JP4072927B2 - エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の技術分野】
本発明はエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しくはウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ法などによってパターンが形成される。次いで表面にパターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなどにより研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウエハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがあるため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパターンが形成されたウエハの厚みを調節することにある。
【０００３】
ところで、表面にパターンが形成されたウエハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去するために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハの裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
【０００４】
このような粘着シートとしては、特開昭６２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、あるいは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そのまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分による汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるようにした親水性タイプのものと、
特開平８−２７２３９号公報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させることにより、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないようにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
【０００５】
上記２種類のタイプのウエハ裏面研磨用粘着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シートが要望されてくる。
【０００６】
しかし、このようなエネルギー線硬化型の粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射による異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシート表面に付着することによるエネルギー線の照射不良等）によりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該残留粘着剤を水洗浄によっては除去できないという問題がある。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤がウエハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄が行われていたが、環境保全等の点からも改善の必要があった。
【０００７】
【発明の目的】
本発明は、ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００８】
また本発明は、粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、
（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギー線重合性化合物とからなるエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物であって、
前記親水性粘着剤（Ａ）が、（ A1 ）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（ A2 ）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、（ A3 ）中和剤と、（ A4 ）架橋剤とから形成される粘着剤組成物からなり、
前記中和剤（ A3 ）が、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物である
ことを特徴としている。
【００１１】
ここで、前記カルボキシル基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）は、下記式にて示される化合物であることが特に好ましい。
【００１２】
【化２】
【００１３】
（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、ｎは１〜１０である。）
さらに、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有する重量平均分子量１００〜５００００の化合物であることが好ましい。
【００１４】
また本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重合開始剤をさらに含有することが好ましい。
本発明に係る粘着シートは、基材上に、上記の粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されてなることを特徴とし、特にウエハ加工に好ましく用いられる。
【００１５】
このような粘着シートは、該粘着シートを、パターンが形成されたウエハ表面に貼着し、
水をウエハ裏面に供給しながらウエハ裏面を研摩する工程を含むウエハ裏面の研摩方法に好ましく使用される。
【００１６】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【００１７】
【発明の具体的説明】
以下、本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法について、具体的に説明する。
【００１８】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギー線重合性化合物とからなることを特徴としている。各成分について、以下に具体例を挙げて説明する。
【００１９】
（Ａ）親水性粘着剤
親水性粘着剤（Ａ）は、水と接触すると溶解あるいは膨潤する粘着剤である。このような親水性粘着剤は、従来より種々知られており、本発明においては、特に制限されることなく、これの公知親水性粘着剤を使用することができるが、本発明の親水性粘着剤（Ａ）としては、以下に例示する（１）〜（４）の粘着剤組成物が好ましく、特に（１）の粘着剤組成物が好ましい。
（１）（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤とから形成される粘着剤組成物
カルボキシル基含有共重合体は、（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られる。
【００２０】
カルボキシル基含有重合性モノマー（A1）は、重合性の炭素−炭素二重結合と、カルボキシル基とを有するモノマーである。このようなモノマーとしては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキルイタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキルフマル酸などが用いられる。これらの中でも、本発明においては、特にアクリル酸、メタクリル酸が好ましく用いられる。このようなカルボキシル基含有重合性モノマーは、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
上記カルボキシル基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）としては、重合性の炭素−炭素二重結合を１個以上有する化合物であれば、特に制限されることなく種々のモノマーが用いられうるが、特に下記式にて示される化合物が好ましい。
【００２２】
【化３】
【００２３】
式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
【００２４】
Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、sec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキレン基である。
【００２５】
これらの中でも、Ｒ1としては特に、エチレン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好ましい。
Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等の炭素数１〜６のアルキル基である。
【００２６】
これらの中でも、Ｒ2としては特に、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチルが好ましい。
したがって、本発明において用いられるモノマー（A2）としては、特に2-メトキシエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メタ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好ましい。
【００２７】
このようなアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
さらに、モノマー（A2）としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸エステル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピルアクリルアミド Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、グリシジル（メタ）アクリレート、メチロールアクリルアミド、ビニルピロリドン、ビニルメチルエーテル、無水マレイン酸、エチレンオキサイド、（メタ）アクリル酸グリコシルオキシエチル、ビニルアセテート等を用いることもできる。これらをアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルと組み合わせて用いることが特に好ましく、この場合、アルコキシ含有（メタ）アクリル酸エステルと、他の重合性モノマーとの比（重量比）は、好ましくは１／２０〜９９／１程度である。
