CN110515505B - 一种触控基板及其制作方法、触控面板 - Google Patents
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Abstract
一种触控基板及其制作方法、触控面板，其中，触控基板包括：依次层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，还包括：触控走线；触控走线包括：多个平行间隔设置的第一走线和多个平行间隔设置的第二走线，第一走线和第二走线的延伸方向相同；第一走线设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，第二走线设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间；第一走线在第一绝缘层上的正投影与第二走线在第一绝缘层上的正投影交错。本申请中的触控走线中包括位置交错的双层走线，能够使得触控屏的边框变窄，进而满足了触控屏窄边框的设计需求。
Description
技术领域
本文涉及触控技术，具体涉及一种触控基板及其制作方法、触控面板。
背景技术
随着触控技术的飞速发展，触摸基板应用越来越广泛，基于市场需求，触摸基板也越来越趋向于窄边框。具体的，触摸基板包括触控电极和用于为触控电极提供信号的触控走线，其中，触控走线分布在触摸基板的四周，相关技术中的触控屏采用金属走线作为触控走线，触控走线包括：多个间隔设置的走线。
经发明人研究发现，相关技术中触控屏中的走线区占据边框比例较大，使得触控屏的边框较宽，导致触控屏无法满足窄边框的设计需求。
发明内容
本申请提供了一种触控基板及其制作方法、触控面板，能够减少触控屏的边框，以解决相关技术中的触摸基板不能满足窄边框的设计要求的缺陷。
第一方面，本申请提供了一种触控基板，包括：依次层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，还包括：触控走线；所述触控走线包括：多个平行间隔设置的第一走线和多个平行间隔设置的第二走线，所述第一走线和所述第二走线的延伸方向相同；
所述第一走线设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，所述第二走线设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间；所述第一走线在第一绝缘层上的正投影与所述第二走线在第一绝缘层上的正投影交错。
可选地，第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第二走线在第一绝缘层上的正投影之间，或者，第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第一走线在第一绝缘层上的正投影之间；
其中，i为大于或者等于1的正整数，相邻第二走线之间的距离等于第一走线的宽度，相邻第一走线之间的距离等于第二走线的宽度。
可选地，所述触控走线还包括：用于与第一走线或第二走线电连接的多个连接电极；所述第一绝缘层上设有第一过孔，所述第二绝缘层上设有第二过孔，所述第一过孔在第一绝缘层上的正投影与所述第二过孔在第一绝缘层上的正投影重合；所述连接电极在第三绝缘层上的正投影覆盖所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影，且所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影位于所述连接电极在第三绝缘层上的正投影的边缘；
其中，所述连接电极包括：第一连接部和第二连接部；所述第一连接部贯穿第一过孔，所述第二连接部贯穿第二过孔，且与第一连接部连接。
可选地，所述连接电极的数量等于第一走线和第二走线的数量之和，且多个连接电极之间相互绝缘；
所述第一走线、所述第二走线和所述连接电极的制作材料为金属。
可选地，所述第三绝缘层上设有第三过孔，所述第三过孔在第一绝缘层上的正投影与所述连接电极在第一绝缘层上的正投影不重叠。
可选地，所述触控基板包括：交错设置的驱动电极和感应电极以及用于向驱动电极提供信号的驱动走线和用于向感应电极提供信号的感应走线；所述驱动电极包括多个驱动子电极，所述感应电极包括多个感应子电极，驱动走线和/或感应走线为触控走线；
所述驱动走线中的连接电极与驱动电极中的驱动子电极一一对应，驱动走线中的每个连接电极与对应的驱动子电极连接，所述感应走线中的连接电极与感应电极中的感应子电极一一对应，感应走线中的每个连接电极与对应的感应子电极连接；
