JPS5841480A - 磁気バブルメモリデバイスの製造方法 - Google Patents
磁気バブルメモリデバイスの製造方法Info
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- JPS5841480A JPS5841480A JP56137036A JP13703681A JPS5841480A JP S5841480 A JPS5841480 A JP S5841480A JP 56137036 A JP56137036 A JP 56137036A JP 13703681 A JP13703681 A JP 13703681A JP S5841480 A JPS5841480 A JP S5841480A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高速で駆動でき、薄形かつ放熱性の良1、n1
%傷頼性の磁気バブルメモリデバイスを祷るためO1l
造方法に関するものである。
%傷頼性の磁気バブルメモリデバイスを祷るためO1l
造方法に関するものである。
gimlは従来C)DIP(Dual 1m1ln會P
ae1cmg*)IIO磁気パプルメ峰リゾすイス〇−
例を示す断曹構成図である。 PIWAにおいて、例え
ばセライックなどくよ)形成された絶縁性1職10中央
部にはキャビティ1aが形成され、このキャビティ1a
内に磁気バブルメモリチップ!が接着して同定されてい
る。また図示されてい1に−が、この磁気バブルメモリ
チップ2上の電極と基si上の電極間はボンディングワ
イヤ3で電気的に接続され、この基板1のキャビティ1
a内には磁気バブルメモリチップ2とポンディワイヤ3
とを保護する目的で応力緩和効果を有するチップコート
レジン4が注入して優化されている。又、磁気バブルメ
モリチップ2がチップコートレジン4で固着された基板
1の外局部には回転磁界発生用O内コイル5、外コイル
6が互に直交して組込まれている。図示していないが基
ill上の電極とIJ−ドフレームTとは電気的および
機械的Km続固定されている。
ae1cmg*)IIO磁気パプルメ峰リゾすイス〇−
例を示す断曹構成図である。 PIWAにおいて、例え
ばセライックなどくよ)形成された絶縁性1職10中央
部にはキャビティ1aが形成され、このキャビティ1a
内に磁気バブルメモリチップ!が接着して同定されてい
る。また図示されてい1に−が、この磁気バブルメモリ
チップ2上の電極と基si上の電極間はボンディングワ
イヤ3で電気的に接続され、この基板1のキャビティ1
a内には磁気バブルメモリチップ2とポンディワイヤ3
とを保護する目的で応力緩和効果を有するチップコート
レジン4が注入して優化されている。又、磁気バブルメ
モリチップ2がチップコートレジン4で固着された基板
1の外局部には回転磁界発生用O内コイル5、外コイル
6が互に直交して組込まれている。図示していないが基
ill上の電極とIJ−ドフレームTとは電気的および
機械的Km続固定されている。
そして、基111全体とリードフレーム7の外部リード
を除く中央部分とがモールドレジン8で覆うように成形
されている。この場合の成形法としては、一般に作業性
および量産性の優れたトランスファーモールド法が用い
られる。この後、整磁板8と磁石1110とを接着剤で
貼合せた磁石板ブロック1組を互いに平行にして向い合
うように、モールドレジン魯の外表m11に接着剤で固
着する。
を除く中央部分とがモールドレジン8で覆うように成形
されている。この場合の成形法としては、一般に作業性
および量産性の優れたトランスファーモールド法が用い
られる。この後、整磁板8と磁石1110とを接着剤で
貼合せた磁石板ブロック1組を互いに平行にして向い合
うように、モールドレジン魯の外表m11に接着剤で固
着する。
この後、外乱磁界からチップを守るシールドケ−ス1ズ
の中に入れる。磁石板ブロック取付は部分の詳細は第2
