CN210631925U - 一种icp尾气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，进气管与排气管设置在机架上端，进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，每个腔室内均设置有喷淋管，喷淋管口均设置有螺旋喷淋头，每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料，二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室，该ICP尾气处理装置利用处理室将ICP尾气与溶有三氯化硼气体的循环处理液充分中和处理，并且利用虹吸喷淋将尾气导流到最终喷淋腔室中，可以充分处理尾气残余有害气体，而且保持循环处理液温度在结晶临界温度之上，节能环保。

Description

一种ICP尾气处理装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制程清洗设备技术领域，具体涉及一种ICP尾气处理装置。

背景技术

ICP的尾气主要就是载气Ar,但是离子化了后，等离子体中还有酸碱性气体分子等等，ICP 尾气对环境造成一定的影响，传统的ICP尾气处理系统为达到处理效果都是在运行中持续不断的往里面通入纯水，这种处理会造成水的大量浪费，而新兴的处理方案是循环通入三氯化硼气体溶于水的方式中和酸碱尾气，解决了浪费水的问题，另外为了避免三氯化硼气体溶于水会产生结晶现象，也需设计出有效便捷的温控方案。

发明内容

本实用新型目的是：针对背景技术提及的传统处理ICP尾气的问题和不足，提供一种ICP 尾气处理装置，既能有效将半导体制程中ICP设备排出有毒、有害气体尾气充分处理后，也可有效减少排放管路内的结晶问题，并达标排放。

为解决上述问题采取的技术方案是：

一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，

所述机架一侧设有电控箱，包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵，所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接，

所述进气管与排气管设置在所述机架上端，所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管，每个腔室内均设置有喷淋管，所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头，每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料，

所述二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室，通过循环处理液将尾气导流到最终喷淋腔室，并设置有与所述循环水箱管路连接的溢流口，

所述排气管下方设置有除雾器。

进一步地，所述循环水箱设置有进水口和排水口。

进一步地，所述温度监测器控制所述循环水箱内的液体温度在45℃以上。

进一步地，所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室一侧均设置有维修视窗。

进一步地，所述机架底座下设置有防漏盆。

本实用新型的有益效果是：该ICP尾气处理装置利用由多级喷淋腔室构成的处理室，将 ICP尾气与溶有三氯化硼气体的循环处理液充分中和处理，并且利用虹吸喷淋将尾气导流到最终喷淋腔室中，可以充分处理尾气残余有害气体，而且保持循环处理液温度在结晶临界温度之上，节能环保，实用方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所提供的附图作简单地介绍。

图1为本实施例ICP尾气处理装置的结构示意图；

图2为本实施例ICP尾气处理装置的背部示意图；

图3为本实施例ICP尾气处理装置去除前机架的结构示意图；

图4为本实施例ICP尾气处理装置的正视图；

其中，1-机架，11-维修视窗，12-控制面板，13-电控箱，2-循环水箱，21-水箱观察窗， 22-进水管，23-排水管，3-进气管，4-排气管，41-除雾器，5-初始喷淋腔室，6-喷淋管，61- 过滤板，62-一级喷淋腔室，63-二级喷淋腔室，64-虹吸喷淋腔室，65-最终喷淋腔室，66- 溢流口，7-处理室，8-防漏盆，9-螺旋喷淋头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-4，本实施例提出一种ICP尾气处理装置，包括机架1、循环水箱2、进气管 3、排气管4以及由多级喷淋腔室构成的处理室7。

具体地说，所述机架1一侧设有电控箱13，包括控制面板12、温度监测器、pH监测器以及泵，所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱2内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接。

所述进气管3与排气管4设置在所述机架1上端，所述进气管3与处理室7之间还设置有初始喷淋腔室5，所述处理室7包括一级喷淋腔室62、二级喷淋腔室63和最终喷淋腔室65，所述初始喷淋腔室5、一级喷淋腔室62、二级喷淋腔室63和最终喷淋腔室65中一体连通有喷淋管6，每个腔室内均设置有喷淋管，所述喷淋管6口均设置有螺旋喷淋头9，每个腔室之间设置有过滤板61和平铺散堆的拉西环填料。

所述二级喷淋腔室63和最终喷淋腔室65之间设置有虹吸喷淋腔室64，通过循环处理液将尾气导流到最终喷淋腔室65，并设置有与所述循环水箱2管路连接的溢流口66。

所述排气管4下方设置有除雾器41。

进一步的实施方案是，所述循环水箱2设置有进水口22和排水口23。

进一步的实施方案是，所述温度监测器控制所述循环水箱2内的液体温度在45℃以上。

进一步的实施方案是，所述初始喷淋腔室5、一级喷淋腔室62、二级喷淋腔室63和最终喷淋腔室65一侧均设置有维修视窗11，用于维修腔室以及泄压。

进一步的实施方案是，所述机架1底座下设置有防漏盆8，用于防止装置内的循环处理液外漏。

上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种ICP尾气处理装置，包括机架、循环水箱、进气管、排气管以及由多级喷淋腔室构成的处理室，其特征在于：

所述机架一侧设有电控箱，包括控制面板、温度监测器、pH监测器以及泵，所述温度监测器、pH监测器与所述循环水箱内的溶有三氯化硼气体的循环处理液电性连接，

所述进气管与排气管设置在所述机架上端，所述进气管与处理室之间还设置有初始喷淋腔室，所述处理室包括一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室，所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室中一体连通有喷淋管，每个腔室内均设置有喷淋管，所述喷淋管口均设置有螺旋喷淋头，每个腔室之间设置有过滤板和平铺散堆的拉西环填料，

所述二级喷淋腔室和最终喷淋腔室之间设置有虹吸喷淋腔室，通过循环处理液将尾气导流到最终喷淋腔室，并设置有与所述循环水箱管路连接的溢流口。

2.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述排气管下方设置有除雾器。

3.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述循环水箱设置有进水口和排水口。

4.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述温度监测器控制所述循环水箱内的液体温度在45℃以上。

5.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述初始喷淋腔室、一级喷淋腔室、二级喷淋腔室和最终喷淋腔室一侧均设置有维修视窗。

6.根据权利要求1所述的ICP尾气处理装置，其特征在于：所述机架底座下设置有防漏盆。

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