JPH1150295A - めっき浴 - Google Patents

めっき浴

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JPH1150295A
JPH1150295A JP21550797A JP21550797A JPH1150295A JP H1150295 A JPH1150295 A JP H1150295A JP 21550797 A JP21550797 A JP 21550797A JP 21550797 A JP21550797 A JP 21550797A JP H1150295 A JPH1150295 A JP H1150295A
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JP
Japan
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surfactant
alkyl
comparative example
plating
polyoxyalkylene
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Pending
Application number
JP21550797A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiji Masaki
征史 正木
Takao Takeuchi
孝夫 武内
Keigo Obata
惠吾 小幡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daiwa Kasei Kenkyusho KK
Original Assignee
Daiwa Kasei Kenkyusho KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 新規な貴金属のめっき浴を提供する。 【解決手段】 特定の界面活性剤の1種又は2種以上を
添加したことを特徴とする金、白金、ロジウム、ルテニ
ウム、それらの金属を70%以上含む合金又はパラジウ
ムを70%以上含む合金の電気及び(又は)無電解めっ
き浴である。細かい窪みや狭隘な隙間にめっき液が十分
に浸透し、めっきされない個所ができにくく、また、前
処理としての脱脂が多少不十分であった場合にもめっき
不良を生じにくい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はめっき技術に関し、
特に貴金属のめっき技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、金、白金、ロジウム、ルテニウム
及び(又は)それらを主成分とする合金及び(又は)パ
ラジウムを主成分とする合金の電気及び(又は)無電解
めっき浴においては、界面活性剤によるカバリング特性
の向上についての報告は見当たらず、工業的にも使用さ
れていない。そのため、細かい窪みや狭隘な隙間を有す
るめっき対象物の場合に、めっき液が十分に浸透せず、
めっきされない個所ができることが多かった。また、前
処理としての脱脂が十分に行われていない場合にはめっ
き不良が生じるという欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の欠点を改善し、
細かい窪みや狭隘な隙間を有するめっき対象物において
も、それらの個所にめっき液が十分に浸透し、めっきさ
れない個所ができにくく、また、前処理としての脱脂が
多少不十分であった場合にもめっき不良を生じにくい
金、白金、ロジウム、ルテニウム及び(又は)それらを
主成分とする合金及び(又は)パラジウムを主成分とす
る合金の電気及び(又は)無電解めっき液を完成させる
ことを本願発明の目的とした。
【0004】
【課題を解決するための手段】2価の錫を用いた酸性浴
からのめっきでは、界面活性物質を用いなければ平滑な
めっき皮膜が得られないため、界面活性剤は錫めっきに
とっては必須の成分であり、錫めっき浴においてはこれ
までに多くの界面活性物質が検討されてきた。一方、実
用的な金属の中では錫以外の金属は、めっき皮膜の形成
自体にはそのような界面活性物質が必須の成分ではない
ために、亜鉛、銅、銀などのめっきにおいて界面活性物
質が検討され、利用されている例はあるが、その他の金
属については、ニッケル、クロム、銅などにおいて、水
素の発生個所にピットが生じることを抑制するために界
面活性剤が添加されることはあったが、いわゆる光沢
剤、平滑化剤と称される有機化合物とは別に、界面活性
物質の添加によるカバリング性能の改善ついては検討さ
れることはなかった。特に、貴金属のめっきにおいて
は、一般にごく薄い皮膜が利用されるのでなおさらであ
った。
【0005】本願の発明者らは、永年に亙る錫あるいは
錫合金めっきの研究の経験から、界面活性物質がめっき
にとって有用であることを承知しており、金、白金、ロ
ジウム、ルテニウム及び(又は)それらを主成分とする
合金及び(又は)パラジウムを主成分とする合金の電気
及び(又は)無電解めっき液の開発にあたって、そのよ
うな界面活性物質を適用することによって、上述のよう
にめっきのカバリング特性が著しく向上することを見出
し、該めっき浴を完成するに至った。
【0006】発明の概要即ち、本発明は、下記の(1)
〜(24)の界面活性剤: (1)ポリオキシアルキレン系界面活性剤、(2)ポリ
オキシアルキレンアルキルエーテル(又はエステル)系
界面活性剤、(3)ポノオキシアルキレンフェニル(又
はアルキル若しくはアルキルフェニル)エーテル系界面
活性剤、(4)ポリオキシアルキレンナフチル(又はア
ルキルナフチル)エーテル系界面活性剤、(5)ポリオ
キシアルキレンスチレン化フェニルエーテル系界面活性
剤、(6)ポリオキシアルキレンスチレン化フェニルエ
ーテルのフェニル基にさらにポリオキシアルキレン鎖を
付加した界面活性剤、(7)ポリオキシアルキレンアル
キル(又はアルケニル)アミン(又はアミド)系界面活
性剤、(8)アルキレンジアミンのアルキレンオキシド
付加物系界面活性剤、(9)リン酸エステル系界面活性
剤、(10)脂肪酸塩又はポリオキシエチレンアルキル
エーテル酢酸塩系界面活性剤、(11)アルキル又はア
ルキルベンゼンスルホン酸塩系界面活性剤、(12)ア
ルキルエーテルスルホン酸塩系界面活性剤、(13)ア
ルキル(又はアルコキシ)ナフタレンスルホン酸又はそ
れらのアルカリ金属塩系界面活性剤、(14)アルキル
ジフェニルエーテルスルホン酸又はそれらのアルカリ金
属塩系界面活性剤、(15)アルキル硫酸エステル系界
面活性剤、(16)N−アシルアミノ酸( 塩) 系界面活
性剤、(17)N−アシルスルホカルボン酸塩系界面活
性剤、(18)アルキルスルホカルボン酸エステル塩系
界面活性剤、(19)アルキル脂肪酸グリセリン硫酸エ
ステル塩系界面活性剤、(20)アンモニウム4級塩系
界面活性剤、(21)イミダゾリニウム系界面活性剤、
(22)アルキルエチレン(又はプロピレン)ジアミン
系界面活性剤、(23)アルキルイミダゾリニウムベタ