其中，所述驱动走线沿第一方向设置，所述感应走线沿第二方向设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
可选地，所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层采用同一掩膜板制成。
可选地，所述触控基板还包括：位于所述第一绝缘层远离所述第二绝缘层的一侧的黑矩阵层；
所述黑矩阵层在第一绝缘层上的正投影覆盖所述触控走线在第一绝缘层上的正投影。
第二方面，本申请还提供一种触控面板，包括：上述触控基板。
第三方面，本申请还提供一种触控基板的制作方法，用于制作上述触控基板，所述方法包括：
形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层上形成多个平行间隔设置的第一走线；
在所述第一走线上形成第二绝缘层；
在所述第二绝缘层上形成多个平行间隔设置的第二走线；
在所述第二走线上形成第三绝缘层。
可选地，所述形成第一绝缘层包括：采用预设掩膜板形成设有第一过孔的第一绝缘层；
所述在所述第一绝缘层上形成多个平行间隔设置的第一走线包括：在第一绝缘层上采用相同制程形成多个平行间隔设置的第一走线和第一连接部；
所述在所述第一走线上形成第二绝缘层包括：采用预设掩膜板在所述第一走线上形成设有第二过孔的第二绝缘层；
所述在所述第二绝缘层上形成多个平行间隔设置的第二走线包括：在所述第二绝缘层上采用相同制程形成多个间隔设置的第二走线和第二连接部；
所述在所述第二走线上形成第三绝缘层包括：将预设掩膜板平移，采用平移后的预设掩膜板在第二走线上形成设有第三过孔的第三绝缘层。
本申请提供一种触控基板及其制作方法、触控面板，其中，触控基板包括：依次层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，还包括：触控走线；触控走线包括：多个平行间隔设置的第一走线和多个平行间隔设置的第二走线，第一走线和第二走线的延伸方向相同；第一走线设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，第二走线设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间；第一走线在第一绝缘层上的正投影与第二走线在第一绝缘层上的正投影交错。本申请中的触控走线中包括位置交错的双层走线，能够使得触控屏的边框变窄，进而满足了触控屏窄边框的设计需求。
本申请的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请而了解。本申请的其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所描述的方案来实现和获得。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案，并不构成对本申请技术方案的限制。
图1为本申请实施例提供的触控基板的截面图一；
图2为本申请实施例提供的触控基板的截面图二；
图3为本申请实施例提供的触控走线的部分俯视图；
图4为本申请实施例提供的触控基板的俯视图一；
图5为本申请实施例提供的触控基板的俯视图二；
图6为本申请实施例提供的触控基板的截面图三；
图7A为本申请实施例提供的第一走线与触控电极的连接剖面图；
图7B为本申请实施例提供的第二走线与触控电极的连接剖面图；
图8为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的流程图；
图9A为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的示意图一；
图9B为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的示意图二；
图9C为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的示意图三；
图9D为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的示意图四。
具体实施方式
本申请描述了多个实施例，但是该描述是示例性的，而不是限制性的，并且对于本领域的普通技术人员来说显而易见的是，在本申请所描述的实施例包含的范围内可以有更多的实施例和实现方案。尽管在附图中示出了许多可能的特征组合，并在具体实施方式中进行了讨论，但是所公开的特征的许多其它组合方式也是可能的。除非特意加以限制的情况以外，任何实施例的任何特征或元件可以与任何其它实施例中的任何其他特征或元件结合使用，或可以替代任何其它实施例中的任何其他特征或元件。
