JP3607939B2 - 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成 - Google Patents

炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成 Download PDF

Info

Publication number
JP3607939B2
JP3607939B2 JP2000180931A JP2000180931A JP3607939B2 JP 3607939 B2 JP3607939 B2 JP 3607939B2 JP 2000180931 A JP2000180931 A JP 2000180931A JP 2000180931 A JP2000180931 A JP 2000180931A JP 3607939 B2 JP3607939 B2 JP 3607939B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silicon carbide
boron nitride
silicon
boron
nitride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2000180931A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002003276A (ja
Inventor
達樹 大司
国軍 張
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Original Assignee
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST filed Critical National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Priority to JP2000180931A priority Critical patent/JP3607939B2/ja
Priority to US09/747,939 priority patent/US20020016248A1/en
Publication of JP2002003276A publication Critical patent/JP2002003276A/ja
Priority to US10/449,770 priority patent/US6764974B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3607939B2 publication Critical patent/JP3607939B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/573Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained by reaction sintering or recrystallisation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/583Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on boron nitride

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、その場化学反応により得られる、炭化ケイ素−窒化ホウ素又は炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素からなる炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料及びその製造方法に関するものであり、さらに詳しくは、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用して、非常に微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料等を製造し、提供することに関するものである。
本発明は、強度、耐腐蝕性に優れ、弾性率の低い、新規な材料に関するものであり、耐熱衝撃材料、耐機械衝撃材料、耐熱材料、耐腐蝕性材料等として多くの用途に使用できる材料を提供するものである。
【0002】
【従来の技術】
炭化ケイ素は、耐酸化性、耐熱性に優れるため、窒化ケイ素、窒化アルミ、窒化ホウ素やホウ化チタン等を添加剤とした焼結材料が、例えば、米国特許4304870等で知られている。
【0003】
これらの材料は、耐酸化性と耐腐蝕性に優れるため、大気炉用耐熱材料等として使用されており、さらに性質を改善すれば、使用範囲が広がると期待される。特に、窒化ホウ素を添加する場合、得られた複合材料の耐熱衝撃性が大幅に改善でき、航空機関連部材、ガスタービン部材の分野などへの応用が期待される。
【0004】
元来、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料は、既に合成した炭化ケイ素と窒化ホウ素の粉末を機械的方法で混合して、ホットプレス等により製造されている。しかし、この方法では、窒化ホウ素粉末が粗大であれば、得られる複合材料の窒化ホウ素粒子が粗大となる。窒化ホウ素は、熱膨張異方性が大きく、界面でき裂が発生しやすいので、粒子が粗大となると、得られる複合材料の強度が低下する。したがって、窒化ホウ素粉末は、微粒であることが好ましいが、そのような粉末は高価格であり、また、粗い粉末を完全に除去することは困難である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような状況の中で、本発明者らは、上記従来技術に鑑みて、上記方法の問題点を解消することが可能な新しい複合材料及びその製造方法の開発を目標として、その場化学反応によるセラミックス複合材料の製造について鋭意研究を積み重ねた結果、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用して、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素の混合粉末を、昇温速度を制御したホットプレスで処理することにより、炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を製造することができることを見出した。さらにアルミナ、イットリア等の焼結助剤を添加することにより、気孔のない、より緻密な材料を製造することができることを見出し、これらの知見に基づいて、本発明を完成するに至った。
本発明は、その場化学反応により、非常に微細な窒化ホウ素粒子を均一に炭化ケイ素のマトリックスに分散した、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造し、提供することを目的とするものである。
また、本発明は、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用して、炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造し、提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
(1)窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応の化学反応式;
Si3 N+B4 C+2C=3SiC+4BN
に基づいて、微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造する方法であって、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末を、昇温速度を制御したホットプレスで処理して、成形、焼結することにより上記化学反応の生成物を得ることを特徴とする炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の製造方法
(2)少なくとも窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応の化学反応式;
Si3 N+B4 C+2C=3SiC+4BN
に基づいて、微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を製造する方法であって、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末に、さらに炭化ケイ素、窒化ホウ素、あるいは窒化ケイ素のうちから選択される1種以上の成分を添加した粉末を、昇温速度を制御したホットプレスで処理して、成形、焼結することにより上記化学反応の生成物を得ることを特徴とする、相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素又は炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素からなる炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料の製造方法。