イン系界面活性剤、及び(24)アルキル(又はアミド
又はアミン)ベタイン系界面活性剤から選ばれる界面活
性剤の1種又は2種以上を0.001〜50g/lの濃
度で添加したことを特徴とする金、白金、ロジウム、ル
テニウム、それらの金属を70%以上含む合金又はパラ
ジウムを70%以上含む合金の電気及び(又は)無電解
めっき浴である。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明に従うこれらの貴金属のめ
っき浴としては、公知のめっき浴を用いることができ
る。その中の数例を下記に列挙する。
【0008】金めっき及び(又は)金合金めっき浴とし
ては、シアン化第一金錯体系浴、シアン化第二金錯体系
浴、亜硫酸錯体浴、チオシアン酸錯体浴、メルカプトコ
ハク酸錯体浴、さらにそれらにクエン酸塩、酒石酸塩、
エチレンジアミン、EDTA、リン酸塩、ピロリン酸
塩、スルファミン酸塩等を添加した浴及び(又は)それ
らの混合浴等の公知のめっき浴をいずれも用いることが
できる。
【0009】パラジウム合金めっき浴として、ジアンミ
ン第一パラジウム塩化物浴、ジアンミンパラジウム亜硝
酸塩浴、テトラアンミンパラジウムジクロライド浴、ジ
アンミン亜硝酸塩浴、テトラアンミン蓚酸パラジウム塩
浴、ジアンミンジスルファミン酸錯体浴、さらにそれら
にヨウ化カリウム、EDTA、エチレンジアミン、ピロ
リン酸等を添加した浴及び(又は)それらの混合浴等の
公知のめっき浴をいずれも用いることができる。
【0010】白金めっき及び(又は)白金合金めっき浴
として、塩化物浴、ジニトロジアミン浴ジニトロ硫酸塩
浴 、ヒドロキシアルカリ浴、リン酸塩及び(又は)そ
れらの混合浴等の公知のめっき浴をいずれも用いること
ができる。
【0011】ロジウムめっき及び(又は)ロジウム合金
めっき浴として、硫酸塩浴、リン酸塩浴、ホウフッ化物
浴、スルファミン酸塩浴及び(又は)それらの混合浴等
の公知のめっき浴をいずれも用いることができる。
【0012】ルテニウムめっき及び(又は)ルテニウム
合金めっき浴として、塩化ニトロシルルテニウム−スル
ファミン酸塩浴、テトラクロロアクアルテニウム酸カリ
ウム浴及び(又は)それらの混合浴等の公知のめっき浴
をいずれも用いることができる。
【0013】無電解めっき浴としては、置換型及び還元
型いずれも用いることができる。
【0014】金、パラジウム、白金、ロジウム及び(又
は)ルテニウムの合金は、該金属が主成分であり、70
%以上含まれるものが該当する。それらの合金の合金化
元素は、それら自身の中から1種及び(又は)2種以上
が相互に選ばれてもよく、またそれらの金属と共析する
ことが知られているそれら以外の金属、即ち、リン、、
ホウ素、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ヒ素、セ
レン、、銀、カドミウム、インジウム、スズ、アンチモ
ン、タリウム、鉛、ビスマス、ランタノイド類、及びア
クチノイド類元素の中から1種及び(又は)2種以上を
用いることができる。
【0015】本発明を構成する界面活性剤は、公知のも
のを用いることができる。それらの中で好適なものとし
て、下記(1)〜(24)の界面活性剤が挙げられ、そ
れらの中から1種又は2種以上を添加して用いることが
できる。
【0016】・一般式(1) HO−(A)m −(B)n −H (1) [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。m及びnは0〜40の整数を表す。た
だし、m及びnの和は1から40の範囲内にある。]で
表されるポリオキシアルキレン系界面活性剤、例えば、
エチレングノコール、ジ−(トリ−、テトラ−、オクタ
−・・・)エチレングリコールのようなポリエチレング
リコール、プロピレングリコール、ジ−(トリ−、テト
ラ−、オクタ−・・・)プロピレングリコールのような
ポリプロピレングリコール、エチレンオキサイドとプロ
ピレンオキサイドとの縮合物系界面活性剤。
【0017】・一般式(2) R−D−(A)m −(B)n −H (2) [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。m及びnは0〜40の整数を表す。た
だし、m及びnの和は1から40の範囲内にある。Rは
炭素数1〜22のアルキル基、又は炭素数1〜25の脂
肪酸でエステル化したソルビタンを表す。Dは−O−又
は−COO−を表す。]で表されるポリオキシアルキレ
ンアルキルエーテル(又はエステル)系界面活性剤、例
えば、上記(1)のポリエチレングリコール、ポリプロ
ピレングリコール等のアルキル(例えば、オレイル、セ
チル、ステアリル、ラウリル・・・)エーテル若しくは
脂肪酸エステル、ソルビタンエステル等。
【0018】・一般式(3) R−O−(A)m −(B)n −H (3) [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。m及びnは0〜40の整数を表す。た
だし、m及びnの和は1から40の範囲内にある。Rは
フェニル基又はアルキル基(C1 〜C25)で置換したフ
ェニル基を表わす。]で表されるポノオキシアルキレン
フェニル(又はアルキル若しくはアルキルフェニル)エ
ーテル系界面活性剤、例えば、上記(2)のポリエチレ
ングリコール、ポリプロピレングリコール等のフェニル
エーテル又はアルキル置換フェニルエーテル等。
【0019】・一般式(4)
【化1】 [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。m及びnは0〜40の整数を表す。た
だし、m及びnの和は1から40の範囲内にある。Rは
水素又はアルキル基(C1 〜C25)を表す。]で表され
るポリオキシアルキレンナフチル(又はアルキルナフチ
ル)エーテル系界面活性剤、例えば、ナフトール又はア
ルキルナフトールのエチレンオキサイドプロピレンオキ
サイド付加物等。
【0020】・一般式(5)
【化2】 [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されず、m及びnは0〜40の整数を表す。ただ
し、m及びnの和は1から40の範囲内にある。xは1
〜3の整数を表す。Ra 、Rb 、Rc 、Rd は、それぞ
れ独立に水素、フェニル基、アルキル基(C1 〜C4
又は−CH(CH3 )−φを表わす。ただし、少なくと
も1つはフェニル基又は−CH(CH3 )−φであるも
のとする。]で表されるポリオキシアルキレンスチレン
化フェニルエーテル系界面活性剤、例えば、スチレン化
フェノール又はα−メチルスチレン化フェノールのエチ
レンオキサイドプロピレンオキサイド付加物等。
【0021】・一般式(6)
【化3】 [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。 Rc1及びRc2はそれぞれ独立に水
素、フェニル基又はアルキル基(C1 〜C4 )を表し、
d 及びRe はそれぞれ独立に水素又は−CH3 を表
し、m1、m2、n1及びn2はそれぞれ独立に0〜4
0の整数を表す。ただし、m1及びn1、さらにm2及
