JPH1161090A - エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 - Google Patents
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残
存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留
粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護
シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。 【解決手段】 本発明に係るエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネル
ギー線重合性化合物と、必要に応じ光重合開始剤（Ｃ）
とからなることを特徴としている。
存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留
粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護
シートに好適な粘着剤組成物を提供すること。 【解決手段】 本発明に係るエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネル
ギー線重合性化合物と、必要に応じ光重合開始剤（Ｃ）
とからなることを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明はエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しく
はウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターン
を切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面
保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関
する。
粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しく
はウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターン
を切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面
保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関
する。
【０００２】
【発明の技術的背景】シリコン、ガリウムヒ素などの半
導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ
法などによってパターンが形成される。次いで表面にパ
ターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シ
ートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなど
により研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウ
エハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工
程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがある
ため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパ
ターンが形成されたウエハの厚みを調節することにあ
る。
導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ
法などによってパターンが形成される。次いで表面にパ
ターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シ
ートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなど
により研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウ
エハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工
程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがある
ため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパ
ターンが形成されたウエハの厚みを調節することにあ
る。
【０００３】ところで、表面にパターンが形成されたウ
エハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩
屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去す
るために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハ
の裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏
面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエ
ハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表
面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
エハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩
屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去す
るために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハ
の裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏
面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエ
ハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表
面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
【０００４】このような粘着シートとしては、特開昭６
２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオ
ン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、ある
いは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性
粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そ
のまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分によ
る汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるように
した親水性タイプのものと、特開平８−２７２３９号公
報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギ
ー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させること
により、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないよ
うにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオ
ン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、ある
いは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性
粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そ
のまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分によ
る汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるように
した親水性タイプのものと、特開平８−２７２３９号公
報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギ
ー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させること
により、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないよ
うにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
【０００５】上記２種類のタイプのウエハ裏面研磨用粘
着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜
に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化
に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエ
ハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シー
トが要望されてくる。
着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜
に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化
に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエ
ハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シー
トが要望されてくる。
【０００６】しかし、このようなエネルギー線硬化型の
粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事
由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射に
よる異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシ
ート表面に付着することによるエネルギー線の照射不良
等）によりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該
残留粘着剤を水洗浄によっては除去できないという問題
がある。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤
がウエハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄
が行われていたが、環境保全等の点からも改善の必要が
あった。
粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事
由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射に
よる異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシ
ート表面に付着することによるエネルギー線の照射不良
等）によりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該
残留粘着剤を水洗浄によっては除去できないという問題
がある。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤
がウエハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄
が行われていたが、環境保全等の点からも改善の必要が
あった。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、ウエハ裏面の研摩時に、ウエ
ハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために
用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物
を提供することを目的としている。
ハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために
用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物
を提供することを目的としている。
【０００８】また本発明は、粘着シート剥離後に粘着剤
がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することに
よって容易に残留粘着剤を除去することができるよう
な、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供
することを目的としている。
がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することに
よって容易に残留粘着剤を除去することができるよう
な、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供
することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性
粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネル
ギー線重合性化合物とからなることを特徴としている。
粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネル
ギー線重合性化合物とからなることを特徴としている。
【００１０】本発明においては、前記親水性粘着剤
（Ａ）が、（A1）カルボキシル基含有重合性モノマー
と、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを
溶液重合により重合することにより得られるカルボキシ
ル基含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤と
から形成される粘着剤組成物からなることが好ましい。
（Ａ）が、（A1）カルボキシル基含有重合性モノマー
と、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを
溶液重合により重合することにより得られるカルボキシ
ル基含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤と
から形成される粘着剤組成物からなることが好ましい。
【００１１】ここで、前記カルボキシル基含有重合性モ
ノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）は、下記式に
て示される化合物であることが特に好ましい。
ノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）は、下記式に
て示される化合物であることが特に好ましい。
【００１２】
【化２】
【００１３】（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独
立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２
の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭
化水素基であり、ｎは１〜１０である。） さらに、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子
内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくと
も１つ有する重量平均分子量１００〜５００００の化合
物であることが好ましい。
立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２
の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭
化水素基であり、ｎは１〜１０である。） さらに、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子
内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくと
も１つ有する重量平均分子量１００〜５００００の化合
物であることが好ましい。
【００１４】また本発明に係るエネルギー線硬化型親水
性粘着剤組成物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重
合開始剤をさらに含有することが好ましい。本発明に係
る粘着シートは、基材上に、上記の粘着剤組成物からな
る粘着剤層が形成されてなることを特徴とし、特にウエ
ハ加工に好ましく用いられる。
性粘着剤組成物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重
合開始剤をさらに含有することが好ましい。本発明に係
る粘着シートは、基材上に、上記の粘着剤組成物からな
る粘着剤層が形成されてなることを特徴とし、特にウエ
ハ加工に好ましく用いられる。
【００１５】このような粘着シートは、該粘着シート
を、パターンが形成されたウエハ表面に貼着し、水をウ
エハ裏面に供給しながらウエハ裏面を研摩する工程を含
むウエハ裏面の研摩方法に好ましく使用される。
を、パターンが形成されたウエハ表面に貼着し、水をウ
エハ裏面に供給しながらウエハ裏面を研摩する工程を含
むウエハ裏面の研摩方法に好ましく使用される。
【００１６】本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬
化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照
射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの
剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由
で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄
することによって容易に残留粘着剤を除去することがで
きる。
化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照
射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの
剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由
で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄
することによって容易に残留粘着剤を除去することがで
きる。
【００１７】
【発明の具体的説明】以下、本発明に係るエネルギー線
硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法につい
て、具体的に説明する。
硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法につい
て、具体的に説明する。
【００１８】本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘
着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギ
ー線重合性化合物とからなることを特徴としている。各
成分について、以下に具体例を挙げて説明する。
着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギ
ー線重合性化合物とからなることを特徴としている。各
成分について、以下に具体例を挙げて説明する。
【００１９】（Ａ）親水性粘着剤 親水性粘着剤（Ａ）は、水と接触すると溶解あるいは膨
潤する粘着剤である。このような親水性粘着剤は、従来
より種々知られており、本発明においては、特に制限さ
れることなく、これの公知親水性粘着剤を使用すること
ができるが、本発明の親水性粘着剤（Ａ）としては、以
下に例示する（１）〜（４）の粘着剤組成物が好まし
く、特に（１）の粘着剤組成物が好ましい。 （１）（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、
（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液
重合により重合することにより得られるカルボキシル基
含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤とから
形成される粘着剤組成物 カルボキシル基含有共重合体は、（A1）カルボキシル基
含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能
な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより
得られる。
潤する粘着剤である。このような親水性粘着剤は、従来
より種々知られており、本発明においては、特に制限さ
れることなく、これの公知親水性粘着剤を使用すること
ができるが、本発明の親水性粘着剤（Ａ）としては、以
下に例示する（１）〜（４）の粘着剤組成物が好まし
く、特に（１）の粘着剤組成物が好ましい。 （１）（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、
（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液
重合により重合することにより得られるカルボキシル基
含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤とから
形成される粘着剤組成物 カルボキシル基含有共重合体は、（A1）カルボキシル基
含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能
な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより
得られる。
【００２０】カルボキシル基含有重合性モノマー（A1）
は、重合性の炭素−炭素二重結合と、カルボキシル基と
を有するモノマーである。このようなモノマーとして
は、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキル
イタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキルフ
マル酸などが用いられる。これらの中でも、本発明にお
いては、特にアクリル酸、メタクリル酸が好ましく用い
られる。このようなカルボキシル基含有重合性モノマー
は、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いる
ことができる。
は、重合性の炭素−炭素二重結合と、カルボキシル基と
を有するモノマーである。このようなモノマーとして
は、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキル
イタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキルフ
マル酸などが用いられる。これらの中でも、本発明にお
いては、特にアクリル酸、メタクリル酸が好ましく用い
られる。このようなカルボキシル基含有重合性モノマー
は、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いる
ことができる。
【００２１】上記カルボキシル基含有重合性モノマーと
共重合可能な他のモノマー（A2）としては、重合性の炭
素−炭素二重結合を１個以上有する化合物であれば、特
に制限されることなく種々のモノマーが用いられうる
が、特に下記式にて示される化合物が好ましい。
共重合可能な他のモノマー（A2）としては、重合性の炭
素−炭素二重結合を１個以上有する化合物であれば、特
に制限されることなく種々のモノマーが用いられうる
が、特に下記式にて示される化合物が好ましい。
【００２２】
【化３】
【００２３】式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立
に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
【００２４】Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基
であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロ
ピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、s
ec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキ
レン基である。
であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロ
ピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、s
ec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキ
レン基である。
【００２５】これらの中でも、Ｒ1としては特に、エチ
レン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好
ましい。Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好
ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、
n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-
ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等
の炭素数１〜６のアルキル基である。
レン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好
ましい。Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好
ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、
n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-
ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等
の炭素数１〜６のアルキル基である。
【００２６】これらの中でも、Ｒ2としては特に、エチ
ル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチ
ル、tert-ブチルが好ましい。したがって、本発明にお
いて用いられるモノマー（A2）としては、特に2-メトキ
シエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メ
タ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレ
ート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアル
コキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好まし
い。
ル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチ
ル、tert-ブチルが好ましい。したがって、本発明にお
いて用いられるモノマー（A2）としては、特に2-メトキ
シエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メ
タ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレ
ート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキ
シジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアル
コキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好まし
い。
【００２７】このようなアルコキシ基含有（メタ）アク
リル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み
合わせて用いることができる。さらに、モノマー（A2）
としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エ
ステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である
（メタ）アクリル酸エステル、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メ
タ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、
Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルア
ミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ
プロピルアクリルアミド Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−ブトキシメ
チルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、酢酸ビ
ニル、スチレン、アクリロニトリル、グリシジル（メ
タ）アクリレート、メチロールアクリルアミド、ビニル
ピロリドン、ビニルメチルエーテル、無水マレイン酸、
エチレンオキサイド、（メタ）アクリル酸グリコシルオ
キシエチル、ビニルアセテート等を用いることもでき
る。これらをアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エス
テルと組み合わせて用いることが特に好ましく、この場
