JPS58216834A - トレ−ロ−ダ - Google Patents
トレ−ロ−ダInfo
- Publication number
- JPS58216834A JPS58216834A JP57099966A JP9996682A JPS58216834A JP S58216834 A JPS58216834 A JP S58216834A JP 57099966 A JP57099966 A JP 57099966A JP 9996682 A JP9996682 A JP 9996682A JP S58216834 A JPS58216834 A JP S58216834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- trays
- fixed
- feeding
- storing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G59/00—De-stacking of articles
- B65G59/06—De-stacking from the bottom of the stack
- B65G59/067—De-stacking from the bottom of the stack articles being separated substantially perpendicularly to the axis of the stack
Landscapes
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料を収納するためのトレーを送り出すトレー
ローダに関する。
ローダに関する。
以下、−例として半導体装置の製造工程（ζ用いられる
グイ詰め換え装置におけるトレーローダについて説明す
る。
グイ詰め換え装置におけるトレーローダについて説明す
る。
グイ詰め換え装置に詔いては、トレーローダがら空のト
レーが搬送部に供給され、この搬送部によってトレーは
グイ詰め換え部に送られ、グイピックアップ手段でウェ
ハから良品ダイをピックアップして前記トレーに詰め換
える作業が行われる。
レーが搬送部に供給され、この搬送部によってトレーは
グイ詰め換え部に送られ、グイピックアップ手段でウェ
ハから良品ダイをピックアップして前記トレーに詰め換
える作業が行われる。
ところで、前記トレーローダに複数個の空のトレーを積
み重ねて収納し、最下位のトレーを送り爪で送り出すよ
うに構成すると、第１図のように凸部１と四部２とが形
成されたトレー３は、積み重ねされた上下のトレー３の
凸部１と凹部２とが係合するので、送出が不可能である
。
み重ねて収納し、最下位のトレーを送り爪で送り出すよ
うに構成すると、第１図のように凸部１と四部２とが形
成されたトレー３は、積み重ねされた上下のトレー３の
凸部１と凹部２とが係合するので、送出が不可能である
。
そこで一般に、複数のトレーを上下に一定間隔をもって
離間して収納することができる専用のマガジンを用い、
複数のトレーが収納されたマガジンをトレーローダにセ
ットして行っている。このため、マガジン内のトレーが
全て無くなるとトレーが収納されている新規のマガジン
と交換しなければならないので、この時装置全体を停止
しなければならなく、生産性が悪い。またマガジンから
トレーを送出する毎にマガジンを間欠的に上昇又は下降
させなければならなく、構造が複雑となるという欠点が
あった。
離間して収納することができる専用のマガジンを用い、
複数のトレーが収納されたマガジンをトレーローダにセ
ットして行っている。このため、マガジン内のトレーが
全て無くなるとトレーが収納されている新規のマガジン
と交換しなければならないので、この時装置全体を停止
しなければならなく、生産性が悪い。またマガジンから
トレーを送出する毎にマガジンを間欠的に上昇又は下降
させなければならなく、構造が複雑となるという欠点が
あった。
本発明は上記従来技術の欠点を除去したトレーローダを
提供することを目的とする。
提供することを目的とする。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になるトレーローダの一実施例を示す正
面断面図、第３図は第１図の側面断面図である。。
面断面図、第３図は第１図の側面断面図である。。
底板１０に固定された側板１１．１２の上面には中央に
一定幅の溝を形成するように上面板１３．１４が固定さ
れている。前記上面板１３．１４には空トレー３を積み
重ねて収納する前方トレー収納部Ｉ５と後方トレー収納
部１６とからなるトレー収納部１７が固定されている。
一定幅の溝を形成するように上面板１３．１４が固定さ
れている。前記上面板１３．１４には空トレー３を積み
重ねて収納する前方トレー収納部Ｉ５と後方トレー収納
部１６とからなるトレー収納部１７が固定されている。
トレー収納部１７は積み重ねられた上下の空トレー３が
その凹凸によって互いに係合しないように、前後に傾斜
案内面１５ａ、１６ａが形成され、これによりトレー３
を階段のようｌこ少しづつずらしながら積み重ね収納で
