CN110484894A - 尾气清理单元、尾气清理装置和气相沉积设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于气相沉积设备的尾气清理单元，包括喷射腔和滤网结构，所述喷射腔包括外侧壁和内侧壁，所述内侧壁形成为具有内腔的筒状，所述外侧壁环绕所述内侧壁设置，且与所述内侧壁相间隔，所述内侧壁上形成有沿所述内侧壁的厚度方向贯穿所述内侧壁的喷射孔，所述外侧壁上形成有沿所述外侧壁的厚度方向贯穿所述外侧壁的流体入口，以使得通过所述内侧壁围成的内腔的一端的开口流入的流体能够通过所述滤网结构并从所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口流出。本发明还提供一种尾气清理装置和一种气相沉积设备。所述气相沉积设备的尾气处理管路装置中残留颗粒较少甚至没有，因此，可以延长对真空泵的维护周期。

Description

尾气清理单元、尾气清理装置和气相沉积设备
技术领域
本发明涉及气相沉积设备领域，具体地，涉及一种尾气清理单元、一种包括该尾气清理单元的尾气清理装置和一种包括该尾气清理单元的气相沉积设备。
背景技术
所谓气相沉积是指，通过向气相沉积设备的工艺腔内通入工艺气体的方式在设置在工艺腔内的衬底上形成膜层结构。气相沉积设备包括将反应尾气从工艺腔内排出的尾气管，沉积步骤结束后，需要利用真空泵将过剩的工艺气体通过尾气管抽出工艺腔。
在上述过程中，未反应的工艺气体可能会进一步沉积在尾气管的管壁以及设置在尾气管中的阀门上，不仅有可能影响阀门的正常动作，还可能被抽入真空泵中，对真空泵造成损坏。
例如，在利用图1中所示的气相沉积设备进行形成Al2O3薄膜的单原子层沉积工艺时，首先向沉积腔室200内通入三甲基铝(TMA，Trimethyl Aluminum)气体，使三甲基铝附着在基片A上，随后通入净化气体进行吹扫，利用真空泵500通过尾气处理管10将净化气体以及过剩的TMA气体抽出。吹扫完成后，通入水气雾，使得水分子沉积在衬底上，并与TMA分子反应，形成三氧化二铝薄膜。随后通入净化气体，对工艺腔以及管路进行吹扫。
在吹扫的过程中，未反应的工艺气体可能会继续反应，产生三氧化二铝附着在管壁上以及阀门上，三氧化二铝是难溶于水的白色固体，质极硬，附着在管壁易产生颗粒，并且，形成在阀门上的三氧化二铝会影响阀门的正常动作。
并且，当吹扫结束后利用真空泵对沉积腔室进行抽真空时，未反应的气体可能会进入真空泵中继续反应，在真空泵中生成三氧化二铝。最终，真空泵中存在抽真空的过程中从管壁上脱落的三氧化二铝以及未反应气体在真空泵内反应生成的三氧化二铝。一旦温度变化或者停泵，就会导致真空泵500卡死，缩短维护周期降低生产效率。
因此，如何确保沉积设备的尾气处理管路中的阀门以及沉积设备的真空泵正常运行以延长维护周期成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于气相沉积设备的尾气清理单元、一种尾气清理装置和一种气相沉积设备，以解决上述技术问题中的至少一者。
为了实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种用于气相沉积设备的尾气清理单元，其中，所述尾气清理单元包括喷射腔和滤网结构，所述喷射腔包括外侧壁和内侧壁，所述内侧壁形成为具有内腔的筒状，所述外侧壁环绕所述内侧壁设置，且与所述内侧壁相间隔，所述内侧壁上形成有沿所述内侧壁的厚度方向贯穿所述内侧壁的喷射孔，所述外侧壁上形成有沿所述外侧壁的厚度方向贯穿所述外侧壁的流体入口，以使得通过所述内侧壁围成的内腔的一端的开口流入的流体能够通过所述滤网结构并从所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口流出。
优选地，所述滤网结构包括滤网、上安装板和下安装板，所述滤网连接在所述上安装板和所述下安装板之间，且围成筒状，所述上安装板与所述内侧壁之间形成有间隔，所述下安装板与所述内侧壁相对固定设置，且所述下安装板上设置有与所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口相通的流体出口。