図に示すようになっている。磁石板ブ寵ツクと平行に向
い合うモールドレジン面は、モールド部分全体がトラン
スファーモールド用金型にある場合には、図の点線13
の位置にあるが金型取外し螢に図の実線11<2)よう
に外@に凸になるように変形する。この変形は、トラン
スファモールド時に生じ走モールドレジン内部のEE@
応力が金層取シ外し直後に解放されて生じるものである
。そこで、磁石w取付は部分の端部には予め平行出し用
段部14を設けておき、磁石板ブロックがチップ面と平
行になるようにしてbる。なお、磁石板ブロックがチッ
プ国と平行でない場合KFi、磁石板によって作られる
磁界分布が1され、磁気パプルメ毫りとしての十分な4
?性が得られなくなる。王妃のように磁石板ブロックを
取シ付けた構造の磁気バブルメモリデバイスにおいては
、磁石板ブロックとモールドレジンl1liK接着剤1
s+−関1・があるため盆体O厚さが大きくな)放熱性
が悪いという問題がある。したがって、大メモリ容量O
パプルメ篭りチップを梧載した磁気パズルメモリデバイ
スを高速で動作させた場合、回転磁界発生用の外コイル
及び内コイルの発熱が大きくなシ、チップと磁石板ブロ
ック間の温度差が大きくなる、このため、磁石11O磁
束密度が変化しチップ内のバブルが動作するに必要な適
正バイアス磁界が得られなくなる。
の中に入れる。磁石板ブロック取付は部分の詳細は第2
図に示すようになっている。磁石板ブ寵ツクと平行に向
い合うモールドレジン面は、モールド部分全体がトラン
スファーモールド用金型にある場合には、図の点線13
の位置にあるが金型取外し螢に図の実線11<2)よう
に外@に凸になるように変形する。この変形は、トラン
スファモールド時に生じ走モールドレジン内部のEE@
応力が金層取シ外し直後に解放されて生じるものである
。そこで、磁石w取付は部分の端部には予め平行出し用
段部14を設けておき、磁石板ブロックがチップ面と平
行になるようにしてbる。なお、磁石板ブロックがチッ
プ国と平行でない場合KFi、磁石板によって作られる
磁界分布が1され、磁気パプルメ毫りとしての十分な4
?性が得られなくなる。王妃のように磁石板ブロックを
取シ付けた構造の磁気バブルメモリデバイスにおいては
、磁石板ブロックとモールドレジンl1liK接着剤1
s+−関1・があるため盆体O厚さが大きくな)放熱性
が悪いという問題がある。したがって、大メモリ容量O
パプルメ篭りチップを梧載した磁気パズルメモリデバイ
スを高速で動作させた場合、回転磁界発生用の外コイル
及び内コイルの発熱が大きくなシ、チップと磁石板ブロ
ック間の温度差が大きくなる、このため、磁石11O磁
束密度が変化しチップ内のバブルが動作するに必要な適
正バイアス磁界が得られなくなる。
この問題を解決する方法としては、第3図に示すように
論述の平行出し用段部を烏止し、レジンモールドをする
際に磁石板プルツク%同時にモールドする方法がある。
論述の平行出し用段部を烏止し、レジンモールドをする
際に磁石板プルツク%同時にモールドする方法がある。
しかし、との場合には、全型取ル外しIL*に、磁石板
ブロックに比較して熱膨張係数の大きいモールドレジン
が熱収縮して磁石板ブロックFi周辺から中央部の方向
に圧縮力17を費ける。この丸め、磁石板ブロックが外
側を凸にして変形し、磁石板は〒般にフェライトででき
ているために磁石板及び整1m職社脆性が大きくクラッ
ク1宿を生じ易−0こOようにクラックが生じた場合に
は、バイアス磁界分布が不均一になってバブルメモリと
しての十分e特性が得られなぐなる。なお、モールド方
式としてはトランスファーモールド方式および注型方式
で行う場合があるが、いずれも磁石板ブロックにクラッ
クが生じ易い。
ブロックに比較して熱膨張係数の大きいモールドレジン
が熱収縮して磁石板ブロックFi周辺から中央部の方向
に圧縮力17を費ける。この丸め、磁石板ブロックが外
側を凸にして変形し、磁石板は〒般にフェライトででき