びn2の和は1から40の範囲内にある。]で表される
ポリオキシアルキレンスチレン化フェニルエーテルのフ
ェニル基にさらにポリオキシアルキレン鎖を付加した界
面活性剤、例えば、ビスフェノールのビス(エチレンオ
キサイドプロピレンオキサイド)付加物等。
【0022】・一般式(7)
【化4】 [ここで、Rはアルキル基(C1 〜C30)、アルケニル
基(C2 〜C30)又はアシル基(C2 〜C30)を表し、
A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−CH2−C
(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置は限定さ
れない。m1、m2、n1及びn2はそれぞれ独立に0
〜6の整数を表す。ただし、m1及びn1、さらにm2
及びn2の和は1から6の範囲内にある。−CH2 −C
H(CH3 )−Oの付加モル数が−CH2 −CH2 −O
の付加モル数より多いことはない。]で表されるポリオ
キシアルキレンアルキル(又はアルケニル)アミン(又
はアミド)系界面活性剤、例えば、アルキル(又はアル
ケニル)アミン(又はアミド)のエチレンオキサイドプ
ロピレンオキサイド付加物等。
【0023】・一般式(8)
【化5】 [ここで、A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−C
2 −C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置
は限定されない。m1、m2、m3、m4、n1、n
2、n3及びn4は整数で、m1+m2+m3+m4=
5〜70、n1+n2+n3+n4=5〜70である。
m1、m2、n1及びn2はそれぞれ独立に0〜6の整
数を表す。ただし、m1及びn1、さらにm2及びn2
の和は1から6の範囲内にある。xは2又は3の整数を
表す。Rは水素、アルキル基(C1 〜C30)又はアルケ
ニル基(C2 〜C30)を表す。]で表されるアルキレン
ジアミンのアルキレンオキシド付加物系界面活性剤、例
えば、エチレンジアミンのエチレンオキサイド及び又は
プロピレンオキサイドN付加物等。
【0024】・一般式(9)
【化6】 [ここで、Ra 、Rb 及びRc は水素、C1 〜C25のア
ルキル基、ベンゼン環、又はC1 〜C25のアルキル基で
置換されたベンゼン環を表し、同一又は異なってもよ
い。A及びBは−CH2 −CH2 −O−又は−CH2
C(CH3 )H−O−を表し、それらの存在位置は限定
されない。m1、m2、m3、n1、n2及びn3はそ
れぞれ独立に0〜40の整数を表す。ただし、m1及び
n1、m2及びn2、さらにm3及びn3の和は1から
40の範囲内にある。Dは単結合又は酸素を表す。Mは
水素又はアルカリ金属を表す。]で表されるリン酸エス
テル系界面活性剤、例えば、アルキルリン酸のナトリウ
ム塩等、ポリオキシエチレン化ポリオキシプロピレン化
リン酸のナトリウム塩等。
【0025】・一般式(10) R−A−(C24 O)n −CH2 −COOM (10) [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基を表し、Aは酸
素又は単結合を表し、nは0〜40の整数を表す。Mは
アルカリ金属を表す。]で表される脂肪酸塩又はポリオ
キシエチレンアルキルエーテル酢酸塩系界面活性剤、例
えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル酢酸塩等。
【0026】・一般式(11) R−SO3 M (11) [ここで、RはC5 〜C25のアルキル若しくはアルケニ
ル基、ベンゼン環、又はC5 〜C25のアルキル基で置換
されたベンゼン環を表す。Mはアルカリ金属を表す。]
で表されるアルキル又はアルキルベンゼンスルホン酸塩
系界面活性剤。
【0027】・一般式(12)
【化7】 [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基を表し、nは0
〜40の整数を表す。Mはアルカリ金属を表す。]で表
されるアルキルエーテルスルホン酸塩系界面活性剤。
【0028】・一般式(13)
【化8】 [ここで、RはC1 〜C25アルキル基又は−(CH2
O)n (ここでnは1〜40の整数)を表し、Aは酸素
又は単結合を表す。Mは水素又はアルカリ金属を表
す。]で表されるアルキル(又はアルコキシ)ナフタレ
ンスルホン酸又はそれらのアルカリ金属塩系界面活性
剤、例えば、アルキル(プロピル、ブチル・・・)ナフ
タレンスルホン酸のナトリウム塩等。
【0029】・一般式(14)
【化9】 [ここで、Rはアルキル基(C1 〜C25)又は−(CH
2 O)n (ここでnは1〜40の整数)を表し、Aは酸
素又は単結合を表す。ベンゼン環上の各基の置換位置は
限定されない。Mは水素又はアルカリ金属を表す。]で
表されるアルキルジフェニルエーテルスルホン酸又はそ
れらのアルカリ金属塩系界面活性剤。
【0030】・一般式(15) R−O−(CH2 CH2 O)n−SO3 M (15) [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基、ベンゼン環、
又はC5 〜C25のアルキル基で置換されたベンゼン環を
表し、nは0〜40の整数を表す。Mはアルカリ金属、
アンモニウム又はトリエタノールアミンを表す。]で表
されるアルキル硫酸エステル系界面活性剤、例えば、ア
ルキル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエ
ーテル硫酸エステル塩、ポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル硫酸エステル酸塩等。
【0031】・一般式(16)
【化10】 [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基であり、nは1
又は2の整数であり、Mは水素又はアルカリ金属を表
す。]で表されるN−アシルアミノ酸( 塩) 系界面活性
剤、例えば、アルキロイルザルコシン、アルキロイルザ
ルコシネート、アルキロイルメチルアラニン塩等。
【0032】・一般式(17)
【化11】 [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基であり、nは1
又は2の整数であり、Mは水素又はアルカリ金属を表
す。]で表されるN−アシルスルホカルボン酸塩系界面
活性剤、例えば、アルキルスルホ酢酸塩、アシルメチル
タウリン酸ナトリウム等。
【0033】・一般式(18)
【化12】 [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基を表わし、mは
0又は1の整数を表し、nは0〜40の整数を表し、X
はO又はNを表し、YはC5 〜C25のアルキル基、 アル
カリ金属、トリエタノールアミン又はアンモニウムを表
す。ただし、XがNのときはC5 〜C25のアルキル基に
限定される。また、n及びmが共に0のときはRはアル