优选地，所述滤网结构还包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述上安装板固定连接，所述支撑杆的另一端与所述下安装板固定连接。
优选地，所述喷射腔还包括上连接板和下连接板，所述上连接板连接所述外侧壁的上端和所述内侧壁的上端，且所述下连接板连接所述外侧壁的下端和所述内侧壁的下端。
优选地，所述尾气清理单元还包括第一导流管、第二导流管、第三开关阀和第四开关阀，所述第一导流管的一端与所述流体入口连通，所述第二导流管与所述第一导流管连通，所述第一导流管上设置有所述第三开关阀，所述第二导流管上设置有所述第四开关阀。
作为本发明的第二个方面，提供一种尾气清理装置，其中，所述尾气清理装置包括尾气导入管、废液排出管、抽气管、和尾气清理单元，所述尾气清理单元为本发明所提供的上述尾气清理单元，所述尾气导入管的出口与所述内侧壁围成的内腔的一端的开口连通，所述废液排出管入口的与所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口连通，且所述废液排出管的入口位于所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口的下方，所述废液排出管的出口形成为废液出口，所述废液排出管的侧壁上形成有抽气口，所述抽气管通过所述抽气口与废液排出管的管腔连通。
优选地，所述尾气清理装置还包括第一开关阀和第二开关阀，所述第一开关阀设置在所述尾气导入管上，所述第二开关阀设置在所述抽气管上。
优选地，所述尾气清理装置还包括与所述废液出口选择性连通的废液收集盒。
优选地，所述尾气清理装置还包括上凸缘和下凸缘，
所述上凸缘设置在所述尾气导入管的外表面上且环绕所述尾气导入管的出口，所述上凸缘与所述上连接板固定连接，
所述下凸缘设置在所述废液排出管的外表面上且环绕所述废液排出管的入口，所述下凸缘与所述下连接板固定连接。
作为本发明的第三个方面，提供一种气相沉积设备，所述气相沉积设备包括沉积腔室和尾气清理装置，其中，所述尾气清理装置为本发明所提供的上述尾气清理装置，所述尾气导入管的入口与所述沉积腔室的内部连通。
本发明所提供的尾气清理单元应用于气相沉积设备中，当停止通入工艺气体后，利用惰性的净化气体(例如，氮气、氩气、氦气等)对工艺腔进行吹扫，净化气体以及未反应的气体被吹入内侧壁围成的内腔内，经过滤网结构。由于滤网结构具有较大的表面积，未反应的工艺气体分子附着在滤网结构的网眼处，并继续反应，并生成产物，沉积在滤网结构的表面，而非进入抽气管中，从而可以减少甚至消除附着在抽气管的内壁上的颗粒以及附着在第二开关阀上的颗粒，并且相应地减少甚至消除进入真空泵中的颗粒。
当滤网结构的表面沉积了足够多的固体产物时，会导致尾气清理单元内的压力升高。当压力高到预定程度时，切断真空泵与所述尾气清理单元之间的连通，通过外侧壁上的流体入口向所述喷射腔的内部通入能够与所述产物发生反应并生成可溶性物质的溶液或蒸汽。当通入的是溶液时，该溶液为高压溶液，通过内侧壁上的喷射孔时被雾化，形成气雾。当通入的是蒸汽时，该蒸汽直接从喷射孔中喷出。
设置喷射腔的另一个优点在于，当滤网结构上沉积了过多的固体产物时，无需对滤网进行拆除即可对滤网进行清理，缩短了维护时间，间接提高了生成效率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是现有技术中的气相沉积设备的结构示意图；
图2是本发明所提供的气相沉积设备的结构示意图；
图3是尾气清理单元的剖视图。
附图标记说明
110：外侧壁 120：内侧壁
121：喷射孔 130：滤网结构
131：滤网 132：上安装板
133：下安装板 134：支撑杆
141：上连接板 142：下连接板
151：第一导流管 152：第二导流管
153：第三开关阀 154：第四开关阀
200：沉积腔室 310：第一工艺气体通入管
320：第二工艺气体通入管 410：第一工艺气体源
420：第二工艺气体源 500：真空泵
610：尾气导入管 620：废液排出管
630：抽气管 640：第一开关阀
641：插板阀 642：蝶阀
650：第二开关阀 700：废液收集盒
710：第五开关阀 720：排液阀
800：真空规 10：尾气处理管
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