【００２８】
本発明で用いるカルボキシル基含有共重合体中におけるカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）と、（A1）と共重合可能なモノマー（A2）との比（（A1）／（A2）重量比）は、好ましくは１／５００〜１／４、特に好ましくは１／１００〜１／１０である。またカルボキシル基含有共重合体の重量平均分子量は、好ましくは５万〜１５０万であり、特に好ましくは１０万〜１００万である。
【００２９】
本発明で用いるカルボキシル基含有共重合体は、上記したカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）と、該モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）とを所定の比となるように共重合することに得られる。この共重合は溶液重合にて行われる。
【００３０】
溶液重合は、上記モノマー（A1）と（A2）との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるため、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御および得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合による重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚くべき効果も得られる。
【００３１】
上記のカルボキシル基含有共重合体は、１種単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合わせて用いることもできる。
中和剤（A3）は、上記のカルボキシル基含有共重合体中のカルボキシル基の一部または全部を中和し、カルボキシル基含有共重合体に親水性あるいは水溶性を付与するために用いられる。中和剤（A3）としては、ウエハに悪影響を及ぼすイオン性不純物のことを踏まえると、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物を用いるのが好ましく、種々の塩基性化合物が使用されうるが、本発明においては、特にアミン類、置換アミン類が好ましく用いられ、これらの中でも、水溶性アミン化合物が好ましい。
【００３２】
このようなアミン化合物としては、具体的にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およびモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピリジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性を示す有機アミノ化合物が用いられる。
【００３３】
本発明のおいては、特にトリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタールが好ましく用いられる。
これらの中和剤は、１種単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３４】
中和剤（A3）は、前記のカルボキシル基含有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましくは０．０００１〜１モル、特に好ましくは０．０１〜０．５モルの割合で用いられる。
【００３５】
架橋剤（A4）は、前記カルボキシル基含有共重合体を部分架橋させるために用いられる。架橋剤（A4）としては、具体的には、分子内にグリシジル基を含む化合物、たとえばネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのエポキシ系架橋剤、分子内にイソシアナート基を含む化合物、たとえばトリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナートなどのイソシアナート系架橋剤、メラミン、フェノールなどのメチロール系架橋剤、キレート系架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤などが用いられる。
【００３６】
カルボキシル基含有共重合体を架橋剤（A4）で部分架橋することにより、得られる粘着剤の剥離強度を適当な強さに調節することができ、水に溶解せずに膨潤する粘着剤が得られる。
【００３７】
架橋剤（A4）は、前記のカルボキシル基含有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましくは０．００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜０．７５モルの割合で用いられる。
【００３８】
本発明で用いられる粘着剤組成物（１）は、カルボキシル基含有共重合体および上述した成分（A3）および（A4）を主成分としてなり、これらの成分を適宜に混合することにより得られるが、好ましくは、カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合を行った後に、架橋剤（A4）を添加してカルボキシル基含有共重合体の架橋を行う。
【００３９】
カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合は、たとえば、中和剤（A3）をそのまま、あるいは溶剤（アルコール、アセトン等）で希釈し、室温下でカルボキシル基含有共重合体に加え、その後、５〜４０℃にて２５分以上攪拌することにより行われる。
【００４０】
さらに架橋剤（A4）をそのまま、あるいは溶剤（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール等）で希釈し、上記で得られた混合物に室温下で配合し、５〜４０℃にて５分以上攪拌することにより、本発明に係る粘着剤組成物（１）が得られる。
【００４１】
かくして得られる粘着剤組成物（１）は、溶剤型でかつ界面活性剤を一切用いていない水溶性（水膨潤性）の粘着剤組成物である。この粘着剤組成物は、粘着ポリマー自体に親水性を付与させているため、水洗浄性に優れ、しかも粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非常に小さい。また粘着剤組成物（１）では、水溶性ポリマーと（メタ）アクリル系ポリマーのポリマーブレンドを行わずに、水溶性（水膨潤性）を付与しているため、粘着シート剥離時の糊残りが極めて少ない。
【００４２】
また、本発明では、親水性粘着剤（Ａ）として、上述の粘着剤組成物（１）に代えて、以下のような粘着剤組成物を用いることもできる。
（２）粘着剤と界面活性剤とからなる親水性粘着剤組成物
粘着剤としては、特に限定はなく、例えば天然ゴム、ポリイソブチレン、イソプレン、アクリル酸エステルなどで代表される化合物を主成分とする合成ゴム、合成樹脂等をベースポリマーとするものなどの公知のものが用いられる。
【００４３】
界面活性剤としては、ポリオレフィングリコール系界面活性剤が好ましく用いられ、たとえばポリエチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールエーテルなどが用いられ、特にＨＬＢ８〜１８のものが好ましく用いられる。用いるポリオレフィングリコール系界面活性剤は１種のみであってもよいし、２種以上の併用であってもよい。
【００４４】
ポリオレフィングリコール系界面活性剤の配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜１０重量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（２）の具体例については、たとえば特開昭６２−１０１６７８号公報にその詳細が記載されている。
（３）エマルジョン系粘着剤
ここでエマルジョン系粘着剤とは、例えばメタクリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル、アクリル酸エステル等の（メタ）アクリル酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤を添加し水中でエマルジョン重合した粘着剤であり、モノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適宜行うことが可能である。こうして重合されたエマルジョン粘着剤は通常２０〜６０重量％の固形分を含有する。
【００４５】
また、上記エマルジョン系粘着剤には、必要に応じ、水溶性有機化合物および／または非イオン系界面活性剤を添加することもできる。
水溶性有機化合物としては、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、このうち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上のものが好適である。
【００４６】
また非イオン系界面活性剤としては、たとえばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシラウリルエーテル等である。
【００４７】
水溶性有機化合物を用いる場合には、エマルジョン系粘着剤１００重量部に対して１〜１００重量部、好ましくは５〜５０重量部が好適である。
また非イオン系界面活性剤を用いる場合には、エマルジョン系粘着剤１００重量部に対して０．０１〜５０重量部、好ましくは０．１〜１０重量部が好適である。
【００４８】
このような粘着剤組成物（３）の具体例については、たとえば特公平１−５１５１１号公報にその詳細が記載されている。
（４）粘着剤と水溶性ポリマーとからなる親水性粘着剤組成物
粘着剤としては、アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤などが適宜に用いられ、特に架橋型アクリル系粘着剤が好ましい。
【００４９】
水溶性ポリマーとして、種々のものを用いうるが、就中ポリプロピレングリコールの如く界面活性剤作用や可塑剤作用を有するものが好ましく用いられる。特にジオール型やトリオール型のポリプロピレングリコールが好ましい。
【００５０】
水溶性ポリマーの配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜５０重量部程度、好ましくは１〜２０重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（４）の具体例については、たとえば特開平５−３３５２８８号公報にその詳細が記載されている。
