JPS5835367B2 - 回路素子基板及びその製造方法 - Google Patents
回路素子基板及びその製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は回路素子基板及びその製造方法に係り、セラミ
ック基板上面の回路素子を所定材質のガラスにより封止
することにより高性能の回路素子基板及びその製造方法
を提供することを目的とする。
ック基板上面の回路素子を所定材質のガラスにより封止
することにより高性能の回路素子基板及びその製造方法
を提供することを目的とする。
従来の回路素子基板としては、セラミック基板上面に凹
部を形成すると共に所定の電極パターンを印刷形成して
かき、該凹部内に所定の回路素子を該電極パターンと直
接及びリード線により導通するよう固着し、しかる後、
該凹部に所定の樹脂材料を注入して該回路素子及びリー
ド線等を封止して固着させてなるものがあった。
部を形成すると共に所定の電極パターンを印刷形成して
かき、該凹部内に所定の回路素子を該電極パターンと直
接及びリード線により導通するよう固着し、しかる後、
該凹部に所定の樹脂材料を注入して該回路素子及びリー
ド線等を封止して固着させてなるものがあった。
しかるに上記従来例によれば、樹脂材料はセラミック基
板に比して犬なる熱膨張率αを有しているため(例えば
セラミック基板のα1=70X10−71/’C1樹脂
材料のα2=50×10′1/’C)雰囲気温度が変化
すると相互に熱膨張差を生じて、樹脂にクラックを生じ
て性能が劣化したり、上記リード線が切れたりするとい
う欠点を有し、又樹脂材料は一般に吸湿性が犬で水分を
吸収するためリード線よりのリーク電流が増大して性能
が劣化し例えばこの回路素子基板をチューナ装置に適用
すると誤選局されてし1つという欠点がアリ、又樹脂材
料の注入作業自体面倒である上に注入樹脂の硬化には約
1時間等の長時間を要し作業の自動化を行ない難いとい
う欠点を有していた。
板に比して犬なる熱膨張率αを有しているため(例えば
セラミック基板のα1=70X10−71/’C1樹脂
材料のα2=50×10′1/’C)雰囲気温度が変化
すると相互に熱膨張差を生じて、樹脂にクラックを生じ
て性能が劣化したり、上記リード線が切れたりするとい
う欠点を有し、又樹脂材料は一般に吸湿性が犬で水分を
吸収するためリード線よりのリーク電流が増大して性能
が劣化し例えばこの回路素子基板をチューナ装置に適用
すると誤選局されてし1つという欠点がアリ、又樹脂材
料の注入作業自体面倒である上に注入樹脂の硬化には約
1時間等の長時間を要し作業の自動化を行ない難いとい
う欠点を有していた。
本発明は上記欠点を除去したものであり、以下図面と共
に本発明になる回路素子基板を製造する方法の一実施例
につき説明する。
に本発明になる回路素子基板を製造する方法の一実施例
につき説明する。
1ず、第1図A、Hに示す如く、セラミツク基板1上面
所定位置にモリブデン−タングステン層を固着して夫々
パターン基部層2a〜2cよりなる複数のパターン基部
層組2を形成した後、プレス成形により各基部層組2に
対応して凹部3を形成し、同時に切離し溝4を刻入する
。
所定位置にモリブデン−タングステン層を固着して夫々
パターン基部層2a〜2cよりなる複数のパターン基部
層組2を形成した後、プレス成形により各基部層組2に
対応して凹部3を形成し、同時に切離し溝4を刻入する
。
続いて、上記基板1を焼成して硬化させた後、上記各パ
ターン基部層組2(2a〜2c)の表面にニッケルメッ
キを施して図中梨地模様で示す如く、夫々電極パターン
5a〜5cよりなる複数の電極パターン組5を形成する
。
ターン基部層組2(2a〜2c)の表面にニッケルメッ
キを施して図中梨地模様で示す如く、夫々電極パターン
5a〜5cよりなる複数の電極パターン組5を形成する
。
次いで、第2図A、Bに示す如く、各凹部3内にてトラ
ンジスタチップ6を例えば−の電極パタ−ン5a上面に
例えば導電接着剤7により導通固着せしめ、更にアルミ
ニウム線等の1対のリード線8により他の電極パターン
5b、5cに導通接続する。
ンジスタチップ6を例えば−の電極パタ−ン5a上面に
例えば導電接着剤7により導通固着せしめ、更にアルミ
ニウム線等の1対のリード線8により他の電極パターン
5b、5cに導通接続する。
この場合チップ6の上面及びリード線8は基板1上面よ
り所定寸法沈んでいる。
り所定寸法沈んでいる。
次いで、第3図に示す如く、セラミツク基板1上面に所
定の孔9aを有する治具板9を載置した後所定のガラス
粒10を夫々上方より上記各孔9a内に挿入して該各社
9aのガイドにより各チップ6上に導入載置し、しかる
後治具板9を取去る。
定の孔9aを有する治具板9を載置した後所定のガラス