需要指出的是，在本发明中，用到的方位词“上、下”是图2和图3中的上下方向。
作为本发明的一个方面，图3所示，提供一种用于气相沉积设备的尾气清理单元100，其中，尾气清理单元包括喷射腔和滤网结构130。
所述喷射腔包括外侧壁110和内侧壁120，内侧壁120形成为具有内腔的筒状，外侧壁110环绕内侧壁120设置，且外侧壁110与内侧壁120间隔设置。内侧壁120上形成有沿该内侧壁120的厚度方向贯穿该内侧壁120的喷射孔121。
外侧壁110上设置有沿该外侧壁110的厚度方向贯穿该外侧壁110的流体入口。容易理解的是，所述流体入口和喷射孔121均与所述喷射腔的内部连通。
本发明所提供的尾气清理单元应用于气相沉积设备中，如图2中所示，内侧壁120围成的内腔的一端的开口与沉积腔室200连通，内侧壁120围成的内腔的另一端的开口选择性地与抽气管630连通，而抽气管630通过第二开关阀650与真空泵500选择性地连通。需要指出的是，内侧壁120围成的内腔的另一端的开口不仅与抽气管630连通，还与位于该开口下方的排液口连通。
当停止通入工艺气体后，利用惰性的净化气体(例如，氮气、氩气、氦气等)对工艺腔进行吹扫，净化气体以及未反应的气体被吹入内侧壁120围成的内腔内，经过滤网结构130。由于滤网结构130具有较大的表面积，未反应的工艺气体分子附着在滤网结构130的网眼处，并继续反应，并生成产物，沉积在滤网结构130的表面，而非进入抽气管630中，从而可以减少甚至消除附着在抽气管630的内壁上的颗粒以及附着在第二开关阀650上的颗粒，并且相应地减少甚至消除进入真空泵中的颗粒。
当滤网结构130的表面沉积了足够多的固体产物时，会导致尾气清理单元内的压力升高。当压力高到预定程度时，切断真空泵与所述尾气清理单元之间的连通，通过外侧壁110上的流体入口向所述喷射腔的内部通入能够与所述产物发生反应并生成可溶性物质的溶液或蒸汽。当通入的是溶液时，该溶液为高压溶液，通过内侧壁120上的喷射孔121时被雾化，形成气雾。当通入的是蒸汽时，该蒸汽直接从喷射孔中喷出。
设置喷射腔的另一个优点在于，当滤网结构130上沉积了过多的固体产物时，无需对滤网进行拆除即可对滤网进行清理，缩短了维护时间，间接提高了生成效率。
在本发明中，对如何判断滤网结构130的表面是否沉积了足够多的固体产物不做具体的限定。例如，可以利用真空规800测量尾气清理单元的内侧壁120围成的内腔的气压。随着固体产物的增加，内侧壁120围成的内腔的气压也会增加，当真空规800测得的真空度无非匹配真空泵的本底时，判定滤网结构的表面沉积了足够多的固体产物。
从喷射孔121中喷出的气雾或蒸汽附着在滤网结构130上，与滤网结构上沉积的产物反应。此外，气雾或蒸汽还可以与内侧壁120的表面上的产物反应，产生可溶性物质。可溶性物质可以从滤网131以及内侧壁120的内壁上流下，并最终从尾气清理单元100中排出。
将从沉积腔室中流出未反应的工艺气体继续反应生成的产物清除后，再次对沉积腔室进行抽真空时，可以减少因颗粒脱落而进入真空泵500中存在的颗粒的量，从而可以延长阀门以及真空泵的维护周期，进而提高生产效率。
在本发明中，对喷射孔121的数量以及孔径并不做特殊的要求。优选地，内侧壁120上设置有沿不同圆周排列的多个喷射孔121。作为一种实施方式，多个喷射孔121排列在沿内侧壁的轴向间隔设置的2至30个不同圆周上，优选地，设置在5个不同的圆周上。每个圆周上设置有多个喷射孔，例如，可以设置5个、10个、20个、40个等。优选地，每个圆周上设置有10个圆孔。喷射孔的孔径可以在1mm至10mm之间，优选地，喷射孔的孔径可以为2mm。
在本发明中，对滤网结构130的具体结构并不做特殊的限制，只要能够允许气体通过、并允许气体流出即可。例如，滤网结构130可以包括滤网131，可以将该滤网131直接设置在内侧壁的内腔中，且滤网131与内侧壁的轴线垂直。
为了使得未反应的工艺气体在所述尾气处理单元内充分反应，优选地，在图3中所示的具体实施方式中，滤网结构130包括滤网131、上安装板132和下安装板133，滤网131连接在上安装板131和下安装板132之间，且围成筒状。
