JP2010182027A - タッチパネル及びタッチパネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造時のプロセスを低減しながら簡便な処理で製造が可能なタッチパネルを構成する。
【解決手段】透明基板10に、第1方向Xの方向に電気的に接続する複数の第1電極面21Sを形成し、独立した第2電極面22Sを形成し、これらの上面にコンタクトホール30Hが形成された透明絶縁膜30を形成する。この透明絶縁膜30の表面に導電膜50を形成することでコンタクトホール30Hを介して第2方向Yでの第2電極面22S同士を導通させる。複数のコンタクトホール30Hは、第1方向Xと直交する第2方向Yの間隔が狭く、これより第1方向Xの距離が広くなるように配置され、第1方向Xより第2方向Yでの電気抵抗を小さくしている。
【選択図】図2
【解決手段】透明基板10に、第1方向Xの方向に電気的に接続する複数の第1電極面21Sを形成し、独立した第2電極面22Sを形成し、これらの上面にコンタクトホール30Hが形成された透明絶縁膜30を形成する。この透明絶縁膜30の表面に導電膜50を形成することでコンタクトホール30Hを介して第2方向Yでの第2電極面22S同士を導通させる。複数のコンタクトホール30Hは、第1方向Xと直交する第2方向Yの間隔が狭く、これより第1方向Xの距離が広くなるように配置され、第1方向Xより第2方向Yでの電気抵抗を小さくしている。
【選択図】図2
Description
本発明は、複数の第1電極面を第1方向に沿って電気的に接続した第1電極を複数備えて第1電極群が構成され、複数の第2電極を前記第1方向と直交する第2方向に沿って電気的に接続した第2電極面を複数備えて第2電極群が構成されている静電容量式のタッチパネル及びタッチパネルの製造方法に関する。
上記のように構成されたタッチパネルとして特許文献1には、透明なパネルの表面側にX列電極が形成され、パネルの裏面側にX列電極と直交する方向にY列電極が形成された静電容量式のタッチパネル入力装置が示されている。X列電極とY列電極とは位置ずれする関係で配設され、指を接触させた場合のX列電極とY列電極との静電容量の変化から指の位置を特定する。
また、タッチパネルとして特許文献2には、透明基板上に容量式タッチデバイスと、界面構造と、ディスプレイ装置とが積層された構成が示されている。この特許文献2の第一の態様では、透明基板上に積層された第一導電パターンと、第一配線と、これらを被覆する誘電体層と、この誘電体層の上に積層された第二導電パターンと、第二配線とを含んでいる。第一導電パターンには第一検出ブロックがアレイ方式に従って多数配置され、第二導電パターンには第二導電ブロックがアレイ方式に従って多数配置されている。
特に、この特許文献2の第二の態様では、透明基板上に積層された第一導電パターンと、第一配線と、第二導電パターンと、これらを被覆する誘電体層と、この誘電体層の上に積層された第二配線とを含んでいる。第一導電パターンには第一検出ブロックがアレイ方式に従って多数配置され、第二導電パターンには第二導電ブロックがアレイ方式に従って多数配置され、第二配線は誘電体層を通る導電プラグを介して第二導電ブロックに接続している。
特許文献1に記載されるタッチパネルでは、基板の表裏両面に対して電極を形成する構造であることから、基板の表面に対して電極を形成するプロセスと、基板の裏面に対して電極を形成するプロセスとを必要とする。従って、2回のプロセスを行うために時間を要するだけではなく、製造工程の複雑化を招くものであった。
また、特許文献2の第一の態様では、基板の一方の面に電極を形成するため、2回のプロセスを必要としない。特に、この特許文献2の第二の態様では、基板の一方の面に第一導電パターンと第二導電パターンとを形成するため、特許文献1に記載されるもののように基板の両面に電極を形成するものや、特許文献2の第一の態様のように第一導電パターンを基板に形成し、第二導電パターンを誘電体層に形成するものと比較すると、第一導電パターンと第二導電パターンとの相対的な位置精度を高くするものである。
その反面、この第二の態様では、誘電体層に導電プラグを形成し、この導電プラグを介して第二導電ブロックと第二配線を接続する構造であるため、導電プラグを形成するためのプロセスを必要とするばかりでなく、第二配線の形成に精度を必要とする点において改善の余地がある。
本発明の目的は、プロセスを低減しながら簡便な処理で製造が可能なタッチパネル及びその製造方法を構成する点にある。
本発明の特徴は、複数の第1電極面を第1方向に沿って電気的に接続した第1電極を複数備えて第1電極群が構成され、複数の第2電極を前記第1方向と直交する第2方向に沿って電気的に接続した第2電極面を複数備えて第2電極群が構成されている静電容量式のタッチパネルであって、
