JPH11265214A - 圧力式流量制御装置 - Google Patents
圧力式流量制御装置Info
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- JPH11265214A JPH11265214A JP8946198A JP8946198A JPH11265214A JP H11265214 A JPH11265214 A JP H11265214A JP 8946198 A JP8946198 A JP 8946198A JP 8946198 A JP8946198 A JP 8946198A JP H11265214 A JPH11265214 A JP H11265214A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 構成部品が少なく小型でデッドボリュームや
リークが生ずることがない優れた性能を有する圧力式流
量制御装置を提供すること。 【解決手段】 流体制御弁５の下流側に絞り機構２５を
設け、この絞り機構２５の上流側の圧力を下流側の圧力
の約２倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧
力式流量制御装置において、前記絞り機構２５を、前記
流体制御弁５が設けられる本体ブロック１に接続される
継手ブロック３の内部に設けている。
リークが生ずることがない優れた性能を有する圧力式流
量制御装置を提供すること。 【解決手段】 流体制御弁５の下流側に絞り機構２５を
設け、この絞り機構２５の上流側の圧力を下流側の圧力
の約２倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧
力式流量制御装置において、前記絞り機構２５を、前記
流体制御弁５が設けられる本体ブロック１に接続される
継手ブロック３の内部に設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガスなどの流体
の流量を制御する圧力式流量制御装置、特に、流体制御
弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の
圧力を下流側の圧力の約２倍以上に保持した状態でガス
の流量制御を行う圧力式流量制御装置に関する。
の流量を制御する圧力式流量制御装置、特に、流体制御
弁の下流側に絞り機構を設け、この絞り機構の上流側の
圧力を下流側の圧力の約２倍以上に保持した状態でガス
の流量制御を行う圧力式流量制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ノズルを通るガス流の特徴の一つに、ノ
ズルの上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 の圧力比Ｐ2 ／
Ｐ1 がガスの臨界圧力比（空気や窒素などの場合約０．
５）が０．５以下になると、ノズルを通るガスの流速が
音速となって、ノズル下流側の圧力変動が上流側に伝播
しなくなり、ノズル上流側の状態に相応した安定した質
量流量を得ることができるといった事象がある。
ズルの上流側圧力Ｐ1 と下流側圧力Ｐ2 の圧力比Ｐ2 ／
Ｐ1 がガスの臨界圧力比（空気や窒素などの場合約０．
５）が０．５以下になると、ノズルを通るガスの流速が
音速となって、ノズル下流側の圧力変動が上流側に伝播
しなくなり、ノズル上流側の状態に相応した安定した質
量流量を得ることができるといった事象がある。
【０００３】上述の事象を応用した装置として、例えば
特開平８−３３５１１７号公報や特開平８−３３８５４
６号公報などに開示された圧力式流量制御装置がある。
この圧力式流量制御装置は、流体制御弁の下流側に絞り
機構を設け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧
力の約２倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行う
もので、従来のマスフローコントローラなどの流体制御
装置に比べて、流量制御を高精度で行うことができると
いった利点がある。
特開平８−３３５１１７号公報や特開平８−３３８５４
６号公報などに開示された圧力式流量制御装置がある。
この圧力式流量制御装置は、流体制御弁の下流側に絞り
機構を設け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧
力の約２倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行う
もので、従来のマスフローコントローラなどの流体制御
装置に比べて、流量制御を高精度で行うことができると
