KR100361667B1

KR100361667B1 - 폐가스 처리 장치

Info

Publication number: KR100361667B1
Application number: KR1020000064198A
Authority: KR
Inventors: 김경균
Original assignee: 유니셈 주식회사
Priority date: 2000-10-31
Filing date: 2000-10-31
Publication date: 2002-11-22
Also published as: KR20020033941A

Abstract

다수의 드레인 경로를 형성하여 폐가스 정제에 이용되는 물을 원활히 드레인시키면서 설비의 안정성을 확보하고, 폐가스 정제 방식을 개선하면서 설비의 효율성을 확보한 폐가스 처리 장치에 관한 것으로서, 폐가스와 불활성 가스 및 공기가 유입되어 기체를 혼합시키는 매니폴더, 상기 매니폴더에서 혼합된 기체를 가열시켜서 화학적 성질을 변형시키는 가열 챔버, 상기 가열챔버의 배기구에 제 1 드레인 관이 연결되고, 제 1 드레인관의 측면이 제 2 드레인관과 수평이음된 드레인 유니트, 상기 제 2 드레인관의 상부에 배관이 다단으로 연결되고 각 단계별 배관의 내부에 압소버가 설치되며 상기 각 배관에 물분사 노즐이 설치되어 상기 압소버의 상부에서 물을 분사하여 일방향으로 이동되는 폐가스를 정제하는 물분사식 정제 유닛, 상기 물분사식 정제 유닛에서 배기되는 가스의 유속을 완충시킴으로써 가스에 포함된 액체 성분을 드레인시키고 가스를 배출하는 액 분리기 및 상기 드레인 유니트와 상기 액분리기에서 드레인되는 물을 수용하는 드레인 탱크를 구비하여 이루어진다. 그에 따라서 폐가스를 처리하는 장치의 구동상 안정성이 보장되고, 폐가스 정제 및 필터링 효율을 향상시키면서 자원의 낭비를 방지하는 효과가 있다.

Description

폐가스 처리 장치{Waste gas treatment system}

본 발명은 폐가스 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수의 드레인 경로를 형성하여 폐가스 정제에 이용되는 물을 원활히 드레인시키면서 설비의 안정성을 확보하고, 폐가스 정제 방식을 개선하면서 설비의 효율성을 확보한 폐가스 처리 장치에 관한 것이다.

반도체 디바이스는 산화, 식각, 증착 및 포토 공정 등 다양한 제조 공정을거쳐서 제조되며, 이들 공정에는 유독성 화공 약품 및 화학 가스가 공급되어서 이용된다. 예를 들어 실란, 암모니아, 산화질소, 아르신, 포시핀, 디보론, 보론, 트리클로라이드와 같은 화학 가스가 이용된다.

이들 화학가스들은 독성이 강해서 공정에 이용된 후 그대로 대기로 방출될 경우 인체에 치명적인 영향을 미치거나 자연발화에 따른 화재가 발생되거나 또는 환경문제를 발생시킬 가능성이 있다.

이러한 반도체 제조 공정에서 이용된 폐가스는 정제되어서 재활용되거나 방출되어야 하며, 이를 위한 장치는 본 출원인에 의하여 특허출원 제98-51414호에 "건습식 폐가스 처리 장치"로 개시된 바 있다.

이러한 폐가스 처리 장치를 보다 효율적이면서 안정적으로 개선하기 위하여 많은 노력과 비용이 투자되고 있으며, 보다 안정적으로 폐가스를 처리하는 폐가스 처리 장치의 개발이 소망되고 있다.

본 발명의 목적은 안정적으로 폐가스를 처리하고, 포집 경로 상의 분진이 원활히 배출되며 배관 막힘 없이 폐가스 정제와 습기와 분진물의 포집이 이루어지도록 함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 보텍스(Vortex) 튜브를 이용하여 데미스터(Demister)를 구성함으로써 배출되는 가스에 포함된 액체성분을 냉각된 압소버에 흡착시켜서 보다 정제된 폐가스를 배출할 수 있도록 함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 최종 배출되는 가스를 버퍼에서 완충시킴으로써 기체에 포함된 액체성분을 드레인시킴으로써 보다 정제된 폐가스를 배출할 수 있도록 함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 폐가스 정제에 이용되는 물을 재활용하여 자원의 낭비를 줄임에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 폐가스 처리 장치의 바람직한 실시예를 나타내는 도면

