JPS58162180A - カラ−用固体撮像デバイス - Google Patents
カラ−用固体撮像デバイスInfo
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- JPS58162180A JPS58162180A JP57044511A JP4451182A JPS58162180A JP S58162180 A JPS58162180 A JP S58162180A JP 57044511 A JP57044511 A JP 57044511A JP 4451182 A JP4451182 A JP 4451182A JP S58162180 A JPS58162180 A JP S58162180A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 14
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はＣＯＤ等の固体撮像素子の表面に色フイルタ
アレイを形成したカラー用固体撮像デバイス（＝関する
。
アレイを形成したカラー用固体撮像デバイス（＝関する
。
従来色フィルタアレイをＣＯＤの表面（＝形成するため
（二色フィルタアレイをＣＯＤの表面に直接形成する試
みが行われてきた。色フイルタアレイは通常乳剤を塗布
し、染料を用いてその一部を選択的（＝染色すること（
二よＣ％定の波長を吸収する色フィルタを形成させ、こ
の工程を数回繰り返すこと（二よＥＩＲ（赤）、Ｇ（緑
）、Ｂ（青）を市松状（＝形成すること（二より製造さ
れる。
（二色フィルタアレイをＣＯＤの表面に直接形成する試
みが行われてきた。色フイルタアレイは通常乳剤を塗布
し、染料を用いてその一部を選択的（＝染色すること（
二よＣ％定の波長を吸収する色フィルタを形成させ、こ
の工程を数回繰り返すこと（二よＥＩＲ（赤）、Ｇ（緑
）、Ｂ（青）を市松状（＝形成すること（二より製造さ
れる。
しかしながら通常染料は温度、湿度で次第（二退色を起
こすため初期の色フイルタ特性を維持することは仲々困
難でるり、信頼性が劣化するという欠点があった。また
カラーカメラ（−おいてはＲｌＧ、Ｂ％性、或はＣｙ
（シアン） 、 Ｙｅ （黄）。
こすため初期の色フイルタ特性を維持することは仲々困
難でるり、信頼性が劣化するという欠点があった。また
カラーカメラ（−おいてはＲｌＧ、Ｂ％性、或はＣｙ
（シアン） 、 Ｙｅ （黄）。
Ｍａ（マゼンタ）の補色特性の良好なるものが要求され
るが、一般（＝このような理想条件に近い染料は変色が
激しい傾向があるため、従来（二おいてはカラーカメラ
としての色調を若干犠牲（ニして変色の比較的少ない染
料を用いなければならなかった。
るが、一般（＝このような理想条件に近い染料は変色が
激しい傾向があるため、従来（二おいてはカラーカメラ
としての色調を若干犠牲（ニして変色の比較的少ない染
料を用いなければならなかった。
本発明は以上の点（−鑑み、色フイルタアレイの製造方
法（二は直接影響を与えず、簡単な方法で色フイルタア
レイの表面を覆うこと（二より変色のない新規なカラー
固体撮像デバイスを提供することを目的とする。
法（二は直接影響を与えず、簡単な方法で色フイルタア
レイの表面を覆うこと（二より変色のない新規なカラー
固体撮像デバイスを提供することを目的とする。
本発明は固体撮１＃素子の感光面上（−形成された色フ
イルタアレイ表面を透明体（二より被覆して色フイルタ
アレイが空気と遮断されるようにして色フイルタアレイ
の変色を防止するようにしたものである。
イルタアレイ表面を透明体（二より被覆して色フイルタ
アレイが空気と遮断されるようにして色フイルタアレイ
の変色を防止するようにしたものである。
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
第１図は本発明（＝用いる固体撮像素子、例えばＣＣＤ
チップ（１１）を示したものである。この素子は感光面
（１３を中心にもち、チップの周囲（二は外部への電極
数シ出しのためのポンディングパッドＱ３）が配列され
ている。
チップ（１１）を示したものである。この素子は感光面
（１３を中心にもち、チップの周囲（二は外部への電極
数シ出しのためのポンディングパッドＱ３）が配列され
ている。
第２図は第１図のＣＯＤチップ旧）上（二形成される色
フイルタアレイ（２１）を示したもので、例えば３色の
色フィルタが市松状（二等間隔で形成されるものである
。この色フイルタアレイＣυの色フィルタの配列は数多
くの種類があるが、例えば第３図のよう（二線透過部分
Ｇが市松状（＝配列され、残りの部分（−赤透過部分Ｒ
９青透過部分Ｂが線順次（二配列されたものがある。
フイルタアレイ（２１）を示したもので、例えば３色の
色フィルタが市松状（二等間隔で形成されるものである
。この色フイルタアレイＣυの色フィルタの配列は数多
くの種類があるが、例えば第３図のよう（二線透過部分
Ｇが市松状（＝配列され、残りの部分（−赤透過部分Ｒ
９青透過部分Ｂが線順次（二配列されたものがある。
第４図は本発明のカラー用固体撮像デバイス（４Ｇの断
面構造を示したものである。第１図に示したＣＣＤチッ
プ（１υは接着剤（４３（二よりセラミックパッケージ
（４１）上（＝接着固定されている。前記ポンディング
パッド（１３）とセラミック側の電極引出用のパッド部
（４４）とはアルミまたは金等のボンディングワイヤ（
４ｊ（二より接続されている。セラミックパッケージ（
４０上（二固定されたＣＣＤチップＵυの上（二は前記
色フイルタアレイ（２１）が形成されている。色フイル
タアレイ（２Ｉ）の上（＝は透明なガラス基板（佃が透
明な接着剤（４ηを介して接着固定され、色フイルタア
レイ０υの表面は外気と直接触れないよう（ニなってい
る。
面構造を示したものである。第１図に示したＣＣＤチッ
プ（１υは接着剤（４３（二よりセラミックパッケージ
（４１）上（＝接着固定されている。前記ポンディング