いった利点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に記載されている圧力式流量制御装置においては、流
体制御弁が設けられる本体ブロック内に絞り機構を組み
込み、本体ブロックに継手を接続したものであり、継手
と絞り機構とが別体構成のものであった。このような構
成のものにおいては、構成部品が多くなり、装置全体の
構成が複雑となり、小型化が困難であった。そして、継
手と絞り機構とが一体構成でないために、デッドボリュ
ームが生ずるとともに、リークするおそれが多分にあ
り、リークが生ずると絞り部分以外の流路が生じて、こ
の種の流量制御装置の優れた特性が損なわれてしまうこ
とになる。また、絞り機能を本体ブロック内に組み込む
際、その流路を外部の遮断するためＯリングなどのシー
ル部材を用いたり、溶接などの手法を用いなければなら
ない。
報に記載されている圧力式流量制御装置においては、流
体制御弁が設けられる本体ブロック内に絞り機構を組み
込み、本体ブロックに継手を接続したものであり、継手
と絞り機構とが別体構成のものであった。このような構
成のものにおいては、構成部品が多くなり、装置全体の
構成が複雑となり、小型化が困難であった。そして、継
手と絞り機構とが一体構成でないために、デッドボリュ
ームが生ずるとともに、リークするおそれが多分にあ
り、リークが生ずると絞り部分以外の流路が生じて、こ
の種の流量制御装置の優れた特性が損なわれてしまうこ
とになる。また、絞り機能を本体ブロック内に組み込む
際、その流路を外部の遮断するためＯリングなどのシー
ル部材を用いたり、溶接などの手法を用いなければなら
ない。
【０００５】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、構成部品が少なく小型でデッド
ボリュームやリークが生ずることがない優れた性能を有
する圧力式流量制御装置を提供することである。
たもので、その目的は、構成部品が少なく小型でデッド
ボリュームやリークが生ずることがない優れた性能を有
する圧力式流量制御装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、流体制御弁の下流側に絞り機構を設
け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２
倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流
量制御装置において、前記絞り機構を、前記流体制御弁
が設けられる本体ブロックに接続される継手ブロックの
内部に設けている。
め、この発明では、流体制御弁の下流側に絞り機構を設
け、この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２
倍以上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流
量制御装置において、前記絞り機構を、前記流体制御弁
が設けられる本体ブロックに接続される継手ブロックの
内部に設けている。
【０００７】上記圧力式流量制御装置によれば、絞り機
構を継手ブロック内部に形成しているので、両者が一体
化され、部品点数が少なくなり、構成が簡単になる。ま
た、デッドボリュームや絞り機構におけるリークがなく
なるとともに、全体としてコンパクトな圧力式流量制御
装置を構成することができ、この種の流量制御装置の優
れた特性を損なうことがなくなる。
構を継手ブロック内部に形成しているので、両者が一体
化され、部品点数が少なくなり、構成が簡単になる。ま
た、デッドボリュームや絞り機構におけるリークがなく
なるとともに、全体としてコンパクトな圧力式流量制御
装置を構成することができ、この種の流量制御装置の優
れた特性を損なうことがなくなる。
【０００８】そして、継手ブロックの内部にこれを加熱
するためのヒータを設け、これによって、絞り機構を通
過する流体が断熱膨張し、流体そのものが凝縮するのを
防止するようにしてもよい。この構成は、高沸点のガス
を制御する場合、特に有用である。
するためのヒータを設け、これによって、絞り機構を通
過する流体が断熱膨張し、流体そのものが凝縮するのを
防止するようにしてもよい。この構成は、高沸点のガス
を制御する場合、特に有用である。
【０００９】また、継手ブロックを本体ブロックに対し
て着脱自在になる接続する構成にしてもよく、このよう
にすれば、ガスの種類に最適な継手ブロックを選択して
接続することができる。
て着脱自在になる接続する構成にしてもよく、このよう
にすれば、ガスの種類に最適な継手ブロックを選択して
接続することができる。
【００１０】絞り機構としては、ノズルであってもよ
く、またはオリフィス（細孔）であってもよいが、前者
の場合、ガスなどの流体を滑らかに通過させることがで
き、後者の場合、加工が簡単である。