本申请包括并设想了与本领域普通技术人员已知的特征和元件的组合。本申请已经公开的实施例、特征和元件也可以与任何常规特征或元件组合，以形成由权利要求限定的独特的发明方案。任何实施例的任何特征或元件也可以与来自其它发明方案的特征或元件组合，以形成另一个由权利要求限定的独特的发明方案。因此，应当理解，在本申请中示出和/或讨论的任何特征可以单独地或以任何适当的组合来实现。因此，除了根据所附权利要求及其等同替换所做的限制以外，实施例不受其它限制。此外，可以在所附权利要求的保护范围内进行各种修改和改变。
此外，在描述具有代表性的实施例时，说明书可能已经将方法和/或过程呈现为特定的步骤序列。然而，在该方法或过程不依赖于本文所述步骤的特定顺序的程度上，该方法或过程不应限于所述的特定顺序的步骤。如本领域普通技术人员将理解的，其它的步骤顺序也是可能的。因此，说明书中阐述的步骤的特定顺序不应被解释为对权利要求的限制。此外，针对该方法和/或过程的权利要求不应限于按照所写顺序执行它们的步骤，本领域技术人员可以容易地理解，这些顺序可以变化，并且仍然保持在本申请实施例的精神和范围内。
除非另外定义，本发明实施例公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明实施例中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述的对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
图1为本申请实施例提供的触控基板的截面图一，图2为本申请实施例提供的触控基板的截面图二，图3为本申请实施例提供的触控走线的部分俯视图，如图1-3所示，本申请实施例提供的触控基板包括：依次层叠设置的第一绝缘层10、第二绝缘层20和第三绝缘层30，还包括：触控走线40；触控走线40包括：多个平行间隔设置的第一走线41和多个平行间隔设置的第二走线42，第一走线41和第二走线42的延伸方向相同。
具体的，第一走线41设置在第一绝缘层10和第二绝缘层20之间，第二走线42设置在第二绝缘层20和第三绝缘层30之间；第一走线41在第一绝缘层10上的正投影与第二走线42在第一绝缘层10上的正投影交错。
可选地，第一走线41和第二走线42的制作材料为金属，其中，金属包括：铜、铝、银、钼铝钼、银铜合金、铜镍合金等，本申请实施例对此不作任何限定。
可选地，第一绝缘层10、第二绝缘层20和第三绝缘层30的制作材料为流动性较好的绝缘材料，例如树脂等，不仅能够使得第一走线和第二走线绝缘，还用于能够固定并保护第一走线和第二走线。需要说明的，第一绝缘层10、第二绝缘层20和第三绝缘层30的制作材料可以相同，也可以不同，本申请实施例对此不作任何限定。
可选地，第一走线41在第一绝缘层10上的正投影与第二走线42在第一绝缘层10上的正投影的交错方式可以为任意方式，只要第一走线和第二走线的位置交错即可，本申请实施例对此不作任何限定。
本申请实施例提供的触控基板中的触控走线包括：双层设置的第一走线和第二走线，且第一走线的位置与第二走线的位置交错，相比于相关技术中单层设置的触控走线，减少了触控走线的宽度。
可选地，本申请实施例中的触控基板为电容式触摸基板(One Glass Metal Mesh，简称OGM)。
本申请实施例提供的触控基板包括：依次层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，还包括：触控走线；触控走线包括：多个平行间隔设置的第一走线和多个平行间隔设置的第二走线，第一走线和第二走线的延伸方向相同；第一走线设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，第二走线设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间；第一走线在第一绝缘层上的正投影与第二走线在第一绝缘层上的正投影交错。本申请中的采用包括双层走线的触控走线，使得触控屏的边框变窄，进而满足了触控屏窄边框的设计需求。
优选地，第一走线和第二走线的交错方式可以为：第i个第一走线在第一绝缘层10上的正投影位于第i个第二走线在第一绝缘层10上的正投影和第i+1个第二走线在第一绝缘层10上的正投影之间，或者，第一走线和第二走线的交错方式还可以为：第i个第二走线在第一绝缘层10上的正投影位于第i个第一走线在第一绝缘层10上的正投影和第i+1个第一走线在第一绝缘层10上的正投影之间，其中，i为大于或者等于1的正整数。