透明基板の一方の面に、前記第1方向に沿って電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とが透明導電材料によって形成され、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを形成した透明絶縁膜が、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成され、
前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜が前記透明絶縁膜の表面に形成されている点にある。
透明基板の一方の面に、前記第1方向に沿って電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とが透明導電材料によって形成され、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを形成した透明絶縁膜が、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成され、
前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜が前記透明絶縁膜の表面に形成されている点にある。
この構成によると、透明基板の一方の面に電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とが透明導電材料によって形成され、これらを覆う位置に透明絶縁膜が形成され、更に、透明絶縁膜の表面に形成される導電膜が、透明絶縁膜のコンタクトホールを介して第2電極面同士を導通させることになる。つまり、透明絶縁膜に対してコンタクトホールを形成し、透明絶縁膜の表面に対して導電膜を形成することにより、コンタクトホール部分に導電材料を埋め込む等の処理を行わずとも、複数の第2電極面を電気的に接続することが可能となる。従って、プロセスを低減しながら簡便な処理で製造が可能なタッチパネルが構成された。
本発明は、複数の前記コンタクトホールのうち、前記第1方向に並ぶものの距離より、第2方向に並ぶものの距離を短く設定すると共に、前記透明絶縁膜の表面に対して透明導電体膜を形成することで、前記第2方向で隣り合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値を、前記第1方向で隣合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値より低く設定しても良い。
これによると、透明絶縁膜の表面の全面に対して透明導電体を形成したものでは、コンタクトホールを介して第2方向に隣接する第2電極面同士を電気的に導通させると同時に、第1方向に隣接する第2電極面同士を電気的に導通させる。しかしながら、第2方向で隣接する第2電極面の間の電気抵抗値が、第1方向で隣接する第2電極面の間の電気抵抗値より低いことから、第2電極のうち静電容量が最も大きく変化したものを検出位置として特定できる。つまり、透明基板に指等が接触した場合には、その接触位置に対応する第2電極の静電容量が変化すると同時に、隣接する第2電極の静電容量も変化することになるが、隣接する第2電極に現れる静電容量の変化は小さく、電気的な処理により、接触位置を特定することが可能となる。従って、透明絶縁膜の表面の全面に対して透明導電体を形成すると云う簡単なプロセスを用いるものでありながら、タッチ位置を正確に検出することも可能となる。
本発明は、前記透明基板の外端位置に複数の前記第1電極に接続する第1引出電極と、複数の前記第2電極に電気的に接続する第2引出電極とが形成されても良い。これによると、透明基板の外端位置に形成される第1取出電極と第2取出電極とから静電容量の変化を判別してタッチ位置の特定が可能となる。
本発明は、前記第1電極が、前記第1方向に対角線を設定した矩形又は菱形の第1電極面と、この第1電極面のうち前記第1方向で隣接するもの同士を導通させる第1導電部とを備えた構造を有しており、前記第2電極面が、前記第2方向に対角線を設定した矩形又は菱形に形成しても良い。これによると、第1電極面と第2電極面とを隣接配置しスペースの無駄を排除できる。
本発明の特徴は、複数の第1電極面を第1方向に沿って電気的に接続した第1電極を複数備えて第1電極群が構成され、複数の第2電極を前記第1方向と直交する第2方向に沿って電気的に接続した第2電極面を複数備えて第2電極群が構成されている静電容量式のタッチパネルの製造方法であって、
透明基板の一方の面に、前記第1方向に電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とを透明導電材料によって形成するパターン形成ステップと、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを有した透明絶縁膜を、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成する絶縁膜形成ステップと、