く、またはオリフィス（細孔）であってもよいが、前者
の場合、ガスなどの流体を滑らかに通過させることがで
き、後者の場合、加工が簡単である。
【００１１】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。図１〜図３は、この発明の一つの実施
の形態を示す。まず、図１は、この発明の圧力式流量制
御装置の一例を示し、この図において、１は例えば直方
体状の本体ブロックで、例えばステンレス鋼よりなる。
この本体ブロック１の一端側には、ガスなど流体の導入
用の継手ブロック２が溶接によって一体的に連設され、
他端側には、流体導出用の継手ブロック３がねじ止めに
よって連設されている。この継手ブロック３も例えばス
テンレス鋼よりなる。
ながら説明する。図１〜図３は、この発明の一つの実施
の形態を示す。まず、図１は、この発明の圧力式流量制
御装置の一例を示し、この図において、１は例えば直方
体状の本体ブロックで、例えばステンレス鋼よりなる。
この本体ブロック１の一端側には、ガスなど流体の導入
用の継手ブロック２が溶接によって一体的に連設され、
他端側には、流体導出用の継手ブロック３がねじ止めに
よって連設されている。この継手ブロック３も例えばス
テンレス鋼よりなる。
【００１２】前記本体ブロック１の内部には、上流側が
継手ブロック２に連なり、下流側が継手ブロック３に連
なるガス流路４が形成され、このガス流路４の途中にガ
ス流量を制御する流体制御弁５と圧力センサ６が設けら
れている。
継手ブロック２に連なり、下流側が継手ブロック３に連
なるガス流路４が形成され、このガス流路４の途中にガ
ス流量を制御する流体制御弁５と圧力センサ６が設けら
れている。
【００１３】前記流体制御弁５は、次のように構成され
ている。すなわち、本体ブロック１の上面側に延設され
た上流側のガス流路４ａには、弁口７と、下流側のガス
流路４ｂに連なる流路８とを備えたオリフィスブロック
９が設けられるとともに、弁頭部１０とプランジャ部１
１とからなり、弁口７の開度を調節する弁体１２が弁頭
部１０を弁口７に近接した状態で設けられている。そし
て、この弁体１２は、本体ブロック１の上部に設けられ
た弁ブロック１３の下部空間内に設けられた金属製のダ
イヤフラム１４によって、通常時、オリフィスブロック
９の上面との間に若干の隙間が形成されるように、上下
動自在に保持されている。
ている。すなわち、本体ブロック１の上面側に延設され
た上流側のガス流路４ａには、弁口７と、下流側のガス
流路４ｂに連なる流路８とを備えたオリフィスブロック
９が設けられるとともに、弁頭部１０とプランジャ部１
１とからなり、弁口７の開度を調節する弁体１２が弁頭
部１０を弁口７に近接した状態で設けられている。そし
て、この弁体１２は、本体ブロック１の上部に設けられ
た弁ブロック１３の下部空間内に設けられた金属製のダ
イヤフラム１４によって、通常時、オリフィスブロック
９の上面との間に若干の隙間が形成されるように、上下
動自在に保持されている。
【００１４】１５は弁体１２を上下方向に押圧駆動する
圧電素子型アクチュエータで、弁ブロック１３に螺着さ
れた筒状のケース１６内に収容されている。この圧電素
子型アクチュエータ１５に所定の電圧を加えることによ
り、伝達部材としてのルビーボール１７を介して弁体１
２が押圧駆動され、これによって、弁口７の開度が調整
され、流体流路４を流れるガスの流量が制御される。
圧電素子型アクチュエータで、弁ブロック１３に螺着さ
れた筒状のケース１６内に収容されている。この圧電素
子型アクチュエータ１５に所定の電圧を加えることによ
り、伝達部材としてのルビーボール１７を介して弁体１
２が押圧駆動され、これによって、弁口７の開度が調整
され、流体流路４を流れるガスの流量が制御される。
【００１５】前記圧力センサ６は、例えば歪みセンサよ
りなり、流体制御弁５の下流側の流路４ｂに形成された
凹部１８に臨むようにして設けられている。
りなり、流体制御弁５の下流側の流路４ｂに形成された
凹部１８に臨むようにして設けられている。
【００１６】ここまでの構成は、従来の圧力式流量制御
装置の構成と変わるところがない。この発明の圧力式流
量制御装置が従来のそれと異なる点は、前記下流側の継
手ブロック３内に絞り機構を設けたことである。以下、
継手ブロック３および絞り機構の構成について、図２お
よび図３をも参照しながら説明する。
装置の構成と変わるところがない。この発明の圧力式流
量制御装置が従来のそれと異なる点は、前記下流側の継
手ブロック３内に絞り機構を設けたことである。以下、
継手ブロック３および絞り機構の構成について、図２お
よび図３をも参照しながら説明する。
【００１７】前記継手ブロック３は、図２および図３に
も示すように、一端部側（上流側）に本体ブロック１の
下流側の端面に対応するフランジ部１９が形成され、他