カリ金属であってもかまわない。]で表されるアルキル
スルホカルボン酸エステル塩系界面活性剤、例えば、ア
ルキルスルホコハク酸塩、ジアルキルスルホコハク酸
塩、アルキルポリオキシエチレンスルホコハク酸、スル
ホコハク酸モノオレイルアミドナトリウム塩等。
【0034】・一般式(19)
【化13】 [ここで、RはC5 〜C25のアルキル基を表す。]で表
されるアルキル脂肪酸グリセリン硫酸エステル塩系界面
活性剤。
【0035】・一般式(20)
【化14】 [ここで、Xはハロゲン、ヒドロキシル基、CH3 CO
- 又はアルカンスルホン酸基(C1 〜C5 )を表し、
EOは−CH2 CH2 0−を表し、l及びmは独立に0
〜40の整数を表す。Ra はアルキル基(C1 〜C20
又はRg OCH2(OH)−CHCH2 −(ここでRg
はC12〜C18のアルキル基を表す)を表し、Rb 及びR
c は水素、アルキル基(C1 〜C20)又はアルコキシル
基(C1 〜C10)を表し、Rdは水素又はアルキル基
(C1 〜C20)、ベンジル基又は脂肪酸−(CH2n
COOH(ここで、nは1〜18の整数を表す)を表
す。]で表されるアンモニウム4級塩系界面活性剤、 例
えば、ラウリル(オレイル、セチル、ステアリル、ベヘ
ニル・・・)トリ(ジ)メチルアンモニウムクロライド
等。
【0036】・一般式(21)
【化15】 [ここで、Xはハロゲン、OH又はアルカンスルホン酸
基(C1 〜C5 )を表し、Rはアルキル基(C1
20)を表す。]で表されるイミダゾリニウム系界面活
性剤、例えば、1−ヒドロキシエチル−2−アルキルイ
ミダゾリン4級塩等。
【0037】・一般式(22)
【化16】 [ここで、RはC1 〜C30のアルキル基を表し、nは2
又は3の整数を表す。XはCH3 COO又はClを表
す。]で表されるアルキルエチレン(又はプロピレン)
ジアミン系界面活性剤、例えば、アルキルプロピレンジ
アミン酢酸塩等。
【0038】・一般式(23)
【化17】 [ここで、Ra はアルキル基(C1 〜C20)を表し、R
b は(CH2m OH又は(CH2m OCH2 COO
- 又はC23 (OH)(COOH)を表し、Rc はア
ルキル基(C1 〜C4 )、(CH2n COO- 、(C
2n SO3 -、CH(OH)CH2 SO3 -を表し、m
及びnは1〜4の整数を表す。Mはアルカリ金属を表
し、Xはハロゲン、ヒドロキシル基又はアルカンスルホ
ン酸基(C1〜C5 )を表す。Rc がアルキル基の場合
には、Mは存在せず、Rc がアルキル基以外の場合に
は、Mは存在してもしなくてもよく、Mが存在しないと
きにはXも存在しない。]で表されるアルキルイミダゾ
リニウムベタイン系界面活性剤、例えば、2−ラウリル
(オレイル、セチル、ステアリル、ベヘニル・・・)−
N−メチルヒドロキシエチルイミダゾリニウムベタイン
等。
【0039】・一般式(24)
【化18】 [ここで、Ra は水素又はメチル基を表し、又は結合が
なくてもよい。Rb は水素又はメチル基若しくはエチル
基を表し、該アルキル基の水素の一つがエーテル結合を
介してアシルオキシ基と結合していてもよい。Rc はア
ルキル基(C5 〜C20)を表す。カルボキシル基は水素
又はアルカリ金属とイオン結合していてもよい。mは1
〜4の整数を、nは0〜4の整数を表す。]で表される
アルキル(又はアミド又はアミン)ベタイン系界面活性
剤、例えば、ジメチルラウリル(オレイル、セチル、ス
テアリル、ベヘニル・・・)ベタイン等。
【0040】それらの界面活性剤の中で市販品として容
易に入手できるものの例として、式(1)で表されるも
のには、エパン720、エパン740、エパン750、
エパン450(第一工業製薬(株))、プルロニックL
64、プルロニックL101、プルロニックP103、
プルロニックPP150(旭電化工業(株))、ニッコ
ールBO−20(日光ケミカルズ(株))、エマルゲン
L−40(花王(株))、50HB−2000/500
0(三洋化成(株))等が、式(2)で表されるものに
は、ブラウノンEL−1303、ブラウノンEL−15
09、ブラウノンCH−310(青木油脂工業
(株))、ニューコール1110(日本乳化剤
(株))、ニッコールBL、ニッコールMYL−10
(日光ケミカルズ(株))、ノイゲンET−170(第
一工業製薬(株))等が、式(3)で表されるものに
は、ノイゲンEA−150、ノイゲンEA−130T
(第一工業製薬(株))、ブラウノンNK−808、N
−512、DP−9(青木油脂工業(株))、ニューコ
ール704、ニューコール707、ニューコール71
0、ニューコール714、ニューコール723、ブラウ
ノンLPE−1007(青木油脂工業(株))、アデカ
トールNP−15,アデカトールNP−720(旭電化
工業(株))等が、式(4)で表されるものには、ブラ
ウノンBN−18(青木油脂工業(株))、アデカトー
ルPC−10(旭電化工業(株))、ノイゲンEN−1
0(第一工業製薬(株))等が、式(5)で表されるも
のには、ニューコール2607(日本乳化剤(株))、
ブラウノンDSP−9(青木油脂工業(株))等が、式
(6)で表されるものには、リポノックスNC−100
(ライオン( 株) )等が、式(7)で表されるものに
は、ナイミーンL207、ナイミーンT2−210、ナ
イミーンS−215(日本油脂(株))、ニューコール
420(日本乳化剤(株))、ブラウノンO−205
(青木油脂工業(株))等が、式(8)で表されるもの
には、テトロニックTR−701、テトロニックTR−
702(旭電化工業(株))等が、式(9)で表される
ものには、アデカコールPS−440E、アデカコール
CS−141E、アデカコールTS−230E(旭電化
工業(株))等が、式(10)で表されるものには、ノ
ンサールTN−1(日本油脂(株))、NIKKOL−
ECT−3NEX(日光ケミカルズ(株))等が、式
(11)で表されるものには、リポランPB−800
(ライオン(株))、ニューレックスペーストH(日本
油脂(株))等が、式(12)で表されるものには、リ
オノールOAI−N(ライオン(株))等が、式(1
3)で表されるものには、ペレックスNB−L、デモー
ルN(花王(株))等が、式(14)で表されるものに
は、ニューコール217A等が、式(15)で表される
ものには、シントレッキスEH−R(日本油脂
(株))、NIKKOL−SLS、NIKKOL−SN
P−4T(日光ケミカルズ(株))、アデカホープLS
−30(旭電化工業(株))、アルスコープLAS−4
0N(東邦化学工業(株))等が、式(16)で表され
るものには、オレオイルザルコシン221P(日本油脂
(株))、NIKKOL−サルコシネートCN−30
(日光ケミカルズ(株))、アラノンACE(川研ファ
インケミカル(株))等が、式(17)で表されるもの
には、NIKKOL−LSA(日光ケミカルズ
(株))、ダイヤポンF,ダイヤポンK(日本油脂
(株))等が、式(18)で表されるものには、リパー
ル835I(ライオン(株))、STANDAPOL
SH−100(ヘンケル)、コハクールNL−400
(東邦化学工業(株))、サクシニード1−LMN、サ