【００５１】
エネルギー線重合性化合物（Ｂ）
本発明で用いられるエネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有し、その重量平均分子量は好ましくは１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３００００、特に好ましくは１０００〜２００００であり、エネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
【００５２】
このようなエネルギー線重合性化合物（Ｂ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用いられ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられる。
【００５３】
さらにエネルギー線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどを反応させて得られる。
【００５４】
このようなウレタンアクリレート類の中でも、本発明においては、特に、親水性を有するウレタンアクリレート化合物が好ましく、具体的には、分子内に少なくとも１個の水酸基を含有する（メタ）アクリル酸エステルと、有機ポリイソシアナート類と、１個の水酸基を含有するポリエチレングリコールモノアルキルエーテルとの反応生成物が好適に用いられる。
【００５５】
ここで、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示す）であらわされる化合物である。
【００５６】
このような特に好ましいウレタンアクリレート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等に記載されている。
本発明の粘着剤組成物におけるエネルギー線重合性化合物（Ｂ）の配合割合は、親水性粘着剤（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１０〜２００重量部、さらに好ましくは５０〜１５０重量部、特に好ましくは７０〜１２０重量部である。この場合には、得られる粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギー線照射後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離が容易になり、しかも粘着剤が被着体表面に残留することもない。
【００５７】
エネルギー線重合性化合物（Ｂ）が１０重量部未満では、エネルギー線照射後の粘着力が充分に低下せず、また２００重量部を超えると、水による粘着剤の除去が困難になる虞がある。
【００５８】
光重合開始剤（Ｃ）
また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光照射量を少なくすることができる。
【００５９】
このような光重合開始剤としては、具体的には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが挙げられる。
【００６０】
光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）１００重量部に対して、好ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．１〜１０重量部、特に好ましくは０．５〜５重量部である。
【００６１】
その他の成分
さらに本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、必要に応じて、本発明の目的を損なわない範囲で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子量、分子量分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水性等の調整のため、水溶性多価アルコールなどの親水性可塑剤、粘着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤などを添加することもできる。このような他の成分は、それぞれの成分を添加する目的により様々であるが、成分（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜２０重量部程度の割合で用いられる。
【００６２】
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記のような親水性粘着剤（Ａ）、エネルギー線重合性化合物（Ｂ）、所望により光重合開始剤（Ｃ）および前述した他の成分とを、常法にて混合することにより得られる。
【００６３】
このようなエネルギー線硬化型感圧接着剤組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体への粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬化が得られる。
【００６４】
エネルギー線としては、具体的には、紫外線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であり、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウエハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールできる。
【００６５】
しかも、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも、親水性粘着剤（Ａ）の有する親水性を維持する。
たとえば、親水性粘着剤（Ａ）として、上記粘着剤組成物（１）を用いた場合には、親水性の粘着ポリマーを架橋した状態で有限に膨潤する。エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するため、粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。また粘着剤組成物（２）〜（４）を用いた場合には、界面活性剤、水溶性ポリマーの作用により水が粘着剤とウエハの界面に侵入する。
【００６６】
なお、粘着剤の親水性は以下のようにして評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時間を測定する。
【００６７】
通常、研磨されたウエハを研磨屑の除去等のため水で洗浄する工程がある。
工程適性を考えると、本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
【００６８】
このように、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
【００６９】
粘着シート
本発明に係る粘着シートは、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層と、基材とからなる。
【００７０】
基材としては、特に限定はされないが、たとえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよい。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィルム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。また、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましくは８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００７１】
本発明の粘着シートは、上記粘着剤組成物をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを貼り合わせることによって得られる。
【００７２】
粘着剤層の厚さは、用途によって様々であるが、通常は１０〜５０μｍ、好ましくは２０〜４０μｍ程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００７３】
本発明に係る粘着シートの形状は、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。
このような本発明に係る粘着シートは、ウエハ等の表面保護に好ましく用いられる。
【００７４】
すなわち、上記のような各成分を含む粘着シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウエハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
【００７５】
利用方法
このような本発明に係る粘着シートは、特にウエハ加工時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法について説明する。
【００７６】
粘着シートの上面に剥離性シートが設けられている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着する。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ表面が接するようにして貼着する。
【００７７】
この状態で、ウエハ裏面をグラインダーなどによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さに調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどしてウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する熱を除去する。
【００７８】
次に研摩が終了した後に、ウエハから粘着シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易に粘着シートを剥離することができる。また粘着シートの剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることができる。
【００７９】
このように本発明に係る粘着シートでは、粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄することによって除去することができ、したがって、人体に悪影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シートは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に形成されたパターンが破壊されることがない。