パッド（１３）とセラミック側の電極引出用のパッド部
（４４）とはアルミまたは金等のボンディングワイヤ（
４ｊ（二より接続されている。セラミックパッケージ（
４０上（二固定されたＣＣＤチップＵυの上（二は前記
色フイルタアレイ（２１）が形成されている。色フイル
タアレイ（２Ｉ）の上（＝は透明なガラス基板（佃が透
明な接着剤（４ηを介して接着固定され、色フイルタア
レイ０υの表面は外気と直接触れないよう（ニなってい
る。
この状態でセラミックパッケージ（４１）とＣＣＤチッ
プ０１）、色フイルタアレイＱυ、ガラス基板（柘）は
ポンディングワイヤ（４′５の保護のためもあるが、気
密封止するため樹脂（４！５） により密着固定されて
いる。
プ０１）、色フイルタアレイＱυ、ガラス基板（柘）は
ポンディングワイヤ（４′５の保護のためもあるが、気
密封止するため樹脂（４！５） により密着固定されて
いる。
このようにしてＣＣＤチップ圓およびその表面（＝形成
された色フイルタアレイ（２υは外気から完全（＝遮断
されたま＼で固定されている。尚色フイルタアレイ（２
１）の上（：接着されたガラス基板（ト）はフラットな
平面で形成され、光学像が色フイルタアレイＣＩ）、Ｃ
ＣＤチップ（１１）上（＝結像されるの（−悪影響を与
えるととはない。
された色フイルタアレイ（２υは外気から完全（＝遮断
されたま＼で固定されている。尚色フイルタアレイ（２
１）の上（：接着されたガラス基板（ト）はフラットな
平面で形成され、光学像が色フイルタアレイＣＩ）、Ｃ
ＣＤチップ（１１）上（＝結像されるの（−悪影響を与
えるととはない。
以上説明したようにこの発明のカラー用固体撮像デバイ
スによると、色フィルタアレイシυの表面が直接外気（
二触れることがないため、外気の水分によって浸される
ことがなく変色しく二くく、色特性の変化がないカラー
用固体撮像デバ・イスが実現できるという大きな利点が
ある。
スによると、色フィルタアレイシυの表面が直接外気（
二触れることがないため、外気の水分によって浸される
ことがなく変色しく二くく、色特性の変化がないカラー
用固体撮像デバ・イスが実現できるという大きな利点が
ある。
すなわち従来はＣＣＤチップ圓上１−直接色フイルタア
レイ（２１）が形成されたままの状態で使用していたた
め（二、長期間の使用中（二外部から水分が入り込むと
色フイルタアレイ（２］）ｌ二、直接作用して変色が起
こりやすく信頼性（−欠けるため、色調のよいカラー画
像が長期間（＝わたって得られることが難かしいという
欠点があったが、この発明（二よるとこのような欠点が
なく常に色調のよいカラー画像が得られるという大きな
利点がある。更（″−従来は変色しやすいという欠点の
ため、染料の種類が限定され、Ｂ、Ｇなどの色特性のよ
い染料を用いる′ことができず、単管式カラーカメラの
色調が劣る？、ノ という欠点があったが、このような制約が解消され、色
調のよいカラーカメラが実現できるという利点がある。
レイ（２１）が形成されたままの状態で使用していたた
め（二、長期間の使用中（二外部から水分が入り込むと
色フイルタアレイ（２］）ｌ二、直接作用して変色が起
こりやすく信頼性（−欠けるため、色調のよいカラー画
像が長期間（＝わたって得られることが難かしいという
欠点があったが、この発明（二よるとこのような欠点が
なく常に色調のよいカラー画像が得られるという大きな
利点がある。更（″−従来は変色しやすいという欠点の
ため、染料の種類が限定され、Ｂ、Ｇなどの色特性のよ
い染料を用いる′ことができず、単管式カラーカメラの
色調が劣る？、ノ という欠点があったが、このような制約が解消され、色
調のよいカラーカメラが実現できるという利点がある。
特（＝従来シアン（Ｃｙ）、黄色（Ｙｅ）。
マゼンタ （Ｍａ）などの色特性を得るための染料で信
頼性のよいものが少なくこのため補色タイプのカラー撮
像方式を実現するのが困難であったが、この発明により
このような制約もなくなジ新しい撮像方式が採用されや
すくなるという大きな利点がある。
頼性のよいものが少なくこのため補色タイプのカラー撮
像方式を実現するのが困難であったが、この発明により
このような制約もなくなジ新しい撮像方式が採用されや
すくなるという大きな利点がある。
尚、上記説明ではガラス基板（４６１を色フイルタアレ
イ（２υ上（二固定するための接着剤（４７）として、
通常の樹脂系の接着剤を用いるように説明してきたが、
フリットガラスなど溶融ガラスヲ用いて固定することも
可能である。説明の容易なため、これらも含めて接着剤
（４７）としている。
イ（２υ上（二固定するための接着剤（４７）として、
通常の樹脂系の接着剤を用いるように説明してきたが、
フリットガラスなど溶融ガラスヲ用いて固定することも
可能である。説明の容易なため、これらも含めて接着剤
（４７）としている。
またガラス基板（４６）は透明な色特性をもたないよう
（−説明してきたが、ＣＣＤ等固体撮像累子０分光感度
特性を補正するための補正色フィルタをコートしたもの
、或はガラス自体が色特性を有するような色ガラスフィ
ルタを用いることも可能である。
（−説明してきたが、ＣＣＤ等固体撮像累子０分光感度
特性を補正するための補正色フィルタをコートしたもの
、或はガラス自体が色特性を有するような色ガラスフィ
ルタを用いることも可能である。
更（＝ガラス基板（４匂を用いるようｔ：説明してきた
が、第５図のように色フイルタアレイＣυの表面を外気
から遮断するため、透明薄膜（５ηをコーティングする
ことも可能である。また５ｉＯｚを低温で蒸着するなど
透明体を用いて色フイルタアレイ０υの表面が直接外気
に触れることのない構造にすることによって不発明の効
果は生かすことができる。
が、第５図のように色フイルタアレイＣυの表面を外気
から遮断するため、透明薄膜（５ηをコーティングする
ことも可能である。また５ｉＯｚを低温で蒸着するなど
透明体を用いて色フイルタアレイ０υの表面が直接外気