粒10を夫々上方より上記各孔9a内に挿入して該各社
9aのガイドにより各チップ6上に導入載置し、しかる
後治具板9を取去る。
同上記ガラス粒10の材料は例えば硼珪酸鉛又は硼珪酸
系ガラスが適当であり、例えばその膨張率α3=72X
10−71/℃で上記セラミック基板1の膨張率α1=
70X10 ”1/’Cと略同−であり、しかもその融
点は例えば360〜430℃の如く後述する電極パター
ン5a〜5cの酸化及び半田デイツプ熱による再溶融を
防止しつる融点範囲を選定されている。
系ガラスが適当であり、例えばその膨張率α3=72X
10−71/℃で上記セラミック基板1の膨張率α1=
70X10 ”1/’Cと略同−であり、しかもその融
点は例えば360〜430℃の如く後述する電極パター
ン5a〜5cの酸化及び半田デイツプ熱による再溶融を
防止しつる融点範囲を選定されている。
次いで、上記ガラス粒10を載置したセラミック基板1
を上記融点360〜430’C−!で加熱してガラス粒
10を溶融させ、これにより第4図中斜線で示す如くチ
ップ6及びリード線8を封止せしめ、しかる後乾燥雰囲
気中で放置して溶融ガラスを硬化させ封止ガラス10′
を形成する。
を上記融点360〜430’C−!で加熱してガラス粒
10を溶融させ、これにより第4図中斜線で示す如くチ
ップ6及びリード線8を封止せしめ、しかる後乾燥雰囲
気中で放置して溶融ガラスを硬化させ封止ガラス10′
を形成する。
同封止ガラス10′の上面は後述する他の基板12への
取付けを行ないつるよう基板1上面より所定寸法沈んで
いる。
取付けを行ないつるよう基板1上面より所定寸法沈んで
いる。
次に上記セラミック基板1を各切離し溝4に沿って折れ
ば、第5図A、Bに示す如く、単体のトランジスタチッ
プユニット11が得られる。
ば、第5図A、Bに示す如く、単体のトランジスタチッ
プユニット11が得られる。
このユニット11を同図B中二点鎖線で示す如く他の基
板12に取付けるには、該基板12下面の所定の3個の
パターン13に予め夫々溶融半田14を盛ってふ・き、
上記ユニット11をその3個の電極パターン5a〜5c
を夫々上記各半田14に対応させて基板12に対し押圧
して半田接合する。
板12に取付けるには、該基板12下面の所定の3個の
パターン13に予め夫々溶融半田14を盛ってふ・き、
上記ユニット11をその3個の電極パターン5a〜5c
を夫々上記各半田14に対応させて基板12に対し押圧
して半田接合する。
尚上記工程にかいて、ガラス粒10はその材料融点が3
60°〜430℃なるようiものを選定しているため、
上記ガラスを溶會させるための加熱温度(この場合43
0℃近傍)は上記電極パターン組5の酸化温度に比して
小であり該パターン組5を酸化劣化させるには至らず、
又上記他の基板12への半田接合時の半田加熱温度(こ
の場合360℃以下)は上記ユニット11の封止ガラス
10′の融点下限値360℃に比して更に小であり該封
止ガラス10′を不要に溶融させるに至らず、何れの場
合も何ら支障をきたさない。
60°〜430℃なるようiものを選定しているため、
上記ガラスを溶會させるための加熱温度(この場合43
0℃近傍)は上記電極パターン組5の酸化温度に比して
小であり該パターン組5を酸化劣化させるには至らず、
又上記他の基板12への半田接合時の半田加熱温度(こ
の場合360℃以下)は上記ユニット11の封止ガラス
10′の融点下限値360℃に比して更に小であり該封
止ガラス10′を不要に溶融させるに至らず、何れの場
合も何ら支障をきたさない。
父上記の如く、セラミック基板1及び封止ガラス10′
は熱膨張率が大略同一で熱膨張差を生じないため、リー
ド線8の断線等の不都合を生じない。
は熱膨張率が大略同一で熱膨張差を生じないため、リー
ド線8の断線等の不都合を生じない。
又、封止ガラス10′は殆ど水分を吸収しないためリー
ド線8のリーク電流が発生せず、又ガラス粒10の配設
作業は従来の樹脂注入作業に比して容易であり、しかも
上記溶融ガラスの硬化時間は約10分と樹脂硬化時間(
1時間)の約臀で済み、容易に自動化へ適用しつる。
ド線8のリーク電流が発生せず、又ガラス粒10の配設
作業は従来の樹脂注入作業に比して容易であり、しかも
上記溶融ガラスの硬化時間は約10分と樹脂硬化時間(
1時間)の約臀で済み、容易に自動化へ適用しつる。
第6図は本発明回路素子基板の製造法の他の実施例にな
るセラミック基板単体21を示す。
るセラミック基板単体21を示す。
この単体21は凹部22を有し、三方外測部に夫々上下
に貫通する切欠部23を設けられその表面に3本の電極
パターン24a〜24cを夫々上記凹部22より上記切
欠部23内1で延在して付着形成されている。
に貫通する切欠部23を設けられその表面に3本の電極
パターン24a〜24cを夫々上記凹部22より上記切
