CN214437270U - 半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置。其特点是包括筒体。所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管。所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸出在筒底之外并作为出风口。位于筒体内的缓冲管与筒体内壁间、缓冲管的斜切端与盖板间均有过滤体。与所述斜切端高侧相应的筒壁上有进风口，该进风口位于筒体上下端之间。采用这种粉尘过滤收集装置，可降低废品率，提高产品质量。适用于对反应腔内排出的少量硅烷和氧气进行反应而形成的粉尘的过滤和收集。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体化学气相沉积机的辅助设备。具体说，是设置在常压式化学气相沉积机的排风管道与其排风口之间，用来防止进入排风管道内的少量硅烷和氧气进行反应而形成粉尘的粉尘过滤收集装置。
背景技术
半导体化学气相沉积机是半导体晶圆生产线中的主要设备。它是在接近一个标准大气压的压力环境下，由载着晶圆的带式输送机的履带沿着加热底板依次从几个喷嘴下方通过。在通过的过程中，由喷嘴喷出硅烷和氧气，使气体在被加热的晶圆表面起化学反应并生成一层二氧化硅薄膜。在这一过程中，虽然大部分硅烷和氧气会在晶圆表面产生反应，但还有少量硅烷和氧气来不及反应，被抽出反应腔之外的排风管道内。由于排风管道内的温度远低于反应腔内的温度，使得进入排风管道内的硅烷和氧气在较冷的温度下继续反应，生成二氧化硅粉尘，并附着在排风管道上。随着时间的增长，排风管道内壁上的粉尘会越积越厚，最终会导致排风管道堵塞。一旦排风管道堵塞，就会影响到反应腔内的反应效果，甚至出现废品。
实用新型内容
本实用新型要解决的问题是克服上述不足、提供一种半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置。采用这种粉尘过滤收集装置，可降低废品率，提高产品质量。
本实用新型要解决的上述问题由以上技术方案实现：
本实用新型的半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置特点是包括筒体。所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管。所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸出在筒底之外并作为出风口。位于筒体内的缓冲管与筒体内壁间、缓冲管的斜切端与盖板间均有过滤体。与所述斜切端高侧相应的筒壁上有进风口，该进风口位于筒体上下端之间。
所述过滤体是钢丝球。
所述盖板为透明盖板。
由上述方案可以看出，由于本实用新型含有筒体。所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管。所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸出在筒底之外并作为出风口。位于筒体内的缓冲管与筒体内壁间、缓冲管的斜切端与盖板间均有过滤体。与所述斜切端高侧相应的筒壁上有进风口，该进风口位于筒体上下端之间。工作时, 由反应腔内排出的带有少量硅烷和氧气的气体从筒壁上的进风口进入筒体后，经过滤体过滤后，沿着缓冲管四周并经再次过滤后，从缓冲管上端的斜切端进入缓冲管内。最后，下行至出风口并排出。这样，不仅延长了从反应腔排出的少量硅烷和氧气在筒体内的滞留时间，而且经过过滤将少量硅烷和氧气在筒体内反应后的粉尘都集聚在了筒体内。与背景技术相比，消除了排风管道内壁上附着粉尘而导致排风管道堵塞的情况发生，从而降低了产品的废品率，大大提高了产品质量。
附图说明
图1是本实用新型的半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型的半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置,含有筒体3。所述筒体3为圆筒，其口部设置有盖板4。所述盖板4时是用玻璃制成的透明板。所述筒体3的筒底上加工有中心孔，中心孔内设置有缓冲管7。所述缓冲管7为圆管，其上端从所述中心孔之外伸入筒体3内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端加工呈斜切端5，其下端伸出在筒底之外并作为出风口8。位于筒体3内的那段缓冲管7与筒体3内壁间、缓冲管7的斜切端5与盖板4间均装有过滤体6。所述过滤体6是钢丝球。与所述斜切端5高侧相应的筒壁上加工有进风口1，该进风口位于筒体3上下端之间，并连接有短管2。
工作时, 由反应腔内排出的带有少量硅烷和氧气的气体从筒体3上的进风口1进入筒体3后，由过滤体6过滤后，沿着缓冲管7四周并经再次过滤后，从缓冲管7上端的斜切端5进入缓冲管7内。最后，下行至出风口8并排出。
Claims (3)
1.半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置,其特征在于：包括筒体；所述筒体为圆筒，其口部有盖板，其筒底上有中心孔，中心孔内有缓冲管；所述缓冲管上端从所述中心孔之外伸入筒体内，其与中心孔间呈密封状连接在一起，其上端为斜切端，其下端伸出在筒底之外并作为出风口；位于筒体内的缓冲管与筒体内壁间、缓冲管的斜切端与盖板间均有过滤体；与所述斜切端高侧相应的筒壁上有进风口，该进风口位于筒体上下端之间。
2.根据权利要求1所述的半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置，其特征在于：所述过滤体是钢丝球。
3.根据权利要求1或2所述的半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置，其特征在于：所述盖板为透明盖板。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202023059741.7U CN214437270U (zh) | 2020-12-18 | 2020-12-18 | 半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214437270U true CN214437270U (zh) | 2021-10-22 |
Family
ID=78190430
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| CN202023059741.7U Active CN214437270U (zh) | 2020-12-18 | 2020-12-18 | 半导体化学气相沉积机用粉尘过滤收集装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN214437270U (zh) |
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2020
- 2020-12-18 CN CN202023059741.7U patent/CN214437270U/zh active Active
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