需要说明的是，图1是以第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第二走线在第一绝缘层上的正投影之间为例进行说明的，图2是以第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第一走线在第一绝缘层上的正投影之间为例进行说明的。
优选地，为了使得触控屏的边框进一步变窄，相邻第二走线之间的距离L2等于第一走线的宽度W1，也就是说，第i个第一走线在第一绝缘层10上的正投影与第i个第二走线在第一绝缘层10上的正投影之间的距离和第i个第一走线在第一绝缘层10上的正投影与第i+1个第二走线在第一绝缘层10上的正投影之间的距离等于0。
优选地，为了使得触控屏的边框进一步变窄，相邻第一走线之间的距离L1等于第二走线的宽度W2，也就是说，第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影与第i个第一走线在第一绝缘层10上的正投影之间的距离和第i个第二走线在第一绝缘层10上的正投影和第i+1个第一走线在第一绝缘层10上的正投影之间的距离等于0。
需要说明的是，受限于工艺精度，第一走线和第二走线有错位偏移现象，因此，第一走线和第二走线不可避免会存在缝隙或者重叠的现象。
需要说明的是，为了保证触控的效果，第一走线41的宽度和第二走线42的宽度相等，且均为10～20微米，优选地，第一走线41的宽度和第二走线42的宽度为15微米。
可选地，如图1和2所示，本申请实施例提供的触控基板还包括：接地走线60，其中，接地走线60与第一走线41同层设置。
可选地，图4为本申请实施例提供的触控基板的俯视图一，图5为本申请实施例提供的触控基板的俯视图二，结合图1、2、4和5，本申请实施例提供的触控基板中的触控走线40还包括：用于与第一走线41或第二走线42电连接的多个连接电极50；第一绝缘层10上设有第一过孔100，第二绝缘层20上设有第二过孔200。
具体的，第一过孔100在第一绝缘层10上的正投影与第二过孔200在第一绝缘层10上的正投影重合；连接电极50在第三绝缘层30上的正投影覆盖第一过孔100在第三绝缘层30上的正投影，且第一过孔100在第三绝缘层30上的正投影位于连接电极50在第三绝缘层30上的正投影的边缘。
其中，连接电极50包括：第一连接部51和第二连接部52；第一连接部51贯穿第一过孔100，第二连接部52贯穿第二过孔200，且与第一连接部51连接。
具体的，第一连接部51与第一走线41同层设置，第二连接部52与第二走线42同层设置。
可选地，为了保证连接电极50中第一连接部51和第二连接52能够电连接，本申请实施例中，连接电极50覆盖的第一过孔的数量为多个，其中，第一过孔的数据根据连接电极的尺寸来限定，本申请实施例对此不作任何限定。需要说明的是，图4是以每个连接电极50覆盖四个第一过孔100(第二过孔200)为例进行说明的。
本实施例中，触控电极中的连接电极50的数量等于第一走线41和第二走线42的数量之和，且多个连接电极50之间相互绝缘。具体的，每个连接电极用于连接一个第一走线或者一个第二走线，不同连接电极用于连接不同的走线，本申请实施例提供的触控走线中的连接电极的结构能够无论触控电极设置在哪个膜层，触控走线中的第一走线或第二走线均能够与连接电极连接。
可选地，连接电极50的制作材料为金属，本申请实施例对此不作任何限定。优选地，为了简化制作工艺，第一连接部51的制作材料为第一走线41的制作材料相同，第二连接部52的制作材料与第二走线42的制作材料相同。
需要说明的是，图4是以沿走线沿不同方向延伸的两个触控走线为例进行说明的。
可选地，连接电极50的横截面的形状可以为方形、矩形或者椭圆形，本申请实施例对此不作任何限定，需要说明的是，图4和图5均是连接电极50的横截面的形状为方形为例进行说明的。
可选地，第一过孔100和第二过孔200的横截面可以为尺寸20um*20um的方形，或者其他尺寸的其他形状，本申请实施例对此不作任何限定。相邻第一过孔之间的距离为30～50微米，本申请实施例对此不作任何限定。
可选地，如图1、2和4所示，本申请实施例提供的触控基板中的第三绝缘层30上设有第三过孔300，第三过孔300在第一绝缘层10上的正投影与连接电极50在第一绝缘层10上的正投影不重叠。
本申请中第三绝缘层中的第三过孔并未暴露出连接电极50，保证了连接电极50具有绝缘层的保护，从而避免连接电极50被腐蚀。