欠部23内1で延在して付着形成されている。
(但し−の電極パターン24aのみ凹部22の底部に至
っている)尚その製作方法としては、第7図に示す如く
セラミック基板1を複数の単体21を有して形成すると
共に隣接する単体21間に適宜孔25を設けてかく。
っている)尚その製作方法としては、第7図に示す如く
セラミック基板1を複数の単体21を有して形成すると
共に隣接する単体21間に適宜孔25を設けてかく。
更にこの孔25内周に至る1で上記の如く電極パターン
24を形成してふ・き、分割線に沿って分割すればセラ
ミック基板単体21が得られ、上記孔25により上記切
欠部23が形成される。
24を形成してふ・き、分割線に沿って分割すればセラ
ミック基板単体21が得られ、上記孔25により上記切
欠部23が形成される。
次に第8図に示す如く上記単体21に上記実施例と全く
同様の手順によりトランジスタチップ6を取付けてなる
ユニット26を他の基板12に取付けるには、各電極パ
ターン24a〜24cを夫夫該基板12の各パターン1
3に符号当接させた後、半田14をこの各パターン13
と上記切欠部23内周の各電極パターン24a〜24c
とに共通に接触するよう夫々付着させればよい。
同様の手順によりトランジスタチップ6を取付けてなる
ユニット26を他の基板12に取付けるには、各電極パ
ターン24a〜24cを夫夫該基板12の各パターン1
3に符号当接させた後、半田14をこの各パターン13
と上記切欠部23内周の各電極パターン24a〜24c
とに共通に接触するよう夫々付着させればよい。
これによれば第5図Bの取付法の如く半田14の開方へ
の逃げ場所を考慮する必要がなく接着強度の向上半田流
れ、スクライブミスの防止等の効果を有する。
の逃げ場所を考慮する必要がなく接着強度の向上半田流
れ、スクライブミスの防止等の効果を有する。
同上記各実施例中、回路素子としてのトランジスタチッ
プ6はこれに限ることなく、他にダイオード、IC等の
能動素子或いは抵抗、コンデンサ等の受動素子、電気機
械変換素子、フィルタ素子等であってもよい。
プ6はこれに限ることなく、他にダイオード、IC等の
能動素子或いは抵抗、コンデンサ等の受動素子、電気機
械変換素子、フィルタ素子等であってもよい。
上述の如く、本発明になる回路素子基板及びその製造方
法によれば、セラミック基板上面に電極パターンを印刷
形成する工程と、該基板上面に該電極パターンと導通し
て回路素子を固着する工程と、該セラミック基板の該回
路素子に対応する位置に該基板と大略同一の熱膨張率を
有するガラス粒を載置する工程と、全体を加熱して該ガ
ラス粒を一旦溶融させた後硬化させて該基板上面に該回
路素子を封止する封止ガラスを固着形成して回路素子基
板を得る工程とよりなるため、雰囲気温度が変化しても
セラミック基板及び封止ガラスは相互に殆ど熱膨張差を
生じないため該封止ガラスにクラックを生じたり、回路
素子のリード線が切断されたりすることなく、性能を向
上しえ、又ガラス材料は一般に水分を吸収しないためリ
ード線のリーク電流が発生することなく一層性能を向上
しえ、又上記封止ガラスの配設形成は面倒な注入作業で
なく単にガラス粒の載置作業であり、しかも溶融ガラス
の硬化時間は極めて短いため作業が容易で自動化に適し
便利である等の特長を有するものである。
法によれば、セラミック基板上面に電極パターンを印刷
形成する工程と、該基板上面に該電極パターンと導通し
て回路素子を固着する工程と、該セラミック基板の該回
路素子に対応する位置に該基板と大略同一の熱膨張率を
有するガラス粒を載置する工程と、全体を加熱して該ガ
ラス粒を一旦溶融させた後硬化させて該基板上面に該回
路素子を封止する封止ガラスを固着形成して回路素子基
板を得る工程とよりなるため、雰囲気温度が変化しても
セラミック基板及び封止ガラスは相互に殆ど熱膨張差を
生じないため該封止ガラスにクラックを生じたり、回路
素子のリード線が切断されたりすることなく、性能を向
上しえ、又ガラス材料は一般に水分を吸収しないためリ
ード線のリーク電流が発生することなく一層性能を向上
しえ、又上記封止ガラスの配設形成は面倒な注入作業で
なく単にガラス粒の載置作業であり、しかも溶融ガラス
の硬化時間は極めて短いため作業が容易で自動化に適し
便利である等の特長を有するものである。
第1図A、Bは夫々本発明になる回路素子基板の1実施
例の第1の製造工程を示す平面及び縦断面部分図、第2
図A、Bは夫々上記回路素子基板の第2の製造工程を示
す平面及び縦断面部分図、第3図及び第4図は夫々上記
回路素子基板の第3及び第4製造工程を示す縦断面部分
図、第5図、A、Bは夫々上記回路素子基板完成品の平
面図及び縦断面図、第6図及び第7図は夫々上記回路素
子基板の他の実施例の基板単体の斜視図、及びその製造
