ墓ｉ以上用いるとＳｉ２Ｎ３の粒界層ｔ；力゛ラ
ス層化してしまって耐熱性の点で不十分となるためでる
る。
−得られないために充分な焼結か不可能であ抄、壕九’
２０ｍ墓ｉ以上用いるとＳｉ２Ｎ３の粒界層ｔ；力゛ラ
ス層化してしまって耐熱性の点で不十分となるためでる
る。
しかしてこの発ワ１における焼結条件としてｒ」、１６
５０〜１８５０℃、０．５〜５時間が適当である。
５０〜１８５０℃、０．５〜５時間が適当である。
次にこの発明を実施例により詳細に説明する。
実施例１゜
５ｔａｒｃｋ社％Ｈ−１ｇｒａｄｅのＳ ｉ ＢＮ４粉
末８５亜量％にＭｇ０５重置％およびＷＳｉｌＯ重′Ｉ
ｔ％を添加し、これを１０時聞混式ポー！レミｌし攪拌
を行った。
末８５亜量％にＭｇ０５重置％およびＷＳｉｌＯ重′Ｉ
ｔ％を添加し、これを１０時聞混式ポー！レミｌし攪拌
を行った。
得られたスラリーを乾燥後、これに有機性粘結剤として
ステアリンａｔ５重量％を加えａｏｆｊｘｓｔの試験片
（２ｔ／ｃ＃？で型押しして作成した。これを公知のバ
ッキング材に入れ、ＣＯガスを５０％混入し九Ｎ、ガス
中、１７６０℃に１時間保持して焼結を行った。
ステアリンａｔ５重量％を加えａｏｆｊｘｓｔの試験片
（２ｔ／ｃ＃？で型押しして作成した。これを公知のバ
ッキング材に入れ、ＣＯガスを５０％混入し九Ｎ、ガス
中、１７６０℃に１時間保持して焼結を行った。
得られた焼結体は緑色を帯びており、その断面をみると
、緑色゛部は表向より０．６瓢の深さであり喪。
、緑色゛部は表向より０．６瓢の深さであり喪。
このことから１７６０℃の焼結温度でけ殆んど収量Ｆｉ
完了し、ｉｋ向層のみにＳｉＣか生成したものと考えら
れる。
完了し、ｉｋ向層のみにＳｉＣか生成したものと考えら
れる。
なお得られた焼結体のピンカース硬度（Ｈｖ）＃１１８
００〜２００Ｇでるり、すぐれた耐摩耗性を示した。
００〜２００Ｇでるり、すぐれた耐摩耗性を示した。
実施例２
伝知Ｏバッキング材にそのｈ重源弾のＣ粉末を均一に混
合して新たなバッキング材を作り、このなかに実施例１
と一様の方法で作成した型押体を入れ、Ｎ！ガス雰囲気
中１７５０℃に０．５時間保持して焼結を行った。
合して新たなバッキング材を作り、このなかに実施例１
と一様の方法で作成した型押体を入れ、Ｎ！ガス雰囲気
中１７５０℃に０．５時間保持して焼結を行った。
得られ友焼結体は緑色を帯びてふり、断面からみると緑
色郁は表面より１ｍの深さであった。
色郁は表面より１ｍの深さであった。
まり＊曲部のピンカース硬度（Ｈｖ）ｔｊ：１９００〜
２１００であった。
２１００であった。
実施例畠
実施例１と同じＳｔｍｒｃｋ社製、ＩＩ−１ｇｒａｄｅ
のＳｉ、Ｎ４粉末６６重量優Ｋ ＭｇＯ６重量％ｅ Ｔ
ｉＳｉ ８０重重量上加えた混合粉末をボールミルにて
攪拌し九。
のＳｉ、Ｎ４粉末６６重量優Ｋ ＭｇＯ６重量％ｅ Ｔ
ｉＳｉ ８０重重量上加えた混合粉末をボールミルにて
攪拌し九。
次いでこれを実施例１と崗じようＫして８０＃ｘ６ｔｔ
）Ｋ験片の作成′および焼結を行った。
）Ｋ験片の作成′および焼結を行った。
得られた焼結体のビッカース硬度（Ｈｖ）Ｆｉ、ｗｉｓ
ｅ〜ｚｚｏｏでありて、耐摩耗性は良好であった。
ｅ〜ｚｚｏｏでありて、耐摩耗性は良好であった。
実施例４
Ｓｔａｒｃｋ社製、Ｈ−１ｇｒＡｄｅのＳｉ、Ｎ４粉末
１１ＣＭｔｒ０６重量郷とＴｉ１Ｓｉ ４０重量％を加
えた材料を用い、実施例１と同様の処理をして焼結体を
得た。この焼結体のビッカース硬度（Ｈｖ）は１９００
〜２０００の値を示した。
１１ＣＭｔｒ０６重量郷とＴｉ１Ｓｉ ４０重量％を加
えた材料を用い、実施例１と同様の処理をして焼結体を
得た。この焼結体のビッカース硬度（Ｈｖ）は１９００
〜２０００の値を示した。
実施例６
Ｓｔａｒｃｋ社製、■−１ｇｒａｄｅのＳｉ＠Ｎ４粉末
にＡｔｌ０＠ ６重量％とＴｍ！’ＳＳ ４Ｇ重量痔を
加えた材料を用い、実施例１と同様のＩ＆運をして焼結
体を得た。この焼結体のビッカース硬度（Ｈｖ）は１８
００〜１９００の値を示した。
にＡｔｌ０＠ ６重量％とＴｍ！’ＳＳ ４Ｇ重量痔を
加えた材料を用い、実施例１と同様のＩ＆運をして焼結
体を得た。この焼結体のビッカース硬度（Ｈｖ）は１８
００〜１９００の値を示した。
実施例６
実施例１と同じ５ｔａｒｃｋ社製、Ｈ−１ｇｒａｄｅの
Ｓｉ＠Ｎ、粉末６６６重量％ Ｚｒ０１５重量％、７ｔ
ＳｉＩＯ重量優を加ええ混合粉末をボールミルにて攪拌
した。
Ｓｉ＠Ｎ、粉末６６６重量％ Ｚｒ０１５重量％、７ｔ
ＳｉＩＯ重量優を加ええ混合粉末をボールミルにて攪拌
した。
次いでこれを実施例ｌと崗じようＫして８０ｆｌＸＳｔ
の試験片の作成および焼結を行った。
の試験片の作成および焼結を行った。
得られ丸焼給体のピッオース硬度（Ｈｖ）＃１２ｏｏｏ
〜２１１）であって、耐摩耗性は良好であった。
〜２１１）であって、耐摩耗性は良好であった。
なお上記実施例は何れも常圧焼結について記載、したが
、ホットプレス焼結によりても一様の効果を得ることは
勿−である。
、ホットプレス焼結によりても一様の効果を得ることは
勿−である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）（ａ） Ｆｅ２０Ｂ、ＣａへＴｉ ０２＊ Ｍ
ｇ０ｔ Ａ４２０ｇ、 Ｂｅｄ、 Ｎｉ Ｏ＋Ｃｒ、０
．、 、 ’１ｒ０２． Ｙ！０１１ 、 ＣｅＯ２，
８ｉ０２などの酸化物粉末の少くとも１種以上を１〜２
０重量−（ｂ） Ｃａ ＋ Ｔ ｔ ｅ Ｚｒ ｅ
Ｎｂｅ Ｔａ ＋ Ｃｒ、 ＭＯ，ｗ、 Ｆｅ 、Ｃｏ
＋ Ｎｓ ＋ Ｙなどの金属の珪化物粉末の少くとも１
種以上を５〜４０重量− （ｅ） 残部が窒化けい素粉末 の混合粉末を用いて焼結したことを特徴とする窒素化け
