JPS62154667A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPS62154667A
JPS62154667A JP60294542A JP29454285A JPS62154667A JP S62154667 A JPS62154667 A JP S62154667A JP 60294542 A JP60294542 A JP 60294542A JP 29454285 A JP29454285 A JP 29454285A JP S62154667 A JPS62154667 A JP S62154667A
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JP
Japan
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light
film
thin film
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JP60294542A
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English (en)
Inventor
Kenichi Matsui
健一 松井
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Landscapes

  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、固体撮像素子をモールド樹脂により封止した
固体撮像装置に関する。
（発明の技術的背景とその問題点） 第２図に従来の固体搬像装置の断面図を示す。
リードフレームのベッド部１１上にマウント材１２を介
して固体搬像素子１３が固着され、固体搬像素子１３の
電極とリードフレームのインナーリード１４どが金線、
アルミニウム線等のボンディングワイヤ１５によって１
妄続されている。そして、固体搬像素子１３、ボンディ
ングワイヤ１５、インナーリード１４どを含む領域が透
光性のモールド樹脂１６で１１止され、ざらに、このモ
ールド樹脂１６の外側にエポキシ樹脂等の非透光性の光
遮蔽膜１７が被覆されている。この場合、光遮蔽膜１７
は固体搬像素子１３への光入射部分１８には形成されず
、光入射部分１日から侵入した光の信号によって固体搬
像素子１３が作動するようになっている。
しかしながら、従来の固体＠像装置では、固体搬像素子
１３を↓ｌＪＩ：づるモールド樹脂１６のトランスファ
ーモールド工程と、モールド樹脂１６を被覆する光遮蔽
ＩＩ！Ｊ１７を形成するためのトランスファーｔ−ルド
工程との２回のｔ−ルド１稈を必廿としている。又、光
遮蔽１１９１７の形成の際に、光入射部分１８に光遮蔽
膜の樹脂が流れ出て（４着し易く、固体撮像素子の作動
不良の原因となつＣいる。
〔発明の目的〕
本発明の目的は製造が容易であり、かつ固体搬像素子の
特性が良好な固体撮像素子を提供づることにある。
〔発明の概要〕
本発明の固体搬像装置は、入射した光信号を電気信号に
変換する固体搬像素子を、透明樹脂により樹脂モールド
し、前記固体搬像素子の光入射面上の透明樹脂上を透光
性薄膜で′Ｉ＆覆したことを１４徴とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例による固体搬像装置を第１図に
示寸断面図により具体的に説明づる。固体撮像装置１が
リードフレームのベッド部２上にマウント材３を介して
固着される。リードフレームはベッド部２の外側に一定
の間隔でインナーリード４が配設され、各インナーリー
ド４には外部電極となるアウターリード５が連設されて
いる。
そして、固体撮像素子１の電極とインナーリード４とが
金線、アルミニウム線等からなるボンディングワイヤ６
で接続されている。このボンディングワイヤ６、固体搬
像素子１およびインナーリード４を含む領域が透明等の
透光性のモールド樹脂７によって封止され、さらに、モ
ールド樹脂７の上面、づ“なわち固体搬像素子１への光
入射面、に透光性簿膜８が形成されている。透光性薄膜
８は光入射面であるモールド樹脂７上面の損傷、異物付
着を防止するものである。この材質としては、例えば二
酸化ケイ素（Ｓ　ｉ　Ｏ２）と二酸化チタン（ＴｉＯ２
）どの積層膜あるいは二酸化ケイ素（ＳｉＯ＞と二酸化
ジルコニウムくｚｒＯ２〉どの積層膜等の赤外線遮断フ
ィルタ膜を使用することができ、これにより、長波長光
による光信号ノイズが低減する。又、フッ化マグネシウ
ム（Ｍ９Ｆ２）、二酸化ジルコニウム（７ｒＯ２）、ア
ルミナ（△１２０３）からなる膜又はフッ化マグネシウ
ム（ＭｏＦ２）膜等のように無反剣膜とすることで固体
搬像素子１への鬼人銅量が増大し、光感ｐを増大させる
ことができる。このような透光性薄ｖ８を被覆するよう
にしたので、モールド樹脂７外面に光′ａ蔽膜を形成す
る必要がなくなり、トランスファーモールド工程数を減
少させることができ、光遮蔽膜の樹脂が光入射部分に（
＝−Ｊ看することもない。
なＪ３、固体搬像素子１の−Ｌ方、ｒｊ′なわら鬼人０
・１部分のモールド樹脂７が他の部分よりち窪んで、上
面に四部９が形成されている。これにより固体搬像素子
の製造、取扱いの際に光入射部分への１ｎ付き、異物付
着を防止することができる。
（発明の効果〕 以上のと４５つ、本発明よれば、固体搬像素子を封止す
る［−ルド樹脂の光入射面に透光性薄膜を被覆して光入
射面を保護するようにしたから、光遮蔽膜が不要どなり
、製造工程が簡略化されると共に良好な特性を得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例による固体１１ａ像装置の断
面図、第２図は従来例の固体撮像装置の断面図である。 １・・・固体撮像索子、２・・・ベッド部、４・・・イ
ンナーリード、６・・・ボンディングワイヤ、７・・・
モールド樹脂、８・・・透光性薄膜。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 第１図 第２図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、入射した光信号を電気信号に変換する固体撮像素子
    を、透明樹脂により樹脂モールドし、前記固体撮像素子
    の光入射面上の透明樹脂上を透光性薄膜で被覆したこと
    を特徴とする固体撮像装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記透
    光性薄膜は赤外線遮断フィルタ膜であることを特徴とす
    る固体撮像装置。 ３、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装置におい
    て、前記透光性薄膜は二酸化ケイ素膜と、二酸化チタン
    膜の積層膜であることを特徴とする固体撮像装置。 ４、特許請求の範囲第１項又は第２項記載の装置におい
    て、前記透光性薄膜は二酸化ケイ素膜と二酸化ジルコニ
    ウム膜の積層膜であることを特徴とする固体撮像装置。 ５、特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記透
    光性薄膜は無反射被膜であることを特徴とする固体撮像
    装置。 ６、特許請求の範囲第１項又は第５項記載の装置におい
    て、前記透光性薄膜はフッ化マグネシウム膜と、二酸化
    ジルコニウム膜とアルミナ膜の多層積層膜であることを
    特徴とする固体撮像装置。 ７、特許請求の範囲第１項又は第５項記載の装置におい
    て、前記透光性薄膜はフッ化マグネシウム膜であること
    を特徴とする固体撮像装置。 ８、特許請求の範囲第１項ないし第７項のいずれかの項
    に記載の装置において、前記モールド樹脂の光入射部分
    が窪んでいることを特徴とする固体撮像装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02278871A (ja) * 1989-04-20 1990-11-15 Toshiba Corp 固体撮像装置
JPH04240770A (ja) * 1991-01-24 1992-08-28 Sharp Corp 固体撮像装置
JP2006136487A (ja) * 2004-11-11 2006-06-01 Fujinon Corp 電子内視鏡用撮像装置

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