端側（下流側）の外周にねじ部２０が形成されている。
そして、この継手ブロック３のほぼ中心を貫通するよう
に流路２１が形成されている。この流路２１は、上流側
の端面に形成されるザグリ部２２を有する導入部２３
と、これに連なる細径の流路２４と、絞り機構としての
末広がり状態のノズル２５とからなり、二段階にわたっ
てガスを絞り込める構成にしてある。なお、このノズル
２５の最も細い部分２５Ａの内径は、例えば０．１〜
０．７ｍｍ程度である。
も示すように、一端部側（上流側）に本体ブロック１の
下流側の端面に対応するフランジ部１９が形成され、他
端側（下流側）の外周にねじ部２０が形成されている。
そして、この継手ブロック３のほぼ中心を貫通するよう
に流路２１が形成されている。この流路２１は、上流側
の端面に形成されるザグリ部２２を有する導入部２３
と、これに連なる細径の流路２４と、絞り機構としての
末広がり状態のノズル２５とからなり、二段階にわたっ
てガスを絞り込める構成にしてある。なお、このノズル
２５の最も細い部分２５Ａの内径は、例えば０．１〜
０．７ｍｍ程度である。
【００１８】そして、前記継手ブロック３は、適宜のシ
ール部材２６をザグリ部２２に嵌め込んだ状態で、本体
ブロック１の下流側の端面にフランジ部１９を当接し、
ねじ部材２７によって固定される。なお、２８は本体ブ
ロック１の下流側の端面側に形成されるねじ部、２９は
フランジ部１９に形成されるねじ挿通孔である。
ール部材２６をザグリ部２２に嵌め込んだ状態で、本体
ブロック１の下流側の端面にフランジ部１９を当接し、
ねじ部材２７によって固定される。なお、２８は本体ブ
ロック１の下流側の端面側に形成されるねじ部、２９は
フランジ部１９に形成されるねじ挿通孔である。
【００１９】また、継手ブロック３のフランジ部１９の
側部には穴３０が適宜形成してあり、この穴３０に蓋を
兼ねた取り付け部材３１に固定されたヒータ３２を埋設
できるようにしてある。３３は取り付けねじである。
側部には穴３０が適宜形成してあり、この穴３０に蓋を
兼ねた取り付け部材３１に固定されたヒータ３２を埋設
できるようにしてある。３３は取り付けねじである。
【００２０】上記構成の圧力式流量制御装置において
は、絞り機構２５が継手ブロック３の内部に形成されて
いるので、両者３，２５が一体化され，それだけ、部品
点数が少なくなり、構成が簡単になるとともに、装置全
体をコンパクトに構成できる。そして、デッドボリュー
ムや絞り機構２５におけるリークがなくなることによ
り、性能がより優れた圧力式流量制御装置を得ることが
できる。
は、絞り機構２５が継手ブロック３の内部に形成されて
いるので、両者３，２５が一体化され，それだけ、部品
点数が少なくなり、構成が簡単になるとともに、装置全
体をコンパクトに構成できる。そして、デッドボリュー
ムや絞り機構２５におけるリークがなくなることによ
り、性能がより優れた圧力式流量制御装置を得ることが
できる。
【００２１】そして、上記実施の形態においては、内部
に絞り機構２５を形成した継手ブロック３が流体制御弁
５や圧力センサ６を形成した本体ブロック１に対してね
じ止めされているので、着脱自在であり、ガスの種類に
最適な継手ブロックを選択して接続することができる。
に絞り機構２５を形成した継手ブロック３が流体制御弁
５や圧力センサ６を形成した本体ブロック１に対してね
じ止めされているので、着脱自在であり、ガスの種類に
最適な継手ブロックを選択して接続することができる。
【００２２】また、継手ブロック３の内部にこれを加熱
するためのヒータ３２を設けているので、特に、制御対
象であるガスが高沸点のガスであるような場合、これが
絞り機構２５を通過する断熱膨張して、ガスそのものが
凝縮するのを効果的に防止することができる。
するためのヒータ３２を設けているので、特に、制御対
象であるガスが高沸点のガスであるような場合、これが
絞り機構２５を通過する断熱膨張して、ガスそのものが
凝縮するのを効果的に防止することができる。
【００２３】さらに、上記実施の形態においては、絞り
機構２５をノズルで構成し、しかも、二段階にわたって
ガスを絞り込めるようにしてあるので、ガスを滑らかに
通過させることができるといった利点がある。
機構２５をノズルで構成し、しかも、二段階にわたって
ガスを絞り込めるようにしてあるので、ガスを滑らかに
通過させることができるといった利点がある。
【００２４】この発明は、上述の実施の形態に限られる
ものではなく、種々に変形して実施することができる。
以下、これについて、図４〜図８を参照しながら説明す
る。
ものではなく、種々に変形して実施することができる。
以下、これについて、図４〜図８を参照しながら説明す
る。
【００２５】図４は、継手ブロック３内の流路２２に設
けられる絞り機構として、末広がりの流路３３を備えた
ディフューザ３４を用い、このディフューザ３４の下流