上安装板132与内侧壁120的内壁之间形成有间隔，以使得通过内侧壁120的入口进入的气体吹到上安装板132上之后，向四周发散，并进入滤网131与内侧壁120之间的间隔，进而通过滤网131的网孔穿过滤网131，并在滤网131的表面继续发生反应。
下安装板133与内侧壁120相对固定设置，且下安装板133上设置有与内侧壁120围成的内腔的另一端开口相通的流体出口。由于下安装板133上形成有流体出口，因此，进入滤网131的气体(例如，吹扫气体)可以通过流体出口流向内侧壁120围成的内腔的另一端的开口。
设置下安装板133的主要功能为对整个滤网结构130进行支撑。设置上安装板130的主要目的在于，防止工艺气体直接从滤网130围成的空间内流出，增加从工艺腔排出的未反应的工艺气体与滤网的接触面积、确保工艺腔中未反应的工艺气体能够在尾气清理单元内反应完全，并避免过多的未反应的气体在第二阀门的表面反应生成固体，并且可以避免过多的未反应的工艺气体进入真空泵。
在本发明中，对滤网的过滤精度并不做特殊的限定。例如，滤网的过滤精度可以选自5μm、10μm、20μm等几种过滤精度。
为了增加滤网结构130的强度，防止滤网131坍塌，优选地，滤网结构130还包括支撑杆134，该支撑杆134的一端与上安装板132固定连接，支撑杆134的另一端与下安装板133固定连接。
为了确保进入外侧壁110和内侧壁120之间间隔的液体能够被彻底雾化，优选地，如图3所示，尾气清理单元100还包括上连接板141和下连接板142，上连接板141连接外侧壁110的上端和内侧壁120的订单管，且下连接板142连接外侧壁110的下端和内侧壁120的下端，以使得上连接板141、下连接板142、内侧壁120、外侧壁110共同围成喷射腔的内部空间。
通过所述流体入口将高压溶液通入所述喷射腔内部后，可以被喷射孔121雾化。
为了便于对尾气清理单元100本身进行清理，优选地，尾气清理单元100还包括第一导流管151、第二导流管152、第三开关阀153和第四开关阀154。
如图2和图3中所示，第一导流管151的一端与所述流体入口连通，第二导流管152与第一导流管151连通，第一导流管151上设置有所述第三开关阀153，第二导流管152上设置有所述第四开关阀154。
可以通过第一导流管151向所述喷射腔内通入高压流体。并且，在高压流体形成的气雾与工艺气体生成的产物反应完毕后，停止向第一导流管151通入流体，关闭第三开关阀153，打开第四开关阀154，并通过第二导流管152向外侧壁110与内侧壁110之间的间隔通入惰性气体，进而将未完全排出的液体吹出。
作为本发明的第二个方面，提供一种尾气清理装置，其中，所述尾气清理装置包括尾气导入管610、废液排出管620、抽气管630和尾气清理单元100，其中，该尾气清理单元100为本发明所提供的上述尾气清理单元100。
尾气导入管610的出口与内侧壁110围成的内腔的一端的开口连通，废液排出管620入口的与内侧壁110的围成的内腔的另一端的开口连通。并且，废液排出管620的入口位于内侧壁120围成的内腔的另一端的开口的下方，废液排出管620的出口形成为废液出口。废液排出管620的侧壁上形成有抽气口，抽气管630通过所述抽气口与废液排出管620的管腔连通。
如图2中所示，将所述尾气清理装置应用于气相沉积设备中时，将尾气导入管610与沉积腔室200连通。尾气清理单元100清理产生的废液由废液排出管620排出。由于废液排出管620的入口位于内侧壁120围成的内腔的另一端的开口的下方，因此，可溶性物体的溶液可以在自身重力的作用下进入废液排出管620，而非进入抽气管620。
容易理解的是，抽气管620用于与抽真空泵相连。
为了便于对沉积腔室200进行抽真空，优选地，所述尾气清理装置还包括第一开关阀640和第二开关阀650。如图2所示，第一开关阀640设置在尾气导入管610上，抽气管630与废液排出管620连通，第二开关阀650设置在抽气管630上。
第一开关阀640用于将废液出口选择性地打开，第二开关阀650用于实现抽气管630与真空泵之间选择性地连通。
当沉积腔室200内进行沉积工艺时，将第一开关阀640关闭，从而可以防止工艺气体逸出，以确保沉积工艺的正常进行。
优选地，所述尾气清理装置还可以包括真空规800，该真空规800用于测量尾气导入管610内的气压。
在图2中所示的具体实施方式中，第一开关阀640包括插板阀641和蝶阀642。
