JPS5846170B2 - 半導体ウェファ−の搬送方法および搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体ウェファ−の搬送方法および搬送装置
に係わり、特に、液体を搬送媒体として用いた半導体ウ
ェファ−の搬送方法および装置に達するものである。

半導体ウェファ−の洗浄およびスクラブに伴う半導体ウ
ェファ−の搬送方法としては、一般に次のような方法が
知られている。

（１）ウェファ−を塔載するキャリア毎に搬送するバッ
チ・キャリア方式。

（２）チャック等によってウェファ−を１枚づつ掴み搬
送する方法。

（３） ローラー、ガイド等の間を後方から板等で押
して１枚づつ搬送する方法。

ところで、上記の洗浄およびスクラブはその効果を高め
るために、強酸、強アルカリ等による薬品処理を伴う場
合がある。

しかし、上記のバッチ・キャリア方式以外の方法は、チ
ャック、ローラーおよびガイド等の材質で耐薬品性およ
び機械的強度をかね備えたものがほとんど存在しないた
め、薬品処理を伴う場合には採用されていない。

また、半導体ウェファ−は、薄くもろいため、チャック
、ローラーおよびガイドによる方法では、ウェファ−を
破損させる確率が高く、かつ今後増増ウェファ−の大口
径化が進むにつれて破損させずにウェファ−を搬送させ
ることが困難になってくる。

一方、バッチ・キャリア方式は、上記の欠点である耐薬
品性等の問題およびウェファ−破損の問題は生ずること
が少ないが、搬送するウェファ−の体積、重量より極め
て犬なるキャリア（テフロン製）を使用するため、ウェ
ファ−を洗浄すると同時にキャリアも洗浄することとな
り、ウェファ−のみを洗浄する場合に比べて薬品使用量
が必然的に増大する。

従って、ウェファ−が大口径化するにつれてこの差は犬
となるという難点がある。

また、洗浄効果を高めるためには、洗浄剤である水また
は薬品がウェファ−表面を流れて汚れを押し流す速度を
高める必要がある。

しかし、バッチ方式ではキャリア全体を水または薬品中
に浸漬し、揺動し、或いはボイリングしたり、または超
音波を与える等の方法しか存在せず、洗浄効果を急速に
高めることは困難である。

本発明は、以上の難点を解消すべくなされたもので、搬
送トラックに配置されたノズルから噴射する液体により
ウェファ−を搬送し、または搬送中に同時に洗浄および
スクラブを行なうようにした半導体ウェファ−の搬送方
法および搬送装置を提供することを目的とする。

以下図面に基づき、本発明の実施例を詳細に述べる。

第１図に示すように、ガイド１によって形成された搬送
トラック２の入口近傍には、ローディングエレベータ３
が配置され、その上に、洗浄および搬送すべきウェファ
−を収納したキャリア４が載置されている。

一方、搬送トラック２の出口近傍には、アンローディン
グエレベータ５が配置され、その上に搬送されて来たウ
ェファ−を収納するキャリア６が載置されている。

前記のように配列された搬送装置の搬送トラック２上に
は、ウェファ−を搬送する過程において洗浄液をウェフ
ァ−に噴射して薬品処理およびスクラブを行なうノズル
列が設けられている。

このノズル列は、搬送トラックの入口側から順に配列さ
れた、薬液ノズル７、第１のスクラブ用の薬液ノズル８
、水洗用の水ノズル９、第２のスクラブ用の薬液ノズル
１０、水洗用の水ノズル１１および乾燥用のエアブロ−
ノズル１２から構成されている。

そして薬液ノズル８の下方には、第１のスクラブ用ブラ
シ１３がモータ等の駆動装置１４に連結され、薬液ノズ
ル１０の下方には、第２のスクラブ用ブラシ１３′が配
置されている（駆動装置は図示せず）。

また、それぞれのノズルは、薬液ポンプ１５．１６を介
して薬液タンク１７゜１８または、水タンク（図示せず
）に接続されている。

また、１９は上下運動と往復運動を伴なうフックでウェ
ファ−をキャリア６に収納するためのものである。

なお、第１図に示す実施例において、ノズル、ブラシ、
ポンプおよび（または）タンクの個数およびその配置は
、搬送過程中に洗浄作業が施される被搬送物または被洗
浄物であるウェファ−の種類、寸法等によって、適宜変
更することができる。

ここで、第２〜６図を参照して搬送トラックについて説
明すると、搬送トラック２は、第２図に示す搬送ブロッ
ク２０（切断した半分のみ図示）を第４図のように連結
して構成されている。

ブロック２０は、筐体２１の側面に、ガイド２２゜２２
′が設けられて、筐体２１の上面に溝が形成されて、そ
の溝の底面にノズル列２３．２３’が平行に配置されて
構成されている。