【００８０】
【発明の効果】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【００８１】
【実施例】
以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００８２】
なお、以下の実施例および比較例において、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」は次のようにして評価した。
残留パーティクル測定
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエハ表面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０分間放置した後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、その後、粘着シートを剥離した。水洗浄性試験を行う前に、ウエハ表面に残留した粒径０．２７μｍφ以上のパーティクルの数をレーザー表面検査装置（ＬＳ５０００、日立電子エンジニアリング製）により測定した。
【００８３】
水洗浄性
実施例および比較例で作成した粘着剤のみを厚さ５０μｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸漬し、剥離までの時間を測定した。表中の判定基準は以下のとおりである。
良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分
粘着力
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ裏面（♯２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０分間放置した後、万能型引張試験機（株式会社オリエンテック製、商品名：TENSILON / UTM-4-100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離粘着力（ｇ／25mm）を測定した。また、同様の条件で貼付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。
【００８４】
なお、略号は以下のものを示す。
〔エネルギー線重合性化合物〕
Ｂ１：ヘキサメチレンジイソシアナート三量体（商品名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３４３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．３部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２５００）
Ｂ２：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８部、ペンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエチルアクリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２０００）
Ｂ３：水添トリレンジイソシアナート５１．８部、ポリ（ブチレンオキサイド）ジオール６２３．０部、2-ヒドロキシエチルアクリレート２５．２部の反応生成物（４０％トルエン溶液）（重量平均分子量：１５０００）
〔光重合開始剤〕
Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製）
【００８５】
【実施例１】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
還流冷却器、攪拌機、温度計、不活性ガス導入管、滴下漏斗を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸３重量部、2-メトキシエチルアクリレート９０重量部および2-ヒドロキシエチルアクリレート７重量部、酢酸エチル２００重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を加え、窒素気流中で３０分間攪拌した後、６０℃で約８時間反応を行い、カルボキシル基含有共重合体を得た。
【００８６】
上記で得られたカルボキシル基含有共重合体の固型分１００重量部に対し、中和剤として１．２５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．２モル）のトリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
【００８７】
次いで、架橋剤として０．５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．０３モル）のエポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤１０１．７５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
上記で得られた粘着剤組成物を、厚さ１１０μｍのポリエチレンフィルムのコロナ処理面上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍになるように塗布し、総厚が１３０μｍの粘着シートを得た。
【００８８】
この粘着シートを用いて上記の手法により「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」の評価を行った。結果を表２に示す。
【００８９】
【実施例２】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１において、中和剤としてのトリエタノールアミンの使用量を１．７５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．３モル）とした以外は、実施例１と同様にして親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤の固型分１０２．２５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ２を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９０】
【実施例３】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１において、モノマーを、アクリル酸１０重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、ブチルアクリレート８０重量部およびメチルアクリレート５重量部に変更し、重合を行い、９重量部（カルボキシル基１モルに対して０．４モル）のトリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
【００９１】
次いで、架橋剤として１重量部（カルボキシル基１モルに対して０．０２モル）のエポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤の固型分１１０．０重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９２】
【実施例４】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１と同様にして、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤１０２．２５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ３を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９３】
【比較例１】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）粘着剤の製造
2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部およびブチルアクリレート９５重量部を重合し、次いで、架橋剤として０．２重量部のイソシアナート系架橋剤（商品名：コロネートＬ、日本ポリウレタン（株）製）を加え、充分に攪拌し、粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型粘着剤組成物の製造
上記で得た粘着剤の固型分１００．２重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９４】
【比較例２】
実施例１において、中和剤としてトリエタノールアミンを用いず、エネルギー線重合性化合物Ｂ１の使用量を１００重量部に変更した以外は、実施例１と同様の操作を行った。結果を表２に示す。
【００９５】
【表１】
【００９６】
【表２】
【発明の技術分野】
本発明はエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法に関し、さらに詳しくはウエハの裏面の研摩中に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために使用されるウエハ表面保護用粘着シートに好適に用いられる粘着剤組成物に関する。
【０００２】
【発明の技術的背景】
シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハの表面には、エッチングあるいはリフトオフ法などによってパターンが形成される。次いで表面にパターンが形成されたウエハは、通常、その表面に粘着シートが貼着された状態で、その裏面にグラインダーなどにより研摩処理が加えられる。パターンが形成されたウエハの裏面に研摩を加える目的は、第１にエッチング工程時にウエハ裏面に酸化物被膜が形成されることがあるため、この酸化物被膜を除去することにあり、第２にパターンが形成されたウエハの厚みを調節することにある。
【０００３】
ところで、表面にパターンが形成されたウエハの裏面に研摩処理を加えるに際しては、生ずる研摩屑を除去するため、そして研摩時に発生する熱を除去するために、精製水によりウエハ裏面を洗いながらウエハの裏面研摩処理を行なっている。このようなウエハの裏面研摩処理を行なうに際して、研磨屑、切削水からウエハ表面に形成されたパターンを保護するためにウエハ表面に粘着シート（表面保護シート）が貼付される。
【０００４】