需要对从沉积腔室200内排出的尾气进行处理时，将第一开关阀640(包括插板阀641和蝶阀642)打开，允许从沉积腔室200内排出的尾气通过尾气导入管620进入尾气处理单元。在利用溶液对滤网结构上沉积的反应产物进行处理时，将第二开关阀650关闭，从而可以避免雾化的处理液被抽入真空泵。
为了便于对从废液排出管620排出的废液进行集中处理，优选地，所述尾气清理装置还可以包括与所述废液出口选择性连通的废液收集盒700。
在本发明中，可以在废液排出管620上设置第五开关阀710，以实现将废液出口与废液收集盒700选择性地连通。为了便于将废液收集盒700的废液进行回收和处理，优选地，废液收集盒700与废液收集管连通，废液收集管上设置有排液阀720，当废液收集盒700内的废液达到预定量时，可以将排液阀720打开，并将废液从废液收集盒700中排出。
在本发明中，尾气导入管610与尾气清理单元100之间的连接应当是密封连接，以避免气体逸出污染空气，为了实现密封连接，优选地，如图3所示，尾气清理单元100包括上连接板141和下连接板142，相应地，尾气清理装置还包括上凸缘611和下凸缘621。
上凸缘611设置在尾气导入管610的外表面上且环绕尾气导入管610的出口设置，上凸缘611与上连接板141固定连接，所述下凸缘与所述下连接板固定连接。
下凸缘621设置在废液排出管620的外表面上，且环绕废液排出管620的入口，下凸缘621与下连接板142固定连接。
作为本发明的第三个方面，提供一种气相沉积设备，如图2所示，所述气相沉积设备包括具有工艺腔的沉积腔室200和尾气清理装置，其中，所述尾气清理装置为本发明所提供的上述尾气清理单元，如图2所示，尾气导入管610的入口与沉积腔室200的内部连通。
当气相沉积工艺结束后，利用惰性的净化气体(例如，氮气、氩气、氦气等)对工艺腔进行吹扫，净化气体以及未反应的气体被吹入内侧壁围成的空腔内，并经过滤网结构130。由于滤网结构130具有较大的表面积，未反应的工艺气体在滤网结构130的网眼处继续反应，并生成产物，沉积在滤网结构130的表面。
当滤网结构130的表面沉积了足够多的固体产物时，断开真空泵与废液排出管620之间的气体连通，通过外侧壁110上的流体入口向所述喷射腔内通入能够与所述产物发生反应并生成可溶性物质的溶液或蒸汽。当通入的是溶液时，该溶液为高压溶液，通过内侧壁120上的喷射孔121时被雾化，形成气雾。当通入的是蒸汽时，该蒸汽直接从喷射孔中喷出。
从喷射孔121中喷出的气雾或蒸汽附着在滤网结构130上，与滤网上沉积的产物反应。此外，气雾或蒸汽还可以与内侧壁120的内壁上的产物反应，产生可溶性物质。可溶性物质可以从滤网结构130以及内侧壁120的表面上流下，并最终从尾气清理单元100中排出。
将滤网结构130以及内侧壁120上沉积的未反应的工艺气体生成的产物清除后，可以再次启动真空泵500。
作为一种具体实施方式，所述气相沉积设备可以用于沉积形成三氧化二铝薄膜。具体地，所述气相沉积设备包括第一工艺气体通入管310、第二工艺气体通入管320。第一工艺气体通入管310的一端与第一工艺气体源(及，TMA源)410连通，第一工艺气体通入管310的另一端与沉积腔室200的内部连通；第二工艺气体通入管320的一端与第二工艺气体源(即，水蒸汽源)420连通，第二工艺气体通入管320的另一端与沉积腔室200内部连通。未反应的工艺气体生成的产物为三氧化二铝，可以通过喷射孔喷出碱液气雾对附着在内侧壁120的表面上的三氧化二铝进行处理，具体反应公式如下：
Al2O3+2NaOH＝2NaAlO2+H2O。
其中，NaAlO2是可溶性的。
将基片A设置在沉积腔室200内，进行沉积工艺时，交替地向沉积腔室200内通入第一工艺气体和第二工艺气体。
执行吹扫工艺时，打开插板阀641、蝶阀642和第二开关阀650。未反应的工艺气体附着在滤网131的表面。当第一工艺气体和第二工艺气体均附着在滤网131的表面时，二者继续反应，生成三氧化二铝。
当真空规800测得的真空度无法匹配真空泵500的本底时，关闭第二开关阀650，打开第三开关阀153，通过第一导流管151向包括外侧壁110和内侧壁120的喷射腔注入高压的NaOH热溶液，待到高压的NaOH热溶液充满所述封闭空间后，从喷射孔雾化喷出。NaOH气雾附着在滤网131上，与滤网131上的三氧化二铝发生反应，生成NaAlO2溶液，并顺着滤网流出。