きるようになっている。また前方トレー収納部１５は左
右側板１５Ａ、１５Ｂとからなり、これら側板１５Ａ、
１５Ｂは連結棒１５Ｃで一定間隔を保って連結され、ポ
ルｌ−１５Ｄで一体４こ固定されている。また後方トレ
ー収納部１６も同様ｔこ構成されている。また上面板１
３．１４とトレー収納部１７と部間には最下位の１枚の
トレー３だけを前方番乙送る送出案内路１５ｂ及びトレ
ー３を送る送り爪２０の移動のための逃げ案内路１６
。
その凹凸によって互いに係合しないように、前後に傾斜
案内面１５ａ、１６ａが形成され、これによりトレー３
を階段のようｌこ少しづつずらしながら積み重ね収納で
きるようになっている。また前方トレー収納部１５は左
右側板１５Ａ、１５Ｂとからなり、これら側板１５Ａ、
１５Ｂは連結棒１５Ｃで一定間隔を保って連結され、ポ
ルｌ−１５Ｄで一体４こ固定されている。また後方トレ
ー収納部１６も同様ｔこ構成されている。また上面板１
３．１４とトレー収納部１７と部間には最下位の１枚の
トレー３だけを前方番乙送る送出案内路１５ｂ及びトレ
ー３を送る送り爪２０の移動のための逃げ案内路１６
。
ｂとが形成されている。
前記送り爪２０の下部は前記上面板１３．１４間の溝よ
り下方に伸びている。また上面板１３．１４の下面には
ガイドレール２１．２２が固定されている。そして、前
記送り爪２０に固定された軸２３の両側に回転自在に設
けられたローラ２４．２５が前記ガイドレール２１．２
２上に載置されている。従って、送り爪２０はガイドレ
ール２１．２２に案内されて前後方向に移動することが
できる。また送り爪２０の下端側には軸受２６．２７を
介して軸２８が回転自在に支承されている。前記底板１
０にはブロック２９が固定されており、このブロック２
９に軸受３０．３１を介して軸３２が回転自在に支承さ
れている。軸３２４こは送りアーム３３の下端が固定さ
れている。送りアーム３３の上端には溝３３ａが形成さ
れ、この溝３３ａに前記軸２８が挿入されている。
り下方に伸びている。また上面板１３．１４の下面には
ガイドレール２１．２２が固定されている。そして、前
記送り爪２０に固定された軸２３の両側に回転自在に設
けられたローラ２４．２５が前記ガイドレール２１．２
２上に載置されている。従って、送り爪２０はガイドレ
ール２１．２２に案内されて前後方向に移動することが
できる。また送り爪２０の下端側には軸受２６．２７を
介して軸２８が回転自在に支承されている。前記底板１
０にはブロック２９が固定されており、このブロック２
９に軸受３０．３１を介して軸３２が回転自在に支承さ
れている。軸３２４こは送りアーム３３の下端が固定さ
れている。送りアーム３３の上端には溝３３ａが形成さ
れ、この溝３３ａに前記軸２８が挿入されている。
また底板１０には支持板４０が固定されており、この支
持板４０にモータ４１が固定されている。
持板４０にモータ４１が固定されている。
モータ４１の出力軸には円板４２が固定されており、こ
の円板４２Ｉこ固定された軸４３にローラ４４が回転自
在に支承されている。このローラ４４は前記送りＹ−ム
３３に対応し、送り了−ム３３はばね４５で付勢されて
前記ローラ４４に押圧されている。前記円板４２に対応
して円板４２０１回転を検出する光電スイッチ４６が配
設され、この光電スイッチ４６は支持板４７を介して支
持板４０に固定されているう 次に作動について説明する。モータ４１が回転し、円板
４２が近接スイッチ４６の検出信号を利用して１回転す
る１、これにより、ロー ラ４４が旋回して送りアーム
３３が揺動し、送り爪２０によって最下位の空トレー３
を前方Ｉこ送り出し、トレー３はトｔＺ−搬送コノベア
５０に移載される１、これにより、搬送コンベア５０が
始動し、トレー ３を図示しないダイ詰め換え位置に搬
送する。そして、公知のダイピックアップ手段でウェハ
の良品ダイがトレー３に収納される。
の円板４２Ｉこ固定された軸４３にローラ４４が回転自
在に支承されている。このローラ４４は前記送りＹ−ム
３３に対応し、送り了−ム３３はばね４５で付勢されて
前記ローラ４４に押圧されている。前記円板４２に対応
して円板４２０１回転を検出する光電スイッチ４６が配
設され、この光電スイッチ４６は支持板４７を介して支
持板４０に固定されているう 次に作動について説明する。モータ４１が回転し、円板
４２が近接スイッチ４６の検出信号を利用して１回転す
る１、これにより、ロー ラ４４が旋回して送りアーム
３３が揺動し、送り爪２０によって最下位の空トレー３
を前方Ｉこ送り出し、トレー３はトｔＺ−搬送コノベア
５０に移載される１、これにより、搬送コンベア５０が
始動し、トレー ３を図示しないダイ詰め換え位置に搬
送する。そして、公知のダイピックアップ手段でウェハ
の良品ダイがトレー３に収納される。
このよう番こ、トレー３の補給はトレー収納部１７に随
時中のトレー３を積み重ねて投入すればよいので、装置
全体を停止せずζこ効率良＜トＬ／−３を補給するこき
ができる。またトレー収納部１７はトレー送り出し方向
の前後に傾斜案内面１５ａ、１６ａが形成されているの
で、上下のトレー３はずれて積み重ねられ、前方側の凸