ノズル列２３゜２３′には、第３図に示すように、多数
のノズル２４・・・・・・が、ウェファ−２５の進行方
向２６に対して傾斜して並設されている。

而して、給水管２７から給水された水は、筐体２１の空
洞２８に充満し、ノズル２４・・・・・・より噴射され
て、水平配置されたウェファ−底面を押圧し、ウェファ
−を浮上させると共にこれを搬送方向に推進させる。

なお、２９は排水管である。一方、上記搬送過程に於い
て、ウェファ−２５の上面は、薬液ノズル１からの薬液
によって洗浄され、薬液ノズル８からの薬液を介してス
クラブ用ブラシ１３によってスクラブされ、以下同様に
水洗、薬液スクラブ、水洗され、最後に、エアブロ−ノ
ズル１２からのエアによって乾燥される。

また、第４図に示す第２ブロツク３０のように給水を停
止させればウェファ−の搬送も停止される。

第１ブロツク３１はウェファ−搬送中の状態を示してい
る。

またウェファ−の両面洗浄およびスクラブを必要とする
ときは、次のような垂直型搬送ブロックを連結した搬送
トラックが使用され、ウニツアーは、円形板状とされ、
搬送トラックに垂直に配置されて搬送される。

すなわち、第５図および第５図ＶＩ−Ｗ線断面斜視図で
ある第６図に示すように、ブ陥ツク３２の上側には、ウ
ェファ−を支える溝３３を有するガイド３４が設けられ
ている。

このガイド３４は、その内部に存在する空洞３５を介し
て給水管３６に接続されており、溝３３には３個のノズ
ル列３７，３８，３９がウェファ−の進行方向３９′に
対して傾斜してノズル４０・・・・・・が設けられてい
る（第６図）。

そして、上記ガイド３４の真下にはガイド３４と同一外
形のガイド４１がガイド３２の配置と対象に配置されて
いる。

ガイド４１に設けられたノズル列４２，４３゜４４はガ
イド３４に設けられたノズル列と配置が異り、ウェファ
−の進行方向に対して垂直である。

而して、ガイド３４．４１の溝３３，３３’に支えられ
たウェファ−両面には、給水管３６．４５より給水され
た水がノズルより噴射され、ノズル列３７．３８．３９
より噴射される水の推力によりウェファ−は回転しなが
ら搬送される。

なお、上記搬送過程に於いて、ウェファ−２５の両面に
は、薬液洗浄、薬液スクラブ、水洗、エア乾燥などから
成る一連の洗浄作業を、第１図に示すように、施すこと
ができる。

以上述べた実施例の説明からも明らかなように本発明ｌ
こよれば、搬送トラックは、耐薬品性はあるが機械的強
度の劣る材質を使用しても簡単に作成できる。

また、ウェファ−は、水によって搬送されるためウェフ
ァ−の大口径化に関係なく、搬送に伴う破損はほとんど
なくなり、搬送が確実に行なわれる。

さらに、ウェファ−を１枚１枚搬送でき、また洗浄を同
時に行なう場合には、洗浄用の薬品または水はウェファ
−表面に直接噴射できるので洗浄効果が高まり、薬品ま
たは水の使用量を少なくでき、かつ搬送中ウェファ−表
面が水により濡らされているので、ゴミが再び付着する
ようなことがなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は、
搬送ブロックの斜視図、第３図は、第２図のノズル列に
沿う断面図、第４図は、搬送トラックのノズル列に沿う
断面図、第５図は、本発明の他の実施例を示す断面図、
第６図は第５図の■−Ｖｌ線の断面斜視図である。 ２・・・・・・搬送トラック、１，２２，２２’、３４
゜４１・・・・・・ガイド、２５・・・・・・ウェファ
−２３゜２３’、２４，３７，３８，３９，４０，４２
゜４３．４４・・・・・・ノズル。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ガイドによって形成された搬送トラックに半導体ウ
   ェファ−を水平配置し、このウェファ−の下方からウェ
   ファ−の底面に液体を進行方向に傾斜させて噴射し半導
   体ウェファを搬送する過程に洗浄液を前記ウェファの上
   方から前記ウェファ−の上面に噴射することを特徴とす
   る半導体ウェファ−の搬送方法。 ２ 半導体ウェファ−が水平配置されるガイドによって
   形成された搬送トラックと、前記トラックに沿って進行
   方向に傾斜して多数並設された前記ウェファ−の底面に
   液体を噴射させるノズルと、前記搬送トラックに沿って
   付設された前記ウェファ−の上面に洗浄液を噴射させる
   噴射装置とを具備することを特徴とする半導体ウェファ
   −の搬送装置。