合、アルコキシ含有（メタ）アクリル酸エステルと、他
の重合性モノマーとの比（重量比）は、好ましくは１／
２０〜９９／１程度である。
リル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み
合わせて用いることができる。さらに、モノマー（A2）
としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エ
ステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である
（メタ）アクリル酸エステル、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メ
タ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、
Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルア
ミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ
プロピルアクリルアミド Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−ブトキシメ
チルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、酢酸ビ
ニル、スチレン、アクリロニトリル、グリシジル（メ
タ）アクリレート、メチロールアクリルアミド、ビニル
ピロリドン、ビニルメチルエーテル、無水マレイン酸、
エチレンオキサイド、（メタ）アクリル酸グリコシルオ
キシエチル、ビニルアセテート等を用いることもでき
る。これらをアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エス
テルと組み合わせて用いることが特に好ましく、この場
合、アルコキシ含有（メタ）アクリル酸エステルと、他
の重合性モノマーとの比（重量比）は、好ましくは１／
２０〜９９／１程度である。
【００２８】本発明で用いるカルボキシル基含有共重合
体中におけるカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）
と、（A1）と共重合可能なモノマー（A2）との比（（A
1）／（A2）重量比）は、好ましくは１／５００〜１／
４、特に好ましくは１／１００〜１／１０である。また
カルボキシル基含有共重合体の重量平均分子量は、好ま
しくは５万〜１５０万であり、特に好ましくは１０万〜
１００万である。
体中におけるカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）
と、（A1）と共重合可能なモノマー（A2）との比（（A
1）／（A2）重量比）は、好ましくは１／５００〜１／
４、特に好ましくは１／１００〜１／１０である。また
カルボキシル基含有共重合体の重量平均分子量は、好ま
しくは５万〜１５０万であり、特に好ましくは１０万〜
１００万である。
【００２９】本発明で用いるカルボキシル基含有共重合
体は、上記したカルボキシル基含有重合性モノマー（A
1）と、該モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）
とを所定の比となるように共重合することに得られる。
この共重合は溶液重合にて行われる。
体は、上記したカルボキシル基含有重合性モノマー（A
1）と、該モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）
とを所定の比となるように共重合することに得られる。
この共重合は溶液重合にて行われる。
【００３０】溶液重合は、上記モノマー（A1）と（A2）
との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチ
ロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室
温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０
時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれ
ば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるた
め、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御およ
び得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点
がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合に
よる重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚く
べき効果も得られる。
との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチ
ロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室
温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０
時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれ
ば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるた
め、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御およ
び得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点
がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合に
よる重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚く
べき効果も得られる。
【００３１】上記のカルボキシル基含有共重合体は、１
種単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合
わせて用いることもできる。中和剤（A3）は、上記のカ
ルボキシル基含有共重合体中のカルボキシル基の一部ま
たは全部を中和し、カルボキシル基含有共重合体に親水
性あるいは水溶性を付与するために用いられる。中和剤
（A3）としては、ウエハに悪影響を及ぼすイオン性不純
物のことを踏まえると、分子中に金属、ハロゲンを含ま
ない化合物を用いるのが好ましく、種々の塩基性化合物
が使用されうるが、本発明においては、特にアミン類、
置換アミン類が好ましく用いられ、これらの中でも、水
溶性アミン化合物が好ましい。
種単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合
わせて用いることもできる。中和剤（A3）は、上記のカ
ルボキシル基含有共重合体中のカルボキシル基の一部ま
たは全部を中和し、カルボキシル基含有共重合体に親水
性あるいは水溶性を付与するために用いられる。中和剤
（A3）としては、ウエハに悪影響を及ぼすイオン性不純
物のことを踏まえると、分子中に金属、ハロゲンを含ま
ない化合物を用いるのが好ましく、種々の塩基性化合物
が使用されうるが、本発明においては、特にアミン類、
置換アミン類が好ましく用いられ、これらの中でも、水
溶性アミン化合物が好ましい。
【００３２】このようなアミン化合物としては、具体的
にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およ
びモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級
アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２
級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、
Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチ
ルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシル
アミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミ
ンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピ
リジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性
を示す有機アミノ化合物が用いられる。
にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およ
びモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級
アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２
級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、
Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチ
ルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシル
アミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミ
ンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピ
リジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性
を示す有機アミノ化合物が用いられる。
【００３３】本発明のおいては、特にトリエタノールア
ミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセター
ルが好ましく用いられる。これらの中和剤は、１種単独
で、または２種以上を組み合わせて用いることができ
る。
ミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセター
ルが好ましく用いられる。これらの中和剤は、１種単独
で、または２種以上を組み合わせて用いることができ
る。
【００３４】中和剤（A3）は、前記のカルボキシル基含
有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましく
は０．０００１〜１モル、特に好ましくは０．０１〜
０．５モルの割合で用いられる。
有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましく
は０．０００１〜１モル、特に好ましくは０．０１〜
０．５モルの割合で用いられる。
【００３５】架橋剤（A4）は、前記カルボキシル基含有
共重合体を部分架橋させるために用いられる。架橋剤
（A4）としては、具体的には、分子内にグリシジル基を
含む化合物、たとえばネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビス
フェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシ
ジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、トリ
グリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリ
シジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテ
ル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレ
ンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミ
ノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テト
ラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのエポキシ
系架橋剤、分子内にイソシアナート基を含む化合物、た
とえばトリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジ
イソシアナートなどのイソシアナート系架橋剤、メラミ
ン、フェノールなどのメチロール系架橋剤、キレート系
架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤などが用いられる。
共重合体を部分架橋させるために用いられる。架橋剤
（A4）としては、具体的には、分子内にグリシジル基を
含む化合物、たとえばネオペンチルグリコールジグリシ
ジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビス
フェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシ
ジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、トリ
グリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリ
シジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテ
ル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレ
ンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミ
ノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テト
ラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのエポキシ
系架橋剤、分子内にイソシアナート基を含む化合物、た
とえばトリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジ
イソシアナートなどのイソシアナート系架橋剤、メラミ
ン、フェノールなどのメチロール系架橋剤、キレート系
架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤などが用いられる。
【００３６】カルボキシル基含有共重合体を架橋剤（A
4）で部分架橋することにより、得られる粘着剤の剥離
強度を適当な強さに調節することができ、水に溶解せず
に膨潤する粘着剤が得られる。
4）で部分架橋することにより、得られる粘着剤の剥離
強度を適当な強さに調節することができ、水に溶解せず
に膨潤する粘着剤が得られる。
【００３７】架橋剤（A4）は、前記のカルボキシル基含
有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましく
は０．００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜
０．７５モルの割合で用いられる。
有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましく
は０．００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜
