KR101741744B1 - 터치 패널의 전극 형성 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 투명 기판 상부에 전도성막을 형성하는 단계, 상기 전도성막 상부의 일부분에 금속막을 형성하는 단계, 상기 전도성막을 건식 식각하여 터치 패널의 내부 전극을 형성하고, 상기 금속막을 건식 식각하여 외부 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 내부 전극 및 상기 외부 전극은 상기 건식 식각에 따른 공정을 통하여 동시에 형성된다.

Description

터치 패널의 전극 형성 방법{METHOD FOR MANUFACTURING INSIDE AND OUTSIDE ELECTRODE OF TOUCH PANEL}
본 발명은 터치 패널에 구비되는 내부 전극 및 외부 전극을 형성하는 방법에 관한 것이다.
멀티미디어 기술 및 디스플레이 기술의 비약적인 발전으로 인하여, 대부분의 디스플레이 장치에서 액정표시부의 해상도가 향상되었고, 이에 따라서 디스플레이 장치에 터치 패널을 채택하는 경우가 늘어나고 있는 실정이다.
터치 패널을 채택한 디스플레이 장치는 터치 스크린을 통해서 컴퓨터와 인터페이스하여 직접 정보를 입력 또는 출력을 동시에 수행할 수 있다. 이를 위해서, 터치 패널을 채택한 디스플레이 장치는 터치 스크린에 표시되는 문자 또는 특정 위치에 사람의 손 또는 물체가 접촉되면, 터치 스크린 전체에서 해당 접촉이 발생된 위치의 좌표를 검출한다. 그리고 검출된 좌표에 대응하는 어플리케이션 등의 특정 처리가 수행된다. 즉, 터치 패널을 채택한 디스플레이 장치는 정보를 표시하는 표시부로서의 기능과 사용자의 제어 동작을 입력받는 입력부로서의 기능을 함께 제공한다.
이러한 디스플레이 장치에 채택되는 터치 패널은 여러 방식으로 분류될 수 있는데, 그 중 대표적인 분류 방식은 정전용량 방식(capacitive overlay) 및 저항막 방식(resistive overlay)이 있다. 하지만, 최근 멀티모드 지원, 내충격성 확보 등의 요구로 정전용량 방식이 주로 채택되고 있다.
정전용량 방식의 터치 패널에서 터치가 발생된 위치가 검출되는 원리는 다음과 같다. 정전용량 방식의 터치 패널에 구비된 유리의 양면에 투명한 특수 전도성 금속이 코팅되고, 터치 스크린의 모서리 네 곳에 전압이 인가되면, 터치 스크린 표면에 고주파가 생성된다. 그리고, 손가락 등과 같은 터치 수단이 터치 스크린에 접촉되면, 생성된 고주파가 변화된다. 이와 같이 접촉으로 인해서 변화된 고주파의 파형이 분석되어 터치가 발생된 위치가 검출된다.
앞서 설명한, 정전용량 방식은 터치 수단이 터치 패널에 직접 접촉되는 표면 정전용량 방식과 터치 수단이 터치 패널에 직접 접촉되지 않는 투영 정전용량 방식으로 분류된다. 특히, 투영 정전용량 방식은 장갑이나 지골무 등이 손가락에 끼워진 상태에서도 터치가 발생된 위치의 검출이 가능하며, 멀티모드도 가능하다.
투영 정전용량 방식은 ITO, 은나노 와이어, mesh type 등으로 터치가 발생될 영역에 형성된 투명 전극막 중 일정한 패턴을 가진 전극을 제외한 나머지 부분을 식각 처리하여 터치 동작을 감지할 수 있는 감지 센서 또는 동작 센서를 형성한다. 그 결과, 투명 전극막의 특성에 따라 터치 패널의 크기 및 성능이 좌우된다. 투명 전극막이 ITO로 형성되는 경우 안정적인 터치 패널의 특성을 제공하지만, 전극 표면 저항의 한계로 25인치급 이상의 대형 제품에서 요구되는 특성을 맞출 수가 없다. 그리고, mesh type으로 형성되는 경우, 전극막 물질의 투명성으로 인해 감지 센서 또는 동작 센서의 모양, 선폭, 피치가 달라도 패턴이 시인되는 문제점이 있다.