このような粘着シートとしては、特開昭６２−１０１６７８号公報に記載されているような非イオン系界面活性剤を含む粘着剤を用いた粘着シート、あるいは特公平５−７７２８４号公報に記載された水膨潤性粘着剤を用いた粘着シート等の、研磨が完了した後、そのまま該シートを剥離し、ウエハ表面の粘着剤成分による汚染を、純水を用いた洗浄で容易に除去できるようにした親水性タイプのものと、
特開平８−２７２３９号公報に開示されているように、裏面研磨完了後、エネルギー線を照射し、ウエハに対する接着力を激減させることにより、シートを剥離しても粘着剤の痕跡を残さないようにしたエネルギー線硬化タイプのものとがある。
【０００５】
上記２種類のタイプのウエハ裏面研磨用粘着シートは、各々の特徴を生かし、条件にあわせて適宜に使用されてきたが、今後はウエハの大口径化、薄型化に伴い、粘着シートの剥離時に剥離抵抗が小さく、ウエハを破損することが無いエネルギー線硬化型の粘着シートが要望されてくる。
【０００６】
しかし、このようなエネルギー線硬化型の粘着剤では、水洗浄性を有していないため、何らかの事由（例えばエネルギー線照射時の光量不足；過剰照射による異常高温；ウエハ裏面研削時に発生する研削屑がシート表面に付着することによるエネルギー線の照射不良等）によりウエハ表面に粘着剤が残留した場合には、該残留粘着剤を水洗浄によっては除去できないという問題がある。したがって、従来のエネルギー線硬化型粘着剤がウエハ表面に残留した場合には、有機溶剤による洗浄が行われていたが、環境保全等の点からも改善の必要があった。
【０００７】
【発明の目的】
本発明は、ウエハ裏面の研摩時に、ウエハ表面の回路パターンを切削屑などから保護するために用いられるウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００８】
また本発明は、粘着シート剥離後に粘着剤がウエハ表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができるような、ウエハ表面保護シートに好適な粘着剤組成物を提供することを目的としている。
【０００９】
【発明の概要】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、
（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギー線重合性化合物とからなるエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物であって、
前記親水性粘着剤（Ａ）が、（ A1 ）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（ A2 ）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、（ A3 ）中和剤と、（ A4 ）架橋剤とから形成される粘着剤組成物からなり、
前記中和剤（ A3 ）が、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物である
ことを特徴としている。
【００１１】
ここで、前記カルボキシル基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）は、下記式にて示される化合物であることが特に好ましい。
【００１２】
【化２】
（式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、ｎは１〜１０である。）
さらに、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有する重量平均分子量１００〜５００００の化合物であることが好ましい。
【００１４】
また本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記成分に加え、さらに（Ｃ）光重合開始剤をさらに含有することが好ましい。
本発明に係る粘着シートは、基材上に、上記の粘着剤組成物からなる粘着剤層が形成されてなることを特徴とし、特にウエハ加工に好ましく用いられる。
【００１５】
このような粘着シートは、該粘着シートを、パターンが形成されたウエハ表面に貼着し、
水をウエハ裏面に供給しながらウエハ裏面を研摩する工程を含むウエハ裏面の研摩方法に好ましく使用される。
【００１６】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【００１７】
【発明の具体的説明】
以下、本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物およびその利用方法について、具体的に説明する。
【００１８】
本発明に係るエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、（Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギー線重合性化合物とからなることを特徴としている。各成分について、以下に具体例を挙げて説明する。
【００１９】
（Ａ）親水性粘着剤
親水性粘着剤（Ａ）は、水と接触すると溶解あるいは膨潤する粘着剤である。このような親水性粘着剤は、従来より種々知られており、本発明においては、特に制限されることなく、これの公知親水性粘着剤を使用することができるが、本発明の親水性粘着剤（Ａ）としては、以下に例示する（１）〜（４）の粘着剤組成物が好ましく、特に（１）の粘着剤組成物が好ましい。
（１）（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、（A3）中和剤と、（A4）架橋剤とから形成される粘着剤組成物
カルボキシル基含有共重合体は、（A1）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（A2）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られる。
【００２０】
カルボキシル基含有重合性モノマー（A1）は、重合性の炭素−炭素二重結合と、カルボキシル基とを有するモノマーである。このようなモノマーとしては、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、モノアルキルイタコン酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキルフマル酸などが用いられる。これらの中でも、本発明においては、特にアクリル酸、メタクリル酸が好ましく用いられる。このようなカルボキシル基含有重合性モノマーは、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２１】
上記カルボキシル基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）としては、重合性の炭素−炭素二重結合を１個以上有する化合物であれば、特に制限されることなく種々のモノマーが用いられうるが、特に下記式にて示される化合物が好ましい。
【００２２】
【化３】
式中、Ｘ1、Ｘ2およびＸ3はそれぞれ独立に水素またはメチル基であり、好ましくは水素である。
ｎは、１〜１０であり、好ましくは１〜４である。
【００２４】
Ｒ1は炭素数２〜１２の二価の炭化水素基であり、好ましくはエチレン、n-プロピレン、iso-プロピレン、n-ブチレン、iso-ブチレン、tert-ブチレン、sec-ブチレン、n-ペンチレン等の炭素数２〜５のアルキレン基である。
【００２５】
これらの中でも、Ｒ1としては特に、エチレン、n-プロピレン、n-ブチレン、tert-ブチレンが好ましい。
Ｒ2は炭素数１〜１０の炭化水素基であり、好ましくはメチル、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチル、sec-ブチル、n-ペンチル、iso-ペンチル、ネオペンチル、n-ヘキシル等の炭素数１〜６のアルキル基である。
【００２６】
これらの中でも、Ｒ2としては特に、エチル、n-プロピル、iso-プロピル、n-ブチル、iso-ブチル、tert-ブチルが好ましい。
したがって、本発明において用いられるモノマー（A2）としては、特に2-メトキシエチル（メタ）アクリレート、2-エトキシエチル（メタ）アクリレート、3-メトキシブチル（メタ）アクリレート、2-ブトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート等のアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルが特に好ましい。
【００２７】
このようなアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルは、一種単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
さらに、モノマー（A2）としては、上記アルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルの他にも、アルキル基の炭素数が１〜１８である（メタ）アクリル酸エステル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノプロピルアクリルアミド Ｎ，Ｎ−ジ−ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、グリシジル（メタ）アクリレート、メチロールアクリルアミド、ビニルピロリドン、ビニルメチルエーテル、無水マレイン酸、エチレンオキサイド、（メタ）アクリル酸グリコシルオキシエチル、ビニルアセテート等を用いることもできる。これらをアルコキシ基含有（メタ）アクリル酸エステルと組み合わせて用いることが特に好ましく、この場合、アルコキシ含有（メタ）アクリル酸エステルと、他の重合性モノマーとの比（重量比）は、好ましくは１／２０〜９９／１程度である。
【００２８】
本発明で用いるカルボキシル基含有共重合体中におけるカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）と、（A1）と共重合可能なモノマー（A2）との比（（A1）／（A2）重量比）は、好ましくは１／５００〜１／４、特に好ましくは１／１００〜１／１０である。またカルボキシル基含有共重合体の重量平均分子量は、好ましくは５万〜１５０万であり、特に好ましくは１０万〜１００万である。
【００２９】
本発明で用いるカルボキシル基含有共重合体は、上記したカルボキシル基含有重合性モノマー（A1）と、該モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）とを所定の比となるように共重合することに得られる。この共重合は溶液重合にて行われる。
【００３０】