０．７５モルの割合で用いられる。
【００３８】本発明で用いられる粘着剤組成物（１）
は、カルボキシル基含有共重合体および上述した成分
（A3）および（A4）を主成分としてなり、これらの成分
を適宜に混合することにより得られるが、好ましくは、
カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合を
行った後に、架橋剤（A4）を添加してカルボキシル基含
有共重合体の架橋を行う。
は、カルボキシル基含有共重合体および上述した成分
（A3）および（A4）を主成分としてなり、これらの成分
を適宜に混合することにより得られるが、好ましくは、
カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合を
行った後に、架橋剤（A4）を添加してカルボキシル基含
有共重合体の架橋を行う。
【００３９】カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A
3）との混合は、たとえば、中和剤（A3）をそのまま、
あるいは溶剤（アルコール、アセトン等）で希釈し、室
温下でカルボキシル基含有共重合体に加え、その後、５
〜４０℃にて２５分以上攪拌することにより行われる。
3）との混合は、たとえば、中和剤（A3）をそのまま、
あるいは溶剤（アルコール、アセトン等）で希釈し、室
温下でカルボキシル基含有共重合体に加え、その後、５
〜４０℃にて２５分以上攪拌することにより行われる。
【００４０】さらに架橋剤（A4）をそのまま、あるいは
溶剤（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール
等）で希釈し、上記で得られた混合物に室温下で配合
し、５〜４０℃にて５分以上攪拌することにより、本発
明に係る粘着剤組成物（１）が得られる。
溶剤（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール
等）で希釈し、上記で得られた混合物に室温下で配合
し、５〜４０℃にて５分以上攪拌することにより、本発
明に係る粘着剤組成物（１）が得られる。
【００４１】かくして得られる粘着剤組成物（１）は、
溶剤型でかつ界面活性剤を一切用いていない水溶性（水
膨潤性）の粘着剤組成物である。この粘着剤組成物は、
粘着ポリマー自体に親水性を付与させているため、水洗
浄性に優れ、しかも粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非
常に小さい。また粘着剤組成物（１）では、水溶性ポリ
マーと（メタ）アクリル系ポリマーのポリマーブレンド
を行わずに、水溶性（水膨潤性）を付与しているため、
粘着シート剥離時の糊残りが極めて少ない。
溶剤型でかつ界面活性剤を一切用いていない水溶性（水
膨潤性）の粘着剤組成物である。この粘着剤組成物は、
粘着ポリマー自体に親水性を付与させているため、水洗
浄性に優れ、しかも粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非
常に小さい。また粘着剤組成物（１）では、水溶性ポリ
マーと（メタ）アクリル系ポリマーのポリマーブレンド
を行わずに、水溶性（水膨潤性）を付与しているため、
粘着シート剥離時の糊残りが極めて少ない。
【００４２】また、本発明では、親水性粘着剤（Ａ）と
して、上述の粘着剤組成物（１）に代えて、以下のよう
な粘着剤組成物を用いることもできる。 （２）粘着剤と界面活性剤とからなる親水性粘着剤組成
物 粘着剤としては、特に限定はなく、例えば天然ゴム、ポ
リイソブチレン、イソプレン、アクリル酸エステルなど
で代表される化合物を主成分とする合成ゴム、合成樹脂
等をベースポリマーとするものなどの公知のものが用い
られる。
して、上述の粘着剤組成物（１）に代えて、以下のよう
な粘着剤組成物を用いることもできる。 （２）粘着剤と界面活性剤とからなる親水性粘着剤組成
物 粘着剤としては、特に限定はなく、例えば天然ゴム、ポ
リイソブチレン、イソプレン、アクリル酸エステルなど
で代表される化合物を主成分とする合成ゴム、合成樹脂
等をベースポリマーとするものなどの公知のものが用い
られる。
【００４３】界面活性剤としては、ポリオレフィングリ
コール系界面活性剤が好ましく用いられ、たとえばポリ
エチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポリエ
チレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリ
コール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコールポリ
エチレングリコールエーテルなどが用いられ、特にＨＬ
Ｂ８〜１８のものが好ましく用いられる。用いるポリオ
レフィングリコール系界面活性剤は１種のみであっても
よいし、２種以上の併用であってもよい。
コール系界面活性剤が好ましく用いられ、たとえばポリ
エチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポリエ
チレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリ
コール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコールポリ
エチレングリコールエーテルなどが用いられ、特にＨＬ
Ｂ８〜１８のものが好ましく用いられる。用いるポリオ
レフィングリコール系界面活性剤は１種のみであっても
よいし、２種以上の併用であってもよい。
【００４４】ポリオレフィングリコール系界面活性剤の
配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜１０重
量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（２）の具体例については、た
とえば特開昭６２−１０１６７８号公報にその詳細が記
載されている。 （３）エマルジョン系粘着剤 ここでエマルジョン系粘着剤とは、例えばメタクリル酸
メチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘ
キシル、アクリル酸エステル等の（メタ）アクリル酸エ
ステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤を添
加し水中でエマルジョン重合した粘着剤であり、モノマ
ー組成の選択については必要とする接着力に応じ適宜行
うことが可能である。こうして重合されたエマルジョン
粘着剤は通常２０〜６０重量％の固形分を含有する。
配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜１０重
量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（２）の具体例については、た
とえば特開昭６２−１０１６７８号公報にその詳細が記
載されている。 （３）エマルジョン系粘着剤 ここでエマルジョン系粘着剤とは、例えばメタクリル酸
メチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘ
キシル、アクリル酸エステル等の（メタ）アクリル酸エ
ステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤を添
加し水中でエマルジョン重合した粘着剤であり、モノマ
ー組成の選択については必要とする接着力に応じ適宜行
うことが可能である。こうして重合されたエマルジョン
粘着剤は通常２０〜６０重量％の固形分を含有する。
【００４５】また、上記エマルジョン系粘着剤には、必
要に応じ、水溶性有機化合物および／または非イオン系
界面活性剤を添加することもできる。水溶性有機化合物
としては、例えばジエチレングリコールモノブチルエー
テル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、こ
のうち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましく
は１５０℃以上のものが好適である。
要に応じ、水溶性有機化合物および／または非イオン系
界面活性剤を添加することもできる。水溶性有機化合物
としては、例えばジエチレングリコールモノブチルエー
テル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、こ
のうち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましく
は１５０℃以上のものが好適である。
【００４６】また非イオン系界面活性剤としては、たと
えばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、
アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノ
ールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレン
オキシラウリルエーテル等である。
えばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、
アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノ
ールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレン
オキシラウリルエーテル等である。
【００４７】水溶性有機化合物を用いる場合には、エマ
ルジョン系粘着剤１００重量部に対して１〜１００重量
部、好ましくは５〜５０重量部が好適である。また非イ
オン系界面活性剤を用いる場合には、エマルジョン系粘
着剤１００重量部に対して０．０１〜５０重量部、好ま
しくは０．１〜１０重量部が好適である。
ルジョン系粘着剤１００重量部に対して１〜１００重量
部、好ましくは５〜５０重量部が好適である。また非イ
オン系界面活性剤を用いる場合には、エマルジョン系粘
着剤１００重量部に対して０．０１〜５０重量部、好ま
しくは０．１〜１０重量部が好適である。
【００４８】このような粘着剤組成物（３）の具体例に
ついては、たとえば特公平１−５１５１１号公報にその
詳細が記載されている。 （４）粘着剤と水溶性ポリマーとからなる親水性粘着剤
組成物 粘着剤としては、アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤など
が適宜に用いられ、特に架橋型アクリル系粘着剤が好ま
しい。
ついては、たとえば特公平１−５１５１１号公報にその
詳細が記載されている。 （４）粘着剤と水溶性ポリマーとからなる親水性粘着剤
組成物 粘着剤としては、アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤など
が適宜に用いられ、特に架橋型アクリル系粘着剤が好ま
しい。
【００４９】水溶性ポリマーとして、種々のものを用い
うるが、就中ポリプロピレングリコールの如く界面活性
剤作用や可塑剤作用を有するものが好ましく用いられ
る。特にジオール型やトリオール型のポリプロピレング
リコールが好ましい。
うるが、就中ポリプロピレングリコールの如く界面活性
剤作用や可塑剤作用を有するものが好ましく用いられ
る。特にジオール型やトリオール型のポリプロピレング
リコールが好ましい。
【００５０】水溶性ポリマーの配合量は、粘着剤１００
重量部に対して０．１〜５０重量部程度、好ましくは１
〜２０重量部が適当である。このような粘着剤組成物
（４）の具体例については、たとえば特開平５−３３５
２８８号公報にその詳細が記載されている。
重量部に対して０．１〜５０重量部程度、好ましくは１
〜２０重量部が適当である。このような粘着剤組成物
（４）の具体例については、たとえば特開平５−３３５
２８８号公報にその詳細が記載されている。
【００５１】エネルギー線重合性化合物（Ｂ） 本発明で用いられるエネルギー線重合性化合物（Ｂ）
は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を
少なくとも１つ有し、その重量平均分子量は好ましくは
１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３００
００、特に好ましくは１０００〜２００００であり、エ
ネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を
少なくとも１つ有し、その重量平均分子量は好ましくは
１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３００
００、特に好ましくは１０００〜２００００であり、エ
ネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
【００５２】このようなエネルギー線重合性化合物
（Ｂ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６
号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示
されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用い
られ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトール
モノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレング
リコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられ
る。
（Ｂ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６
号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示
されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用い
られ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリ
レート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、
ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリス
リトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトール
モノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレング
リコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
アクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレー
ト、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられ
る。
【００５３】さらにエネルギー線重合性化合物として、
上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタン
アクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレ
タンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型また
はポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソ
シアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシア
ナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−
キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイ
ソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナ
ートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレ
タンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレ
ートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエ
チルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコ
ールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレ
ートなどを反応させて得られる。
上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタン
アクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレ
タンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型また
はポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソ
シアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシア
ナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−
キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイ
ソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナ
ートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレ
タンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレ
ートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエ
チルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコ
ールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレ
ートなどを反応させて得られる。
【００５４】このようなウレタンアクリレート類の中で
も、本発明においては、特に、親水性を有するウレタン
アクリレート化合物が好ましく、具体的には、分子内に
少なくとも１個の水酸基を含有する（メタ）アクリル酸
エステルと、有機ポリイソシアナート類と、１個の水酸
基を含有するポリエチレングリコールモノアルキルエー
テルとの反応生成物が好適に用いられる。
も、本発明においては、特に、親水性を有するウレタン
アクリレート化合物が好ましく、具体的には、分子内に
少なくとも１個の水酸基を含有する（メタ）アクリル酸
エステルと、有機ポリイソシアナート類と、１個の水酸
基を含有するポリエチレングリコールモノアルキルエー
テルとの反応生成物が好適に用いられる。
【００５５】ここで、ポリエチレングリコールモノアル
キルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中
Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示
す）であらわされる化合物である。
キルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中
Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示
す）であらわされる化合物である。
【００５６】このような特に好ましいウレタンアクリレ
ート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等
に記載されている。本発明の粘着剤組成物におけるエネ
ルギー線重合性化合物（Ｂ）の配合割合は、親水性粘着
剤（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１０〜２０
０重量部、さらに好ましくは５０〜１５０重量部、特に
好ましくは７０〜１２０重量部である。この場合には、
得られる粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギ
ー線照射後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離
が容易になり、しかも粘着剤が被着体表面に残留するこ
ともない。
ート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等
に記載されている。本発明の粘着剤組成物におけるエネ
ルギー線重合性化合物（Ｂ）の配合割合は、親水性粘着
剤（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１０〜２０
０重量部、さらに好ましくは５０〜１５０重量部、特に
好ましくは７０〜１２０重量部である。この場合には、
得られる粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギ
ー線照射後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離
が容易になり、しかも粘着剤が被着体表面に残留するこ
ともない。
【００５７】エネルギー線重合性化合物（Ｂ）が１０重
量部未満では、エネルギー線照射後の粘着力が充分に低
下せず、また２００重量部を超えると、水による粘着剤
の除去が困難になる虞がある。
量部未満では、エネルギー線照射後の粘着力が充分に低
下せず、また２００重量部を超えると、水による粘着剤
の除去が困難になる虞がある。
【００５８】光重合開始剤（Ｃ） また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始
剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入
することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光
照射量を少なくすることができる。
には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始
剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入
することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光
照射量を少なくすることができる。
【００５９】このような光重合開始剤としては、具体的
には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモ
ノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベン
ジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが
挙げられる。
には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベン
ジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモ
ノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベン
ジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが
挙げられる。
【００６０】光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、前記エネ
ルギー線重合性化合物（Ｂ）１００重量部に対して、好
ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．
１〜１０重量部、特に好ましくは０．５〜５重量部であ
る。
ルギー線重合性化合物（Ｂ）１００重量部に対して、好
ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．
１〜１０重量部、特に好ましくは０．５〜５重量部であ
る。
【００６１】その他の成分 さらに本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
には、必要に応じて、本発明の目的を損なわない範囲
で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子量、分子量
分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水性等の調整
のため、水溶性多価アルコールなどの親水性可塑剤、粘
着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤などを添加
することもできる。このような他の成分は、それぞれの
成分を添加する目的により様々であるが、成分（Ａ）１
００重量部に対して、好ましくは０．０１〜２０重量部
程度の割合で用いられる。
には、必要に応じて、本発明の目的を損なわない範囲
で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子量、分子量
分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水性等の調整
のため、水溶性多価アルコールなどの親水性可塑剤、粘
着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤などを添加
することもできる。このような他の成分は、それぞれの
成分を添加する目的により様々であるが、成分（Ａ）１
００重量部に対して、好ましくは０．０１〜２０重量部
程度の割合で用いられる。
【００６２】エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物 本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上
記のような親水性粘着剤（Ａ）、エネルギー線重合性化
合物（Ｂ）、所望により光重合開始剤（Ｃ）および前述
した他の成分とを、常法にて混合することにより得られ
る。
記のような親水性粘着剤（Ａ）、エネルギー線重合性化
合物（Ｂ）、所望により光重合開始剤（Ｃ）および前述
した他の成分とを、常法にて混合することにより得られ
る。
【００６３】このようなエネルギー線硬化型感圧接着剤
組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体へ
の粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬
化が得られる。
組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体へ
の粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬
化が得られる。
【００６４】エネルギー線としては、具体的には、紫外
線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着
剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であ
り、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ
／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜
１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線
の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウ
エハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には
１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後
には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールでき
る。
線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着
剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であ
り、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ
／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜
１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線
の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウ
エハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には
１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後
には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールでき
る。
【００６５】しかも、本発明の粘着剤組成物は、エネル
ギー線により硬化した後でも、親水性粘着剤（Ａ）の有
する親水性を維持する。たとえば、親水性粘着剤（Ａ）
として、上記粘着剤組成物（１）を用いた場合には、親
水性の粘着ポリマーを架橋した状態で有限に膨潤する。
エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するため、
粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。また粘着剤組
成物（２）〜（４）を用いた場合には、界面活性剤、水
溶性ポリマーの作用により水が粘着剤とウエハの界面に
侵入する。
ギー線により硬化した後でも、親水性粘着剤（Ａ）の有
する親水性を維持する。たとえば、親水性粘着剤（Ａ）
として、上記粘着剤組成物（１）を用いた場合には、親
水性の粘着ポリマーを架橋した状態で有限に膨潤する。
エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するため、
粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。また粘着剤組
成物（２）〜（４）を用いた場合には、界面活性剤、水