터치 패널의 외부 전극은 내부에 형성되는 내부 전극의 특성에 최대한 영향을 주지 않기 위해서 전기 저항이 최소화되는 은 또는 금 등의 금속막으로 형성된다. 외부 전극을 형성하는 방법에서도 스크린 인쇄법과 노광법 등이 있으나, 스크린 인쇄법은 인쇄 정도의 한계로 수십 마이크론 이하의 미세 패턴의 형성이 어렵고, 노광법은 이를 실현하기 위한 고정밀 장비가 요구되어 제조 비용이 과다하게 들어가는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 수십 마이크론 이하의 미세 패턴으로 구현되는 외부 전극을 형성하는 터치 패널의 전극 형성 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 터치 패널의 내부 전극과 외부 전극을 동시에 형성하여 공정을 간소화하고, 불량률을 개선하는 터치 패널의 전극 형성 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 습식 방법에 의한 세정 및 건조 공정이 생략되어 제조 비용이 감소되고, 50 마이크론 이하의 미세 선폭이 구현되는 터치 패널의 전극 형성 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 전극이 형성된 부분과 전극이 형성되지 않은 부분의 단차에 의한 필름의 표면 굴곡에서 나타나는 울리불리 현상 및 광 굴절률 차이로 시인성이 저하되는 현상을 개선하는 터치 패널의 전극 형성 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 투명 기판 상부에 전도성막을 형성하는 단계, 상기 전도성막 상부의 일부분에 금속막을 형성하는 단계, 상기 전도성막을 건식 식각하여 터치 패널의 내부 전극을 형성하고, 상기 금속막을 건식 식각하여 외부 전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 내부 전극 및 상기 외부 전극은 상기 건식 식각에 따른 공정을 통하여 동시에 형성된다.
실시 예에 있어서, 상기 내부 전극은 부유 정전용량을 형성하고, 상기 외부 전극은 상기 내부 전극에 전력을 인가할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 금속막을 형성하는 단계는 후막인쇄법을 통하여 상기 전도성막 상부의 일부분에 상기 금속막을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 건식 식각은 레이저를 이용하여 상기 전도성막 및 상기 금속막을 식각하여 상기 내부 전극 및 상기 외부 전극을 동시에 형성할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 금속막은 금, 은 또는 귀금속 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 터치 패널은 투영 정전용량 방식의 터치 패널이고, 상기 전도성막은 투명한 재질로 형성될 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 내부 전극은 수십 내지 수백 마이크론의 망목 구조 또는 바 구조 형태의 전극 패턴을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 수십 마이크론 이하의 미세 패턴으로 구현되는 외부 전극을 형성할 수 있다.
또한, 터치 패널의 내부 전극과 외부 전극을 동시에 형성하여 공정을 간소화하고, 불량률을 개선할 수 있다.
또한, 습식 방법에 의한 세정 및 건조 공정이 생략되어 제조 비용이 감소되고, 50 마이크론 이하의 미세 선폭이 구현될 수 있다.
또한, 전극이 형성된 부분과 전극이 형성되지 않은 부분의 단차에 의한 필름의 표면 굴곡에서 나타나는 울리불리 현상 및 광 굴절률 차이로 시인성이 저하되는 현상을 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널의 제1 투명 기판을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널의 제2 투명 기판을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 정전용량 방식의 터치 패널의 제1 투명 기판 및 제2 투명 기판이 결합되는 것을 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법의 각 단계를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법을 나타내는 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 본 실시 예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나. 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.
본 명세서에서 ‘및/또는’이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, ‘연결되는/결합되는’이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 ‘포함한다’ 또는 ‘포함하는’으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 터치 패널은 제1 투명 기판(110), 제1 내부 전극(121, 122, 123), 절연막(210), 제2 투명기판(310), 제2 내부 전극(321) 및 커버 유리(410)를 포함할 수 있다.
제1 투명 기판(110)의 일면(예를 들어, 하부면)에는 제1 내부 전극(121, 122, 123)이 형성될 수 있고, 제2 투명 기판(310)의 일면(예를 들어, 상부면)에는 제2 내부 전극(321)이 형성될 수 있다. 여기서, 제2 내부 전극(321)도 제1 내부 전극(121, 122, 123)과 마찬가지로 복수로 형성될 수 있으나, 현재 도 1은 측면에서 바라본 터치 패널의 단면이기 때문에, 하나의 제2 내부 전극(321)만 도 1에 나타나 있다. 그리고, 도 2 내지 도 4를 통해서 후술할 예정이지만, 제1 내부 전극(121, 122, 123)과 제2 내부 전극(321)은 서로 직교하도록 형성될 수 있고, 이를 통하여 터치 패널에서 터치가 발생된 위치의 X방향 좌표 및 Y방향 좌표가 검출될 수 있다.