工程を示す図、第8図はその完成品の縦断面図である。 1・・・セラミック基板、3,22・・・凹部、5・・
・電極パターン組、5a〜5c、24a〜24c・・・
電極ハターン、6・・・トランジスタチップ、8・・・
リード線、9・・・治具板、10・・・ガラス粒、10
′・・・封止ガラス、11,26・・・トランジスタチ
ップユニット、12・・・基板、14・・・半田、21
・・・セラミック基板単体、23・・・切欠部。
例の第1の製造工程を示す平面及び縦断面部分図、第2
図A、Bは夫々上記回路素子基板の第2の製造工程を示
す平面及び縦断面部分図、第3図及び第4図は夫々上記
回路素子基板の第3及び第4製造工程を示す縦断面部分
図、第5図、A、Bは夫々上記回路素子基板完成品の平
面図及び縦断面図、第6図及び第7図は夫々上記回路素
子基板の他の実施例の基板単体の斜視図、及びその製造
工程を示す図、第8図はその完成品の縦断面図である。 1・・・セラミック基板、3,22・・・凹部、5・・
・電極パターン組、5a〜5c、24a〜24c・・・
電極ハターン、6・・・トランジスタチップ、8・・・
リード線、9・・・治具板、10・・・ガラス粒、10
′・・・封止ガラス、11,26・・・トランジスタチ
ップユニット、12・・・基板、14・・・半田、21
・・・セラミック基板単体、23・・・切欠部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 電極パターンを印刷形成されたセラミック基板と、
該基板上面に該電極パターンと導通して固着された回路
素子と、該セラミック基板と大略同一の熱膨張率を有し
てかり該基板上面に該回路素子を封止して固着された封
止ガラスとより構成してなることを特徴とする回路素子
基板。 2 セラミック基板上面に電極パターンを印刷形成する
工程と、該基板上面に該電極パターンと導通して回路素
子を固着する工程と、該セラミック基板の該回路素子に
対応する位置に該基板と大略同一の熱膨張率を有するガ
ラス粒を載置する工程と、全体を加熱して該ガラス粒を
一旦溶融させた後硬化させて該基板上面に該回路素子を
封止する封止ガラスを固着形成して回路素子基板を得る
工程とよりなることを特徴とする回路素子基板の製造方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53086745A JPS5835367B2 (ja) | 1978-07-18 | 1978-07-18 | 回路素子基板及びその製造方法 |
| GB7914818A GB2026234B (en) | 1978-07-18 | 1979-04-27 | Circuit element package having lead patterns |
| DE19792925509 DE2925509A1 (de) | 1978-07-18 | 1979-06-25 | Packung fuer schaltungselemente |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53086745A JPS5835367B2 (ja) | 1978-07-18 | 1978-07-18 | 回路素子基板及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5513933A JPS5513933A (en) | 1980-01-31 |
| JPS5835367B2 true JPS5835367B2 (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=13895318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53086745A Expired JPS5835367B2 (ja) | 1978-07-18 | 1978-07-18 | 回路素子基板及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835367B2 (ja) |
| DE (1) | DE2925509A1 (ja) |
| GB (1) | GB2026234B (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2492164B1 (fr) * | 1980-10-15 | 1987-01-23 | Radiotechnique Compelec | Procede de realisation simultanee de liaisons electriques multiples, notamment pour le raccordement electrique d'une micro-plaquette de semiconducteurs |