도 2는 도 1의 드레인 유니트로 구성되는 제 1 드레인관의 단면도

도 3은 도 2의 A부분 확대 단면도

도 4는 도 1의 제 3 배관의 정면도

도 5는 도 1의 제 3 배관의 측면도

도 6은 도 1의 액분리기의 측면도

도 7은 도 1의 액분리기의 정면도

본 발명에 따른 폐가스 처리 장치는 폐가스와 불활성 가스 및 공기가 유입되어 기체를 혼합시키는 매니폴더, 상기 매니폴더에서 혼합된 기체를 가열시켜서 화학적 성질을 변형시키는 가열 챔버, 상기 가열챔버의 배기구에 제 1 드레인 관이 연결되고, 제 1 드레인관의 측면이 제 2 드레인관과 수평이음된 드레인 유니트, 상기 제 2 드레인관의 상부에 배관이 다단으로 연결되고 각 단계별 배관의 내부에 압소버가 설치되며 상기 각 배관에 물분사 노즐이 설치되어 상기 압소버의 상부에서 물을 분사하여 일방향으로 이동되는 폐가스를 정제하는 물분사식 정제 유닛, 상기 물분사식 정제 유닛에서 배기되는 가스의 유속을 완충시킴으로써 가스에 포함된 액체 성분을 드레인시키고 가스를 배출하는 액 분리기 및 상기 드레인 유니트와 상기 액분리기에서 드레인되는 물을 수용하는 드레인 탱크를 구비하여 이루어진다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 실시예는 크게 매니폴더(10), 가열 챔버(20), 드레인 유닛(30), 드레인 탱크(40), 물분사식 정제 유닛(50) 및 액분리기(60)로 구성되며, 부가적으로 드레인 펌프(70)와 재활용펌프(80)가 설치되고, 이들에 공기와 불활성 가스인 질소 및 물을 공급하기 위한 배관들과 이들 배관을 통한 유체의 단속을 위한 밸브들이 설치된다.

구체적으로, 매니폴더(10)는 상부 유입구를 통하여 폐가스가 유입되고 측면으로 배관을 통하여 공기와 불활성가스인 질소가 공급되도록 구성된다. 매니폴더(10)는 내부에서 폐가스와 불활성가스 및 공기를 혼합한다. 불활성가스인 질소를 공급하는 배관(16)에는 일방향으로 질소를 공급하기 위한 체크밸브(18)가 구성된다.

매니폴더(10)의 하부에는 가열 챔버(20)가 구성되며, 가열챔버(20)는 매니폴더(10)와 연통된 가열 경로(미도시)를 가지며, 가열 경로를 통하여 이동하는 가스를 가열하여 가스에 포함된 폐가스의 화학적 성질을 변화시켜서 유독성 및 가연성 등을 제거한다. 그리고, 가열챔버(20)는 가열경로의 가열을 위한 히팅 블럭(미도시)이 구성되고, 히팅 블럭의 외면에는 냉각을 위하여 공기가 하부에서 상부로 흐르는 코일 형상의 배관(미도시)과 냉각을 위하여 물이 상부에서 하부로 흐르는 코일 형상의 배관(미도시)이 구성된다. 그리고, 코일형상의 각 배관에 공기와 물을 공급하기 위한 배관(22, 24)이 상부와 하부에 연장 설치되며, 이들 배관(22, 24)에 각각 체크밸브(26, 28)가 설치된다. 여기에서 가열챔버(20)에서 냉각에 이용된 공기는 연장된 배관(12)을 통하여 매니폴더(10)에 투입될 수 있으며, 공기가 일방향으로만 공급될 수 있도록 배관(12)에 체크밸브(14)가 구성된다.

그리고, 가열챔버(20)의 하부에는 드레인 유닛(30)이 구성되며, 드레인 유닛(30)은 대향된 측벽이 서로 관이음된 제 1 드레인관(32)과 제 2 드레인 관(34)의 조합으로 구성된다. 그리고, 제 1 드레인관(32)과 제 2 드레인관(34)은 하부의 드레인 탱크(40)의 내부까지 연장된다.

제 1 드레인관(32)은 가열챔버(20)와 연통되며, 제 1 드레인 관(32)의 가열 챔버(20) 쪽 관이음되는 부분의 변부에는 도 2 및 도 3과 같이 물저장공간(36)이 형성되고, 물저장공간(36)에는 제 1 드레인 관(32)의 내부와 연통된 간극(38)이 형성되며 하부에 노즐(39)이 형성된다.

