JPS58166437A - 指タツチ式座標検出パネルの製造方法 - Google Patents

指タツチ式座標検出パネルの製造方法

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JPS58166437A
JPS58166437A JP57049320A JP4932082A JPS58166437A JP S58166437 A JPS58166437 A JP S58166437A JP 57049320 A JP57049320 A JP 57049320A JP 4932082 A JP4932082 A JP 4932082A JP S58166437 A JPS58166437 A JP S58166437A
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electrode
electrodes
detection
film
detection panel
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JP57049320A
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Yoshimi Sugimoto
杉本　義巳
Yoshinori Miyashita
宮下　義則
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
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    • G—PHYSICS
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）”発明の技術分野 本発明は指タツチ式座標検出パネルのＩｌ！過方法の改
良に関するものである。
（ｂ）　技術の背景 最近多項目情報を入力する装置としてブラウン示 管の表Ｊ面の＃面に透明な！４！砿板な設置し、前記表
示面に表示された情報に対応する位置情報を繭−記Ｊ！
！標板を介して、前記表示面に表示された情報を確認し
ながら入力する指タツチ式座標検出バネｌしが開発され
ているのはすでに周知である。
このような指タツチ式座標検出パネルは、第１図の平向
−に示すように透明なガラス基板ｌ上ｌこ酸化インジウ
ム（Ｉｎ□０１）４こ錫（Ｓｎ）を添加した透明なイン
ジウム錫鹸化物Ｑ　ＴＯ）層が所定のピッチめ線状のＸ
電＋ＩＡ２として形成されている。そしてＭｘ電−に−
電体膜な介して直父するように所定のピッチの線状のＹ
４＠３が形成され、このＹ′１１Ｅ価とＸ電極で一定さ
れた領域をニー記Ｙ電極、Ｘ電極に連なりＩＴＯ層より
なる所定パターンの検出電極４．５が形成されている。
そしてこのような座標検出パネルをある一定の周波数で
動作させ、この検出１を極な指で接触したり、あるいは
非接触の状態にすると人体の有する対地容量で検出’Ｉ
Ｋ極の出力電圧が変動し、この出力電圧の変動を検知し
てＳ標位置を検知するよう（こしている。
（Ｃ〕　従来技術と問題点 このような指タツチ式座標検出パネルの従来の製造方法
−二ついてｇｊ述の第１図を用いて説明する。
まず透明なガラス基板、上に透明なＩＴＯｐｄを蒸着し
たのち、該１７０層１ｋＸ１Ｊｔ極２およびそれに連な
る検出電極４の所定の形状暑こなるよう・こホトリソグ
ラフィ法を用いてパターニングする。
次いで、ｔＡ基基板上口アルミナ（Ａ４０＊）よりなる
繍電体膜を蒸虐をこより形成する。
史（こ透明なＩＴＯ層を蒸着したのち、該ＩＴＯ層をＹ
電極３Ｊｄよびそれ壷こ連なる検出電極５の所定の形状
暑こなるようにホトリソグラフィ法を用いてバターニン
グする。　　− 次いでａｍ板上曇こＡＬｓ　Ｏｓの保護膜を蒸着するこ
とで、前記検出パネルを形成していた。
しかしこのような方法であると、Ｘ１１ｔｔ価およびＹ
電価を形成するために、２回の蒸着をしなければならず
、またａＡｌしたＩＴＯ層を所定のパターンに形成する
ためのホトリソグラフイエ捏も２−あり、工程が煩雑で
ある等欠点がφい。
そこで工程を簡単にするために、第２図に示すようＧこ
前記基板上にＸ電−２およびそれに連なる検出１４ｍ４
とまたｙｍ礒３とそれに連なる検出電番 −５とをＸ１１ｔ−２とＹ電極との交差部において、Ｙ
電極３をあらかじめ切断するように形成しておき、この
切断部に蒸着マスクを用いて誘電体層を局−的番こ４着
番こより形成したり、あるいは−硅酸ガラス粉末を有＠
＊Ｍに溶かしたガラスペーストをマスクを用いた印刷法
で塗布する。
その後、−ｍ４体層襄あるいはガラス膜のＹ電１１３の
両端部Ａ、Ｂ、に対応する箇所をホ）９ソグラフイ法を
用いて意ＩＩきしてから、誘電体層あるいはガラス謹上
に銀等を有ｆＩＡ薯剤に溶がした銀ベーストをマスクを
用いた印刷法で細い一電体練として形成し、錦記窓開鯉