为了触控基板的节省制作成本，本实施例中的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层采用同一掩膜板制成。本申请实施例提供的触控基板能够在不增加成本的基础上实现触控屏的窄边框。
图5是以第一走线和第二走线的线宽均为15微米，且相邻第二走线之间的距离等于第一走线的宽度，相邻第一走线之间的距离等于第二走线的宽度为例制作的触控基板，其中，本申请实施例提供的触控基板中的触控走线的宽度为0.69小于相关技术中的触控走线中所有走线的宽度1.37mm，如图5所示，接地走线60与触控走线之间的距离0.33毫米、接地走线60与触控基板的边缘E之间的距离为0.4毫米，靠近连接电极最近的走线与连接电极远离走线的一侧之间的距离为0.13mm。根据上述参数可知，本申请实施例提供的触控基板与相关技术提供的触控基板相比，边框变窄了，能够满足对触控触控屏的窄边框的设计需求。
可选地，图6为本申请实施例提供的触控基板的截面图三，如图6所示，本申请实施例提供的触控基板还包括：位于第一绝缘层10远离第二绝缘层20的一侧的黑矩阵层70；其中，黑矩阵层70在第一绝缘层10上的正投影覆盖触控走线40在第一绝缘层10上的正投影。
本实施例中，黑矩阵层70用于遮挡触控走线，避免触控走线能够被人眼看到。
进一步地，本实施例提供的触控基板还包括：交错设置的驱动电极和感应电极以及用于向驱动电极提供信号的驱动走线和用于向感应电极提供信号的感应走线；驱动电极包括多个驱动子电极，感应电极包括多个感应子电极。
其中，驱动走线和/或感应走线为触控走线；驱动走线中的连接电极与驱动电极中的驱动子电极一一对应，驱动走线中的每个连接电极与对应的驱动子电极连接，感应走线中的连接电极与感应电极中的感应子电极一一对应，感应走线中的每个连接电极与对应的感应子电极连接。其中，连接电极用于将走线中的信号提供给对应的子电极中。
其中，驱动电极和感应电极均为触控电极。
其中，驱动子电极的个数与驱动走线中的连接电极的个数相同，感应子电极的个数与感应走线中的连接电极的个数相同，驱动子电极的个数与感应子电极的个数可以相同，也可以不同，具体根据触控精度的要求确定，本申请实施例对此不作任何限定。
其中，驱动走线沿第一方向设置，感应走线沿第二方向设置，第一方向和第二方向相互垂直，可选地，第一方向为列反向，第二方向为行方向。
其中，驱动电极可以设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间，还可以设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，当驱动电极设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间时，感应电极设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，此时，驱动电极与第二走线同层设置，感应电极与第一走线同层设置，当驱动电极设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间时，感应电极设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间，此时，驱动电极与第一走线同层设置，感应电极与第二走线同层设置，本申请实施例对此不作任何限定。
优选地，感应电极设置在靠近触摸物品(例如，用户的手指)的一侧，这样有利于提高触控的灵敏度。
本实施例中，感应电极和驱动电极的制作材料为金属，由于金属的导电性能好，且电阻值远比氧化铟锡的低，因此使用金属材料制作触控电极，可以很大程度降低了电阻值，使得触摸基板的触控更加灵敏、更加精准。
以触控走线为驱动走线为例，驱动电极包括：多个子电极，触控走线包括的第一走线和第二走线的数量之和等于驱动子电极包括的子电极的数量，其中，第i个第一走线分别与第2i-1个子电极连接，第i个第二走线分别与第2i个子电极连接，或者，第i个第二走线分别与第2i-1个子电极连接，第i个第一走线分别与第2i个子电极连接，具体根据驱动电极设置的位置所确定，本申请实施例对此不作任何限定。
以触控走线为驱动走线，触控电极为驱动电极，且驱动电极设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间为例，图7A为本申请实施例提供的第一走线与触控电极的连接剖面图，图7B为本申请实施例提供的第二走线与触控电极的连接剖面图，如图7A所示，本申请实施例提供的触控基板中，第一走线41通过连接电极50与触控电极80连接，如图7B所示，本申请实施例提供的触控基板中，第二走线42通过连接电极50与触控电极80连接。