물저장공간(36)은 제 1 드레인관(32)이 가열챔버(20)와 관이음되는 부분의 변부에 환형으로 구성될 수 있으며, 물저장공간(36)에는 복수 개의 노즐(39)이 구성될 수 있다. 또한 간극(39)은 연속된 형상 또는 소정 길이로 분할된 형상으로 물저장공간(36)이 구성된 바에 대응하여 형성될 수 있다.

그리고, 노즐(39)에 연결되는 배관(302)은 가열챔버(20)에서 냉각에 이용된 물이 드레인되는 배관(304)과 소정 공급원으로부터 질소가 공급되는 배관(306)과 T형 밸브(308)를 통하여 결합되며, 물이 드레인되는 배관(304)과 질소가 공급되는 배관(306)에는 체크밸브(310, 312)가 각각 구성되어서 질소의 공급에 따라서 물이 가압되어 노즐(39)을 통하여 물저장공간(36)으로 물이 공급된다.

그리고, 드레인 유닛(30)의 제 2 드레인 관(34)에는 관이음되어 가스가 유입되는 입구를 향하여 물을 분사하는 노즐(342)이 설치되며, 그에 대응되는 높이에 물의 수위를 감지하는 플로트 센서(344)가 설치될 수 있다.

이러한 구성을 갖는 드레인 유닛(30)에서 가스가 정제되며, 가열 과정에서 발생되는 분진이 드레인된다.

즉, 제 1 드레인 관(32)으로 유입되는 가스는 물저장공간(36)에서 간극(38)을 통하여 질소가압으로 측면에서 분사되는 물과 접촉하여 정제된다. 가열과정에서 발생되거나 초기에 가스에 실려 이동된 분진은 물과 접촉되어 드레인되고, 가스에 포함된 수용성 가스도 물에 용해되어 드레인된다. 또한 분사되는 물에 의하여 제 1 드레인관(32)의 측면이 가스와 반응되거나 분진이 부착되는 것이 방지될 수 있다.

그리고, 제 1 드레인 관(32)으로 유입된 가스는 상술한 과정으로 정제되면서 하부의 드레인 탱크(40)에 물이 수용됨에 따라서 하부로 진행되지 못하고 관 이음된 부분을 통하여 제 2 드레인 관(34)으로 진행된다.

제 2 드레인 관(34)으로 진행된 가스는 노즐(342)에서 역분사되는 물에 의하여 다시 정제된다. 즉 수용성 성분과 분진이 분사되는 물에 접촉되어 하부의 드레인 탱크(40)로 드레인된다. 이때 노즐(342)에서 물이 분사되는 각도는 관이음되어 가스가 유입되는 제 2 드레인관(34)의 유입구 전체를 커버하도록 설정되어야 하며, 바람직하게는 45° 정도로 설정될 수 있다.

이와 같이 1 드레인 관(32)과 제 2 드레인 관(34)에서 정제된 가스는 상부로 진행하며, 가스를 정제한 물은 하부의 드레인 탱크(40)로 드레인된다.

이러한 드레인 유닛(30)의 복수 드레인 경로는 제 1 드레인관(32)이 막힌 경우 제 2 드레인관(34)을 통한 드레인이 가능하여 설비의 가동율을 향상시키고, 동작의 안정성을 제공한다.

그리고, 양쪽 드레인관(32, 34)이 모두 막힌 경우 플로트 센서(344)에 의하여 수위가 감지되어서 폐가스 처리 동작이 중지된다.

한편, 드레인 탱크(40)는 드레인 영역(42)과 배출 영역(44)이 칸막이(46)에 의하여 구분되며, 배출 영역(44)에는 수위 센서들(45)이 구성되고, 배출영역(44)의 물을 배출시키기 위한 드레인 펌프(70)에 연결된 배관(72)이 구성된다.

따라서, 배출 영역(44)에서 수위 센서들(45)에 의하여 수위가 센싱되고, 배출 영역(44)의 물이 일정 수위로 차오르면 드레인 펌프(70)가 가동되어서 물이 소정 수위로 떨어질 때까지 펌핑한다.

드레인 유닛(30)의 제 2 드레인관(34)의 상부에는 다단으로 배관이 구성된 물분사식 정제 유닛(50)이 구성된다.