经过预定时间后，关闭第三开关阀153，打开第四开关阀154，通过第二导流管152通入惰性的净化气体(例如，N2)，通过喷射孔进入内侧壁120的内腔。于此同时，向工艺腔内通入净化气体，以将内侧壁120的内表面以及滤网131表面吹干，并将未干的液体吹入废液收集盒700。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于气相沉积设备的尾气清理单元，其特征在于，所述尾气清理单元包括喷射腔和滤网结构，所述喷射腔包括外侧壁和内侧壁，所述内侧壁形成为具有内腔的筒状，所述外侧壁环绕所述内侧壁设置，且与所述内侧壁相间隔，所述内侧壁上形成有沿所述内侧壁的厚度方向贯穿所述内侧壁的喷射孔，所述外侧壁上形成有沿所述外侧壁的厚度方向贯穿所述外侧壁的流体入口，以使得通过所述内侧壁围成的内腔的一端的开口流入的流体能够通过所述滤网结构并从所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口流出。
2.根据权利要求1所述的尾气清理单元，其特征在于，所述滤网结构包括滤网、上安装板和下安装板，所述滤网连接在所述上安装板和所述下安装板之间，且围成筒状，所述上安装板与所述内侧壁之间形成有间隔，所述下安装板与所述内侧壁相对固定设置，且所述下安装板上设置有与所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口相通的流体出口。
3.根据权利要求2所述的尾气清理单元，其特征在于，所述滤网结构还包括支撑杆，所述支撑杆的一端与所述上安装板固定连接，所述支撑杆的另一端与所述下安装板固定连接。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的尾气清理单元，其特征在于，所述喷射腔还包括上连接板和下连接板，所述上连接板连接所述外侧壁的上端和所述内侧壁的上端，且所述下连接板连接所述外侧壁的下端和所述内侧壁的下端。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的尾气清理单元，其特征在于，所述尾气清理单元还包括第一导流管、第二导流管、第三开关阀和第四开关阀，所述第一导流管的一端与所述流体入口连通，所述第二导流管与所述第一导流管连通，所述第一导流管上设置有所述第三开关阀，所述第二导流管上设置有所述第四开关阀。
6.一种尾气清理装置，其特征在于，所述尾气清理装置包括尾气导入管、废液排出管、抽气管、和尾气清理单元，所述尾气清理单元为权利要求1至5中任意一项所述的尾气清理单元，所述尾气导入管的出口与所述内侧壁围成的内腔的一端的开口连通，所述废液排出管入口的与所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口连通，且所述废液排出管的入口位于所述内侧壁围成的内腔的另一端的开口的下方，所述废液排出管的出口形成为废液出口，所述废液排出管的侧壁上形成有抽气口，所述抽气管通过所述抽气口与废液排出管的管腔连通。
7.根据权利要求6所述的尾气清理装置，其特征在于，所述尾气清理装置还包括第一开关阀和第二开关阀，所述第一开关阀设置在所述尾气导入管上，所述第二开关阀设置在所述抽气管上。
8.根据权利要求7所述的尾气清理装置，其特征在于，所述尾气清理装置还包括与所述废液出口选择性连通的废液收集盒。
9.根据权利要求6至8中任意一项所述的尾气清理装置，其特征在于，所述尾气清理单元为权利要求4所述的尾气清理单元，所述尾气清理装置还包括上凸缘和下凸缘，
所述上凸缘设置在所述尾气导入管的外表面上且环绕所述尾气导入管的出口，所述上凸缘与所述上连接板固定连接，
所述下凸缘设置在所述废液排出管的外表面上且环绕所述废液排出管的入口，所述下凸缘与所述下连接板固定连接。
10.一种气相沉积设备，所述气相沉积设备包括沉积腔室和尾气清理装置，其特征在于，所述尾气清理装置为权利要求6至9中任意一项所述的尾气清理装置，所述尾气导入管的入口与所述沉积腔室的内部连通。
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