ているために磁石板及び整1m職社脆性が大きくクラッ
ク1宿を生じ易−0こOようにクラックが生じた場合に
は、バイアス磁界分布が不均一になってバブルメモリと
しての十分e特性が得られなぐなる。なお、モールド方
式としてはトランスファーモールド方式および注型方式
で行う場合があるが、いずれも磁石板ブロックにクラッ
クが生じ易い。
本発明の目的は、上記従来技術の問題を解決し、薄型で
放熱性の優れた高速で駆動できる磁気バブルメモリの製
造方法を提供することにある。
放熱性の優れた高速で駆動できる磁気バブルメモリの製
造方法を提供することにある。
このような目的を達成するために不発IjlIは、少な
くとも周辺の4側面に弾性を有する物質をコーティング
などして取付けた磁石板ブロックを用いテ、他の磁気バ
ブルメモリデバイス用部品と一緒にレジンモールドする
ことにある。この弾性を有する物質としては、ジエン系
合成ゴム、オレフィンlk 合成ゴム、ポリウレタン系
合成ゴム及びシリコーンゴム等が使用可能であるが、耐
熱及び耐寒性に優れかつ熱膨張係数がモールドレジンよ
p太をいものが本発明の磁気バブルメモリデバイス用と
して最も適している。
くとも周辺の4側面に弾性を有する物質をコーティング
などして取付けた磁石板ブロックを用いテ、他の磁気バ
ブルメモリデバイス用部品と一緒にレジンモールドする
ことにある。この弾性を有する物質としては、ジエン系
合成ゴム、オレフィンlk 合成ゴム、ポリウレタン系
合成ゴム及びシリコーンゴム等が使用可能であるが、耐
熱及び耐寒性に優れかつ熱膨張係数がモールドレジンよ
p太をいものが本発明の磁気バブルメモリデバイス用と
して最も適している。
以下、本発明の内容を実施例を用いて説明する。
実施例1
第4図にてこO実施例を説明する。フェライトでできて
いる正方形O磁石1!10と整磁板8とを接着剤で貼合
せた磁石板ブロックの周辺の411面に熱硬化型の未硬
化シリコーンゴム液を塗布し。
いる正方形O磁石1!10と整磁板8とを接着剤で貼合
せた磁石板ブロックの周辺の411面に熱硬化型の未硬
化シリコーンゴム液を塗布し。
120℃の炉に入れて60分間加熱して熱硬化させた。
熱硬化後のシリ;−ンゴA19の厚さは約100β賜で
あった。このようにして周側間にシリコーンゴム1sを
職夛付は九磁石なブロックをE気バブルメモリデバイス
1個について2#Iづつ準備し、他の部品と一緒にトラ
ンスファーモールド法でレジンそ一ルドを行つ九、この
場合にtib金型を取シ外して室温に冷却後も磁石板ブ
ロックにクラックの発生がなかった。また、このように
して作製した磁気バブルメモリデバイスを回転磁界駆動
周波数400KHzで駆動させても、チップと磁石蓼ブ
ロック間0Ill差は5℃以下であった。すなわち、本
発明の製造方法によシ、磁石クブロックとモールドレジ
ン面との間に隙間をつくることなく、極めて放熱性に優
れ友薄型の磁気バブルメモリデバイスを提供できた。こ
のようにして作製した磁気バブルメモリデバイスO1!
幀性試験を行った結果、20年以上の使用でも磁石板ブ
ロックのクラック発生がなく十分な信頼性を有すること
がわかった。なお、以上の実施例にょ夛磁石砿ブロック
にクラックが生じない理由は次の通シである。
あった。このようにして周側間にシリコーンゴム1sを
職夛付は九磁石なブロックをE気バブルメモリデバイス
1個について2#Iづつ準備し、他の部品と一緒にトラ
ンスファーモールド法でレジンそ一ルドを行つ九、この
場合にtib金型を取シ外して室温に冷却後も磁石板ブ
ロックにクラックの発生がなかった。また、このように
して作製した磁気バブルメモリデバイスを回転磁界駆動
周波数400KHzで駆動させても、チップと磁石蓼ブ
ロック間0Ill差は5℃以下であった。すなわち、本
発明の製造方法によシ、磁石クブロックとモールドレジ
ン面との間に隙間をつくることなく、極めて放熱性に優
れ友薄型の磁気バブルメモリデバイスを提供できた。こ
のようにして作製した磁気バブルメモリデバイスO1!