(3)窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末に、さらに炭化ケイ素、又は窒化ホウ素の粉末を添加した粉末を、成形、焼結することにより相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素を得る、前記(2)記載の炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料の製造方法。
【0007】
【発明の実施の形態】
次に、本発明についてさらに詳細に説明する。
本発明は、上述のように、窒化ケイ素、炭化ケイ素及び炭素のその場化学反応に基づいて、非常に微細な窒化ホウ素粒子を均一に炭化ケイ素のマトリックスに分散した、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造し、提供するものである。
すなわち、本発明は、微細な窒化ホウ素粒子をその場化学反応で均一に分散させることにより、得られる炭化ケイ素−室化ホウ素複合材料の強度を低下させることなく、破壊靱性を向上させるとともに、弾性率を大幅に低下させることを実現したものである。
【0008】
さらに詳細に説明すると、本発明は、次の化学反応:
Si +B C+2C=3SiC+4BN
に基づいて、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造するものである。
本発明において、窒化ケイ素、炭化ケイ素及び炭素のその場化学反応に基づいて合成される複合材料とは、上記化学反応に基づいて合成される複合材料を意味するものとして定義されるものである。
この化学反応により得られる相組成は、炭化ケイ素46.29vol%、窒化ホウ素53.71vol%である。この場合、窒化ケイ素の添加量を、この化学量論組成より多めに、すなわち、過剰に添加すると、炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素の複合材料となる。本発明では、窒化ケイ素の添加量を、上記化学反応の化学量論組成より過剰に添加することにより、炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を作製することができる。
【0009】
上記化学反応の各成分の混合粉末に、さらに炭化ケイ素、あるいは窒化ホウ素の粉末を添加することにより、相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造することができる。また、炭化ケイ素粉末、あるいは窒化ホウ素、あるいは窒化ケイ素粉末を添加することにより、任意な相組成を有する炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造することができる。
【0010】
本発明では、基本的には、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合し、これを成形、焼結するが、この場合、必要により、各成分の混合粉末に、さらに炭化ケイ素、窒化ホウ素、あるいは窒化ケイ素のうちから選択される1種以上の成分を添加した粉末を、成形、焼結することにより、相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料、又は炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造することができる。
【0011】
本発明において、好適には、材料の窒化ケイ素として、例えば、平均粒径0.5μmのα型窒化ケイ素粉末が使用でき、炭化ホウ素として、例えば、平均粒径1μmの炭化ホウ素粉末が使用でき、炭化ケイ素として、例えば、平均粒径0.6μmのα型炭化ケイ素粉末が使用でき、炭素として、例えば、平均粒径0.01μmの炭素粉末が使用できるが、これらに制限されるものではない。これらの材料は、ボールミルにより混合し、混合粉末とする。この混合粉末をホットプレスすることにより、適宜の形状に成形、焼結する。このホットプレスは、好適には、例えば、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用して、アルゴンガスなどの不活性ガス雰囲気において、10〜50MPaの圧力で行うのが好ましい。
【0012】
この場合、好適には、さらにアルミナ、イットリア、マグネシア、イッテルビア、ジルコニア、シリカ、ルテチア、セリア、スカンジアなどの焼結助剤を添加することができ、これにより、気孔のない、緻密な複合材料が得られる。
本発明では、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用して、各成分の混合粉末を成形、焼結することにより、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を合成するので、簡単な操作で、非常に微細な窒化ホウ素粒子を均一に炭化ケイ素のマトリックスに分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造することができる。
【0013】
【作用】
従来、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料は、既に合成した炭化ケイ素と窒化ホウ素の粉末を機械的方法で混合して、ホットプレス等により処理して製造されているが、窒化ホウ素粉末が粗大であれば、得られる複合材料の窒化ホウ素粒子が粗大となり、複合材料の強度が低下する。しかし、微粒な窒化ホウ素粉末は高コストであり、また、粗い粉末を完全に除去することは技術的に難しい。
本発明の、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応を利用した方法によれば、非常に微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を簡単な操作で製造することができるので、炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の強度を低下させることなく、破壊靱性の向上と弾性率の大幅な低下を達成することができる。これにより、高い性能を有する炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合体を低コストで製造することができる。
【0014】
【実施例】
次に、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例により何ら限定されるものではない。
実施例
(1)原料組成
本実施例では、表1に示す原料組成の各成分粉末を用いて、試験を行った。
(2)方法
本発明及び比較例の材料としては、前記の原料組成の各成分粉末を混合し、ホットプレス等のこれまで知られている成形、焼結法で製造した。例えば、表1のB55では、約60wt%の窒化ケイ素、24wt%の炭化ホウ素、10wt%の炭素、4wt%のアルミナと2wt%のイットリアを混合し、2000℃、1時間でホットプレスを行い、気孔のない、緻密な材料を得た。
(3)結果
その強度、弾性率、破壊靱性値を、それぞれJIS R1601に定める3点曲げ強さ試験方法、JIS R1602に定める超音波パルス法、JIS R1607に定めるIF法で測定した結果、3点曲げ強さ約350MPa、弾性率107GPa、破壊靱性値6.7MPam1/2 の値を得た。この実施例を表1のB55に、また、上記方法と同様に試験したその他の実施例を表1に示す。
【0015】
【表1】
Figure 0003607939
【0016】
比較例
比較例として、表1にB0、炭素55及び炭素25の例を示す。これらのうち、炭化ケイ素と窒化ホウ素の混合粉末のホットプレス焼結体は、3点曲げ強さ約250MPa、破壊靱性5MPam1/2 であり、各実施例の値と比較して著しく低いことがわかる。
【0017】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明は、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に基づいて、各成分の混合粉末を、成形、焼結することにより得られる炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料、及びその製造方法に係るものであり、本発明によれば、1)非常に微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を製造し、提供することができる、2)窒素ケイ素、炭化ホウ素と炭素のその場反応を利用して、各成分粉末を混合後、ホットプレスを行うことにより、簡単な工程で、室温で高強度、低弾性率で、高い破壊靱性を有する炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を得ることができる、3)高い性能を有する窒化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を低コストで製造することができる、という格別の効果が奏される。

