JP2828583B2 - 表面被覆窒化珪素質耐熱部材 - Google Patents

表面被覆窒化珪素質耐熱部材

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JP2828583B2 JP5327523A JP32752393A JP2828583B2 JP 2828583 B2 JP2828583 B2 JP 2828583B2 JP 5327523 A JP5327523 A JP 5327523A JP 32752393 A JP32752393 A JP 32752393A JP 2828583 B2 JP2828583 B2 JP 2828583B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高温での耐熱性と耐食
性に優れ、熱衝撃に優れる表面被覆層を有する窒化珪素
質耐熱部材に関する。
【0002】
【従来技術】従来から窒化珪素質焼結体は、耐熱性、耐
熱衝撃性、及び耐酸化特性に優れることからエンジニア
リングセラミックス、特にガスタ−ビン用部材として応
用が進められている。
【0003】窒化珪素質焼結体は、窒化珪素に対してY
2 3 やAl2 3 などの焼結助剤を添加して焼成した
ものであり、焼結体に対しては室温強度、高温強度が要
求されるとともに、高温での耐酸化性も要求される。こ
のような要求に対して、従来から添加する焼結助剤の種
類を検討したり、それに伴い焼結体中の粒界相を結晶化
したりする等各種の方法が提案されている。
【0004】しかしながら、焼結体自体の改善によれ
ば、機械的な強度に対してはある程度の特性が得られる
ようになったが、耐酸化性についてはその使用条件がさ
らに過酷で且つ高酸化性雰囲気となりつつあることから
十分な耐久性を得るに至っていない。
【0005】そこで、このような耐酸化性を付与するた
めの1つの方法として窒化珪素質焼結体の表面に耐熱性
および耐酸化性に優れた金属酸化物、例えばジルコニア
等を被覆することが特公平5−8152号で提案されて
いる。
【0006】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、ジル
コニアは窒化珪素質焼結体(熱膨張率3〜4×10-6
℃)に比べて熱膨張率が大きく(約10×10-6
℃)、昇温、降温の繰り返しにより、被覆層に剥離や亀
裂が発生し、耐熱性を大幅に劣化させてしまうという問
題があった。このような問題に対して、窒化珪素質焼結
体とジルコニアの間に中間的熱膨張特性を有する中間部
材を形成させることも考えられるが、実用的には上記問
題を解決するに至っていない。
【0007】また、耐酸化性が低い窒化珪素質焼結体を
基体としてジルコニアを被覆した部材を長時間高温の酸
化性雰囲気中に暴露していると、被覆層を通して酸素の
拡散が起こり窒化珪素焼結体が酸化され、被覆層と焼結
体界面に低融点のガラスが形成し繰返し熱疲労で剥離が
生じてしまうという問題も生じる。
【0008】本発明は、上記のような問題点を解決し、
1000℃の高温酸化雰囲気に長時間保持されても熱疲
労に優れ、被覆層の剥離等が生じない耐食性と耐熱性に
優れた表面被覆窒化珪素質耐熱部材を提供することを目
的とするものである。
【0009】
【問題点を解決するための手段】本発明者は、表面被覆
層の亀裂や剥離を押さえるためには、窒化珪素質焼結体
と表面被覆層との熱膨張率差を小さくすることが重要で
あるという見地に立ち検討を重ねた結果、表面被覆層に
ジルコン(ZrSiO4 )を用いることにより昇温、降
温の繰り返しによる剥離や亀裂の発生を大幅に抑制でき
ることを知見し、本発明に至った。
【0010】また、基体の粒界にRE2 Si2 7 結晶
相(REは周期律表第3a族元素)を析出せしめること
により、基体の高温特性を向上でき、これにより、表面
被覆窒化珪素質耐熱部材を長時間高温の酸化性雰囲気中
に暴露したとしても、熱疲労による被覆層の剥離を抑制
できることを知見し、本発明に至ったのである。即ち、
本発明の表面被覆窒化珪素質耐熱部材は、粒界にRE2
Si2 7 結晶相(REは周期律表第3a族元素)が存
在する窒化珪素質焼結体からなる基体の表面に、ジルコ
ン(ZrSiO4 )からなる被覆層を形成したことを特
徴とする。
【0011】以下、本発明を詳述する。本発明の窒化珪
素質耐熱部材は、窒化珪素質焼結体からなる基体と、そ
の基体表面に形成された被覆層により構成される。
【0012】本発明における被覆層はジルコンからなる
ものである。ジルコンとは、ZrO2 とSiO2 との