幀性試験を行った結果、20年以上の使用でも磁石板ブ
ロックのクラック発生がなく十分な信頼性を有すること
がわかった。なお、以上の実施例にょ夛磁石砿ブロック
にクラックが生じない理由は次の通シである。
(1)モールド後の冷却過程で0レジンの熱収縮力は、
シリコーンゴム自体のゴム弾性のため緩和。
シリコーンゴム自体のゴム弾性のため緩和。
分(され、磁石板ブロックに集中的な方が加わらなくな
る。
る。
(2)モールド後の冷却過程で、シリコーンゴム自身の
熱膨張係数がモールドレジンのそれよりもはるかに大き
いため、ゴム自身が毫−ルドレジン↓)も大きく収縮し
てモールドレジンの熱収縮力を吸収し、磁石板ブロック
に力が加わらくなる。
熱膨張係数がモールドレジンのそれよりもはるかに大き
いため、ゴム自身が毫−ルドレジン↓)も大きく収縮し
てモールドレジンの熱収縮力を吸収し、磁石板ブロック
に力が加わらくなる。
5j!施例2
末端にメタクリル基又はアクリル基を有するポリブタジ
ェンプレポリマを主成分とする紫外11iF!化レジン
の未硬化物を磁石板ブロック周側面に塗布し、四方から
紫外線を解剖して硬化させ丸、このようにして周辺にポ
リブタジェン系ゴムを敗り付けた磁石板ブロックを実施
例1と同じ方法で他の部品と一緒にレジンモールドした
。このよりにしてでき九磁気バブルメモリデバイスは、
実施例1と同様に11111で優れた放熱性を有し、か
つ十分な個Ili性をもっていることが確認された。
ェンプレポリマを主成分とする紫外11iF!化レジン
の未硬化物を磁石板ブロック周側面に塗布し、四方から
紫外線を解剖して硬化させ丸、このようにして周辺にポ
リブタジェン系ゴムを敗り付けた磁石板ブロックを実施
例1と同じ方法で他の部品と一緒にレジンモールドした
。このよりにしてでき九磁気バブルメモリデバイスは、
実施例1と同様に11111で優れた放熱性を有し、か
つ十分な個Ili性をもっていることが確認された。
以上の実施例においては、磁石板ブロックに取り付けた
弾性を有する物質の厚さは約100μmであったが、1
0μ賜以上の厚さで目的効果が得られることが分ってい
る。
弾性を有する物質の厚さは約100μmであったが、1
0μ賜以上の厚さで目的効果が得られることが分ってい
る。
又、弾性を有する物質は、上記の2実施例に限定される
ものではなく、同様の特性を有する他の各種物質も使用
可能であることは言うまでもない。
ものではなく、同様の特性を有する他の各種物質も使用
可能であることは言うまでもない。
又、弾性を有する物質は磁石板ブロックの周側面以外に
も必!!に応じて取)付けることができる。
も必!!に応じて取)付けることができる。
本発明によれば、落蓋で放熱の優れた磁気バブルメモリ
デバイス、すなわち大容Iのチップを搭載し、極めて高
速で駆動できる高性能でかつ高偏頼性の磁気バブルメモ
リデバイスを提供できる。
デバイス、すなわち大容Iのチップを搭載し、極めて高
速で駆動できる高性能でかつ高偏頼性の磁気バブルメモ
リデバイスを提供できる。
j[11図は従来の磁気バブルメモリデバイス0叛造を
示す断面図、第2図は第1EC)磁石板取付り部分を詳
細に説明する断面図、第3図は別の従来の磁石板取付は
方法を示す断面図、第4図は本発明の磁気バブルメモリ
デバイスの製造方法の一笑施例による磁石板取付は部分
の断面図である。
示す断面図、第2図は第1EC)磁石板取付り部分を詳
細に説明する断面図、第3図は別の従来の磁石板取付は
方法を示す断面図、第4図は本発明の磁気バブルメモリ
デバイスの製造方法の一笑施例による磁石板取付は部分
の断面図である。
Claims (1)
- 整磁榎と磁石板とを貼合せた磁石板ブロックの少なくと
も周側面に弾性を有する物質を取り付けた後、デバイス
の他の部品とともにレジンモールドすることを特徴とす
る磁気バブルメモ豐デノ(イスOS造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56137036A JPS5841480A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 磁気バブルメモリデバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56137036A JPS5841480A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 磁気バブルメモリデバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5841480A true JPS5841480A (ja) | 1983-03-10 |
JPS6412037B2 JPS6412037B2 (ja) | 1989-02-28 |
Family
ID=15189345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56137036A Granted JPS5841480A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 磁気バブルメモリデバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5841480A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004055888A1 (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-01 | Sony Corporation | 磁気メモリ装置 |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP56137036A patent/JPS5841480A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004055888A1 (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-01 | Sony Corporation | 磁気メモリ装置 |
EP1575088A1 (en) * | 2002-12-16 | 2005-09-14 | Sony Corporation | Magnetic memory device |
EP1575088A4 (en) * | 2002-12-16 | 2008-02-27 | Sony Corp | MAGNETIC MEMORY SYSTEM |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6412037B2 (ja) | 1989-02-28 |
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