側の流路３５をやや大径に形成したものを示している。
けられる絞り機構として、末広がりの流路３３を備えた
ディフューザ３４を用い、このディフューザ３４の下流
側の流路３５をやや大径に形成したものを示している。
【００２６】図５は、絞り機構をオリフィス３６とした
もので、その径は例えば０．１〜０．７ｍｍ程度であ
る。このように絞り機構をオリフィス３６としたもの
は、その構造が簡単で加工が容易である。
もので、その径は例えば０．１〜０．７ｍｍ程度であ
る。このように絞り機構をオリフィス３６としたもの
は、その構造が簡単で加工が容易である。
【００２７】上述の各実施の形態は、継手ブロック３が
本体ブロック１に対してねじ止めされ、着脱自在な構成
であったが、図６に示すように、本体ブロック１に継手
ブロック３を溶接によって固着するようにしてもよい。
同図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ、絞り機構がノズル２
５、オリフィス３６の例を示している。また、３７，３
８はそれぞれ、本体ブロック１、継手ブロック３から突
設された連結部材で、これらを突き合わせて、符号３９
で示すように、溶接するのである。このように溶接した
ものでは、シール部材などを設ける必要がなく、リーク
を生ずるおそれもない。
本体ブロック１に対してねじ止めされ、着脱自在な構成
であったが、図６に示すように、本体ブロック１に継手
ブロック３を溶接によって固着するようにしてもよい。
同図（Ａ），（Ｂ）は、それぞれ、絞り機構がノズル２
５、オリフィス３６の例を示している。また、３７，３
８はそれぞれ、本体ブロック１、継手ブロック３から突
設された連結部材で、これらを突き合わせて、符号３９
で示すように、溶接するのである。このように溶接した
ものでは、シール部材などを設ける必要がなく、リーク
を生ずるおそれもない。
【００２８】図７は、絞り機構を継手ブロック３とは別
体で形成し、これを継手ブロック３内に溶接などの手法
で固定するようにしたもので、同図（Ａ）における符号
４０は絞り機構としてのノズルを、また、同図（Ｂ）に
おける符号４１は絞り機構としてのオリフィスをそれぞ
れ示している。このように構成した場合、絞り機構を精
度よく形成できるとともに、継手ブロック３全体におけ
る加工などが簡単になる。
体で形成し、これを継手ブロック３内に溶接などの手法
で固定するようにしたもので、同図（Ａ）における符号
４０は絞り機構としてのノズルを、また、同図（Ｂ）に
おける符号４１は絞り機構としてのオリフィスをそれぞ
れ示している。このように構成した場合、絞り機構を精
度よく形成できるとともに、継手ブロック３全体におけ
る加工などが簡単になる。
【００２９】図８は、圧力センサ６の他の実施態様を示
すもので、本体ブロック１内の下流側の流路４ｂのう
ち、その一部を楕円形状の断面として、その楕円形の長
軸方向の表面にチップ状の圧力センサ６Ａを貼り付けて
なるものである。
すもので、本体ブロック１内の下流側の流路４ｂのう
ち、その一部を楕円形状の断面として、その楕円形の長
軸方向の表面にチップ状の圧力センサ６Ａを貼り付けて
なるものである。
【００３０】
【発明の効果】この発明の圧力式流量制御装置は、絞り
機構を、流体制御弁が設けられる本体ブロックに接続さ
れる継手ブロックの内部に設け、継手ブロックと絞り機
構とを一体化しているので、部品点数が少なくなり、構
成が簡単になるとともに、装置全体をコンパクトに構成
できる。そして、デッドボリュームや絞り機構における
リークがなくなる。したがって、性能がより優れた圧力
式流量制御装置をコンパクトな形態で得ることができ
る。
機構を、流体制御弁が設けられる本体ブロックに接続さ
れる継手ブロックの内部に設け、継手ブロックと絞り機
構とを一体化しているので、部品点数が少なくなり、構
成が簡単になるとともに、装置全体をコンパクトに構成
できる。そして、デッドボリュームや絞り機構における
リークがなくなる。したがって、性能がより優れた圧力
式流量制御装置をコンパクトな形態で得ることができ
る。
【図１】この発明の圧力式流量制御装置の一例を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】前記圧力式流量制御装置に用いられる継手ブロ
ックの一例を拡大断面図とともに示す図である。
ックの一例を拡大断面図とともに示す図である。
【図３】前記継手ブロックの本体ブロックに対する取り
付け構造を示す分解斜視図である。
付け構造を示す分解斜視図である。
【図４】継手ブロックの他の実施の形態を拡大断面図と
ともに示す図である。
ともに示す図である。
【図５】継手ブロックのさらに他の実施の形態を拡大断
面図とともに示す図である。
面図とともに示す図である。
【図６】継手ブロックの本体ブロックに対する取り付け