물분사식 정제 유닛(50)은 실시예로써 테프론 재질의 압소버(502)가 설치된 제 1 배관(504), 테프론 재질의 압소버(506)가 설치되고 압소버 설치 부분과 드레인 탱크(40) 간에 산배기 배관(508)이 연결된 제 2 배관(510) 및 스테인레스 재질의 압소버(512)가 설치된 제 3 배관(514)이 구성된다.

제 1 배관(504)은 내부의 하측에 테프론 재질의 압소버(502)가 설치되고 그 상측에 물을 분사하는 노즐(516)이 설치된다. 그러므로 가스는 압소버(502)와 분사되는 물에 의하여 정제되면서 상부로 이동된다.

그리고, 제 2 배관(510)은 내부의 하측에 테프론 재질의 압소버(506)가 설치되고 그 상측에 물을 분사하는 노즐(518)이 설치되며, 압소버(506)가 설치된 측벽에 산배기 배관(508)이 연결된다. 산배기 라인(508)은 드레인 탱크(40)와 연결되고, 산배기 배관(508)에는 볼 밸브(520)가 구성된다.

그러므로, 제 2 배관(510)에서 압소버(506)와 상측의 물분사에 의하여 가스가 정제되면서 상부로 이동된다. 또한, 드레인 탱크(40)에서 발생되는 산성이나 수분등이 산배기 배관(508)을 통하여 제 2 배관(510)으로 유입되며, 이러한 산성이나 수분 성분은 압소버(506)와 물분사에 의하여 정제된다.

제 1 배관(504)과 제 2 배관(510)의 노즐은 가스가 이동되는 통로 전체를 커버하는 각도로 물을 하향 분사하도록 설정되어야 하며, 바람직하게는 60°로 분사각이 설정될 수 있다.

그리고, 제 3 배관(514)은 내부의 하측에 스테인레스 재질의 압소버(512)가 설치되고, 여기에 보텍스 튜브로 데미스터(522)가 구성된다. 그리고, 상부에는 물이 분사되는 노즐(524)이 설치되며, 일측벽은 배기를 위한 출구(526)가 형성된다.

데미스터(522)는 도 4 및 도 5와 같이 제 3 배관(514)에 연결되면서 공기가 유입되는 배관(528)과 뜨거운 공기를 배기하는 배관(530) 및 차운 공기를 제 3 배관(514)을 관통하여 압소버(512)로 공급하는 배관(532)이 보텍스 튜브(534)에 연결되어 구성되며, 보텍스 튜브(534)는 외기를 유입하여 차운 공기를 압소버(512)로 공급함으로써 압소버(512)를 냉각시켜서 이를 통과하는 가스에 포함된 습기를 피착시켜서 정제하는 효과를 얻기 위하여 구성된 것이다.

따라서, 제 3 배관(514)에서 가스에 포함된 습기는 압소버(512)와 물분사에 의해서 정제되며, 가스는 액분리기(60)로 공급된다.

제 1 내지 제 3 배관(504, 510, 514)을 경유하면서 정제된 가스에는 습기 등과 같은 기화된 액체 성분이 잔류될 수 있으며, 이를 최종 제거하기 위하여 액분리기(60)가 도 6 및 도 7과 같은 구성을 갖도록 구성된다.

액분리기(60)는 유입되는 가스의 유속을 감속시킬 정도로 큰 단면적 및 용량을 갖는 버퍼로 구성됨이 바람직하며, 보다 효과적으로 가스를 정제하기 위하여 사이클론 효과를 얻을 수 있도록 편심된 입구를 갖도록 구성됨이 바람직하다.

결국 사이클론 효과를 얻으면서 유입되는 가스의 유속을 감속시켜서 가스에 포함된 액체 성분을 제거하기 위하여 원추형 드레인 부분(62)과 원통형 몸체(64)가 일체로된 형상을 갖도록 구성되며, 몸체(64)의 측벽에는 제 3 배관(514)의 배출구(526)와 결합되어 가스가 유입되는 유입구(66)가 구성되며 몸체의 상부에는 정제된 가스를 배기하기 위한 배출구(68)가 구성된다.

액분리기(60)에서 자체 중량으로 인하여 감속된 유속에서 드레인된 액체 성분은 배관을 통하여 드레인탱크(40)로 드레인된다.