部１と前方側の凹部２七が係合することがなく、スムー
スに送り出される。
時中のトレー３を積み重ねて投入すればよいので、装置
全体を停止せずζこ効率良＜トＬ／−３を補給するこき
ができる。またトレー収納部１７はトレー送り出し方向
の前後に傾斜案内面１５ａ、１６ａが形成されているの
で、上下のトレー３はずれて積み重ねられ、前方側の凸
部１と前方側の凹部２七が係合することがなく、スムー
スに送り出される。
なお、上記実施例は凸部１さ凹部２とを有するトレー３
に適用する場合について説明したが、凹凸部のないトレ
ーにも適用できる。しかしながら、凹凸部を有するトレ
ーが最も効果的である。
に適用する場合について説明したが、凹凸部のないトレ
ーにも適用できる。しかしながら、凹凸部を有するトレ
ーが最も効果的である。
なお、本発明の実施例はモータ４１によって送りアーム
３３を揺動させて送り爪２０を前後動させているが、エ
アシリノダ、ソレノイド等によって送り爪２ａを動作さ
せてもよい。
３３を揺動させて送り爪２０を前後動させているが、エ
アシリノダ、ソレノイド等によって送り爪２ａを動作さ
せてもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明（こよれば、効率
良くトレーの補給を行うことができる。また凹凸部を有
するトレーも直接積み重ねて送り出すことができる。。
良くトレーの補給を行うことができる。また凹凸部を有
するトレーも直接積み重ねて送り出すことができる。。
第１図はトレーの一例を示し、（ａｌは斜視図、（１〕
）は断面図、第２図は本発明になるトレーローダの一実
施例を示す正面断面図、第３図は第２図の側面断面図で
ある。 ３・・・トレー、 １５・・・前方トレー収納部、
１５ａ・・・傾斜案内面、 １６・・・後方トレー収
納部、１６ａ・・・傾斜案内面、 １７・・・トレー
収納部、２０・・・送り爪。 第１図 （０） （ｂ）
）は断面図、第２図は本発明になるトレーローダの一実
施例を示す正面断面図、第３図は第２図の側面断面図で
ある。 ３・・・トレー、 １５・・・前方トレー収納部、
１５ａ・・・傾斜案内面、 １６・・・後方トレー収
納部、１６ａ・・・傾斜案内面、 １７・・・トレー
収納部、２０・・・送り爪。 第１図 （０） （ｂ）
Claims (1)
- トレーを直接積み重ねて収納するトレー収納部と、最下
位のトレーを順に送り出す送り爪とを備えたトレーロー
ダにおいて、前記トレー収納部は上下のトレーが互いに
係合しないようにトレー送り出し方向の前後に傾斜案内
面を形成してなるトレーローダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57099966A JPS58216834A (ja) | 1982-06-12 | 1982-06-12 | トレ−ロ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57099966A JPS58216834A (ja) | 1982-06-12 | 1982-06-12 | トレ−ロ−ダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58216834A true JPS58216834A (ja) | 1983-12-16 |
Family
ID=14261409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57099966A Pending JPS58216834A (ja) | 1982-06-12 | 1982-06-12 | トレ−ロ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58216834A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0817889A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Lg Semicon Co Ltd | チップ自動ローディング装置 |
| JP2009040532A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Art Tech:Kk | パーツフィーダ |
-
1982
- 1982-06-12 JP JP57099966A patent/JPS58216834A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0817889A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-19 | Lg Semicon Co Ltd | チップ自動ローディング装置 |
| JP2009040532A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Art Tech:Kk | パーツフィーダ |
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