절연막(210)은 제1 내부 전극(121, 122, 123) 및 제2 내부 전극(321)이 서로 전기적으로 단락되지 않도록 제1 내부 전극(121, 122, 123) 및 제2 내부 전극(321)을 절연시킬 수 있다.
유리 커버(410)은 제1 투명 기판(110)의 상부에 형성되어 제1 투명 기판(110) 및 제2 투명 기판(310)을 보호하며 외부로 빛을 통과시킬 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널의 제1 투명 기판을 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널의 제2 투명 기판을 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 제1 투명 기판(110)은 복수의 제1 내부 전극(121, 122, 123)을 포함할 수 있고, 제1 내부 전극(121, 122, 123) 각각은 제1 외부 전극(131, 132, 133)에 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 제2 투명 기판(310)은 복수의 제2 내부 전극(321, 322, 323)을 포함할 수 있고, 제2 내부 전극(321, 322, 323) 각각은 제2 외부 전극(331, 332, 333)에 연결될 수 있다.
여기서, 제1 외부 전극(131, 132, 133)은 개별적으로 연결된 제1 내부 전극(121, 122, 123)에 전력을 공급할 수 있고, 마찬가지로, 제2 외부 전극(331, 332, 333)은 개별적으로 연결된 제2 내부 전극(321, 322, 323)에 전력을 공급할 수 있다.
제1 외부 전극(131, 132, 133) 및 제2 외부 전극(331, 332, 333)을 통해서 인가된 전력으로 인해, 제1 내부 전극(121, 122, 1231) 및 제2 내부 전극(321, 322, 323) 사이에 부유 정전용량이 균일하게 형성될 수 있다.
그 결과, 터치 패널의 특정 표면 영역에 손가락 또는 정전용량용 스타일러스 펜 등으로 터치가 발생되면, 터치가 발생된 부분의 부유 정전용량이 변화하게 되고, 변화된 부유 정전용량에 따라 해당 터치가 발생된 지점의 X방향 및 Y방향을 나타내는 신호가 발생된다. 그리고, 터치 패널에 연결된 컨트롤러는 X방향에서 발생된 신호와 Y 방향에서 발생된 신호의 교차 지점을 인식하여, 해당 터치가 발생된 위치를 산출할 수 있다.
여기서, 제1 내부 전극(121, 122, 1231) 및 제2 내부 전극(321, 322, 323)은 X방향 및 Y방향으로 일정한 간격으로 이격되어 동일한 형상으로 형성될 수 있으며, 각각의 전극들은 서로 전기적으로 독립되어 형성될 수 있다.
그리고, 제1 외부 전극(131, 132, 133) 및 제2 외부 전극(331, 332, 333)은 제1 내부 전극(121, 122, 1231) 및 제2 내부 전극(321, 322, 323)에 연결되어 각 축의 끝단에서 축에 직교하도록 형성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법으로 형성된 투영 정전용량 방식의 터치 패널의 제1 투명 기판 및 제2 투명 기판이 결합되는 것을 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 제1 투명기판(110)은 터치 패널의 상부 기판이 될 수 있고, 제2 투명기판(310)은 터치 패널의 하부 기판이 될 수 있다. 그리고, 제1 투명기판(110) 및 제2 투명기판(310) 사이에는 제1 내부 전극(121) 및 제2 내부 전극(321) 사이의 단락을 방지하는 절연막(210)이 형성될 수 있다.
도 4에서 알 수 있는 바와 같이, 제1 내부 전극(121) 및 제2 내부 전극(321)은 서로 직교하도록 배치될 수 있다. 그리고, 제1 외부 전극 및 제2 외부 전극으로부터 인가되는 전력에 의해서 발생되는 균일한 부유 정전용량이 발생되는 터치로 인해서 변화되고, 해당 변화된 정전용량을 통해서 터치가 발생된 지점을 X축 및 Y축 방향의 좌표로 검출할 수 있다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법의 각 단계를 나타내는 도면이다.
먼저, 도 5를 참조하면, 투명 기판(510)의 상부에 전도성막(520)이 형성될 수 있다. 여기서, 전도성막(520)은 투명하거나 또는 불투명한 재료로 형성될 수 있고, 이후 공정을 통하여, 터치 패널의 내부 전극이 될 수 있다.
그 후, 도 6과 같이, 전도성막(520) 상부의 일부분에 금속막(530)이 형성될 수 있다. 여기서, 금속막(530)은 이후 공정을 통하여, 터치 패널의 내부 전극에 전력을 공급하는 외부 전극이 될 수 있다. 그리고, 금속막(530)은 내부 전극의 특성에 미칠 수 있는 영향을 감소시키기 위하여 전기 저항이 작은 금속으로 형성될 수 있다. 구체적으로, 금속막은 금, 은 또는 귀금속 등으로 형성될 수 있다. 그리고, 금속막(530)은 후막인쇄법을 통하여 전도성막(520)의 상부의 일부분에 형성될 수 있다.