構造の他の実施の形態を示す断面図である。
構造の他の実施の形態を示す断面図である。
【図７】継手ブロックの他の製作方法を示す断面図であ
る。
る。
【図８】前記圧力式流量制御装置に用いられる圧力セン
サの取り付け構造の他の例を示す斜視図である。
サの取り付け構造の他の例を示す斜視図である。
１…本体ブロック、３…継手ブロック、５…流体制御
弁、２５…ノズル、３２…ヒータ、３６…オリフィス。
弁、２５…ノズル、３２…ヒータ、３６…オリフィス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安河内 悟 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番５ 株 式会社エステック内 (72)発明者 上坂 博二 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番５ 株 式会社エステック内 (72)発明者 清水 哲夫 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番５ 株 式会社エステック内 (72)発明者 山口 正男 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番５ 株 式会社エステック内 (72)発明者 加茂 政行 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11番５ 株 式会社エステック内
Claims (4)
- 【請求項１】 流体制御弁の下流側に絞り機構を設け、
この絞り機構の上流側の圧力を下流側の圧力の約２倍以
上に保持した状態でガスの流量制御を行う圧力式流量制
御装置において、前記絞り機構を、前記流体制御弁が設
けられる本体ブロックに接続される継手ブロックの内部
に設けたことを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 【請求項２】 継手ブロックの内部にこれを加熱するた
めのヒータを設けてなる請求項１に記載の圧力式流量制
御装置。 - 【請求項３】 継手ブロックが本体ブロックに対して着
脱自在である請求項１または２に記載の圧力式流量制御
装置。 - 【請求項４】 絞り機構がノズルまたはオリフィスから
なる請求項１〜３のいずれかに記載の圧力式流量制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08946198A JP4012306B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08946198A JP4012306B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11265214A true JPH11265214A (ja) | 1999-09-28 |
| JP4012306B2 JP4012306B2 (ja) | 2007-11-21 |
Family
ID=13971355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08946198A Expired - Fee Related JP4012306B2 (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | 圧力式流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4012306B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066048A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Fujikin Incorporated | クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置 |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP08946198A patent/JP4012306B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004066048A1 (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Fujikin Incorporated | クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4012306B2 (ja) | 2007-11-21 |
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