CN210546660U - 一种全自动立式钟罩清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，机壳中形成有清洗腔室，机壳中设有上喷淋机构、下喷淋机构，上喷淋机构包括气缸、上夹板、喷淋管，上夹板内部形成有第一混合腔，第一进液管、第一进气管与第一混合腔联通，下喷淋机构包括下夹板和喷淋座，下夹板内部形成有第二混合腔，第二进液管、第二进气管与第二混合腔联通。本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏，同时，清洗过程无需手工操作，安全性强，上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。
Description
技术领域
本实用新型涉及钟罩清洗技术领域，具体涉及一种全自动立式钟罩清洗机。
背景技术
钟罩是半导体生产中常用到的装置，需要专门的清洗机定期对钟罩进行清洗。现有的钟罩分为扁平式和圆筒式，圆筒式钟罩表面没有金层，较好清洗，扁平式钟罩为扁平中空结构，两端设有开口，开口处设有法兰，外表面上镀有金层，清洗过程中应避免损坏金层。
如图1所示，现有的钟罩清洗机包括机壳1，机壳1中形成有清洗腔室2，机壳1上设有装载平台7，进行清洗时，将扁平式钟罩5放置在装载平台7上然后推入清洗腔室2，关门后工人将手伸入机壳1正面的手套口进行操作，具体的清洗过程为：通过扁平式钟罩5两端开口处向扁平式钟罩5内表面上依次喷洒酸液、水、高压气体，同时，工人手持毛刷由端部开口处伸入扁平式钟罩5内部进行清洁。
现有的钟罩清洗机具有以下缺点：
1、无法将金层与酸液有效隔开，清洗过程中酸液或因操作不当溅落在金层上，或因挥发附着在金层上，会造成金层逐渐损坏；
2、清洗用的酸液具有强腐蚀性，人工接触比较危险，具有一定安全隐患；
3、人工喷洗时很难将酸液、水、高压气体均匀喷在扁平式钟罩5内表面上，清洗品质较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种全自动立式钟罩清洗机。
为实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有清洗腔室，所述机壳中靠近清洗腔室顶部设有上喷淋机构，靠近清洗腔室底部设有下喷淋机构；
所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸、上夹板、喷淋管，所述上夹板与所述气缸的活动端连接，以在气缸驱动下升降移动，所述上夹板底面上位于喷淋管外周设有第一密封圈，所述第一密封圈与扁平式钟罩上端法兰大小、形状相匹配，以在上夹板压合在扁平式钟罩上时消除扁平式钟罩和上夹板的配合间隙，所述上夹板内部形成有第一混合腔，所述上夹板上设有与第一混合腔联通的第一进液管和第一进气管，所述喷淋管通过若干支管与所述第一混合腔联通，所述喷淋管上均匀分布设有若干微孔；
所述下喷淋机构包括下夹板和设置在所述下夹板顶面上的若干喷淋座，所述下夹板顶面上位于所述喷淋座外周还设有第二密封圈，所述第二密封圈与扁平式钟罩下端法兰大小、形状相匹配，以在扁平式钟罩放置于下夹板上时消除扁平式钟罩和下夹板的配合间隙，所述下夹板内部形成有第二混合腔，所述下夹板上设有与第二混合腔联通的第二进液管和第二进气管，所述喷淋座与所述第二混合腔联通，所述喷淋座顶部均匀分布设有若干喷嘴，所述下夹板上还设有排废管路，以联通扁平式钟罩内部空间和清洗腔室外部空间。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一密封圈和所述第二密封圈均为O型圈。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述喷嘴在所述喷淋座顶部呈辐射状分布。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述支管至少为三根且在喷淋管长度方向上间隔均匀分布。
作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述喷淋座至少为三个且在第二密封圈内的下夹板顶面上均匀分布。
相对于现有技术，本实用新型的技术效果在于：
1、本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩，通过第一、二密封圈密封，喷淋管、喷淋座伸入扁平式钟罩内部喷洗并通过排废管路排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏；
2、清洗过程无需将手伸入清洗腔室操作，安全性强；
3、上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，高压雾化喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。
附图说明
图1是现有技术中钟罩清洗机的结构示意图；
图2是本实用新型实施方式中全自动立式钟罩清洗机的结构示意图；
图3是本实用新型实施方式中全自动立式钟罩清洗机的局部放大结构示意图；
图4是上夹板的剖视结构示意图；
图5是下夹板的剖视结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。
以下提供本实用新型的一种实施方式：
请参见图2至5，一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳1，所述机壳1中形成有清洗腔室2，所述机壳1中靠近清洗腔室2顶部设有上喷淋机构，靠近清洗腔室2底部设有下喷淋机构；
所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸31、上夹板32、喷淋管33，所述上夹板32与所述气缸31的活动端连接，以在气缸31驱动下升降移动，所述上夹板32底面上位于喷淋管33外周设有第一密封圈34，所述第一密封圈34与扁平式钟罩5上端法兰51大小、形状相匹配，以在上夹板32压合在扁平式钟罩5上时消除扁平式钟罩5和上夹板32的配合间隙，所述上夹板32内部形成有第一混合腔35，所述上夹板32上设有与第一混合腔35联通的第一进液管36和第一进气管37，所述喷淋管33通过若干支管38与所述第一混合腔35联通，所述喷淋管33上均匀分布设有若干微孔；