クシニードLM−P(日本油脂(株))等が、式(1
9)で表されるものには、NIKKOL−SGC−80
N(日光ケミカルズ(株))等が、式(20)で表され
るものには、ニッコールCA2150、ニッコールCA
101(日光ケミカルズ(株))、テクスノールR−5
(日本乳化剤(株))等が、式(21)で表されるもの
には、カチオンSF−10(三洋化成(株))、ニッサ
ンカチオンAR−4(日本油脂(株))、パルナーMS
−2(ミヨシ油脂(株))等が、式(22)で表される
ものには、ニッサンカチオンDTA、アスファゾール#
20(日本油脂(株))等が、式(23)で表されるも
のには、ソフタゾリンCH、ソフタゾリンNS(川研フ
ァインケミカル(株))、ニッサンアノンGLM−R
(日本油脂(株))、レボン101−H(三洋化成工業
(株))、ニッコールAM−103EX(日本乳化剤
(株))等が、式(24)で表されるものには、アセタ
ミン24(花王(株))等がある。
【0041】これら界面活性剤の使用量は0.001〜
50g/lであり、さらに一層好適には、0.01〜2
0g/lが用いられる。少量過ぎる場合には所期の目的
を達することができず、過剰の使用は発泡が著しく作業
が困難になったり、電流効率が極端に低下するなどの弊
害が生じる可能性がある。
【0042】なお、これら前述した種類の界面活性剤の
添加によって、脱脂不十分によるめっき不良を生じにく
くし、カバリング特性を向上させるという所期の目的だ
けでなく、外観を向上させ、ピンホールを低減させると
いうめっき皮膜の改善に対する効果も期待できる。
【0043】
【実施例】以下に実施例によって本願発明の効果を説明
するが、本願発明はこれら実施例に限定されるものでは
なく、本願発明の趣旨に沿ってめっき浴の組成およびめ
っき条件は適宜、任意に変更することができる。
【0044】25×25mmの銅板を、ベンジンを染み
込ませた脱脂綿で拭うだけの不十分な前処理を施してめ
っきに供し、めっき液への界面活性剤の添加の有無によ
るめっき外観の差異を観察し、カバリングの良否を比較
するとともに、セロテープによるテープ剥離試験を行
い、密着性を比較した。
【0045】比較例1 下記組成及び条件(1)で、銅板上に電気めっきを施し
た。 ・条件(1) 金(シアン化金(I)カリウム) 1.5 g/l 遊離シアン化カリウム 7.5 g/l リン酸1水素2カリウム 15 g/l 温度 65 ℃ 電流密度 2 A/dm2
【0046】実施例1 比較例1のめっき液に2g/lの界面活性剤ダスパーA
L−1を添加して比較例1と同条件でめっきを施した。
【0047】比較例2 下記組成及び条件(2)で、銅板上に電気めっきを施し
た。 ・条件(2) 金(亜硫酸金(I)ナトリウムイミノ錯塩) 12 g/l 遊離亜硫酸ナトリウム 50 g/l クエン酸ナトリウム 50 g/l 四硼酸ナトリウム 10 g/l 電流密度 0.5 A/dm2
【0048】実施例2 比較例2のめっき液に5g/lの界面活性剤デリファッ
ト151を添加して比較例2と同条件でめっきを施し
た。
【0049】比較例3 下記組成及び条件(3)で、銅板上に電気めっきを施し
た。 ・条件(3) 金(メルカプトコハク酸金) 10 g/l メルカプトコハク酸 20 g/l アセチルシステイン 5 g/l 温度 50 ℃ 電流密度 2 A/dm2
【0050】実施例3 比較例3のめっき液に1g/lの界面活性剤ゾンデスP
Dを添加して比較例3と同条件でめっきを施した。
【0051】比較例4 下記組成及び条件(4)で、銅板上に電気めっきを施し
た。 ・条件(4) 金(亜硫酸金(I)ナトリウム) 8 g/l チオ硫酸 50 g/l 塩化アンミンパラジウム 3 g/l EDTA−2ナトリウム 50 g/l pH 9 温度 42 ℃ 電流密度 0.8 A/dm2
【0052】実施例4 比較例4のめっき液に0.001g/lの界面活性剤カ
チオンDSを添加して比較例4と同条件でめっきを施し
た。
【0053】比較例5 下記組成及び条件(5)で、銅板上に無電解めっきを施
した。 ・条件(5) 金(メルカプトコハク酸金) 2 g/l メルカプトコハク酸 40 g/l アセチルシステイン 5 g/l 温度 80 ℃ pH 5
【0054】実施例5 比較例5のめっき液に0.1g/lの界面活性剤ニッコ
ールS−10を添加して比較例5と同条件でめっきを施
した。
【0055】比較例6 下記組成及び条件(6)で、銅板上に無電解めっきを施
した。 ・条件(6) 金(シアン化金(I)カリウム) 2 g/l 次亜リン酸ナトリウム 10 g/l シアン化カリウム 0.2 g/l 温度 96 ℃ pH 13.5
【0056】実施例6 比較例6のめっき液に0.05g/lの界面活性剤パー
ソフトSFTを添加して比較例6と同条件でめっきを施
した。
【0057】比較例7 下記組成及び条件(7)で、銅板上に無電解めっきを施
した。 ・条件(7) 金(シアン化金(I)カリウム) 5 g/l 次亜リン酸ナトリウム 15 g/l シアン化カリウム 2 g/l 塩化ニッケル 5 g/l 抱水ヒドラジン 2 ml/l 温度 90 ℃ pH 4.3
【0058】実施例7 比較例7のめっき液に1g/lの界面活性剤ノニオンL
P−20Rを添加して比較例7と同条件でめっきを施し
た。
【0059】比較例8 下記組成及び条件(8)で、銅板上に無電解めっきを施
した。 ・条件(8) 金(シアン化金(I)カリウム) 2 g/l ジメチルアミンボラン 10 g/l シアン化カリウム 5 g/l 水酸化カリウム 10 g/l EDTA−2ナトリウム 5 g/l 酢酸鉛 5 mg/l 温度 85 ℃ pH 13.6
【0060】実施例8 比較例8のめっき液に1g/lの界面活性剤テトロニッ
クTR−701を添加して比較例7と同条件でめっきを
施した。
【0061】比較例9 下記組成及び条件(9)で、銅板上に無電解めっきを施
した。 ・条件(9) 金(シアン化金(I)カリウム) 2 g/l 塩化アンモニウム 75 g/l クエン酸ナトリウム 50 g/l 次亜リン酸ナトリウム 15 g/l 温度 70 ℃
【0062】実施例9 比較例9のめっき液に1g/lの界面活性剤カチオンS
Aを添加して比較例9と同条件でめっきを施した。
【0063】比較例10 下記組成及び条件(10)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(10) シアン化金(I)カリウム 15 g/l シアン化銀 3 g/l シアン化ニッケルカリウム 20 g/l シアン化コバルトカリウム 10 g/l シアン化カリウム 80 g/l アンモニア 20 g/l 温度 15 ℃ 電流密度 0.6 A/dm2
【0064】実施例10 比較例10のめっき液に1g/lの界面活性剤スタホー
ムDLと1g/lの界面活性剤カチオンAR−4を添加
して比較例10と同条件でめっきを施した。
【0065】比較例11 下記組成及び条件(11)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(11) シアン化金(I)カリウム 12 g/l シアン化銅カリウム 7 g/l ロダンカリウム 10 g/l 2−ピリジンカルボン酸 8 g/l pH 8 温度 70 ℃ 電流密度 0.4 A/dm2