い素焼粘体。 （２）（ａ） Ｆｅ２Ｏ８，ＣａＯ；Ｔｉ０２ｅ Ｍ
ｇＯ＊ Ａ／、０８ｔ ＢｅＯ，ＮｉＯ。 Ｃｒ２ｏｓ−ＺｒＱ！、 Ｙ２ＯＢｅＣｅＯ２，５ｉ０
２などの酸化物粉末の少くとも１種以上ｋｌ〜２０重量
−（ｂ） Ｃａ、ＴｊｓＺｒ＋Ｎｂ＋Ｔａ＊Ｃｒ＊Ｍ
ｏ５Ｗ＋Ｆｅ、ＣｏｗＮｉ、Ｙなどの金属の珪化物粉末
の少くとも１種以上を５〜４０重蓋チ ことｔ−特徴とする窪化轄い素焼粘体の製造方法（違
非酸化性雰囲気としてＣＯガスを用いることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の窒化けい素焼粘体の製造
方法 （荀 非酸化性雰囲気としてＣＯガスとＮ８ガスの拠金
ガスを用いる仁とｔ−特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の窒化けい素焼粘体の製造す法 （９（ａ） Ｆ ４！７０Ｊｍ Ｃａ Ｏ＊ Ｔ ｔ
０２ ＊ Ｍｇ０ｇ Ａ ｌｉ ０３ ＊ Ｂ ＠
０＋ＮｊＯ，ＣＩＦ！Ｏ，、ＺｒＯ，ｅ Ｙ２Ｏ３，Ｃ
ｅＯ，ｅ ５ｉｄｅなどの酸化物、粉末の少くとも！種
以上ｔ−ｉ〜２０１１ｉｉ量嘔 （ｂＪ Ｃａｔ Ｔｉｅ Ｚｒｅ Ｎｂｅ Ｔａｅ
Ｃｒ、 Ｍｏ、 Ｆｅ、 Ｃｏｗ。 Ｎ１．Ｙなどの金属の珪化物粉末の少くと４１１種以上
′ｔ５〜４０重量− （ｅ） 残部が窒化けい素粉末 の混合粉末を用い、 非酸化性雰囲気中でパフキング材の一部に、Ｃ粉末を使
用して焼結することを特徴とする窒化けい素焼給体の製
造方法 （６） 非酸化性雰囲気としてＣＯガスを用いること
を特徴とする特許請求の範［１ｍ５項記載の窒化けい素
焼給体の製造方法 （７） ＃酸化性雰囲気としてＮ２ガスを用いること
を特徴とする特許１１ｒ求の範囲１１５項記載の窒化妙
い素焼給体の製造方法 （８） 非酸化性雰囲気としてＣＯガスとＮＲガスの
混合ガスを用いることを特徴とする特ｌｌＦＦ騎求の範
囲第５項記載の窒化けい素焼給体の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163271A JPS5864268A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163271A JPS5864268A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5864268A true JPS5864268A (ja) | 1983-04-16 |
Family
ID=15770632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56163271A Pending JPS5864268A (ja) | 1981-10-12 | 1981-10-12 | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5864268A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58128687A (ja) * | 1982-01-27 | 1983-08-01 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | セラミツク発熱体 |
| JPS60128438A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 熱現像カラ−感光材料 |
| JPS6178657A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Toshiba Corp | プリンタ用ガイド部材 |
| JPS61266359A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| US4746636A (en) * | 1984-12-22 | 1988-05-24 | Kyocera Corporation | Silicon nitride sintered body |
| JPH01320266A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 高靭性窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US5643842A (en) * | 1992-10-14 | 1997-07-01 | Isuzu Ceramics Research Institute Co., Ltd. | Low-friction ceramics |
| CN105132780A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-12-09 | 蓬莱市超硬复合材料有限公司 | 一种高速线材轧机用导卫辊及其制备方法 |
-
1981
- 1981-10-12 JP JP56163271A patent/JPS5864268A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58128687A (ja) * | 1982-01-27 | 1983-08-01 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | セラミツク発熱体 |
| JPS60128438A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 熱現像カラ−感光材料 |