所述下喷淋机构包括下夹板61和设置在所述下夹板61顶面上的若干喷淋座62，所述下夹板61顶面上位于所述喷淋座62外周还设有第二密封圈63，所述第二密封圈63与扁平式钟罩5下端法兰52大小、形状相匹配，以在扁平式钟罩5放置于下夹板61上时消除扁平式钟罩5和下夹板61的配合间隙，所述下夹板61内部形成有第二混合腔64，所述下夹板61上设有与第二混合腔64联通的第二进液管65和第二进气管66，所述喷淋座62与所述第二混合腔64联通，所述喷淋座62顶部均匀分布设有若干喷嘴，所述下夹板61上还设有排废管路67，以联通扁平式钟罩5内部空间和清洗腔室2外部空间。
现有钟罩清洗工艺包括依次进行的酸喷洗、水喷洗、预吹干工序，本领域技术人员可以预期，第一进液管36、第二进液管65用于导入酸液或水，第一进气管37、第二进气管66用于导入高压气体，具体的，第一进液管36、第二进液管65通过管路与储酸箱连接并通过酸液泵加压进行酸液导入，第一进液管36、第二进液管65同时通过管路与储水箱连接并通过水泵加压进行水导入，第一进气管37、第二进气管66通过管路与高压气源连接进行高压气体导入。
进行酸喷洗时，第一进液管36、第二进液管65导入酸液，第一进气管37、第二进气管66导入高压气体，酸液和高压气体混合后从喷淋管33的微孔或喷淋座62的喷嘴以二流体形式喷出；
进行水喷洗时，第一进液管36、第二进液管65导入水，第一进气管37、第二进气管66导入高压气体，水和高压气体混合后从喷淋管33的微孔或喷淋座62的喷嘴以二流体形式喷出；
进行预吹干时，仅从第一进气管37、第二进气管66导入高压气体，高压气体从喷淋管33的微孔或喷淋座62的喷嘴喷出。
本实用新型使用时，将扁平式钟罩5放置在下夹板61上(下夹板61位置固定不动)，注意放置时扁平式钟罩5下端法兰52对位压在第二密封圈63上，气缸31带动上夹板32下降，第一密封圈34与扁平式钟罩5上端法兰51配合密封，然后依次经过酸喷洗、水喷洗、预吹干对扁平式钟罩5内表面进行清洁，清洁过程中排废管路67向外排出废液废气。
进一步的，所述第一密封圈34和所述第二密封圈63均为O型圈。
进一步的，所述喷嘴在所述喷淋座62顶部呈辐射状分布。
进一步的，所述支管38至少为三根且在喷淋管33长度方向上间隔均匀分布。
进一步的，所述喷淋座62至少为三个且在第二密封圈63内的下夹板61顶面上均匀分布。
相对于现有技术，本实用新型的技术效果在于：
本实用新型在清洗时通过上、下夹板夹持扁平式钟罩5，通过第一、二密封圈密封，喷淋管33、喷淋座62伸入扁平式钟罩5内部喷洗并通过排废管路67排废，有效将金层与酸液隔开，金层不易损坏；
清洗过程无需将手伸入清洗腔室2操作，安全性强；
上、下喷淋机构以二流体形式进行酸喷洗、水喷洗，高压雾化喷洗均匀且范围大、距离远，清洗品质高。
最后应说明的是：以上实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施方式对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施方式技术方案的精神和范围。
Claims (5)
1.一种全自动立式钟罩清洗机，包括机壳，所述机壳中形成有清洗腔室，其特征在于，所述机壳中靠近清洗腔室顶部设有上喷淋机构，靠近清洗腔室底部设有下喷淋机构；
所述上喷淋机构包括由上至下依次设置的气缸、上夹板、喷淋管，所述上夹板与所述气缸的活动端连接，以在气缸驱动下升降移动，所述上夹板底面上位于喷淋管外周设有第一密封圈，所述第一密封圈与扁平式钟罩上端法兰大小、形状相匹配，以在上夹板压合在扁平式钟罩上时消除扁平式钟罩和上夹板的配合间隙，所述上夹板内部形成有第一混合腔，所述上夹板上设有与第一混合腔联通的第一进液管和第一进气管，所述喷淋管通过若干支管与所述第一混合腔联通，所述喷淋管上均匀分布设有若干微孔；
所述下喷淋机构包括下夹板和设置在所述下夹板顶面上的若干喷淋座，所述下夹板顶面上位于所述喷淋座外周还设有第二密封圈，所述第二密封圈与扁平式钟罩下端法兰大小、形状相匹配，以在扁平式钟罩放置于下夹板上时消除扁平式钟罩和下夹板的配合间隙，所述下夹板内部形成有第二混合腔，所述下夹板上设有与第二混合腔联通的第二进液管和第二进气管，所述喷淋座与所述第二混合腔联通，所述喷淋座顶部均匀分布设有若干喷嘴，所述下夹板上还设有排废管路，以联通扁平式钟罩内部空间和清洗腔室外部空间。
2.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机，其特征在于，所述第一密封圈和所述第二密封圈均为O型圈。
3.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机，其特征在于，所述喷嘴在所述喷淋座顶部呈辐射状分布。
4.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机，其特征在于，所述支管至少为三根且在喷淋管长度方向上间隔均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种全自动立式钟罩清洗机，其特征在于，所述喷淋座至少为三个且在第二密封圈内的下夹板顶面上均匀分布。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201921596128.3U CN210546660U (zh) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | 一种全自动立式钟罩清洗机 |
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|---|---|---|---|
| CN201921596128.3U Active CN210546660U (zh) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | 一种全自动立式钟罩清洗机 |
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114798554A (zh) * | 2022-04-14 | 2022-07-29 | 北京华林嘉业科技有限公司 | 立式半导体外延石英炉管钟罩及石英件清洗机 |
| CN115213159A (zh) * | 2022-08-15 | 2022-10-21 | 北京华林嘉业科技有限公司 | 一种硅外延石英钟罩去除磷砷硼掺杂物的清洗方法 |
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2019
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