【0066】実施例11 比較例11のめっき液に3g/lの界面活性剤ニッサン
アノンLGと1g/lの界面活性剤アデカミン4DAC
−80を添加して比較例11と同条件でめっきを施し
た。
【0067】比較例12 下記組成及び条件(12)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(12) シアン化金(I)カリウム 8 g/l クエン酸Na 80 g/l 硫酸インジウム 5 g/l 硫酸コバルト 3 g/l pH 3.5 温度 21 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0068】実施例12 比較例12のめっき液に0.01g/lの界面活性剤ニ
ッサンアノンBDF−Rと0.03g/lの界面活性剤
ニッコールサルコシネートLHを添加して比較例12と
同条件でめっきを施した。
【0069】比較例13 下記組成及び条件(13)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(13) シアン化金(I)カリウム 8 g/l スルファミン酸ニッケル 3 g/l 酢酸亜鉛 0.5 g/l pH 4 温度 40 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0070】実施例13 比較例13のめっき液に1g/lの界面活性剤ブラウノ
ンPS−200を添加して比較例13と同条件でめっき
を施した。
【0071】比較例14 下記組成及び条件(14)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(14) シアン化金(I)カリウム 8 g/l スルファミン酸鉄 3 g/l 酢酸亜鉛 0.5 g/l pH 4 温度 40 ℃ 電流密度 2 A/dm2
【0072】実施例14 比較例14のめっき液に1g/lの界面活性剤ノニオン
L−2を添加して比較例14と同条件でめっきを施し
た。
【0073】比較例15 下記組成及び条件(15)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(15) シアン化金(I)カリウム 8 g/l クエン酸カリウム 130 g/l リン酸カリウム 30 g/l 硫酸アンモニウム 50 g/l 硝酸タリウム 0.4 mg/l pH 6 電流密度 2 A/dm2
【0074】実施例15 比較例15のめっき液に1g/lの界面活性剤ノンサー
ルTN−1を添加して比較例15と同条件でめっきを施
した。
【0075】比較例16 下記組成及び条件(16)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(16) シアン化金(I)カリウム 8 g/l クエン酸カリウム 130 g/l リン酸カリウム 30 g/l 硫酸アンモニウム 50 g/l 塩化アンチモン 1 mg/l 硝酸セリウム 1 mg/l pH 5 電流密度 2 A/dm2
【0076】実施例16 比較例16のめっき液に1g/lの界面活性剤ニッコー
ルR−1010を添加して比較例16と同条件でめっき
を施した。
【0077】比較例17 下記組成及び条件(17)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(17) シアン化金(I)カリウム 8 g/l シアン化銅カリウム 130 g/l シアン化カドミウムカリウム 1 g/l 遊離シアン化カリウム 15 g/l セレン酸ナトリウム 0.5 g/l 温度 60 ℃ 電流密度 0.75 A/dm2
【0078】実施例17 比較例17のめっき液に20g/lの界面活性剤プルロ
ニックL101と1g/lの界面活性剤ノイゲンEAを
添加して比較例17と同条件でめっきを施した。
【0079】比較例18 下記組成及び条件(18)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(18) シアン化金(I)カリウム 30 g/l 硫酸第一錫 7 g/l ピロリン酸カリウム 100 g/l 温度 30 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0080】実施例18 比較例18のめっき液に1g/lの界面活性剤ブラウノ
ンEL−1303を添加して比較例18と同条件でめっ
きを施した。
【0081】比較例19 下記組成及び条件(19)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(19) 金(シアン化金(I)カリウム) 20 g/l リン酸2水素カリウム 60 g/l クエン酸カリウム 60 g/l 砒酸ナトリウム 0.03 g/l チオ硫酸ナトリウム 8 g/l pH 6 温度 60 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0082】実施例19 比較例19のめっき液に1g/lの界面活性剤アンステ
ィックスP−700と1g/lの界面活性剤パーソフト
EFTを添加して比較例19と同条件でめっきを施し
た。
【0083】比較例20 下記組成及び条件(20)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(20) シアン化金(I)カリウム 5 g/l シアン化カリウム 10 g/l 水酸化カリウム 70 g/l 塩化アンチモン 50 g/l トルエン 0.1 g/l 温度 25 ℃
【0084】実施例20 比較例20のめっき液に1g/lの界面活性剤ニッコー
ルCMT−30を添加して比較例20と同条件でめっき
を施した。
【0085】比較例21 下記組成及び条件(21)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(21) シアン化金(I)カリウム 8 g/l クエン酸カリウム 130 g/l リン酸カリウム 30 g/l 硫酸アンモニウム 50 g/l 塩化鉛 1 mg/l pH 6 電流密度 1 A/dm2
【0086】実施例21 比較例21のめっき液に1g/lの界面活性剤ルノック
スS−40TDを添加して比較例21と同条件でめっき
を施した。
【0087】比較例22 下記組成及び条件(22)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(22) シアン化金(I)カリウム 8 g/l クエン酸カリウム 130 g/l リン酸カリウム 30 g/l 硫酸アンモニウム 50 g/l 塩化ビスマス 1 mg/l pH 5 電流密度 1 A/dm2
【0088】実施例22 比較例22のめっき液に1g/lの界面活性剤エフコー
ル70を添加して比較例22と同条件でめっきを施し
た。