1:1の化合物である。この被覆層は窒化珪素質焼結体
の基体表面に10〜1000μm、特に50〜500μ
mの厚みで形成されるものである。
【0013】一方、基体を構成する窒化珪素質焼結体
は、窒化珪素を主成分とするものであるが、本発明にお
ける窒化珪素質焼結体は、基体としての耐熱性、耐酸化
性との関連から、焼結体の組成はSi3 4 −SiO2
−RE2 3 (RE:周期律表第3a族元素)で表され
る3元系からなることが望ましい。その中でも耐酸化性
の点からは、窒化珪素結晶の粒界にRE2 Si2 7
晶相(RE:周期律表第3a族元素)が析出しているこ
とがよい。なお、組成中、SiO2 とは、いわゆる焼結
体中に存在する過剰酸素であり、具体的には、焼結体中
の全酸素量から焼結体中の周期律表第3a族酸化物が化
学量論的に酸化物を形成した場合に元素に結合している
酸素を除く残りの酸素量であり、そのほとんどは窒化珪
素原料に含まれる酸素、あるいはSiO2 等の添加とし
て混入する成分である。
【0014】このRE2 3 およびSiO2 は焼結過程
では、窒化珪素粒子との反応により、液相として存在し
焼結性を高めるが、冷却後そのまま粒界相にガラス相と
して残存すると焼結体の高温強度を低下させてしまうと
同時に耐酸化特性を劣化させてしまうため、これらの成
分は所定の冷却過程あるいは熱処理により粒界にて高融
点で耐酸化性に優れたRE2 Si2 7 結晶相として析
出させることにより焼結体の高温特性を向上させること
ができる。
【0015】なお、窒化珪素質焼結体の組成は、特に周
期律表第3a族元素酸化物(RE2O3 )が0.1〜10
モル%、特に0.3〜5モル%、過剰酸素(SiO2
算)が0.2〜40モル%、特に0.6〜20モル%、
残部が窒化珪素からなることが望ましい。なお、本発明
に用いられる周期律表第3a族元素としては、Yやラン
タノイド元素が挙げられるが特にEr、YbおよびLu
が好ましい。
【0016】また、焼結体中には不可避的不純物として
Al、Ca、Mg、Fe等が含まれることがあるが、こ
れらの元素は酸化物として低融点物質を形成しやすく、
焼結体の高温特性を劣化させる傾向にあることからこれ
らの成分は酸化物換算で0.5重量%以下に制御するこ
とが望ましい。
【0017】その他、上記Si3 4 −RE2 3 −S
iO2 に加えて、焼結体の特性、特に上記粒界の結晶化
に悪影響を及ぼさない範囲でTiC、TiN、WC、W
3、Nb2 5 、Cr2 3 、Cr2 Cなどの周期律
表第4a,5a,6a族元素の炭化物、窒化物、酸化
物、炭窒化物などを添加することもできる。
【0018】上記窒化珪素質焼結体を作製する方法とし
ては、原料粉末として窒化珪素粉末、周期律表第3a族
元素酸化物粉末、場合により酸化珪素粉末を用い、これ
らを前述したような組成範囲内に秤量混合する。この
時、他の形態として窒化珪素の代わりに金属珪素粉末を
用いることができる。なお周期律表第3a族元素酸化物
(RE2 3 )の添加形態としては、RE2 3 の一種
以上と酸化珪素からなる化合物粉末、または窒化珪素と
RE2 3 の一種以上と酸化珪素とからなる化合物粉末
を用いることもできる。
【0019】このように得られた混合粉末を公知の成形
方法、例えば、プレス成形、鋳込み成形、押し出し成
形、射出成形、冷間静水圧成形等により所望の形状に成
形した後、公知の焼成方法、例えば、ホットプレス方
法、常圧焼成、窒素ガス圧焼成、さらには、これらの焼
成後のHIP処理、及び、ガラスシ−ルHIP焼成等で
焼成し、緻密な焼結体を得る。
【0020】また、成形体中に珪素粉末を用いる場合に
は、成形体を窒素含有雰囲気中で800℃〜1500℃
の温度で熱処理をして、成形体中に含まれる珪素を窒化
して、窒化珪素を生成させた後に上記の焼成を行う。
【0021】なお、焼結体の粒界に少なくともRE2
2 7 (REは周期律表第3a族元素)結晶を析出さ
せるためには、成形体中の組成においてSiO2 /RE
2 3 モル比を2以下に制御し、焼成後の冷却時、また
は冷却段階での一次保持、または焼成後の熱処理すれば
よい。
【0022】一方、ジルコンからなる被覆層は、所定量
のZrO2 粉末とSiO2 粉末を混合し、バインダ−を
加えて窒化珪素質焼結体の表面にスラリ−を塗布あるい
はスプレ−等により吹き付けて高温で焼き付けるか、あ
るいは混合粉末を一度高温で処理し、ジルコンを合成し
た後、粉砕し同様の手法にて被覆層を形成させる。その
他、ジルコン粉末を周知のプラズマ溶射法により基体表
面に溶射して被覆層を形成する事もできる。