溶液重合は、上記モノマー（A1）と（A2）との混合物に、酢酸エチル等の溶媒とアゾビスイソブチロニトリル等の重合開始剤を適量添加し、窒素気流下室温で３０分程度攪拌した後、４０〜１００℃で４〜１０時間程度反応させて行う。このような溶液重合によれば、乳化重合に比して、乳化剤や増粘剤が不要になるため、不純物イオンを低減でき、また重合条件の制御および得られる重合体の組成変更を容易に行えるという利点がある。さらに、溶液重合による重合体は、乳化重合による重合体に比して、剪断方向の作用に強いという驚くべき効果も得られる。
【００３１】
上記のカルボキシル基含有共重合体は、１種単独で用いることもできるし、また２種以上を組み合わせて用いることもできる。
中和剤（A3）は、上記のカルボキシル基含有共重合体中のカルボキシル基の一部または全部を中和し、カルボキシル基含有共重合体に親水性あるいは水溶性を付与するために用いられる。中和剤（A3）としては、ウエハに悪影響を及ぼすイオン性不純物のことを踏まえると、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物を用いるのが好ましく、種々の塩基性化合物が使用されうるが、本発明においては、特にアミン類、置換アミン類が好ましく用いられ、これらの中でも、水溶性アミン化合物が好ましい。
【００３２】
このようなアミン化合物としては、具体的にはアンモニア、アルカリ性を示すアンモニウム塩およびモノエチルアミン、モノエタノールアミンなどの１級アミン、ジエチルアミン、ジエタノールアミンなどの２級アミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタール、Ｎ，Ｎ，Ｎ’−トリメチルエチレンジアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルヒドロキシルアミンなどの３級アミン、ジアミン、ポリエチレンイミンなどの１分子中に複数のＮを有するアミノ化合物、ピリジンなどの環式アミノ化合物などのごときアルカリ性を示す有機アミノ化合物が用いられる。
【００３３】
本発明のおいては、特にトリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドジエチルアセタールが好ましく用いられる。
これらの中和剤は、１種単独で、または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３４】
中和剤（A3）は、前記のカルボキシル基含有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましくは０．０００１〜１モル、特に好ましくは０．０１〜０．５モルの割合で用いられる。
【００３５】
架橋剤（A4）は、前記カルボキシル基含有共重合体を部分架橋させるために用いられる。架橋剤（A4）としては、具体的には、分子内にグリシジル基を含む化合物、たとえばネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルｍ−キシレンジアミン、１，３−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジルジアミノジフェニルメタンなどのエポキシ系架橋剤、分子内にイソシアナート基を含む化合物、たとえばトリレンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソシアナートなどのイソシアナート系架橋剤、メラミン、フェノールなどのメチロール系架橋剤、キレート系架橋剤あるいはアジリジン系架橋剤などが用いられる。
【００３６】
カルボキシル基含有共重合体を架橋剤（A4）で部分架橋することにより、得られる粘着剤の剥離強度を適当な強さに調節することができ、水に溶解せずに膨潤する粘着剤が得られる。
【００３７】
架橋剤（A4）は、前記のカルボキシル基含有共重合体のカルボキシル基１モルに対して、好ましくは０．００１〜１．０モル、特に好ましくは０．０１〜０．７５モルの割合で用いられる。
【００３８】
本発明で用いられる粘着剤組成物（１）は、カルボキシル基含有共重合体および上述した成分（A3）および（A4）を主成分としてなり、これらの成分を適宜に混合することにより得られるが、好ましくは、カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合を行った後に、架橋剤（A4）を添加してカルボキシル基含有共重合体の架橋を行う。
【００３９】
カルボキシル基含有共重合体と中和剤（A3）との混合は、たとえば、中和剤（A3）をそのまま、あるいは溶剤（アルコール、アセトン等）で希釈し、室温下でカルボキシル基含有共重合体に加え、その後、５〜４０℃にて２５分以上攪拌することにより行われる。
【００４０】
さらに架橋剤（A4）をそのまま、あるいは溶剤（トルエン、酢酸エチル、イソプロピルアルコール等）で希釈し、上記で得られた混合物に室温下で配合し、５〜４０℃にて５分以上攪拌することにより、本発明に係る粘着剤組成物（１）が得られる。
【００４１】
かくして得られる粘着剤組成物（１）は、溶剤型でかつ界面活性剤を一切用いていない水溶性（水膨潤性）の粘着剤組成物である。この粘着剤組成物は、粘着ポリマー自体に親水性を付与させているため、水洗浄性に優れ、しかも粘着シート剥離時の剥離帯電圧が非常に小さい。また粘着剤組成物（１）では、水溶性ポリマーと（メタ）アクリル系ポリマーのポリマーブレンドを行わずに、水溶性（水膨潤性）を付与しているため、粘着シート剥離時の糊残りが極めて少ない。
【００４２】
また、本発明では、親水性粘着剤（Ａ）として、上述の粘着剤組成物（１）に代えて、以下のような粘着剤組成物を用いることもできる。
（２）粘着剤と界面活性剤とからなる親水性粘着剤組成物
粘着剤としては、特に限定はなく、例えば天然ゴム、ポリイソブチレン、イソプレン、アクリル酸エステルなどで代表される化合物を主成分とする合成ゴム、合成樹脂等をベースポリマーとするものなどの公知のものが用いられる。
【００４３】
界面活性剤としては、ポリオレフィングリコール系界面活性剤が好ましく用いられ、たとえばポリエチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールエーテルなどが用いられ、特にＨＬＢ８〜１８のものが好ましく用いられる。用いるポリオレフィングリコール系界面活性剤は１種のみであってもよいし、２種以上の併用であってもよい。
【００４４】
ポリオレフィングリコール系界面活性剤の配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜１０重量部程度、好ましくは０．５〜８重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（２）の具体例については、たとえば特開昭６２−１０１６７８号公報にその詳細が記載されている。
（３）エマルジョン系粘着剤
ここでエマルジョン系粘着剤とは、例えばメタクリル酸メチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−２−エチルヘキシル、アクリル酸エステル等の（メタ）アクリル酸エステルモノマーに乳化剤、脱イオン水、重合開始剤を添加し水中でエマルジョン重合した粘着剤であり、モノマー組成の選択については必要とする接着力に応じ適宜行うことが可能である。こうして重合されたエマルジョン粘着剤は通常２０〜６０重量％の固形分を含有する。
【００４５】
また、上記エマルジョン系粘着剤には、必要に応じ、水溶性有機化合物および／または非イオン系界面活性剤を添加することもできる。
水溶性有機化合物としては、例えばジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられ、このうち好ましくは沸点が１００℃以上、さらに好ましくは１５０℃以上のものが好適である。
【００４６】
また非イオン系界面活性剤としては、たとえばポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル、アルカノールアミド、ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシラウリルエーテル等である。
【００４７】
水溶性有機化合物を用いる場合には、エマルジョン系粘着剤１００重量部に対して１〜１００重量部、好ましくは５〜５０重量部が好適である。
また非イオン系界面活性剤を用いる場合には、エマルジョン系粘着剤１００重量部に対して０．０１〜５０重量部、好ましくは０．１〜１０重量部が好適である。
【００４８】
このような粘着剤組成物（３）の具体例については、たとえば特公平１−５１５１１号公報にその詳細が記載されている。
（４）粘着剤と水溶性ポリマーとからなる親水性粘着剤組成物
粘着剤としては、アクリル系粘着剤やゴム系粘着剤などが適宜に用いられ、特に架橋型アクリル系粘着剤が好ましい。
【００４９】
水溶性ポリマーとして、種々のものを用いうるが、就中ポリプロピレングリコールの如く界面活性剤作用や可塑剤作用を有するものが好ましく用いられる。特にジオール型やトリオール型のポリプロピレングリコールが好ましい。
【００５０】
水溶性ポリマーの配合量は、粘着剤１００重量部に対して０．１〜５０重量部程度、好ましくは１〜２０重量部が適当である。
このような粘着剤組成物（４）の具体例については、たとえば特開平５−３３５２８８号公報にその詳細が記載されている。
【００５１】
エネルギー線重合性化合物（Ｂ）
本発明で用いられるエネルギー線重合性化合物（Ｂ）は、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有し、その重量平均分子量は好ましくは１００〜５００００、さらに好ましくは５００〜３００００、特に好ましくは１０００〜２００００であり、エネルギー線照射によって重合しうる化合物である。
【００５２】
このようなエネルギー線重合性化合物（Ｂ）としては、たとえば特開昭６０−１９６，９５６号公報および特開昭６０−２２３，１３９号公報に開示されているようなエネルギー線重合性化合物が広く用いられ、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレートなどが用いられる。
【００５３】
さらにエネルギー線重合性化合物として、上記のようなアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアクリレート系オリゴマーを用いることもできる。ウレタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステル型またはポリエーテル型などのポリオール化合物と、多価イソシアナート化合物たとえば２，４−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシアナート、１，４−キシリレンジイソシアナート、ジフェニルメタン４，４−ジイソシアナートなどを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有するアクリレートあるいはメタクリレートたとえば２−ヒドロキシエチルアクリレートまたは２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレートなどを反応させて得られる。