【0089】比較例23 下記組成及び条件(23)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(23) 金(亜硫酸金ナトリウム) 4 g/l パラジウム(エチレンジアミンパラジウム)2.5 g/l EDTA−2ナトリウム 80 g/l 亜硫酸ナトリウム 25 g/l 砒酸ナトリウム 1.5 g/l 硫酸銅 1.6 g/l 電流密度 1 A/dm2
【0090】実施例23 比較例23のめっき液に30g/lの界面活性剤テロン
A−38Kと0.1g/lの界面活性剤フィレットQを
添加して比較例23と同条件でめっきを施した。
【0091】比較例24 下記組成及び条件(24)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(24) ジニトロジアンミン白金 10 g/l 硝酸アンモニウム 100 g/l 亜硝酸ナトリウム 10 g/l 水酸化アンモニウム 55 ml/l 温度 90 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0092】実施例24 比較例24のめっき液に0.001g/lの界面活性剤
エソカードC/12を添加して比較例24と同条件でめ
っきを施した。
【0093】比較例25 下記組成及び条件(25)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(25) 白金(塩化物) 6 g/l 塩酸(32%) 7.5 g/l 温度 65 ℃
【0094】実施例25 比較例25のめっき液に0.1g/lの界面活性剤スタ
ホームFを添加して比較例25と同条件でめっきを施し
た。
【0095】比較例26 下記組成及び条件(26)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(26) ジニトロジアミン白金 2 g/l アンモニア水 20 ml/l ヒドラジン水和物 2 ml/l pH 11 温度 60 ℃
【0096】実施例26 比較例26のめっき液に1g/lの界面活性剤レボンT
M−16と0.1g/lの界面活性剤ニッコールCO−
3を添加して比較例26と同条件でめっきを施した。
【0097】比較例27 下記組成及び条件(27)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(27) 塩化アンミンパラジウム 5 g/l 硫酸アンモニウム 25 g/l 1,3,6−ナフタレンスルホン酸 ナトリウム 35 g/l pH 7.5 温度 50 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0098】実施例27 比較例27のめっき液に1g/lの界面活性剤ニッコー
ルGS−6と0.1g/lの界面活性剤リベランVP−
7を添加して比較例27と同条件でめっきを施した。
【0099】比較例28 下記組成及び条件(28)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(28) 塩化アンミンパラジウム 2 g/l 硫酸アンモニウム 30 g/l 塩化カリウム 15 g/l 水酸化アンモニウム 8 ml/l ベンズアルデヒド−o− ナトリウムスルホネート 2 g/l 硫酸ニッケル 0.2 g/l pH 6 温度 50 ℃ 電流密度 1 A/dm2
【0100】実施例28 比較例28のめっき液に1g/lの界面活性剤ソルボン
S−10と1g/lの界面活性剤アーカード41−50
を添加して比較例28と同条件でめっきを施した。
【0101】比較例29 下記組成及び条件(29)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(29) パラジウム(塩化アンミンパラジウム) 10 g/l 硫酸コバルト7水塩 8.5 g/l 硫酸アンモニウム 55 g/l pH 8.5 電流密度 1 A/dm2
【0102】実施例29 比較例29のめっき液に1g/lの界面活性剤テクスノ
ールR5を添加して比較例31と同条件でめっきを施し
た。
【0103】比較例30 下記組成及び条件(30)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(30) パラジウム(酢酸パラジウム) 10 g/l 硫酸ニッケル6水塩 130 g/l エチレンジアミン 30 g/l リン酸 5 g/l pH 4 温度 40 ℃ 電流密度 0.5 A/dm2
【0104】実施例30 比較例30のめっき液に1g/lの界面活性剤ニッコー
ルTAMNS−5と1g/lの界面活性剤リポノックス
NC−100を添加して比較例30と同条件でめっきを
施した。
【0105】比較例31 下記組成及び条件(31)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(31) Pd(NH34 (NO32 (Pdとして)10 g/l Ag(NH32 NO3 (Agとして) 1 g/l 硝酸アンモニウム 30 g/l 電気密度 2 A/dm2
【0106】実施例31 比較例31のめっき液に20g/lの界面活性剤ニッサ
ンアノンLGを添加して比較例31と同条件でめっきを
施した。
【0107】比較例32 下記組成及び条件(32)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(32) 塩化アンミンパラジウム 15 g/l 塩化アンモニウム 100 g/l 硼酸 10 g/l 亜セレン酸 0.001 g/l ピリジン−3−スルホン酸 5 g/l pH 7 温度 60 ℃ 電気密度 5 A/dm2
【0108】実施例32 比較例32のめっき液に1g/lの界面活性剤ナイミー
ンL−201と1g/lの界面活性剤ニッコールTAM
NS−15を添加して比較例32と同条件でめっきを施
した。
【0109】比較例33 下記組成及び条件(33)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(33) エチレンジアミンパラジウム錯体(Pdとして)1 g/l 亜砒酸ナトリウム 0.15 g/l EDTA−2ナトリウム 100 g/l 亜硫酸ナトリウム 50 g/l pH 8 電気密度 0.5 A/dm2
【0110】実施例33 比較例33のめっき液に0.5g/lの界面活性剤アー
カードPH−100と5g/lの界面活性剤ソルボンS
−66Sを添加して比較例33と同条件でめっきを施し
た。
【0111】比較例34 下記組成及び条件(34)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(34) 硫酸ロジウム 1.7 g/l 硫酸 30 ml/l 浴温 45 ℃ 電気密度 5 A/dm2
【0112】実施例34 比較例34のめっき液に0.01g/lの界面活性剤T
MGO−5を添加して比較例34と同条件でめっきを施
した。
【0113】比較例35 下記組成及び条件(35)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(35) リン酸ロジウム 2 g/l 硫酸 30 ml/l 浴温 45 ℃ 電気密度 4 A/dm2