した開孔部を介してＹｆｉ極３０両端部に接続するよう
にしている。
しかしこのような方法でも工程が煩雑で−＋ｉ紀締嵐体
膜ｊよびガラス膜を所定のパターンにアスク。
を用いて蒸着あるいは印刷法で形成するのは困離である
。　　−− （由　発明のＵ的・　　　　　一 本発明は上述した欠点を除去し、前記したＹ１１ｃ極お
よびｘｌに極のクロス部を容易に形成し１楓を短縮した
指タツチ式座標検出パネルのＩｌ造方法の提供を目的と
するものである。
（ｅ）　　発明の構成 かかる目的を達成するための本発明の指タッチ式座標検
田バネｌしのＩＩ造方法は、透明絶縁性基板上に互いに
絶縁して交差する方向に配・列された所定ピッチの轍状
のＹ電極とｘｔｔｉを設け１．２鋳紀Ｙ電極とｘｌ（極
により一定された領域内に回起Ｘ電物、ＹＩＩｔ極に連
なる分割された透明な検出電極を設けた構成の指タッ１
チ検出パヰルを製造するに際し、前記透明絶縁性基板上
にｙ＊ｉｉとそれに連なる検出ＩＥ極勘よびＸｖ１極と
それに連なる検出電極のうち削紀ｙ＊極とＸ電極とが交
差する箇所でＹ電極およびｘｔｍのいずれかを切断した
形で電極／（９−７を形成した０ち・該基板上に；ｔｔ
トｔ、＝ｐｘト膜を塗布後、前記切断された電極の所定
位置上のホトレジスト裏を窓開きしたのち、該切断部分
をまたぐように前記ホトレジスト膜上に導電性電。
極膜を、形感し切断した部分の電極を前記窓開きした開
孔部を介して接続するようにしたことを特徴□ とするものである。
（！］　発明の実施例 以下間両を用いて本発明の一実施例につき詳−に説明す
る。　、 第３図は本発明の検轡パキルの製造方法を説ｉす今ため
の特にＸ電極とＹｌ１価とがクロス亨る部分を拡大した
断面Ｅ″第“図悸そ０平面図であ艷まず前述した１２図
勘よび第、３図、第４図に示すように、透明ガラス基板
１上にＩＴＯ層を一着しその後ホトリソグラフィ法を用
いてＸ電極２３Ｌびそれに連なる検出電極４、およびＹ
電極３およびそれ昏こ連なる検出電極５を所定のパター
ンに形成する。この場合、Ｙ電極３はＸ電極２とクロス
する部分をあらかじめ切断した状態で形成する。
次いで、該基板上全面にホトレジスト膜を塗布した後、
該ホトレジストを所定のパターンにホトリソグラフィ法
を用いて意開きする。この窓開１する位置は、前述した
Ｙ電１１ｉ３上の適当な位置上に定めるとよい。第３図
、第４５０で】ｌはこのようにして形成された開孔部で
１２はこのようにして形成された開孔部を有するホトレ
ジスト族である。
その後該ホトレジスト模１２上に金または銀粉を有機溶
剤に溶かした導電性ペーストをマスクを用いて印刷して
、鉤記開孔部１１を介して下のＹ電極３に接続するよう
な導電体膜１３を形成する。このようにすれば、Ｘ電極
、Ｙ電極のクロス部分が容易に形成でき、検出パネルが
工程を簡略化して低コストで形成で診ること◆こなる。
またホトレジスト膜がＸ電極やそれに連なる検出電極、
更にＹ電極やそれに連なる検出電極上な被覆するよう番
こなり、表面保＃ｌ換の働鯉をするよう壷こなる。
一ノ　発明の効果 以上述べたよう番こ、本発明の方法により１松が短縮さ
れ、作業が容易となるので、指タツチ式座標検出パネル
が低コストで得られる利点が生ずる。
【図面の簡単な説明】
弔１図は検出パネルの平面図、１１２図は検出パネルの
形成法を示す図、第３図および第４図は本＠明の方法で
検出パネルを形成する際の１稈を説明するためのＩｌＩ
Ｆｔ７ｉｗＪおよび平面図である。 １ｇ１番こおいて、１はガラス基板、２はＸ１ｊｔ＠１
３はＹ電−１４，５は検出ｌｉｔ極、１１は開孔部、ル
はホトレジスト膜、口は導電体膜である。 第１図 第３図 第　４　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 透明絶縁性基板上に互いに絶縁して交差する方向に配列
    された線状のＹ電極とＸ電極を設け、１紀Ｙ電極とＸ電
    極により一定された領域内に前記Ｘ電極、Ｙ電極に連な
    る分割された透明な検出電極を設けた構成の指タッチ機
    出パヰＡ／な製造するに際し、前記透明絶縁性基板上に
    Ｙ電極とそれに連なる検出電ｔｉｎよびＸ電極とそれに
    連なる検出電極のうち前記Ｙ電極とＸ電極とが交差する
    箇所でＹ電極およびＸ電極のいずれかを切断した一形で
    電極パターンを形成したのち、＃Ｉ、１ＩＩＩ板上にホ
    トレジスト膜を塗布後、繭記切断魯れた電極の所定位置
    上のホトレジスト膜を意■着したのち該切断部分をまた
    ぐように鋳紀ホトレジスト膜上にｓｍ性電極膜を形成し
    切断したＳｔＯ電極を前記窓開した開孔部を介して接続
    するようにしたことを特徴とする指タツチ式座標検出パ
    ネルのＩ！、１１方法。
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