그 후, 도 7과 같이, 외부로 노출된 전도성막(520) 및 금속막(530)을 식각하여 내부 전극(520a) 및 외부 전극(530a)을 형성한다. 여기서, 내부 전극(520a) 및 외부 전극(530a)은 습식 식각이 아닌 건식 식각으로 형성될 수 있고, 해당 건식 식각에 따른 공정을 통하여 동시에 형성될 수 있다. 특히, 본 발명에서 수행되는 건식 식각은 레이저를 이용하여 전도성막(520) 및 금속막(530)을 식각하여 내부 전극(520a) 및 외부 전극(530a)을 동시에 형성하는 건식에 의한 레이저 식각 방법일 수 있다. 여기서, 외부 전극(530a) 각각(531, 532, 533, 534)은 전도성막(520) 일부분의 상부에 형성되고, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 투명 기판(510) 일부분의 상부에 형성될 수 있다.
그리고, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 개별적인 전극 패턴을 포함할 수 있다. 즉, 도 2 내지 도 4에서와 같이, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 미세한 선으로 연결된 복수의 전극 패턴(예를 들어, 마름모 형상)을 포함할 수 있다. 여기서 전극 패턴 각각은 기존의 수십 마이크론 크기의 전기적 독립을 이루는 그물망 또는 바(bar) 모양의 형상을 포함하도록 형성될 수 있고, 이러한 그물망 또는 바(bar) 모양의 형상 역시 레이저에 의한 건식 식각을 통해서 형성될 수 있다.
또한, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 서로 간에 전기적으로 단락되지 않고, 전기적으로 분리되기 위해서, 수 내지 수십 마이크론 폭 홈을 교차하여 포함할 수 있다. 해당 홈을 통하여, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 서로간에 전기적으로 절연될 수 있다.
그리고, 전기적으로 서로 절연되지만, 전극 패턴에 포함되는 수십 마이크론 크기의 그물망 또는 바 모양의 형상들을 통해서, 일정한 부유 정전용량을 발생시키기 위하여, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)은 이격된 간격이 수십에서 수백 마이크론이 되도록 형성될 수 있다. 따라서, 내부 전극(520a) 각각(521, 522, 523, 524)을 복수개의 장방형 영역들로 구성하는 경우, 복수개의 장방형 영역들의 길이는 각각의 독립된 부유 정전용량을 형성하기 위하여 수밀리(mm)에서 1센치(cm) 이하의 크기로 형성될 수 있다.
결국, 위와 같은 단계를 통하여 터치 패널의 전극을 형성하는 본 발명은 일반적인 형성 방법에서 상부 전도막과 하부 전도막의 식각된 부분의 교차에 따른 두께 차이로 발생되는 시인성 문제를 감소시킬 수 있다.
또한, 일반적인 터치 패널 전극 형성 방법은 내부 전극 및 외부 전극을 별도의 공정으로 형성하고, 습식 공정에 포함되는 세정 및 건조 공정을 필수적으로 포함한다. 그 결과, 제조 경비가 과다하게 소요되었다. 또한, 스크린 인쇄법으로 인쇄되어 형성되는 외부 전극은 50마이크론 이하의 미세한 선폭의 구현이 거의 불가능하였고, 27인치 이상의 크기를 가지는 대형 터치 패널을 제조하기가 힘들었다.
이와 달리, 본 발명에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 건식 식각으로 내부 전극 및 외부 전극을 동시에 형성하므로, 습식 식각에 필수적으로 포함되는 공정인 세정 및 건조 공정을 생략할 수 있다. 그리고, 후막인쇄법으로 형성된 금속막(530)을 레이저로 건식 식각하여 외부 전극을 형성하기 때문에, 50마이크론 이하의 미세한 선폭의 구현이 가능해지고, 27인치 이상의 대형 제품에 탑재될 대형 터치 패널을 제조할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 제품에서 요구되는 전극 패턴이나 특성에 적합하도록 레이저 설비에 내장된 소프트웨어에 의하여 전극 패턴의 크기나 구조를 임의로 형성할 수 있다. 그 결과, 본 발명에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 제품 기종 변화에 즉각 대응할 수 있으며, 이에 따라 터치 패널의 비활용 영역을 감소시키고, 제품 기종 변화에 따른 제조 경비를 감소시킬 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법을 나타내는 순서도이다.