前記透明絶縁膜の表面において、前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜を形成する導電膜形成ステップとを備えている点にある。
透明基板の一方の面に、前記第1方向に電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とを透明導電材料によって形成するパターン形成ステップと、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを有した透明絶縁膜を、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成する絶縁膜形成ステップと、
前記透明絶縁膜の表面において、前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜を形成する導電膜形成ステップとを備えている点にある。
この構成によると、透明基板の一方の面に対してパターン形成ステップによって電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とを透明導電材料によって形成する。次に、絶縁膜形成ステップによってこれらを覆う位置にコンタクトホールを有した透明絶縁膜を形成する。次に、導電膜形成ステップにより透明絶縁膜の表面に導電膜を形成する。つまり、透明絶縁膜の表面に対して導電膜を形成することにより、コンタクトホール部分に導電材料を埋め込む等の処理を行わずとも、複数の第2電極面を電気的に接続する。従って、製造時のプロセスを低減しながら簡便な処理で製造が可能なタッチパネルの製造方法が構成された。
本発明は、前記絶縁膜形成ステップが、前記第1方向に隣接する前記コンタクトホール同士の距離より、第2方向に隣接する前記コンタクトホール同士の距離を短くする位置関係で前記コンタクトホールを形成し、前記導電膜形成ステップが、前記透明絶縁膜の表面の全面に対して、透明導電体を形成することにより、前記第2方向で隣り合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値が、前記第1方向で隣合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値より低く設定されても良い。
これによると、透明絶縁膜の表面の全面に対して透明導電体を形成したものでは、コンタクトホールを介して第2方向に隣接する第2電極面同士を電気的に導通させると同時に、第1方向に隣接する第2電極面同士を電気的に導通させる。しかしながら、第2方向で隣接する第2電極面の間の電気抵抗値が、第1方向で隣接する第2電極面の間の電気抵抗値より低いことから、第2電極のうち静電容量が最も大きく変化したものを検出位置として特定できる。つまり、透明基板に指等が接触した場合には、その接触位置に対応する第2電極の静電容量が変化すると同時に、隣接する第2電極の静電容量も変化することになるが、隣接する第2電極に現れる静電容量の変化は小さく、電気的な処理により、接触位置を特定することが可能となる。
本発明は、前記絶縁膜形成ステップの後に、前記透明基板の外端位置に複数の前記第1電極に接続する第1引出電極と、複数の前記第2電極に電気的に接続する第2引出電極とを形成する引出電極形成ステップの処理が行われても良い。これによると、引出電極形成ステップの処理により透明基板の外端位置に第1取出電極と第2取出電極とを形成することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〔全体構成〕
図1〜図4に示すように、静電容量式のタッチパネルは、ガラスや樹脂で成り電気的な絶縁体となる透明基板10の一方の面に第1方向Xに沿って複数の第1電極21を備えた第1電極群が形成されると共に、第1方向Xと直交する第2方向Yに沿って複数の第2電極22を備えた第2電極群が形成されている。
〔全体構成〕
図1〜図4に示すように、静電容量式のタッチパネルは、ガラスや樹脂で成り電気的な絶縁体となる透明基板10の一方の面に第1方向Xに沿って複数の第1電極21を備えた第1電極群が形成されると共に、第1方向Xと直交する第2方向Yに沿って複数の第2電極22を備えた第2電極群が形成されている。
第1電極21は、透明基板10の一方の面に第1方向Xに沿って多数の第1電極面21Sを連続的に形成し、この第1電極面21Sを第1導電部21Tによって電気的に接続した構造を有している。第2電極22は、透明基板10の同じ面に第2方向Yに沿って多数の第2電極面22Sを連続的に形成し、これらの第2電極面22Sを導電膜50によって電気的に接続した構造を有している。
このタッチパネルは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等の表示面に対して、透明基板10を外方にして(導電膜50をディスプレイ側にして)使用される。
