JPS58106186A - トラツプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、密封容器内を真空に排気する真空排気糸にｅ
ｗされるトラップ装置に係り、特に再生を容易にしたト
ラップ装置に関するものである。

密封容器内のガスを排気して真空にする場縫、要求され
る真空度が低いときは、密封容器に真空ポンプを接続し
て、密封容器内のガスを排気している　そして、要求さ
れる真空度が尚くなると、密封容器と真空ポンプの間に
トラップ装置を設け、トラップ装置を液体窒素等で冷却
して、密封容器内の真空度を向上させることが行なわれ
ている。

このようなトラップ装置として、従来第１図に示すもの
が知られている。すなわち、トラップ装置本体１には、
弁を介して密封容器に＃：続されるガスの導入口２と、
弁を介して真空ポンプに接続されるガスの排気口３が形
成され、外周には加熱用のヒータ４が巻かれている。ト
ラップ装置本体１の内部には、トラップ容６５が配置さ
れ、蓋７を貫通するバイブロからトラップ容器５内に液
体窒素８が供給される。

なお、（ラップ装置本体１と丙７とバイブロおよびトラ
ップ容器５で形成される空間も密封されている働 このようなトラップ装置においては、液体♀ζＮ 素８で冷却されたトラップ容器５の周囲にあるガスを、
トラップ容器５によって冷却して、その表面に付着させ
ることによシ真仝Ｉｆを向上させている、したがって、
トラップ容器５の表面に付文したガスの亀が多くなると
、熱伝導が低下しガスの捕捉効率が低下するため、定期
的にトラップ装置のｅｌＫＭＩｔ＋を止め、笛封容器お
よび真空ポンプとトラップ装置の間の弁を閉め、トラッ
プ容器５内の液体窒素８を抜いたのち、ヒータ４によっ
てトラップ装置本体１を加熱することにより、その輻射
熱でトラップ容器５を加熱し、トラップ容器５に付潰し
だガスを気化排出して、トラップ装置の再生を行なって
いる。

このようなトラップ装置を、たとへぼ、ドライエツチン
グ装置等のプラズマ処！＝［＋ｆの真々排気系に設置し
た場合、プラズマ処理装置から流出するプラズマ生成物
がトラップ装置に流れ込み、ガスと共にトラップ容器５
の表面に付着する。そして、トラップ装置を加熱しても
、プラズマ生成物はトラップ容器５の表面に残留しトラ
ップ容６５の冷却効率を低下させる。

このため、プラズマ処理装置に使用するトラップ装置は
、頻繁に分解し、内部（特にトラップ容器５）を清掃す
る必要があり、肯浬が繁雑になる。また、プラズマ処理
装置性の稼動率を低下させる。

さらに、プラズマ処理を必要とする物品のｉＷの阻沓較
因になるなどの欠点がある。

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなりシ、プ
ラズマ処理装置等に使用するトラップ装置のように、単
に加熱だけで除去できない物質が付着しても、分解する
ことなく再生し得るようにしたトラップ装置を提供する
にある。

上記目的を連成するため、本発明においてはトラップ容
器の表面に付着し、単に加熱だけでは除去できない物質
を溶解する温液を洗浄液としてトラップ容器に吹付け、
前記物質を溶解除去するようにしたことを特徴とする。

以下、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。

第２１＠Ｈは本発明の一実施例を示すもので、同図にお
いて、第１図と同等のものは同じ符号を付けて示しであ
る。トラップ装置本体１の上部には、トラップ容器５に
向けて洗浄液を吹付ける丸めの噴出口９が形成され、配
管１０および弁１１を介してポンプ１２に接続されてい
る。このポンプ１２社配管１３を介して洗浄液を貯城し
たタンク１４に接続され、タンク１４内の洗浄液を吸上
げて、前記噴出口９から噴出する。また、前記トラップ
装置本体１の底面は円錐状に形成され、その頂点には、
トラップ＝ｙｔｔｔ本体１内に噴出した洗浄液の排出口
１５が形成されている。

そして、前記排出口１５は配管１６と弁１７および配管
１８を介して、前記タンク１４に接続されている。

上記の構成において、トラップ装置を再生する場合、ま
ず、トラップ装ｒｑとプラズマ処理装置および真空ポン
プの間の弁を閉じる。ついでトラップ容器５内の液体９
素８を抜き去り、ヒータ４でトラップ装置本体１を加熱
し、その輻射熱でトラップ容器５の表面に付着したガス
を気化させる。ついで、弁１１と升１７を開き、ポンプ
１２を作動させてタンク１４内の洗浄液を噴出口９から
噴出させ、トラップ容器５に吹付けることにより、トラ
ップ容器５の表面に残る残留物を溶解させ洗い流す。

このとき、トラップ装置本体１内にＩ′目出した洗浄液
は、排出口１５からタンク１４に院れ、回収される。そ
して、洗浄が終ると、ポンプ１２が止まり、弁１１と弁
１７が閉じられる。すると、真４′ポンプとトラップ装
置の間の弁が開かれ、トラップ装置内が減圧されたのち
、トラップ容器５に液体窒素８を供給し、プラズマ処理
裂地とトラノ・プ装置の間の弁を開き、次のプラズマ処
理を可能にする。

以上述べた如く、本発明によれば、トラップ装置本体に
、洗浄液の噴出口と排出口を形成し噴出口からトラップ
容器に向けて洗浄液を吹付けて洗浄するようにしたので
、トラップ装置を分解することなく洗浄し再生すること
ができるまた、洗浄時間を短縮し、プラズマ処理装置の
稼動率を向上させることができる。さらに、再生の自動
化を容易にすることができ、処理も谷易になり、物品の
量産設備の一つとして組込むことができるなどの効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来のトラップ装置の構成を示す正面断面図
、＠２崗は本発明によるトラップ装備の構成を示す正面
断面図である。 １・・・・・・トラップ装置本体 ５・・・・・・トラップ容器 ？・・・・・・噴出口 １１・・・・・・弁 １２・・・・・・ポンプ １５・・・・・・排出口 １７・・・・・・弁 オ　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 密到谷気内を真空に排気する真空排気糸に設置されるト
   ラップ装置において、トラップ装置本体に、）う、プ容
   器の外周面に向けて洗浄液を吹付ける洗浄液噴出口と、
   トラップ装置本体内に噴出された洗浄液を排出する開閉
   可能な排出口を形成し、前記洗浄液噴出口に、開閉手段
   を介して接続された洗浄液供給手段を設けたことを特徴
   とするトラップ装置。