먼저, 투명한 기판의 상부에 내부 전극의 형성을 위한 전도성막을 형성한다(S810).
그 후, S810 단계에서 형성된 전도성막 상부의 전체가 아닌 일부분에 외부 전극의 형성을 위한 금속막을 형성한다(S820)
그후, S810 단계에서 형성된 전도성막 및 S820 단계에서 형성된 금속막을 건식으로 식각하여 터치 패널의 내부 전극 및 외부 전극을 형성한다(S830). 여기서, 내부 전극 및 외부 전극은 S830 단계에서 수행되는 건식 식각에 따른 공정을 통하여 동시에 형성될 수 있다.
결국, 일반적인 터치 패널의 전극을 형성하는 방법과 달리, 본 발명에 따른 터치 패널의 전극 형성 방법은 습식 식각 공정을 수행하지 않고, 건식 식각으로 내부 전극 및 외부 전극을 하나의 공정으로 동시에 형성하기 때문에, 습식 식각 공정에 요구되는 세정 및 건조 공정을 포함하지 않고, 습식 식각 공정으로는 구현하기 어려운 50마이크론 이하의 미세한 패턴을 형성할 수 있다.
이상에서, 본 발명은 구체적인 실시 예를 통해 설명되고 있으나, 본 발명은 그 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지로 변형할 수 있음은 잘 이해될 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 상술한 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 및 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. 상술한 내용을 고려하여 볼 때, 만약 본 발명의 수정 및 변경이 아래의 청구항들 및 동등물의 범주 내에 속한다면, 본 발명이 이 발명의 변경 및 수정을 포함하는 것으로 여겨진다.

Claims (7)

  1. 제 1 투명기판의 일면에 제 1 내부 전극을 형성하고, 제 2 투명기판의 일면에 제 2 내부 전극을 형성하고, 상기 제 1 내부전극과 제 2 내부전극이 직교하도록 정전용량 방식으로 터치 패널의 전극을 형성하는 방법에 있어서,
    제 1 투명 기판의 일면에 전도성막을 형성하는 단계;
    상기 전도성막 상부의 일부분에 금속막을 형성하는 단계;
    상기 전도성막을 건식 식각하여 터치 패널의 제 1 내부 전극을 형성하고, 상기 금속막을 건식 식각하여 제 1 외부 전극을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제 1 내부 전극 및 상기 제 1 외부 전극은 상기 건식 식각에 따른 공정을 통하여 동시에 형성되고, 상기 제 1 내부 전극은 부유 정전용량을 형성하고, 상기 제 1 외부 전극은 상기 제 1 내부 전극에 전력을 인가하며,
    상기 건식 식각은, 레이저를 이용하여 패터닝되는 상기 전도성막 및 상기 금속막을 식각하여 상기 제 1 내부 전극 및 상기 제 1 외부 전극을 동시에 형성하되, 상기 레이저를 이용하여 식각을 수행하고, 상기 제 1 내부 전극에 포함되는 전극 패턴 또는 제 1 내부 전극의 특성에 대응하여, 상기 레이저의 설비에 내장된 소프트웨어에 의하여 상기 전극 패턴의 크기 또는 구조를 형성하고,
    상기 제 2 투명기판의 일면에 형성되는 제 2 내부전극과 제 2 외부전극도, 상기 제 1 투명기판의 제 1 내부전극과 제 1 외부전극의 형성 과정과 동일하게 이루어지는 터치 패널의 전극 형성 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 또는 제 2 내부전극은, 복수개의 장방형 영역들로 구성되고, 상기 복수개의 장방형 영역들의 길이는 각각의 독립된 부유 정전용량을 형성하기 위하여 수밀리(mm)에서 1센티(cm) 이하의 크기로 형성되는 터치 패널의 전극 형성 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속막을 형성하는 단계는,
    후막인쇄법을 통하여 상기 전도성막 상부의 일부분에 상기 금속막을 형성하는 단계를 포함하는 터치 패널의 전극 형성 방법.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속막은 금, 은 중 적어도 어느 하나를 포함하는 터치 패널의 전극 형성 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 터치 패널은 투영 정전용량 방식의 터치 패널이고,
    상기 전도성막은 투명한 재질로 형성된 터치 패널의 전극 형성 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 또는 제 2 내부 전극은,
    수십 내지 수백 마이크론의 망목 구조 또는 바 구조 형태의 전극 패턴을 포함하는 터치 패널의 전극 형성 방법.
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