基于同一发明构思，本申请一些实施例还提供一种触控基板的制作方法，用于制作前述实施例提供的触控基板，图8为本申请实施例提供的触控基板的制作方法的流程图，如图8所示，本申请实施例提供的触控基板的制作方法具体包括以下步骤：
步骤S1、形成第一绝缘层。
具体的，步骤S1包括：采用预设掩膜板形成设有第一过孔的第一绝缘层。
步骤S2、在第一绝缘层上形成多个平行间隔设置的第一走线。
具体的，步骤S2包括：在第一绝缘层上采用相同制程形成多个平行间隔设置的第一走线和第一连接部。
步骤S3、在第一走线上形成第二绝缘层。
具体的，步骤S3包括：采用预设掩膜板在第一走线上形成设有第二过孔的第二绝缘层。
步骤S4、在第二绝缘层上形成多个平行间隔设置的第二走线。
具体的，步骤S3包括：在第二绝缘层上采用相同制程形成多个间隔设置的第二走线和第二连接部
步骤S5、在第二走线上形成第三绝缘层。
具体的，步骤S5包括：将预设掩膜板平移，采用平移后的预设掩膜板在第二走线上形成设有第三过孔的第三绝缘层。
可选地，将预设掩膜板的平移方向与触控走线设置的位置有关，若触控走线设置在触控基板的左侧和下方，则预设掩膜板向左向下平移，若触控走线设置在触控基板的右侧和下方，则预设掩膜板向右向下平移。预设掩膜板平移的距离小于阈值距离，其中，阈值距离大于第一过孔的长度和宽度中的最大值，当第一过孔的长度和宽度均为20微米时，此时，阈值可以为30微米，或者其他大于20微米的数值，本申请实施例对此不作任何限定。
其中，触控基板为前述实施例提供的触控基板，其实现原理和实现效果类似，在此不再赘述。
本实施例中，第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层为同一掩膜板经过构图工艺所得，其中，第一过孔和第二过孔的形状、尺寸以及位置均相同。
其中，本申请实施例提供的触控基板的制作方法，还包括：在第一绝缘层上形成接地走线。
本实施例中，构图工艺为包括：光刻胶涂覆、曝光、显影、刻蚀和光刻胶剥离等工艺，下面结合图9A～9D，进一步说明本申请实施例提供的触控基板的制作方法。
步骤101、采用预设掩膜板形成设有第一过孔100的第一绝缘层10，具体如图9A所示。
步骤102、在第一绝缘层10上采用相同制程形成多个平行间隔设置的第一走线41、接地走线60和第一连接部51，具体如图9B所示。
具体的，通过构图工艺形成第二走线和第二连接部。
步骤103、采用预设掩膜板在第一走线41上形成设有第二过孔200的第二绝缘层20，具体如图9C所示。
步骤104、在第二绝缘层20上采用相同制程形成多个间隔设置的第二走线42和第二连接部52，具体如图9D所示。
具体的，通过构图工艺形成第二走线和第二连接部。
步骤S5、将预设掩膜板平移，采用平移后的预设掩膜板在第二走线上形成设有第三过孔300的第三绝缘层，具体如图1和2所示。
基于同一发明构思，本申请实施例还提供一种触控面板，该触控面板包括：触控基板。
本实施例中，当触控面板应用与显示面板中时，第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层覆盖整个显示面板。其中，第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层仅在非显示区域、商标区域、摄像头孔、发光二极管孔以及感应孔处设置有开孔。
可选地，显示面板可以为液晶显示面板或者有机发光二极管显示面板，或者其他显示基板，本申请实施例对此不作任何限定。
其中，触控基板为前述实施例提供的触控基板，其实现原理和实现效果类似，在此不再赘述。
本发明实施例附图只涉及本发明实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。
为了清晰起见，在用于描述本发明的实施例的附图中，层或微结构的厚度和尺寸被放大。可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (8)
1.一种触控基板，其特征在于，包括：依次层叠设置的第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，还包括：触控走线；所述触控走线包括：多个平行间隔设置的第一走线和多个平行间隔设置的第二走线，所述第一走线和所述第二走线的延伸方向相同；