【００５４】
このようなウレタンアクリレート類の中でも、本発明においては、特に、親水性を有するウレタンアクリレート化合物が好ましく、具体的には、分子内に少なくとも１個の水酸基を含有する（メタ）アクリル酸エステルと、有機ポリイソシアナート類と、１個の水酸基を含有するポリエチレングリコールモノアルキルエーテルとの反応生成物が好適に用いられる。
【００５５】
ここで、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテルは、Ｈ−（ＯＣＨ2ＣＨ2）n−ＯＲ（式中Ｒは低級アルキル基であり、ｎは３〜４０の整数を示す）であらわされる化合物である。
【００５６】
このような特に好ましいウレタンアクリレート化合物の詳細は、特開平６−２８７２６０号公報等に記載されている。
本発明の粘着剤組成物におけるエネルギー線重合性化合物（Ｂ）の配合割合は、親水性粘着剤（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは１０〜２００重量部、さらに好ましくは５０〜１５０重量部、特に好ましくは７０〜１２０重量部である。この場合には、得られる粘着剤の初期接着力が大きく、しかもエネルギー線照射後には粘着力は大きく低下し、被着体との剥離が容易になり、しかも粘着剤が被着体表面に残留することもない。
【００５７】
エネルギー線重合性化合物（Ｂ）が１０重量部未満では、エネルギー線照射後の粘着力が充分に低下せず、また２００重量部を超えると、水による粘着剤の除去が困難になる虞がある。
【００５８】
光重合開始剤（Ｃ）
また、本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、光照射によって硬化を行う場合には、光重合開始剤（Ｃ）を混入することができる。光重合開始剤を混入することにより、光照射による重合硬化時間ならびに光照射量を少なくすることができる。
【００５９】
このような光重合開始剤としては、具体的には、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノンなどが挙げられる。
【００６０】
光重合開始剤（Ｃ）の使用量は、前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）１００重量部に対して、好ましくは０．０５〜１５重量部、さらに好ましくは０．１〜１０重量部、特に好ましくは０．５〜５重量部である。
【００６１】
その他の成分
さらに本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物には、必要に応じて、本発明の目的を損なわない範囲で、粘着剤の粘着力、凝集力、タック、分子量、分子量分布、弾性率、ガラス転移点、親水性、耐水性等の調整のため、水溶性多価アルコールなどの親水性可塑剤、粘着付与性樹脂、顔料、染料、消泡剤、防腐剤などを添加することもできる。このような他の成分は、それぞれの成分を添加する目的により様々であるが、成分（Ａ）１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜２０重量部程度の割合で用いられる。
【００６２】
エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物
本発明のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物は、上記のような親水性粘着剤（Ａ）、エネルギー線重合性化合物（Ｂ）、所望により光重合開始剤（Ｃ）および前述した他の成分とを、常法にて混合することにより得られる。
【００６３】
このようなエネルギー線硬化型感圧接着剤組成物は、エネルギー線照射により、剥離後の被着体への粘着剤の残留を極めて少なくすることができる程の硬化が得られる。
【００６４】
エネルギー線としては、具体的には、紫外線、電子線等が用いられる。また、その照射量は、粘着剤の組成およびエネルギー線の種類によって様々であり、たとえば紫外線を用いる場合には、４０〜２００Ｗ／cm程度が好ましく、電子線を用いる場合には、１０〜１０００krad程度が好ましい。このようなエネルギー線の照射により、粘着力は激減する。たとえば、半導体ウエハ鏡面に対する粘着力は、エネルギー線の照射前には１００〜１０００ｇ／25mm程度であるのに対し、照射後には、照射前の０．５〜５０％程度にコントロールできる。
【００６５】
しかも、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも、親水性粘着剤（Ａ）の有する親水性を維持する。
たとえば、親水性粘着剤（Ａ）として、上記粘着剤組成物（１）を用いた場合には、親水性の粘着ポリマーを架橋した状態で有限に膨潤する。エネルギー線照射後も、粘着ポリマーが膨潤するため、粘着剤がウエハ面に残っても洗浄できる。また粘着剤組成物（２）〜（４）を用いた場合には、界面活性剤、水溶性ポリマーの作用により水が粘着剤とウエハの界面に侵入する。
【００６６】
なお、粘着剤の親水性は以下のようにして評価する。すなわち、粘着剤のみを被着体（ミラーウエハ）に貼付し、２３℃の水に浸漬する。粘着剤が水に溶解あるいは膨潤して被着体から完全に剥離するまでの時間を測定する。
【００６７】
通常、研磨されたウエハを研磨屑の除去等のため水で洗浄する工程がある。
工程適性を考えると、本発明の粘着剤組成物は３０分以内に剥離することが好ましく、１０分以内に剥離することがさらに好ましい。３０分を超えると、生産性が悪くなることがある。
【００６８】
このように、本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線により硬化した後でも親水性を有するため、硬化後に被着体表面に粘着剤が残留したとしても、簡単な水洗浄によって残留粘着剤を除去することができる。
【００６９】
粘着シート
本発明に係る粘着シートは、上記粘着剤組成物からなる粘着剤層と、基材とからなる。
【００７０】
基材としては、特に限定はされないが、たとえば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢ビフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等ならびに、これらの架橋フィルムが用いられる。さらにこれらの積層フィルムであってもよい。さらに必要に応じ、上記フィルムを着色したフィルム、フッ素樹脂フィルム等を用いることができる。また、基材の厚さは、通常は５０〜５００μｍ、好ましくは８０〜３００μｍ程度であり、基材の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００７１】
本発明の粘着シートは、上記粘着剤組成物をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって各種の基材上に適宜の厚さで塗工して乾燥させて粘着剤層を形成し、次いで必要に応じ粘着剤層上に離型シートを貼り合わせることによって得られる。
【００７２】
粘着剤層の厚さは、用途によって様々であるが、通常は１０〜５０μｍ、好ましくは２０〜４０μｍ程度であり、粘着剤層の厚さが薄くなると表面保護機能が低下するおそれがある。
【００７３】
本発明に係る粘着シートの形状は、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとりうる。
このような本発明に係る粘着シートは、ウエハ等の表面保護に好ましく用いられる。
【００７４】
すなわち、上記のような各成分を含む粘着シートは、ウエハ加工工程中には、粘着剤層と被着体表面との間に研摩屑、切削屑等が入り込むことがなく、ウエハ表面を充分に保護することができる。しかも所要の加工工程終了後には、ウエハから粘着シートを容易に剥離することができ、しかもウエハ表面に粘着剤が付着残存したとしても容易に水で洗い落すことができる。
【００７５】
利用方法
このような本発明に係る粘着シートは、特にウエハ加工時の表面保護シートとして好適に用いられる。次に本発明に係る粘着シートを用いたウエハ裏面の研摩方法について説明する。
【００７６】
粘着シートの上面に剥離性シートが設けられている場合には、剥離性シートを除去し、次いでこの粘着剤層に、裏面を研摩処理をすべきウエハを貼着する。この際粘着剤層上に、パターンが形成されたウエハ表面が接するようにして貼着する。
【００７７】
この状態で、ウエハ裏面をグラインダーなどによって研摩して、ウエハ裏面に形成された酸化物被膜などを除去するとともに、ウエハの厚みを所望の厚さに調節する。この際精製水をウエハに吹き付けるなどしてウエハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生する熱を除去する。
【００７８】
次に研摩が終了した後に、ウエハから粘着シートを剥離する。本発明の粘着シートによれば、前述したように、エネルギー線照射によって粘着力を非常に低レベルとすることができるので、ウエハ表面から容易に粘着シートを剥離することができる。また粘着シートの剥離後に、ウエハ表面に粘着剤が残留したとしても、この残留した粘着剤は精製水で簡単に洗い去ることができる。
【００７９】
このように本発明に係る粘着シートでは、粘着剤層が特定の成分を含有する粘着剤組成物から形成されているため、エネルギー線照射によって粘着力を激減させ、剥離を容易に行うことができる。また、たとえウエハ表面に粘着剤が付着しても、該粘着剤をトリクレンなどの有機溶剤を用いずに精製水によって洗浄することによって除去することができ、したがって、人体に悪影響を与えたり、環境を汚染したりするという危険性が全くない。しかも従来では、粘着剤が付着したウエハ表面をトリクレンなどの有機溶剤で洗浄した後、精製水で洗浄するという２工程が必要であったが、本発明では、粘着剤が付着したウエハ表面を精製水でたとえば超音波洗浄装置などを用いて洗浄すればよいため、洗浄を１工程で行うことができる。さらに、本発明に係る粘着シートは、ウエハ裏面の研摩時には、ウエハに対して充分な接着力を有して貼着されているため、ウエハ表面と粘着シートとの間にウエハ研摩屑が入り込んでウエハ表面に形成されたパターンが破壊されることがない。
【００８０】
【発明の効果】