그리고, 드레인 유닛(30)의 제 2 드레인 관(34)과 제 1 배관(504)에 구성된 노즐(342, 516)로 공급되는 물은 제 2 배관(510)과 제 3 배관(514)에 구성된 노즐(518, 524)로 공급되는 물과 다른 배관을 통하여 공급될 수 있으며, 이를 위하여 소정 물 공급원으로부터 연결되는 배관이 구분되어 구성될 수 있다.

이는 제 2 드레인 관(34)과 제 1 배관(504)에 드레인 탱크(40)에 수용된 물을 선택적으로 공급하여 재활용할 수 있도록 하기 위한 것이며, 이를 위하여 재활용 펌프(80)가 구성될 수 있다.

즉, 재활용 펌프(80)는 드레인 탱크(40)의 드레인 영역(42)의 물을 펌핑하여 일방향으로 공급하며, 재활용 펌프(80)의 물 공급 배관(82)과 제 2 드레인관(34)과 제 1 배관(504)에 공급하기 위한 별도의 물 공급 배관이 T형 결합되어서 이들 제 2드레인관(34)과 제 1 배관(504)에 공급될 수 있다.

따라서, 폐가스는 매니폴더(10)에서 불활성 가스 및 공기와 혼합되어서 가열 챔버(20)로 공급되고, 가열챔버(20)는 혼합 공급되는 폐가스를 가열시켜서 화학적 성향을 변환시킨다.

이때 파우더와 같은 분진이 발생되며, 폐가스에는 수용성 성분이 혼합되어 있다. 이러한 폐가스는 드레인 유닛(30)의 제 1 드레인 관(32)에서 측면에서 질소 가압에 의하여 분사되는 물에 의하여 정제되고, 분진은 물이 제 1 드레인 관(32)의 측벽을 타고 흘러내림으로 피착되지 않고 드레인 탱크(40)에 물과 같이 드레인된다. 그리고 수용성 가스 성분되 물과 접촉하여 희석된다.

제 1 드레인관(32)에서 정제된 가스는 관이음부분을 통하여 제 2 드레인관(34)로 진행되고, 폐가스는 제 2 드레인관(34)으로 유입되는 시점에서 역분사되는 물에 의하여 다시 정제된다. 이때 걸러지지 않은 분진들이 물에 의하여 드레인되며 수용성 성분도 재차 희석된다.

그리고, 제 2 드레인관(34)도 역분사되는 물에 의하여 내벽에 피착됨없이 물과 분진을 드레인시키며, 정제된 가스는 상부로 진행시킨다.

제 1 배관(504)과 제 2 배관(510)에서 가스는 압소버(502, 506)로써 필터링되면서 상부로 진행되고 이때 분사되는 물들에 의하여 또한 정제된다. 이때 제 2 배관(510)은 산배기배관(508)을 통하여 유입되는 드레인 탱크(40)의 습기나 산성 기체를 압소버(506)로 정제한다.

그리고, 제 3 배관(514)에서는 데미스터(522)에 의하여 냉각된 스테인레스재질의 압소버(512)에 의하여 가스에 포함된 습기나 분진들이 피착되어 필터링되고 상부에서 분사되는 물에 의하여 최종적으로 정제가 이루어진다.

이와 같은 과정을 거친 정제된 가스는 액분리기(60)로 투입되며, 액분리기(60)에서 폐가스에 포함된 무거운 질량의 액체 성분은 순간적인 유속의 감소로 인하여 하부로 드레인되고 정제된 순수 가스가 배기된다.

본 발명은 다단의 필터링과 정제과정을 거쳐서 폐가스를 정제하며, 드레인 유닛에 복수의 드레인 경로가 구비되어 배관의 막힘없이 안정되게 동작되면서 원활히 포집이 이루어질 수 있다.

그리고, 필터링 과정에서 보텍스(Vortex) 튜브를 이용하여 데미스터(Demister)를 구성함으로써 배출되는 가스에 포함된 액체성분을 필터링하는 효과를 높이고, 또한 액분리기를 이용하여 최종 배출단에서 가스에 포함된 액체성분을 제거함으로써 필터링의 효율성을 상승시킬 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 폐가스 정제에 이용되는 물을 재활용함으로써 자원의 낭비를 최소화하는 효과가 있다.