| JPS57207356A (en) * | 1981-06-15 | 1982-12-20 | Fujitsu Ltd | Semiconductor device |
| FR2512990B1 (fr) * | 1981-09-11 | 1987-06-19 | Radiotechnique Compelec | Procede pour fabriquer une carte de paiement electronique, et carte realisee selon ce procede |
| EP0080535B1 (de) * | 1981-11-27 | 1985-08-28 | Krohne AG | Messwertaufnehmer für magnetisch-induktive Durchflussmessgeräte |
| EP0110285A3 (en) * | 1982-11-27 | 1985-11-21 | Prutec Limited | Interconnection of integrated circuits |
| JPS60201026A (ja) * | 1984-03-24 | 1985-10-11 | Mazda Motor Corp | ロ−タリピストンエンジンの過給装置 |
| JPS60211960A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-24 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| US4839713A (en) * | 1987-02-20 | 1989-06-13 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Package structure for semiconductor device |
| GB2223354B (en) * | 1988-09-30 | 1992-10-14 | Marconi Electronic Devices | Semiconductor devices |
| FR2667443A1 (fr) * | 1990-09-28 | 1992-04-03 | Thomson Csf | Procede de realisation d'un module hybride. |
| DE69329542T2 (de) * | 1992-06-05 | 2001-02-08 | Mitsui Chemicals, Inc. | Dreidimensionale leiterplatte, elektronische bauelementanordnung unter verwendung dieser leiterplatte und herstellungsverfahren zu dieser leiterplatte |
| JP2914861B2 (ja) * | 1993-12-02 | 1999-07-05 | 富士車輌株式会社 | ゴミの分別収集装置 |
| US5408126A (en) * | 1993-12-17 | 1995-04-18 | At&T Corp. | Manufacture of semiconductor devices and novel lead frame assembly |
| US5629835A (en) * | 1994-07-19 | 1997-05-13 | Olin Corporation | Metal ball grid array package with improved thermal conductivity |
-
1978
- 1978-07-18 JP JP53086745A patent/JPS5835367B2/ja not_active Expired
-
1979
- 1979-04-27 GB GB7914818A patent/GB2026234B/en not_active Expired
- 1979-06-25 DE DE19792925509 patent/DE2925509A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2026234B (en) | 1982-06-30 |
| GB2026234A (en) | 1980-01-30 |
| JPS5513933A (en) | 1980-01-31 |
| DE2925509A1 (de) | 1980-01-31 |
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