溶性ポリマーの作用により水が粘着剤とウエハの界面に
侵入する。
【００６６】なお、粘着剤の親水性は以下のようにして
評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエ
ハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶
解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時
間を測定する。
評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエ
ハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶
解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時
間を測定する。
【００６７】通常、研磨されたウエハを研磨屑の除去等
のため水で洗浄する工程がある。工程適性を考えると、
本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好
ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。
３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
のため水で洗浄する工程がある。工程適性を考えると、
本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好
ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。
３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
【００６８】このように、本発明の粘着剤組成物は、エ
ネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、
硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単
な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
ネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、
硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単
な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
【００６９】粘着シート 本発明に係る粘着シートは、上記粘着剤組成物からなる
粘着剤層と、基材とからなる。
粘着剤層と、基材とからなる。
【００７０】基材としては、特に限定はされないが、た
とえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポ
リメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、
塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、
ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオ
ノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共
重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステ
ル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカー
ボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが
用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよ
い。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィル
ム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。ま
た、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましく
は８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなる
と表面保護機能が低下するおそれがある。
とえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィル
ム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポ
リメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、
塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、
ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオ
ノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共
重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステ
ル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカー
ボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが
用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよ
い。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィル
ム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。ま
た、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましく
は８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなる
と表面保護機能が低下するおそれがある。
【００７１】本発明の粘着シートは、上記粘着剤組成物
をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、
リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各
種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層
を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを
貼り合わせることによって得られる。
をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、
リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各
種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層
を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを
貼り合わせることによって得られる。
【００７２】粘着剤層の厚さは、用途によって様々であ
るが、通常は１０〜５０μｍ、好ましくは２０〜４０μ
ｍ程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機
能が低下するおそれがある。
るが、通常は１０〜５０μｍ、好ましくは２０〜４０μ
ｍ程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機
能が低下するおそれがある。
【００７３】本発明に係る粘着シートの形状は、テープ
状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。このような
本発明に係る粘着シートは、ウエハ等の表面保護に好ま
しく用いられる。
状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。このような
本発明に係る粘着シートは、ウエハ等の表面保護に好ま
しく用いられる。
【００７４】すなわち、上記のような各成分を含む粘着
シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表
面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウ
エハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の
加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥
離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残
存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表
面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウ
エハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の
加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥
離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残
存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
【００７５】利用方法 このような本発明に係る粘着シートは、特にウエハ加工
時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発
明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法につ
いて説明する。
時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発
明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法につ
いて説明する。
【００７６】粘着シートの上面に剥離性シートが設けら
れている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの
粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着す
る。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ
表面が接するようにして貼着する。
れている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの
粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着す
る。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ
表面が接するようにして貼着する。
【００７７】この状態で、ウエハ裏面をグラインダーな
どによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被
膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さ
に調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどし
てウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する
熱を除去する。
どによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被
膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さ
に調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどし
てウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する
熱を除去する。
【００７８】次に研摩が終了した後に、ウエハから粘着
シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述
したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に
低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易
に粘着シートを剥離することができる。また粘着シート
の剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、
この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることがで
きる。
シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述
したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に
低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易
に粘着シートを剥離することができる。また粘着シート
の剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、
この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることがで
きる。
【００７９】このように本発明に係る粘着シートでは、
粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成
されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激
減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえ
ウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレ
ンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄するこ
とによって除去することができ、したがって、人体に悪
影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が
全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表
面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で
洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、
粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波
洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工