本発明の粘着剤組成物は、エネルギー線硬化性と親水性とを併せ持つ。このため、エネルギー線照射によって接着力が激減し、被着体からの粘着シートの剥離を容易に行うことができる。また、何らかの事由で、粘着剤が被着体表面に残存したとしても、水で洗浄することによって容易に残留粘着剤を除去することができる。
【００８１】
【実施例】
以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００８２】
なお、以下の実施例および比較例において、「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」は次のようにして評価した。
残留パーティクル測定
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、４インチシリコンウエハ表面に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０分間放置した後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、その後、粘着シートを剥離した。水洗浄性試験を行う前に、ウエハ表面に残留した粒径０．２７μｍφ以上のパーティクルの数をレーザー表面検査装置（ＬＳ５０００、日立電子エンジニアリング製）により測定した。
【００８３】
水洗浄性
実施例および比較例で作成した粘着剤のみを厚さ５０μｍに塗布乾燥し、これを２０mm角に切断してミラーウエハに貼付した。２０分間放置した後、粘着剤層に高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した。その後、常温で純水中に浸漬し、剥離までの時間を測定した。表中の判定基準は以下のとおりである。
良：＜１０分、可：１０〜３０分、不可：＞３０分
粘着力
実施例あるいは比較例において得られた粘着シートを２３℃、６５％ＲＨの雰囲気下で、半導体ウエハ裏面（♯２０００研磨）に２kgゴムローラーを往復させることにより貼り付け、２０分間放置した後、万能型引張試験機（株式会社オリエンテック製、商品名：TENSILON / UTM-4-100）を用いて剥離速度３００mm／分で１８０°剥離粘着力（ｇ／25mm）を測定した。また、同様の条件で貼付、放置後、基材フィルム側から高圧水銀灯（８０Ｗ／cm）で照射距離１０cm、ラインスピード５ｍ／分で紫外線照射した後、同様に１８０°剥離粘着力を測定した。
【００８４】
なお、略号は以下のものを示す。
〔エネルギー線重合性化合物〕
Ｂ１：ヘキサメチレンジイソシアナート三量体（商品名：コロネートＨＸ、日本ポリウレタン（株）製）３４３．５部、ヒドロキシプロピルアクリレート１６６．３部、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル１９０．３部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２５００）
Ｂ２：ヘキサメチレンジイソシアナート５２．８部、ペンタエリスリトール１０．７部、2-ヒドロキシエチルアクリレート３６．５部の反応生成物（８０％酢酸エチル溶液）（重量平均分子量：２０００）
Ｂ３：水添トリレンジイソシアナート５１．８部、ポリ（ブチレンオキサイド）ジオール６２３．０部、2-ヒドロキシエチルアクリレート２５．２部の反応生成物（４０％トルエン溶液）（重量平均分子量：１５０００）
〔光重合開始剤〕
Ｃ：1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（商品名：イルガキュアー１８４、チバ・ガイギー社製）
【００８５】
【実施例１】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
還流冷却器、攪拌機、温度計、不活性ガス導入管、滴下漏斗を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸３重量部、2-メトキシエチルアクリレート９０重量部および2-ヒドロキシエチルアクリレート７重量部、酢酸エチル２００重量部、アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を加え、窒素気流中で３０分間攪拌した後、６０℃で約８時間反応を行い、カルボキシル基含有共重合体を得た。
【００８６】
上記で得られたカルボキシル基含有共重合体の固型分１００重量部に対し、中和剤として１．２５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．２モル）のトリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
【００８７】
次いで、架橋剤として０．５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．０３モル）のエポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤１０１．７５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
上記で得られた粘着剤組成物を、厚さ１１０μｍのポリエチレンフィルムのコロナ処理面上に、乾燥後の塗布厚が２０μｍになるように塗布し、総厚が１３０μｍの粘着シートを得た。
【００８８】
この粘着シートを用いて上記の手法により「残留パーティクル」、「水洗浄性」および「粘着力」の評価を行った。結果を表２に示す。
【００８９】
【実施例２】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１において、中和剤としてのトリエタノールアミンの使用量を１．７５重量部（カルボキシル基１モルに対して０．３モル）とした以外は、実施例１と同様にして親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤の固型分１０２．２５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ２を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９０】
【実施例３】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１において、モノマーを、アクリル酸１０重量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、ブチルアクリレート８０重量部およびメチルアクリレート５重量部に変更し、重合を行い、９重量部（カルボキシル基１モルに対して０．４モル）のトリエタノールアミンを配合し、充分に攪拌した。
【００９１】
次いで、架橋剤として１重量部（カルボキシル基１モルに対して０．０２モル）のエポキシ系架橋剤（商品名：テトラッドＣ、三菱ガス化学（株）製）を加え、充分に攪拌し、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤の固型分１１０．０重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９２】
【実施例４】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）親水性粘着剤の製造
実施例１と同様にして、親水性粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物の製造
上記で得た親水性粘着剤１０２．２５重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ３を１２０重量部、光重合開始剤Ｃを４．８重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９３】
【比較例１】
〔粘着剤組成物の調製〕
（１）粘着剤の製造
2-ヒドロキシエチルアクリレート５重量部およびブチルアクリレート９５重量部を重合し、次いで、架橋剤として０．２重量部のイソシアナート系架橋剤（商品名：コロネートＬ、日本ポリウレタン（株）製）を加え、充分に攪拌し、粘着剤を得た。
（２）エネルギー線硬化型粘着剤組成物の製造
上記で得た粘着剤の固型分１００．２重量部に対して、エネルギー線重合性化合物Ｂ１を１００重量部、光重合開始剤Ｃを４重量部加え、充分に混合し、エネルギー線硬化型粘着剤組成物を得た。
〔粘着シートの製造〕
実施例１と同様にして粘着シートを得た。結果を表２に示す。
【００９４】
【比較例２】
実施例１において、中和剤としてトリエタノールアミンを用いず、エネルギー線重合性化合物Ｂ１の使用量を１００重量部に変更した以外は、実施例１と同様の操作を行った。結果を表２に示す。
【００９５】
【表１】
【表２】
Claims (7)
- （Ａ）親水性粘着剤と、（Ｂ）エネルギー線重合性化合物とからなるエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物であって、
前記親水性粘着剤（Ａ）が、（ A1 ）カルボキシル基含有重合性モノマーと、（ A2 ）該モノマーと共重合可能な他のモノマーとを溶液重合により重合することにより得られるカルボキシル基含有共重合体と、（ A3 ）中和剤と、（ A4 ）架橋剤とから形成される粘着剤組成物からなり、
前記中和剤（ A3 ）が、分子中に金属、ハロゲンを含まない化合物である
ことを特徴とするエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。 - 前記カルボキシル基含有重合性モノマーと共重合可能な他のモノマー（A2）が、下記式にて示される化合物であることを特徴とする請求項１に記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
- 前記エネルギー線重合性化合物（Ｂ）が、分子内にエネルギー線重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも１つ有する重量平均分子量１００〜５００００の化合物であることを特徴とする請求項１または２に記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
- （Ｃ）光重合開始剤をさらに含有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物。
- 請求項１〜４の何れかに記載のエネルギー線硬化型親水性粘着剤組成物が、基材上に塗布されてなることを特徴とする粘着シート。
- ウエハ加工用粘着シートとして用いられることを特徴とする請求項５に記載の粘着シート。
- ウエハ表面保護用粘着シートとして用いられることを特徴とする請求項５に記載の粘着シート。
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