所述第一走线设置在第一绝缘层和第二绝缘层之间，所述第二走线设置在第二绝缘层和第三绝缘层之间；所述第一走线在第一绝缘层上的正投影与所述第二走线在第一绝缘层上的正投影交错；
所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层采用同一掩膜板制成；
所述触控走线还包括：用于与第一走线或第二走线电连接的多个连接电极；所述第一绝缘层上设有第一过孔，所述第二绝缘层上设有第二过孔，所述第三绝缘层上设有第三过孔；
所述第一过孔在第一绝缘层上的正投影与所述第二过孔在第一绝缘层上的正投影重合；所述连接电极在第三绝缘层上的正投影覆盖所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影，且所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影位于所述连接电极在第三绝缘层上的正投影的边缘；所述第三过孔在第一绝缘层上的正投影与所述连接电极在第一绝缘层上的正投影不重叠。
2.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第二走线在第一绝缘层上的正投影之间，或者，第i个第二走线在第一绝缘层上的正投影位于第i个第一走线在第一绝缘层上的正投影和第i+1个第一走线在第一绝缘层上的正投影之间；
其中，i为大于或者等于1的正整数，相邻第二走线之间的距离等于第一走线的宽度，相邻第一走线之间的距离等于第二走线的宽度。
3.根据权利要求1所述的触控基板，其特征在于，所述连接电极包括：第一连接部和第二连接部；所述第一连接部贯穿第一过孔，所述第二连接部贯穿第二过孔，且与第一连接部连接。
4.根据权利要求3所述的触控基板，其特征在于，所述连接电极的数量等于第一走线和第二走线的数量之和，且多个连接电极之间相互绝缘；
所述第一走线、所述第二走线和所述连接电极的制作材料为金属。
5.根据权利要求3所述的触控基板，其特征在于，所述触控基板包括：交错设置的驱动电极和感应电极以及用于向驱动电极提供信号的驱动走线和用于向感应电极提供信号的感应走线；所述驱动电极包括多个驱动子电极，所述感应电极包括多个感应子电极，驱动走线和/或感应走线为触控走线；
所述驱动走线中的连接电极与驱动电极中的驱动子电极一一对应，驱动走线中的每个连接电极与对应的驱动子电极连接，所述感应走线中的连接电极与感应电极中的感应子电极一一对应，感应走线中的每个连接电极与对应的感应子电极连接；
其中，所述驱动走线沿第一方向设置，所述感应走线沿第二方向设置，所述第一方向和所述第二方向相互垂直。
6.根据权利要求1～5任一项所述的触控基板，其特征在于，所述触控基板还包括：位于所述第一绝缘层远离所述第二绝缘层的一侧的黑矩阵层；
所述黑矩阵层在第一绝缘层上的正投影覆盖所述触控走线在第一绝缘层上的正投影。
7.一种触控面板，其特征在于，包括：如权利要求1～6任一项所述触控基板。
8.一种触控基板的制作方法，其特征在于，用于制作如权利要求1～6任一项所述的触控基板，所述方法包括：
形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层上形成多个平行间隔设置的第一走线；
在所述第一走线上形成第二绝缘层；
在所述第二绝缘层上形成多个平行间隔设置的第二走线；
在所述第二走线上形成第三绝缘层；
所述形成第一绝缘层包括：采用预设掩膜板形成设有第一过孔的第一绝缘层；
所述在所述第一绝缘层上形成多个平行间隔设置的第一走线包括：在第一绝缘层上采用相同制程形成多个平行间隔设置的第一走线和第一连接部；
所述在所述第一走线上形成第二绝缘层包括：采用预设掩膜板在所述第一走线上形成设有第二过孔的第二绝缘层；
所述在所述第二绝缘层上形成多个平行间隔设置的第二走线包括：在所述第二绝缘层上采用相同制程形成多个间隔设置的第二走线和第二连接部；
所述在所述第二走线上形成第三绝缘层包括：将预设掩膜板平移，采用平移后的预设掩膜板在第二走线上形成设有第三过孔的第三绝缘层；
第一连接部和第二连接部构成连接电极，所述第一过孔在第一绝缘层上的正投影与所述第二过孔在第一绝缘层上的正投影重合；所述连接电极在第三绝缘层上的正投影覆盖所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影，且所述第一过孔在第三绝缘层上的正投影位于所述连接电极在第三绝缘层上的正投影的边缘；所述第三过孔在第一绝缘层上的正投影与所述连接电极在第一绝缘层上的正投影不重叠。
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