このタッチパネルでは、透明基板10が矩形に成形され、この透明基板の一辺を第1方向Xに沿わせ、この一辺に直交する他辺を第2方向Yに沿わせることにより、第1電極群を構成する第1電極21の複数の第1電極面21Sが第1方向Xに沿って直線的に並び、第2電極群を構成する第2電極22の第2電極面22Sが第2方向Yに沿って直線に並ぶ位置関係となる。
図面には示していないが、このタッチパネルは、指やスタイラス等の接触位置をX−Y座標系の位置情報として出力する検出回路が備えられる。この検出回路は、第1電極群を構成する複数の第1電極21と、第2電極群を構成する複数の第2電極22との間に所定の電圧信号を印加すると共に、複数の第1電極21S夫々の静電容量と、複数の第2電極22S夫々の静電容量とを計測する処理を行う。そしてタッチパネルの表面(透明基板10の表面)に対して指やスタイラス等の接触があった場合には、その接触位置に最も近い位置の第1電極面21Sと第2電極面22Sとの静電容量が大きく変化する現象から接触位置が特定されX−Y座標系の位置情報として出力する。
〔タッチパネルの構造・製造方法〕
透明基板10の一方の面に対して第1方向Xに沿って直線状の第1導電部21Tを介して電気的に接続する多数の第1電極面21Sが形成されると共に、各々が独立する複数の第2電極面22Sとが透明導電材料によって形成されている。
透明基板10の一方の面に対して第1方向Xに沿って直線状の第1導電部21Tを介して電気的に接続する多数の第1電極面21Sが形成されると共に、各々が独立する複数の第2電極面22Sとが透明導電材料によって形成されている。
第1電極面21Sは図1、図2に示す如く、正方形の形状を有し、2つ対角線のうちの1つの方向を第1方向Xに沿わせる姿勢で、複数の第1電極面21Sが直線状に配置され、この正方形の4つの角部のうち接近するもの同士を第1電極面21Sより狭幅のライン状の第1導電部21Tによって電気的に接続している。
これと同様に、第2電極面22Sも正方形の形状を有しているが、複数の第2電極面22Sは第1電極面21Sと第1導電部21Tとの何れにも接触しない独立した位置に形成される。尚、第1電極面21Sと第2電極面22Sとの形状は正方形に限る必要はなく、菱形でも良く、多角形であっても良い。
この第1電極面21Sと第1導電部21Tと第2電極面22Sとは、ITO薄膜等の透明導電材料20を用いて形成される。このように電極面等を形成する処理をパターン形成ステップと称している。このパターン形成ステップの一例として、図5(a)に示すように、透明基板10の表面にスパッタリング等の処理によりITO薄膜等の透明導電材料20の薄膜を形成し、これにレジスト膜(図示せず)を成膜し、露光・現像の処理でパターンを形成し、この後、エッチングにより不必要な透明導電材料20を除去し、レジスト膜の除去を行う処理等が行われる。
この処理を行うことにより図5(b)に示すように、第1電極面21Sと第1導電部21Tと第2電極面22Sとが形成される。このように、図5(a)に示す処理と、図5(b)に示す処理とによりパターン形成ステップが構成される。
第1電極面21Sと、第1導電部21Tと、第2電極面22Sとを覆う位置には透明絶縁膜30が形成されている。この透明絶縁膜30のうち第2電極面22Sを覆う位置で第2方向Yに沿う仮想直線上にコンタクトホール30Hが形成される。
この透明絶縁膜を形成する処理を絶縁膜形成ステップと称しており、印刷の技術が用いられることにより、図5(c)に示すように、複数のコンタクトホール30Hを有した樹脂等で成る透明絶縁膜30が形成される。尚、コンタクトホール30Hは透明絶縁膜が存在しない領域であり、このコンタクトホール30Hに対して導電膜50の一部が入り込み、第2電極面22Sに接触して導通することになる。
図1、図2に示すように、絶縁膜形成ステップで形成される複数のコンタクトホール30Hのうち、第2方向Yに並ぶもの同士の第2距離Dyを、第1方向Xに並ぶもの同士の第1距離Dxよりを短く設定している。
透明基板10の4つ辺のうち第2方向Yに沿う姿勢の1辺に対し、この1辺に隣接する複数の第1電極21に導通する第1引出電極41が形成され、これと同様に、第1方向Xに沿う姿勢の1辺に対して、この1辺に隣接する第2電極22と導通する第2引出電極42が形成されている。
このように複数の第1引出電極41と複数の第2引出電極42とを形成する処理を引出電極形成ステップと称しており、この処理を行うことにより図5(d)に示すように、電極面(同図では第2電極面22S)から透明基板10の端部に達する領域に電極(同図では第2引出電極42)が形成される。尚、これら第1引出電極41と第2引出電極42とは、金属薄膜又は銀ペーストによって形成される。この引出電極形成ステップは、絶縁膜形成ステップの後であれば良く、後述する導電膜形成ステップの次に行われても良い。
透明絶縁膜30を覆うように透明材料で成る導電膜50が、透明絶縁膜30の略全面に形成されている。この導電膜50は、所定の電気抵抗を有する性質のものが用いられ、この導電膜50がコンタクトホール30Hに入り込むことにより、このコンタクトホール30Hを介して隣接する第2電極面22S同士を電気的に接続させる。また、この導電膜50はシールド効果も現出する。