程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シー
トは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な
接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着
シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に
形成されたパターンが破壊されることがない。
粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成
されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激
減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえ
ウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレ
ンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄するこ
とによって除去することができ、したがって、人体に悪
影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が
全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表
面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で
洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、
粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波
洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工
程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シー
トは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な
接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着
シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に
形成されたパターンが破壊されることがない。
【００８０】
【発明の効果】本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線
硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線
照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シート
の剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由
で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄
することによって容易に残留粘着剤を除去することがで
きる。
硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線
照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シート
の剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由
で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄
することによって容易に残留粘着剤を除去することがで
きる。
【００８１】
【実施例】以下本発明を実施例により説明するが、本発
明はこれら実施例に限定されるものではない。
明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００８２】なお、以下の実施例および比較例におい
て、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着
力」は次のようにして評価した。残留パーティクル測定 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエ
ハ裏面（♯２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復さ
せることにより貼り付け、２０分間放置した後、基材フ
ィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０
cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、その
後、粘着シートを剥離した。水洗浄性試験を行う前に、
ウエハ表面に残留した粒径０．２７μｍφ以上のパーテ
ィクルの数をレーザー表面検査装置（ＬＳ５０００、日
立電子エンジニアリング製）により測定した。
て、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着
力」は次のようにして評価した。残留パーティクル測定 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエ
ハ裏面（♯２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復さ
せることにより貼り付け、２０分間放置した後、基材フ
ィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０
cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、その
後、粘着シートを剥離した。水洗浄性試験を行う前に、
ウエハ表面に残留した粒径０．２７μｍφ以上のパーテ
ィクルの数をレーザー表面検査装置（ＬＳ５０００、日
立電子エンジニアリング製）により測定した。
【００８３】水洗浄性 実施例および比較例で作成した粘着剤のみを厚さ５０μ
ｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエ
ハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水
銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード
５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸
漬し、剥離までの時間を測定した。表中の判定基準は以
下のとおりである。 良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分粘着力 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ裏面（♯
２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復させることに
より貼り付け、２０分間放置した後、万能型引張試験機
（株式会社オリエンテック製、商品名：TENSILON / UTM
-4-100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離
粘着力（ｇ／25mm）を測定した。また、同様の条件で貼
付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／
cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外
線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。
ｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエ
ハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水
銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード
５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸
漬し、剥離までの時間を測定した。表中の判定基準は以
下のとおりである。 良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分粘着力 実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２
３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ裏面（♯
２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復させることに
より貼り付け、２０分間放置した後、万能型引張試験機
（株式会社オリエンテック製、商品名：TENSILON / UTM
-4-100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離
粘着力（ｇ／25mm）を測定した。また、同様の条件で貼
付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／
cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外
線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。
【００８４】なお、略号は以下のものを示す。 〔エネルギー線重合性化合物〕 Ｂ１：ヘキサメチレンジイソシアナート三量体（商品
名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３４
３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．３
部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９
０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量
平均分子量：２５００） Ｂ２：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８部、ペ
ンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエチルア
クリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸エチル
溶液）（重量平均分子量：２０００） Ｂ３：水添トリレンジイソシアナート５１．８部、ポリ
（ブチレンオキサイド）ジオール６２３．０部、2-ヒド
ロキシエチルアクリレート２５．２部の反応生成物（４
０％トルエン溶液）（重量平均分子量：１５０００） 〔光重合開始剤〕 Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品
名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製）
名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３４
３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．３
部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９
０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量
平均分子量：２５００） Ｂ２：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８部、ペ
ンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエチルア
クリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸エチル
溶液）（重量平均分子量：２０００） Ｂ３：水添トリレンジイソシアナート５１．８部、ポリ
（ブチレンオキサイド）ジオール６２３．０部、2-ヒド
ロキシエチルアクリレート２５．２部の反応生成物（４
０％トルエン溶液）（重量平均分子量：１５０００） 〔光重合開始剤〕 Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品
名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製）
【００８５】
【実施例１】 〔粘着剤組成物の調製〕 （１）親水性粘着剤の製造 還流冷却器、攪拌機、温度計、不活性ガス導入管、滴下
漏斗を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸３重量部、
2-メトキシエチルアクリレート９０重量部および2-ヒド
ロキシエチルアクリレート７重量部、酢酸エチル２００
重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を加
え、窒素気流中で３０分間攪拌した後、６０℃で約８時
間反応を行い、カルボキシル基含有共重合体を得た。
漏斗を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸３重量部、
2-メトキシエチルアクリレート９０重量部および2-ヒド
ロキシエチルアクリレート７重量部、酢酸エチル２００
重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を加
え、窒素気流中で３０分間攪拌した後、６０℃で約８時
間反応を行い、カルボキシル基含有共重合体を得た。
【００８６】上記で得られたカルボキシル基含有共重合
体の固型分１００重量部に対し、中和剤として１．２５
重量部（カルボキシル基１モルに対して０．２モル）の
トリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
体の固型分１００重量部に対し、中和剤として１．２５
重量部（カルボキシル基１モルに対して０．２モル）の
トリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
【００８７】次いで、架橋剤として０．５重量部（カル
ボキシル基１モルに対して０．０３モル）のエポキシ系
架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）
製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤１０１．７５重量部に対して、
エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１２０重量部、光重合
開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕上記で得られた粘着剤組成物を、
厚さ１１０μｍのポリエチレンフィルムのコロナ処理面
上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍになるように塗布し、
総厚が１３０μｍの粘着シートを得た。