Claims (3)

  1. 窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応の化学反応式;
    Si3 N+B4 C+2C=3SiC+4BN
    に基づいて、微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料を製造する方法であって、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末を、昇温速度を制御したホットプレスで処理して、成形、焼結することにより上記化学反応の生成物を得ることを特徴とする炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の製造方法
  2. 少なくとも窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応の化学反応式;
    Si3 N+B4 C+2C=3SiC+4BN
    に基づいて、微細な窒化ホウ素粒子を炭化ケイ素のマトリックスに均一に分散した炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料を製造する方法であって、窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末に、さらに炭化ケイ素、窒化ホウ素、あるいは窒化ケイ素のうちから選択される1種以上の成分を添加した粉末を、昇温速度を制御したホットプレスで処理して、成形、焼結することにより上記化学反応の生成物を得ることを特徴とする、相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素又は炭化ケイ素−窒化ケイ素−窒化ホウ素からなる炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料の製造方法。
  3. 窒化ケイ素、炭化ホウ素及び炭素のその場化学反応に必要とされる各成分を混合した粉末に、さらに炭化ケイ素、又は窒化ホウ素の粉末を添加した粉末を、成形、焼結することにより相組成を任意に調整した炭化ケイ素−窒化ホウ素を得る、請求項2記載の炭化ケイ素−窒化ホウ素系複合材料の製造方法。
JP2000180931A 2000-06-16 2000-06-16 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成 Expired - Lifetime JP3607939B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000180931A JP3607939B2 (ja) 2000-06-16 2000-06-16 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成
US09/747,939 US20020016248A1 (en) 2000-06-16 2000-12-27 Reaction synthesis of silicon carbide-boron nitride composites
US10/449,770 US6764974B2 (en) 2000-06-16 2003-06-02 Reaction synthesis of silicon carbide-boron nitride composites

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000180931A JP3607939B2 (ja) 2000-06-16 2000-06-16 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002003276A JP2002003276A (ja) 2002-01-09
JP3607939B2 true JP3607939B2 (ja) 2005-01-05

Family

ID=18681929

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000180931A Expired - Lifetime JP3607939B2 (ja) 2000-06-16 2000-06-16 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成

Country Status (2)