【0023】ジルコンの被覆層は、窒化珪素質焼結体の
表面にジルコンスラリーを塗布あるいはスプレー等によ
り吹き付けて、高温で焼き付ける。または、ジルコン粉
末の代わりにジルコニア粉末とシリカ粉末の等モル%の
混合粉末を用いてよい。また、プラズマ溶射により被覆
層を形成してもよい。
【0024】
【作用】表面被覆耐熱部材の熱的安定性は、窒化珪素質
焼結体と表面被覆層との熱膨張差に依存する。熱膨張差
が大きいと昇温、降温時に大きな熱応力が発生し、表面
被覆層の剥離や亀裂が発生する。したがって、熱的安定
性を増加させるためには、熱膨張差を小さくすることが
重要である。本発明によれば、上記観点に基づき、表面
被覆層の材質を検討した結果、被覆層として、窒化珪素
焼結体と熱膨張差が少なく、耐熱性が高く、且つ、断熱
性にも優れるジルコンを用いる事で昇温、降温の繰り返
しでも被覆層に亀裂や剥離が生じないようにする事がで
きる。これにより、耐食性と耐熱性に優れる表面被覆層
を有する窒化珪素質耐熱部材を提供することができる。
さらに、粒界にRE2 Si2 7 結晶相(REは周期律
表第3a族元素)が存在する窒化珪素質焼結体からなる
基体を用いたため、基体の高温特性を向上でき、これに
より、表面被覆窒化珪素質耐熱部材を長時間高温の酸化
性雰囲気中に暴露したとしても、被覆層の熱疲労による
剥離の発生をさらに抑制できる。
【0025】
【実施例】原料粉末として窒化珪素粉末(BET比表面
積8m2 /g、α率98%、酸素量1.2重量%、金属
不純物0.03重量%)と、Yb2 3 3モル%、Si
2 9モル%を秤量混合し、これをプレス成形した後に
窒素ガス圧力10気圧下で1850℃で4時間焼成し、
直径50mm、厚さ5mmの円板上焼結体を得た。
【0026】得られた焼結体に対してX線回折測定を行
ったところ、Yb2 Si2 7 とSi2 2 Oが検出さ
れた。この焼結体の1400℃における抗折強度をJI
SR1601の4点曲げ試験で測定したところ、720
MPaであった。また大気中1400℃にて24時間保
持した後の酸化重量増加を測定したところ、0.1mg
/cm2 であった。
【0027】次に、表1に示した組成の混合粉末を用い
て、スラリー塗布法およびプラズマ溶射法により被覆層
の形成を行った。スラリー塗布法による被覆層の形成
は、表1に示す粉末からなるスラリーを上記焼結体表面
に塗布し、乾燥、脱バインダ−後、1400℃にてアル
ゴン雰囲気中で1時間熱処理し、試料を作製した。ま
た、プラズマ溶射による被覆層の形成は、表1に示す粉
末を溶射剤として焼結体基体表面に溶射して試料を作製
した。
【0028】得られた各試料に対して、繰返し熱疲労試
験を行った。試験は、1000℃に保持した電気炉に試
料を入れて15分間保持した後、炉外に出し、放冷後、
再度炉内に入れ、これを1サイクルとして最高30サイ
クル行い、被覆層に亀裂が発生するまでの回数を確認し
た。結果は表1に示す。
【0029】
【表1】
【0030】*印は本発明の範囲外の試料を示す。
【0031】表1において、粉末組成物がZrO2 : S
iO2 が1:1の混合粉末を用いた試料No.2,5はZ
rSiO4 粉末を用いた試料No.1,4と同様にX線回
折測定の結果、ジルコン(ZrSiO4 )の結晶からな
ることを確認した。
【0032】表1の結果によれば、ジルコンを表面被覆
層とする試料No.1、2、4、5の試料はいずれも、室
温と1000℃の間の繰返し熱疲労試験において、50
回でも亀裂の発生は無かったが、これに対して、ジルコ
ニアを表面被覆層とする試料No.3、6は少ない回数で
剥離または亀裂が発生し、熱疲労特性が低いものであっ
た。
【0033】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
高温強度および耐酸化性に優れるとともに、室温と高温
の間の繰り返し熱疲労特性に優れた表面被覆層を有する
耐熱部材を提供できる。これにより、ガスタ−ビンなど
の熱機関などをはじめ、ボイラー用の加熱部材などの各
種耐熱部材への応用を拡大できる。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】粒界にRE2 Si2 7 結晶相(REは周
    期律表第3a族元素)が存在する窒化珪素質焼結体から
    なる基体の表面に、ジルコン(ZrSiO4 )からなる
    被覆層を形成したことを特徴とする表面被覆窒化珪素質
    耐熱部材。
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