Claims

폐가스와 불활성 가스 및 공기가 유입되어 기체를 혼합시키는 매니폴더;

상기 매니폴더에서 혼합된 기체를 가열시켜서 화학적 성질을 변형시키는 가열 챔버;

상기 가열챔버의 배기구에 제 1 드레인 관이 연결되고, 제 1 드레인관의 측면이 제 2 드레인관과 수평이음된 드레인 유니트;

상기 제 2 드레인관의 상부에 배관이 다단으로 연결되고 각 단계별 배관의 내부에 압소버가 설치되며, 상기 각 배관에 물분사 노즐이 설치되어 상기 압소버의 상부에서 물을 분사하여 일방향으로 이동되는 폐가스를 정제하는 물분사식 정제 유닛;

상기 물분사식 정제 유닛에서 배기되는 가스의 유속을 완충시킴으로써 가스에 포함된 액체 성분을 드레인시키고 가스를 배출하는 액 분리기 및

상기 드레인 유니트와 상기 액분리기에서 드레인되는 물을 수용하는 드레인 탱크를 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 드레인 유니트는,

상기 가열 챔버와 관이음되는 부분의 관 변부에 내부와 간극을 통하여 연통된 물저장 공간이 형성되고, 상기 공간으로 상기 불활성 가스와 물을 공급하는 노즐이 상기 물저장 공간의 일부에 구성되며, 상기 노즐을 통한 상기 불활성 가스의가압으로 상기 노즐을 통하여 공급된 물이 상기 간극을 통하여 관의 내부로 분사되어 상기 가스를 정제하면서 내부에 물을 공급하여 상기 드레인 탱크로 드레인시키는 제 1 드레인 관; 및

상기 제 1 드레인관과 대응되는 측면으로 관이음되고, 상기 물분사식 정제 유닛에서 흐르는 물을 상기 드레인 탱크로 드레인시키는 제 2 드레인 관을 구비함을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 제 1 드레인관의 노즐에는 상기 불활성 가스가 공급되는 제 1 배관과 물이 공급되는 제 2 배관이 T형 결합된 배관이 연결되어서 상기 불활성 가스의 가압에 의하여 상기 물이 상기 노즐을 통하여 공급되며, 상기 제 2 배관은 상기 가열 챔버에서 이용된 물을 드레인하는 것임을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 제 2 드레인관의 관이음된 부분과 유사 높이에 관이음 부분을 대향하는 노즐이 설치되고, 상기 노즐에 물이 공급되어서 상기 제 1 드레인관에서 상기 제 2 드레인관의 내부로 유입되는 가스에 물이 역분사되어 정제가 이루어짐을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 드레인 탱크에는 레벨 센서가 설치되며, 상기 레벨센서의 센싱에 따라 동작되어서 내부에 수용된 물을 외부로 펌핑하는 드레인 펌프가 더 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 물분사식 정제 유닛을 이루는 배관의 내부에 설치되는 압소버는 테프론 재질로 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 물분사식 정제 유닛을 이루는 배관의 소정 위치의 배관과 상기 드레인 탱크는 볼밸브를 갖는 배관으로 연결되며, 상기 드레인 탱크에서 발생되는 산 성분을 상기 압소버로 투입하여 재처리하도록 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 물분사식 정제 유닛을 이루는 각 배관의 노즐로 물을 공급하는 배관이 제 1 그룹과 제 2 그룹으로 분할되며, 상기 드레인 탱크에 수용된 물을 펌핑하는 재활용펌프가 더 구성됨으로써 소정 공급원으로부터 공급되는 물과 상기 드레인 탱크로부터 공급되는 물이 해당 배관의 밸브의 개폐로 상기 제 1 그룹을 이루는 배관에 교차로 공급되도록 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 물분사식 정제 유닛을 이루는 각 배관의 최종단 배관에는 스테인레스 재질의 압소버가 설치되고, 상기 압소버에 볼텍스 튜브을 갖는 드미스터가 설치되어서 상기 압소버가 냉각됨으로써 통과되는 상기 가스를 정제함을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 액분리기는 상기 물분사식 정제 유닛에 연결되는 배관보다 단면적과 체적을 가짐으로써 유속의 순간적인 저하로 인하여 가스에 포함된 액체 성분을 드레인시키고 가스 성분을 배기하는 버퍼로 구성됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 액분리기는 상기 물분사식 정제 유닛에 연결되는 사이클론 챔버로 이루어짐으로써 가스가 사이클론 효과에 의하여 액체 성분이 드레인된 후 배기됨을 특징으로 하는 폐가스 처리 장치.