ボキシル基１モルに対して０．０３モル）のエポキシ系
架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）
製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤１０１．７５重量部に対して、
エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１２０重量部、光重合
開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕上記で得られた粘着剤組成物を、
厚さ１１０μｍのポリエチレンフィルムのコロナ処理面
上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍになるように塗布し、
総厚が１３０μｍの粘着シートを得た。
【００８８】この粘着シートを用いて上記の手法により
「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」
の評価を行った。結果を表２に示す。
「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」
の評価を行った。結果を表２に示す。
【００８９】
【実施例２】 〔粘着剤組成物の調製〕 （１）親水性粘着剤の製造 実施例１において、中和剤としてのトリエタノールアミ
ンの使用量を１．７５重量部（カルボキシル基１モルに
対して０．３モル）とした以外は、実施例１と同様にし
て親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤の固型分１０２．２５重量部に
対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ２を１２０重量
部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合
し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
ンの使用量を１．７５重量部（カルボキシル基１モルに
対して０．３モル）とした以外は、実施例１と同様にし
て親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤の固型分１０２．２５重量部に
対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ２を１２０重量
部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合
し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
【００９０】
【実施例３】 〔粘着剤組成物の調製〕 （１）親水性粘着剤の製造 実施例１において、モノマーを、アクリル酸１０重量
部、2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、ブチル
アクリレート８０重量部およびメチルアクリレート５重
量部に変更し、重合を行い、９重量部（カルボキシル基
１モルに対して０．４モル）のトリエタノールアミンを
配合し、充分に攪拌した。
部、2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、ブチル
アクリレート８０重量部およびメチルアクリレート５重
量部に変更し、重合を行い、９重量部（カルボキシル基
１モルに対して０．４モル）のトリエタノールアミンを
配合し、充分に攪拌した。
【００９１】次いで、架橋剤として１重量部（カルボキ
シル基１モルに対して０．０２モル）のエポキシ系架橋
剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を
加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤の固型分１１０．０重量部に対
して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、
光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネル
ギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
シル基１モルに対して０．０２モル）のエポキシ系架橋
剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を
加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤の固型分１１０．０重量部に対
して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、
光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネル
ギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
【００９２】
【実施例４】 〔粘着剤組成物の調製〕 （１）親水性粘着剤の製造 実施例１と同様にして、親水性粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造 上記で得た親水性粘着剤１０２．２５重量部に対して、
エネルギー線重合性化合物Ｂ３を１２０重量部、光重合
開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
エネルギー線重合性化合物Ｂ３を１２０重量部、光重合
開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
【００９３】
【比較例１】 〔粘着剤組成物の調製〕 （１）粘着剤の製造 2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部およびブチル
アクリレート９５重量部を重合し、次いで、架橋剤とし
て０．２重量部のイソシアナート系架橋剤（商品名：コ
ロネートＬ、日本ポリウレタン（株）製）を加え、充分
に攪拌し、粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型粘着剤組成物の製造 上記で得た粘着剤の固型分１００．２重量部に対して、
エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合
開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線
硬化型粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
アクリレート９５重量部を重合し、次いで、架橋剤とし
て０．２重量部のイソシアナート系架橋剤（商品名：コ
ロネートＬ、日本ポリウレタン（株）製）を加え、充分
に攪拌し、粘着剤を得た。 （２）エネルギー線硬化型粘着剤組成物の製造 上記で得た粘着剤の固型分１００．２重量部に対して、
エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合
開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線
硬化型粘着剤組成物を得た。 〔粘着シートの製造〕実施例１と同様にして粘着シート
を得た。結果を表２に示す。
【００９４】
【比較例２】実施例１において、中和剤としてトリエタ
ノールアミンを用いず、エネルギー線重合性化合物Ｂ１
の使用量を１００重量部に変更した以外は、実施例１と
同様の操作を行った。結果を表２に示す。
ノールアミンを用いず、エネルギー線重合性化合物Ｂ１
の使用量を１００重量部に変更した以外は、実施例１と
同様の操作を行った。結果を表２に示す。
【００９５】
【表１】
【００９６】
【表２】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０９Ｊ 155/00 Ｃ０９Ｊ 155/00 175/16 175/16 Ｈ０１Ｌ 21/301 Ｃ０８Ｆ 290/06 // Ｃ０８Ｆ 290/06 299/06 299/06 Ｈ０１Ｌ 21/78 Ｍ
Claims (8)
- 【請求項１】 （Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギ
ー線重合性化合物とからなることを特徴とするエネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物。 - 【請求項２】 前記親水性粘着剤（Ａ）が、（A1）カル
ボキシル基含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと
共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合する
ことにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、
（A3）中和剤と、（A4）架橋剤とから形成される粘着剤
組成物からなることを特徴とする請求項１に記載のエネ
ルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。 - 【請求項３】 前記カルボキシル基含有重合性モノマー
と共重合可能な他のモノマー（A2）が、下記式にて示さ
れる化合物であることを特徴とする請求項２に記載のエ
ネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。 【化１】 （式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素また
はメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化
水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であ
り、ｎは１〜１０である。） - 【請求項４】 前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）
が、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を
少なくとも１つ有する重量平均分子量１００〜５０００
０の化合物であることを特徴とする請求項１〜３の何れ
かに記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。 - 【請求項５】 （Ｃ）光重合開始剤をさらに含有するこ
とを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のエネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物。 - 【請求項６】 請求項１〜５の何れかに記載のエネルギ
ー線硬化型親水性粘着剤組成物が、基材上に塗布されて
なることを特徴とする粘着シート。 - 【請求項７】 ウエハ加工用粘着シートとして用いられ
ることを特徴とする請求項６に記載の粘着シート。 - 【請求項８】 ウエハ表面保護用粘着シートとして用い
られることを特徴とする請求項６に記載の粘着シート。
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|---|---|---|---|
| JP23223897A JP4072927B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 |
| TW087113958A TW509715B (en) | 1997-08-28 | 1998-08-25 | Energy beam curable hydrophilic pressure sensitive adhesive composition and use thereof |
| KR1019980034896A KR100539009B1 (ko) | 1997-08-28 | 1998-08-27 | 에너지선경화형친수성점착제조성물및그이용방법 |
| EP98306877A EP0899316B1 (en) | 1997-08-28 | 1998-08-27 | Energy beam curable hydrophilic pressure sensitive adhesive composition and use thereof |
| US09/141,385 US6040048A (en) | 1997-08-28 | 1998-08-27 | Energy beam curable hydrophilic pressure sensitive adhesive composition and use thereof |
| DE69824502T DE69824502T2 (de) | 1997-08-28 | 1998-08-27 | Durch Energiestrahl härtbare, hydrophile und druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung und deren Verwendung |
| CNB981185231A CN1136283C (zh) | 1997-08-28 | 1998-08-28 | 用能量射束可固化的亲水性压敏粘合剂组合物及其用途 |
| SG1998003344A SG70118A1 (en) | 1997-08-28 | 1998-08-28 | Energy beam curable hydrophilic pressure sensitive adhesive composition and use thereof |
| HK99102605A HK1017372A1 (en) | 1997-08-28 | 1999-06-17 | Energy beam curable hydrophilic pressure sensitive adhesive composition and use thereof |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23223897A JP4072927B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 |
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|---|---|
| JPH1161090A true JPH1161090A (ja) | 1999-03-05 |
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ID=16936147
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23223897A Expired - Lifetime JP4072927B2 (ja) | 1997-08-28 | 1997-08-28 | エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 |
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| SG (1) | SG70118A1 (ja) |
| TW (1) | TW509715B (ja) |
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