に触れることのない構造にすることによって不発明の効
果は生かすことができる。
第１図はＣＣＤチップの表面を示す平面図、第２図は色
フイルタアレイの平面図、第３図は色フイルタアレイの
色配列を説明する略図、第４図は本発明のカラー用固体
撮像デバイスのＦＨ丁圃面図第５図は本発明の他の実施
例を示す断面図である。 １１・・・ＣＣＤチップ ２１・・・色フイルタ
アレイ４６・・・ガラス基板 ４７・・・透明接
着剤５１・・・透明薄膜
フイルタアレイの平面図、第３図は色フイルタアレイの
色配列を説明する略図、第４図は本発明のカラー用固体
撮像デバイスのＦＨ丁圃面図第５図は本発明の他の実施
例を示す断面図である。 １１・・・ＣＣＤチップ ２１・・・色フイルタ
アレイ４６・・・ガラス基板 ４７・・・透明接
着剤５１・・・透明薄膜
Claims (4)
- （１）色フイルタアレイを固体撮像素子底面（＝形成し
た色フイルタアレイ内蔵固体撮像デバイス（二於て、色
フィルタアレイ光面を透明体で被覆したことを特徴とす
るカラー用固体撮像デバイス。 - （２）透明体は色フィルタアレイ嚢面（二塗布された透
明な接増剤およびこの透明な接着剤（二より前記色フイ
ルタアレイ表面に接着されたガラス基板とからなること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のカラー用固体
撮像デバイス。 - （３） ガラス基板は特定色光をカットする色フイル
タ特性を有することを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載のカラー用固体操像デバイス。 - （４）透明体は色フイルタアレイ表面上（＝被覆された
透明薄膜でおることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のカラー用固体撮像デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57044511A JPS58162180A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | カラ−用固体撮像デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57044511A JPS58162180A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | カラ−用固体撮像デバイス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162180A true JPS58162180A (ja) | 1983-09-26 |
Family
ID=12693570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57044511A Pending JPS58162180A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | カラ−用固体撮像デバイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162180A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7417221B2 (en) * | 2005-09-08 | 2008-08-26 | Gentex Corporation | Automotive vehicle image sensor |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478026A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Production of solid color image pickup unit |
| JPS5519885A (en) * | 1978-07-29 | 1980-02-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid imaging element plate |
| JPS56166684A (en) * | 1980-05-27 | 1981-12-21 | Canon Inc | Detector for color picture |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP57044511A patent/JPS58162180A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478026A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Production of solid color image pickup unit |
| JPS5519885A (en) * | 1978-07-29 | 1980-02-12 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid imaging element plate |
| JPS56166684A (en) * | 1980-05-27 | 1981-12-21 | Canon Inc | Detector for color picture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7417221B2 (en) * | 2005-09-08 | 2008-08-26 | Gentex Corporation | Automotive vehicle image sensor |
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