この導電膜50を形成する処理を導電膜形成ステップと称しており、図5(e)に示すように、印刷の技術や塗布の技術、あるいは、スパッタリングの技術により透明絶縁膜30の略全面に透明な導電性高分子材料を用いて形成される。
前述したように導電膜50として所定の電気抵抗を有する性質のものを用いることにより、この導電膜50のうち、第2距離Dyにおける領域の電気抵抗値を1KΩ未満にし、第1距離Dxにおける領域の電気抵抗値を10KΩ以上に設定している。
本発明では、導電膜50のうち、第2距離Dyにおける領域の電気抵抗値が、第1距離Dxにおける領域の電気抵抗値より低い値であることが検出の要件となるものであり、電気抵抗値は前述した値に限るものではない。
このように透明な導電膜50が形成されているので、透明基板10に指やスタイラス等を接触させた場合には、対応する位置の第1電極21と第2電極22とからの信号が変化し、また、この検出位置の第2電極面22Sも近傍位置の第2電極面22Sと電気的に接続するので近傍位置の第2電極22の信号も変化する。
しかしながら、近傍位置の第2電極面22Sは大きい抵抗値の導電膜50を介して電気的に接続するので、近傍位置の第2電極22の信号(電圧信号)変化は小さく、例えば、複数の第2電極22から取り込んだ信号(A/D変換後の信号)をソフトウエア的に処理し、最も大きく信号が変化した第2電極22を検出位置として抽出することにより、誤差を排除して正確な検出を実現する。
〔実施の形態の効果〕
この種のタッチパネルでは、第1導電部21Tで電気的に接続される第1電極面21Sと、第2電極面22Sとが透明基板10の同じ面に形成されることから、第1導電部21Tや第1電極面21Sとが接触することなく第2電極面22S同士を電気的に接続する導電系を必要とする。
この種のタッチパネルでは、第1導電部21Tで電気的に接続される第1電極面21Sと、第2電極面22Sとが透明基板10の同じ面に形成されることから、第1導電部21Tや第1電極面21Sとが接触することなく第2電極面22S同士を電気的に接続する導電系を必要とする。
この導電系を形成するに、本発明では、第1電極面21Sと第1導電部21Tと第2電極面22Sとを覆い、かつ、第2電極面22Sに対応する位置にコンタクトホール30Hを有する透明絶縁膜30を形成し、この透明絶縁膜30を覆うように透明な導電膜50を形成することにより、この導電膜50がコンタクトホール30Hを介して第2電極面22Sを電気的に接続している。
第2方向Yに沿って配置された第2電極面22Sを電気的に接続するには、第2電極22毎に、第2方向Yに沿って形成されたコンタクトホール30Hだけを導通させるようにベルト状の導電膜を形成することが考えられる。しかし、ベルト状の導電膜を形成するには所定の精度が必要となり、例えば、パターン形成ステップと同様にエッチング等を含む複雑な処理が必要となる。
これに対して、本発明のタッチパネルでは、透明絶縁膜30に形成されるコンタクトホール30Hの間隔を第1方向Xと第2方向Yとで異なる値に設定し、導電膜50に所定の抵抗値を有する材料を用い、この透明絶縁膜30を覆うように透明な導電膜50を形成することにより、ベルト状の導電膜を複数形成しなくとも、抵抗値の差から第2方向Yに沿う第2電極面22Sを導通させた状態での検出を可能にしている。
このように本発明のタッチパネルでは、透明基板10の両面に導電パターンを形成するものより少ない処理工程の製造方法によって製造が可能になるものであり。コンタクトホール30Hを有した透明絶縁膜30に導電膜50を形成する処理を行うと云う比較的簡単な処理で第2方向Yに沿う第2電極面22Sを導通させることを実現しており、処理工程を一層少なくして容易な製造を可能にしてコストダウンにも繋がるものである。更に、このタッチパネルの製造の処理工程は、従来からのTFT型の液晶ディスプレイ等の処理工程に使用する工程を利用することも可能であり、このタッチパネルを製造するために新たな製造ラインを構築する不都合も回避できる。
尚、本発明では、導電膜50を第2方向Yに沿う直線状のものを平行姿勢で多数形成する構成を排除するものではなく、このような導電膜50を形成するように導電膜形成ステップの処理形態を構成しても良い。この場合、コンタクトホール30Hを覆う位置に直線状の導電膜50を形成して良く、コンタクトホール30Hの直径より短い間隔でライン状となる導電膜50を形成しても良い。この導電膜50を形成することにより第2方向Yでの第2電極面22S同士の電気抵抗を低い値に維持しながら、第1方向Xでの第2電極面22S同士の電気抵抗を極めて高い値にすることが可能となる。
特に、導電膜50が広い面に形成され、しかも、この導電膜50が液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等の表示面に近接する方向に配置されるので、ディスプレイに対して外部から作用する電磁波を遮断するシールドとしての機能も奏する。