| JPH0548902B2 (ja) * | 1983-12-16 | 1993-07-22 | Konishiroku Photo Ind | |
| JPS6178657A (ja) * | 1984-09-27 | 1986-04-22 | Toshiba Corp | プリンタ用ガイド部材 |
| JPH0257778B2 (ja) * | 1984-09-27 | 1990-12-05 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
| US4746636A (en) * | 1984-12-22 | 1988-05-24 | Kyocera Corporation | Silicon nitride sintered body |
| JPS61266359A (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-26 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| JPH0232230B2 (ja) * | 1985-05-20 | 1990-07-19 | Ngk Insulators Ltd | |
| US4977112A (en) * | 1985-05-20 | 1990-12-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Silicon nitride sintered body and a method of producing the same |
| JPH01320266A (ja) * | 1988-06-22 | 1989-12-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 高靭性窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US5643842A (en) * | 1992-10-14 | 1997-07-01 | Isuzu Ceramics Research Institute Co., Ltd. | Low-friction ceramics |
| CN105132780A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-12-09 | 蓬莱市超硬复合材料有限公司 | 一种高速线材轧机用导卫辊及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5826077A (ja) | セラミツクス焼結体及びその製造方法 | |
| JPS5841770A (ja) | セラミツクス焼結体及びその製造方法 | |
| JPS5864268A (ja) | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
| JP5062402B2 (ja) | 反応焼結窒化ケイ素基焼結体及びその製造方法 | |
| JPS5864269A (ja) | 窒化けい素焼結体およびその製造方法 | |
| JPH07118070A (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス焼結体 | |
| WO1989003896A1 (en) | Cermet alloy and composite member produced therefrom | |
| JPH09268072A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH0777986B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体の製法 | |
| JPS62182163A (ja) | 窒化ケイ素セラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0212893B2 (ja) | ||
| JPH0625039B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JP3149827B2 (ja) | 窒化珪素系焼結体およびその製造方法 | |
| JP3266200B2 (ja) | 窒化珪素基焼結体 | |
| JPS5864271A (ja) | 窒化けい素焼結体 | |
| JP2828583B2 (ja) | 表面被覆窒化珪素質耐熱部材 | |
| JPS5864270A (ja) | 窒化けい素焼結体 | |
| JP2665755B2 (ja) | β−サイアロン質複合セラミックスの製造方法 | |
| JP2828582B2 (ja) | 表面被覆窒化珪素質耐熱部材 | |
| JPS62265173A (ja) | 炭化珪素ウイスカ−強化複合材料 | |
| JPH0349681B2 (ja) | ||
| JP3216973B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH06116045A (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JPS60145960A (ja) | 耐食性を有する高靱性セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JP2883248B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製法 |