JP5062402B2 - 反応焼結窒化ケイ素基焼結体及びその製造方法 - Google Patents
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(1)反応焼結窒化ケイ素基焼結体を製造する方法であって、主原料として粒径が小さくても30ミクロンの粒子を5−40%含むケイ素粉末を用い、ZrO2を所定の配合によって混合及び成形し、窒素中において1300〜1375℃の低温条件で焼成して反応焼結を行い、その際に、混合するZrO 2 として、Y、Mg又はCeによって安定化された安定化ジルコニアもしくは部分安定化ジルコニアを使用し、多孔質の反応焼結窒化ケイ素基焼結体を製造することを特徴とする反応焼結窒化ケイ素基焼結体の製造方法。
(2)上記ケイ素粉末が、該ケイ素粉末に含まれるFe元素が多くても1%のものである、前記(1)に記載の反応焼結窒化ケイ素基焼結体の製造方法。
本発明は、ケイ素を含む原料を主成分とする成形体を、窒素中においてケイ素を窒化して得られる反応焼結窒化ケイ素基焼結体であって、該反応焼結体中に分散しているZrの酸化物もしくは窒化物を含み、該焼結体の開気孔率が20%から35%の範囲にあることを特徴とするものである。
(1)投入エネルギーを大幅に低減しても、従来製品と同等の機械的性質を有する反応焼結窒化ケイ素基焼結体を得ることができる。
(2)従来法と比べて、低温短時間の焼成を行うことにより、従来製品と同等の機械的性質を有する反応焼結窒化ケイ素基焼結体を作製することができる。
(3)消費電力量の低減を可能とする低環境負荷の反応焼結窒化ケイ素基焼結体の作製技術を提供することができる。
(4)本発明で作製した試料は、従来製品に比べてウィスカーの発生量が極めて少ないという利点を有している。
(5)本発明では、低温での窒化が可能であるため、ヒーターとして高価な二ケイ化モリブデンヒーターではなく、安価な炭化ケイ素ヒーターを使用することが可能である。
3Si+2N2→Si3N4
この場合、質量は約1.67倍に増加する。すなわち、本試験結果は、ZrO2の添加が、ケイ素の窒化を促進していることを示している。
Claims (2)
- 反応焼結窒化ケイ素基焼結体を製造する方法であって、主原料として粒径が小さくても30ミクロンの粒子を5−40%含むケイ素粉末を用い、ZrO2を所定の配合によって混合及び成形し、窒素中において1300〜1375℃の低温条件で焼成して反応焼結を行い、その際に、混合するZrO 2 として、Y、Mg又はCeによって安定化された安定化ジルコニアもしくは部分安定化ジルコニアを使用し、多孔質の反応焼結窒化ケイ素基焼結体を製造することを特徴とする反応焼結窒化ケイ素基焼結体の製造方法。
- 上記ケイ素粉末が、該ケイ素粉末に含まれるFe元素が多くても1%のものである、請求項1に記載の反応焼結窒化ケイ素基焼結体の製造方法。
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