Country Link
US (2) US20020016248A1 (ja)
JP (1) JP3607939B2 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002154876A (ja) * 2000-11-17 2002-05-28 Ngk Insulators Ltd ハニカム構造体及びその製造方法
JP2006076858A (ja) * 2004-09-13 2006-03-23 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 複合セラミックス
US20060084566A1 (en) * 2004-10-19 2006-04-20 General Electric Company Multiphase ceramic nanocomposites and method of making them
US7166550B2 (en) * 2005-01-07 2007-01-23 Xin Chen Ceramic composite body of silicon carbide/boron nitride/carbon
JP5090025B2 (ja) * 2007-03-13 2012-12-05 電気化学工業株式会社 複合粉末および複合材料ならびにそれらの製造方法、
US7871947B2 (en) * 2007-11-05 2011-01-18 Milliken & Company Non-woven composite office panel
MX2010013467A (es) * 2008-06-13 2011-01-21 Saint Gobain Ceramics Refractario de oxinitruro de silicio u oxinitruro de silicio y carburo de silicio enlazado a nitruro de silicio resistente al cambio volumetrico.
JP5732663B2 (ja) 2010-09-01 2015-06-10 住友電工ハードメタル株式会社 立方晶窒化硼素焼結体工具
CA2794396C (en) 2010-10-27 2017-08-29 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Sintered cubic boron nitride compact and sintered cubic boron nitride compact tool
US9446989B2 (en) 2012-12-28 2016-09-20 United Technologies Corporation Carbon fiber-reinforced article and method therefor
CN104276823B (zh) * 2013-07-12 2016-03-23 中国科学院上海硅酸盐研究所 高绝缘碳化硅/氮化硼陶瓷材料及其制备方法
JP5911837B2 (ja) * 2013-10-30 2016-04-27 富士フイルム株式会社 医療機器の修理情報管理装置とその動作方法及び制御プログラム、並びに修理情報管理システム
US9732005B2 (en) 2014-04-07 2017-08-15 United Technologies Corporation Method of forming in-situ boron nitride for ceramic matrix composite environmental protection

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4080415A (en) * 1976-11-22 1978-03-21 The Carborundum Company Method of producing high density silicon carbide product
US4135938A (en) * 1977-03-31 1979-01-23 The Carborundum Company High density thermal shock resistant sintered silicon carbide
US4701427A (en) * 1985-10-17 1987-10-20 Stemcor Corporation Sintered silicon carbide ceramic body of high electrical resistivity
JPH03150267A (ja) * 1989-11-06 1991-06-26 Eagle Ind Co Ltd 炭化ケイ素質摺動材
JP3150267B2 (ja) 1995-03-31 2001-03-26 ティーディーケイ株式会社 光記録媒体
JP4312293B2 (ja) * 1999-03-16 2009-08-12 独立行政法人科学技術振興機構 炭化珪素系セラミック複合材料とその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002003276A (ja) 2002-01-09
US20020016248A1 (en) 2002-02-07
US6764974B2 (en) 2004-07-20
US20030211930A1 (en) 2003-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3607939B2 (ja) 炭化ケイ素−窒化ホウ素複合材料の反応合成
US5773733A (en) Alumina-aluminum nitride-nickel composites
JP5062402B2 (ja) 反応焼結窒化ケイ素基焼結体及びその製造方法
JP3607945B2 (ja) 高強度ホウ化ジルコニウム−炭化ケイ素複合体の反応合成
CN110526713B (zh) 一种多孔碳化硅陶瓷及其制备方法和应用
JP2005119934A (ja) 窒化ケイ素多孔体及びその製造方法
JPS5826076A (ja) セラミツクス焼結体及びその製造方法
JP3932349B2 (ja) 非酸化物系窒化ホウ素複合材料の反応合成
JP4612608B2 (ja) シリコン/炭化ケイ素複合材料の製造方法
JP4296251B2 (ja) アルミナ−窒化ホウ素系複合材料の製造方法
JP2006169015A (ja) 窒化ホウ素分散複合セラミックス及びその製造方法
JP4292255B2 (ja) α−サイアロン焼結体及びその製造方法
JP2581128B2 (ja) アルミナ−サイアロン複合焼結体
JP2980342B2 (ja) セラミックス焼結体
JP2008297188A (ja) タングステン添加ホウ化ジルコニウムの製造法
JPS60255672A (ja) 炭化珪素質焼結体の製造方法
JP2881189B2 (ja) 窒化珪素−炭化珪素複合セラミックスの製造方法
JP3241215B2 (ja) 窒化珪素質焼結体の製造方法
JP3498136B2 (ja) 熱処理を施した二ケイ化モリブデン系焼結体材料およびその製造方法
JPH07115927B2 (ja) SiC基セラミツクスとその製造方法
JPH02221160A (ja) 高密度窒化けい素質焼結体の製造方法
JP3009046B2 (ja) セラミックス複合焼結体およびその製造方法
JP2006076857A (ja) アルミナ−窒化ホウ素複合体及びその製造方法
JPH05286765A (ja) 炭化珪素質複合材料およびその製造方法
JPH09157031A (ja) 窒化珪素セラミックス及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040420

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20040519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040601

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040607

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040618

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20040608

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20040830

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040914

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3607939

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term