本発明のタッチパネルは、ディスプレイ全般だけではなく、例えば、オーディオ機器における音量調節用のデバイスに使用することも可能である。また、電磁波を遮断するシールドとして利用することもできる。
10 透明基板
21 第1電極
21S 第1電極面
21T 第1導電部
22 第2電極
22S 第2電極面
30 透明絶縁膜
30H コンタクトホール
50 導電膜
41 第1引出電極
42 第2引出電極
X 第1方向
Y 第2方向
Dx 距離(第1距離)
Dy 距離(第2距離)
21 第1電極
21S 第1電極面
21T 第1導電部
22 第2電極
22S 第2電極面
30 透明絶縁膜
30H コンタクトホール
50 導電膜
41 第1引出電極
42 第2引出電極
X 第1方向
Y 第2方向
Dx 距離(第1距離)
Dy 距離(第2距離)
Claims (7)
- 複数の第1電極面を第1方向に沿って電気的に接続した第1電極を複数備えて第1電極群が構成され、複数の第2電極を前記第1方向と直交する第2方向に沿って電気的に接続した第2電極面を複数備えて第2電極群が構成されている静電容量式のタッチパネルであって、
透明基板の一方の面に、前記第1方向に沿って電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とが透明導電材料によって形成され、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを形成した透明絶縁膜が、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成され、
前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜が前記透明絶縁膜の表面に形成されているタッチパネル。 - 複数の前記コンタクトホールのうち、前記第1方向に並ぶものの距離より、第2方向に並ぶものの距離を短く設定すると共に、前記透明絶縁膜の表面に対して透明導電体膜を形成することで、前記第2方向で隣り合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値が、前記第1方向で隣合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値より低く設定されている請求項1記載のタッチパネル。
- 前記透明基板の外端位置に複数の前記第1電極に接続する第1引出電極と、複数の前記第2電極に電気的に接続する第2引出電極とが形成されている請求項1又は2記載のタッチパネル。
- 前記第1電極が、前記第1方向に対角線を設定した矩形又は菱形の第1電極面と、この第1電極面のうち前記第1方向で隣接するもの同士を導通させる第1導電部とを備えた構造を有しており、前記第2電極面が、前記第2方向に対角線を設定した矩形又は菱形に形成されている請求項1〜3のいずれか一項に記載のタッチパネル。
- 複数の第1電極面を第1方向に沿って電気的に接続した第1電極を複数備えて第1電極群が構成され、複数の第2電極を前記第1方向と直交する第2方向に沿って電気的に接続した第2電極面を複数備えて第2電極群が構成されている静電容量式のタッチパネルの製造方法であって、
透明基板の一方の面に、前記第1方向に電気的に接続する複数の前記第1電極面と、各々が独立する複数の前記第2電極面とを透明導電材料によって形成するパターン形成ステップと、
前記第2電極面に重なる位置で、前記第2方向に沿う仮想直線上にコンタクトホールを有した透明絶縁膜を、この第2電極面と前記第1電極面とを覆う位置に形成する絶縁膜形成ステップと、
前記透明絶縁膜の表面において、前記コンタクトホールを介して前記第2電極面のうち前記第2方向に並ぶものを導通させる導電膜を形成する導電膜形成ステップとを備えているタッチパネルの製造方法。 - 前記絶縁膜形成ステップが、前記第1方向に隣接する前記コンタクトホール同士の距離より、第2方向に隣接する前記コンタクトホール同士の距離を短くする位置関係で前記コンタクトホールを形成し、前記導電膜形成ステップが、前記透明絶縁膜の表面の全面に対して、透明導電体を形成することにより、前記第2方向で隣り合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値が、前記第1方向で隣合うコンタクトホールの間における透明導電体の電気抵抗値より低く設定される請求項5記載のタッチパネルの製造方法。
- 前記絶縁膜形成ステップの後に、前記透明基板の外端位置に複数の前記第1電極に接続する第1引出電極と、複数の前記第2電極に電気的に接続する第2引出電極とを形成する引出電極形成ステップの処理が行われる請求項5又は6記載のタッチパネルの製造方法。
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