【0114】実施例35 比較例35のめっき液に0.3g/lの界面活性剤ポリ
スターOMを添加して比較例35と同条件でめっきを施
した。
【0115】比較例36 下記組成及び条件(36)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(36) 硫酸ロジウム 5 g/l 硫酸 50 g/l 硝酸タリウム 0.05 g/l スルファミン酸 40 g/l 1,5−ナフタレンジスルホン酸 2ナトリウム 0.4 g/l 浴温 50 ℃ 電気密度 1.25 A/dm2
【0116】実施例36 比較例36のめっき液に0.5g/lの界面活性剤ソフ
タゾリンNSと0.5g/lの界面活性剤ニッコールE
CT−3NEXを添加して比較例36と同条件でめっき
を施した。
【0117】比較例37 下記組成及び条件(37)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(37) 硫酸ロジウム 10 g/l 硫酸 100 ml/l 亜セレン酸 1 g/l 温度 60 ℃ 電流密度 2 A/dm2
【0118】実施例37 比較例37のめっき液に0.3g/lの界面活性剤ニッ
サンアノンBFを添加して比較例37と同条件でめっき
を施した。
【0119】比較例38 下記組成及び条件(38)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(38) 硫酸ロジウム 10 g/l 硫酸 100 ml/l 硫酸インジウム 0.1 g/l 温度 60 ℃ 電流密度 2 A/dm2
【0120】実施例38 比較例38のめっき液に0.5g/lの界面活性剤ニッ
コールS−10と0.1g/lの界面活性剤ブラウノン
DSP−9を添加して比較例38と同条件でめっきを施
した。
【0121】比較例39 下記組成及び条件(39)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(39) 塩化ロジウム 5 g/l 塩酸(32%) 7.5 g/l 温度 30 ℃
【0122】実施例39 比較例39のめっき液に1g/lの界面活性剤ペレック
スNB−Lを添加して比較例39と同条件でめっきを施
した。
【0123】比較例40 下記組成及び条件(40)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(40) ロジウムアンミン錯体(Rhとして) 1 g/l アンモニア水(30%) 50 ml/l ヒドラジン水和物 5 g/l pH 12.7 温度 60 ℃
【0124】実施例40 比較例40のめっき液に1g/lの界面活性剤ブラウノ
ンBN−10を添加して比較例40と同条件でめっきを
施した。
【0125】比較例41 下記組成及び条件(41)で、銅板上に電気めっきを施
した。 ・条件(41) リン酸 50 ml/l リン酸2水素カリウム 110 g/l K3 [Ru3 NCl8 CH22 ] (Ruとして) 10 g/l 温度 70 ℃ PH 1.7 電流密度 1 A/dm2
【0126】実施例41 比較例41のめっき液に0.1g/lの界面活性剤ニュ
ーレックスRを添加して比較例41と同条件でめっきを
施した。
【0127】比較例42 下記組成及び条件(42)で、銅板上に無電解めっきを
施した。 ・条件(42) 塩化ルテニウム(Ruとして) 5 g/l 塩酸(32%) 7.5 g/l 温度 93 ℃
【0128】実施例42 比較例42のめっき液に0.3g/lの界面活性剤ニッ
コールOS−14を添加して比較例42と同条件でめっ
きを施した。
【0129】上記の各実施例におけるめっき外観と剥離
試験の結果を表1にまとめた。
【0130】
【表1】
【0131】
【発明の効果】以上説明したように、金、白金、ロジウ
ム、ルテニウム又は/及びそれらを主成分とする合金及
び/又はパラジウムを主成分とする合金のめっき浴に界
面活性剤を添加することによって、細かい窪みや狭隘な
隙間を有するめっき対象物においても、それらの個所に
めっき液が十分に浸透し、めっきされない個所ができに
くく、また、前処理としての脱脂が多少不十分であった
場合にもめっき不良を生じにくいめっき液を完成させ、
よってめっき不良を著しく軽減することができた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C25D 3/56 C25D 3/56 E F

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記の(1)〜(24)の界面活性剤: (1)ポリオキシアルキレン系界面活性剤、(2)ポリ
    オキシアルキレンアルキルエーテル(又はエステル)系
    界面活性剤、(3)ポノオキシアルキレンフェニル(又
    はアルキル若しくはアルキルフェニル)エーテル系界面
    活性剤、(4)ポリオキシアルキレンナフチル(又はア
    ルキルナフチル)エーテル系界面活性剤、(5)ポリオ
    キシアルキレンスチレン化フェニルエーテル系界面活性
    剤、(6)ポリオキシアルキレンスチレン化フェニルエ
    ーテルのフェニル基にさらにポリオキシアルキレン鎖を
    付加した界面活性剤、(7)ポリオキシアルキレンアル
    キル(又はアルケニル)アミン(又はアミド)系界面活
    性剤、(8)アルキレンジアミンのアルキレンオキシド
    付加物系界面活性剤、(9)リン酸エステル系界面活性
    剤、(10)脂肪酸塩又はポリオキシエチレンアルキル
    エーテル酢酸塩系界面活性剤、(11)アルキル又はア
    ルキルベンゼンスルホン酸塩系界面活性剤、(12)ア
    ルキルエーテルスルホン酸塩系界面活性剤、(13)ア
    ルキル(又はアルコキシ)ナフタレンスルホン酸又はそ
    れらのアルカリ金属塩系界面活性剤、(14)アルキル
    ジフェニルエーテルスルホン酸又はそれらのアルカリ金
    属塩系界面活性剤、(15)アルキル硫酸エステル系界
    面活性剤、(16)N−アシルアミノ酸( 塩) 系界面活
    性剤、(17)N−アシルスルホカルボン酸塩系界面活
    性剤、(18)アルキルスルホカルボン酸エステル塩系
    界面活性剤、(19)アルキル脂肪酸グリセリン硫酸エ
    ステル塩系界面活性剤、(20)アンモニウム4級塩系
    界面活性剤、(21)イミダゾリニウム系界面活性剤、
    (22)アルキルエチレン(又はプロピレン)ジアミン
    系界面活性剤、(23)アルキルイミダゾリニウムベタ
    イン系界面活性剤、及び(24)アルキル(又はアミド
    又はアミン)ベタイン系界面活性剤から選ばれる界面活
    性剤の1種又は2種以上を0.001〜50g/lの濃
    度で添加したことを特徴とする金、白金、ロジウム、ル
    テニウム、それらの金属を70%以上含む合金又はパラ
    ジウムを70%以上含む合金の電気及び(又は)無電解
    めっき浴。
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