JPH11251364A - 異方性導電膜及びその製造方法 - Google Patents

異方性導電膜及びその製造方法

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JPH11251364A JP4581398A JP4581398A JPH11251364A JP H11251364 A JPH11251364 A JP H11251364A JP 4581398 A JP4581398 A JP 4581398A JP 4581398 A JP4581398 A JP 4581398A JP H11251364 A JPH11251364 A JP H11251364A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 異方性導電膜を用いて素子間の接続を行う場
合において、接続部位ごとに異方性導電膜に要求される
最適膜厚が異なるときに、各接続部位に最適膜厚の異方
性導電膜を単一のリールで低コストに提供する。 【解決手段】 絶縁性接着剤からなるシート中に導電粒
子が分散されてなる異方性導電膜20において、該異方
性導電膜20中に厚みの異なる複数の領域21、22、
23を形成する。この厚み表示として、異方性導電膜2
0が積層される剥離フィルム30には、異方性導電膜2
0の厚さに対応して色分けされた領域41、42、43
からなる印刷層40を形成することが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電膜に関
する。より詳しくは、マルチチップモジュール基板(以
下、MCM基板と略する)に複数のICチップ等を異方
性導電膜を用いて実装する場合のように、接続部位ごと
に当該異方性導電膜に要求される最適膜厚が異なる場合
に、各接続部位に最適膜厚の異方性導電膜を低コストで
提供できるようにする異方性導電膜に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶パネルのガラス基板上のITO端子
と、フレキシブル基板やTCP(Tapecarrier package)
の端子とを接続する場合や、半導体チップをマザーボー
ド上にフリップチップ接合する場合のように、2つの回
路素子を接着すると共にその間の端子を電気的に接続す
るための材料の一つとして、異方性導電接着膜が広く用
いられている。
【0003】この異方性導電膜は、一般に、絶縁性接着
剤からなるシート中に導電粒子を分散させたものからな
り、接続すべき素子の端子間に異方性導電膜を挟み込
み、熱圧着することにより、素子同士の接着と端子間の
電気的接続とが同時に行われるようにしたものである。
例えば、ICチップを基板に実装する場合、図4(a)
に示すように、ICチップ1のバンプ2と基板3の配線
端子4との間に異方性導電膜10aを挟み、次いで矢印
のように熱圧着することにより、同図(b)に示すよう
に、ICチップ1と基板3に密着した異方性導電膜10
bによってICチップ1自体を基板3に接着すると共に
ICチップ1のバンプ2を基板3の配線端子4に電気的
に接続する。
【0004】この場合、ICチップ1と基板3との間に
挟む異方性導電膜10aの膜厚は、基本的には、ICチ
ップ1を基板3に載置したときの両者の間隙程度もしく
は間隙よりもわずかに厚い程度とすることが好ましい。
異方性導電膜10aの膜厚が、ICチップ1と基板3と
の間隙よりも薄すぎると、熱圧着後にICチップ1と基
板3との間隙が異方性導電膜10bで充填されず、接続
信頼性が低下する。反対に、異方性導電膜10aの膜厚
が、ICチップ1と基板3との間隙よりも厚すぎると、
熱圧着後にICチップ1と基板3との間からはみ出す異
方性導電膜10bの量が増え、本来の接続部位以外の部
分に流れ出して不良品が生じたり、熱圧着ヘッドに異方
性導電膜が付着し、生産性が低下するなどの問題が引き
起こされる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、異方性導電
膜10aを用いてMCM基板に複数のICチップ等を実
装する場合、より具体的には、例えば、FPD(Flat Pa
nel Display)の製造に際し、ガラス基板上の配線端子に
TABを接続したり、複数のICチップを基板に実装す
る場合、個々の接続部位ごとに接続する素子間の間隙等
が異なるので、使用する異方性導電膜10aの最適膜厚
は異なる。例えば、図5(同図(a)斜視図、同図
(b)x−x断面図)に示すように、異方性導電膜10
bによってICチップ1のバンプ2を平坦な基板3上の
配線端子4に接続することによりICチップ1を基板3
に実装する場合、図6(同図(a)斜視図、同図(b)
x−x断面図)に示すように、異方性導電膜10bによ
ってICチップ1のバンプ2を基板3上の配線端子4に
接続することによりICチップ1を基板3に実装する際
に、そのICチップ1の実装部位の基板3に凹部3xが
形成されている場合、図7(同図(a)斜視図、同図
(b)x−x断面図)に示すように、異方性導電膜10
bによってICチップ1のバンプ2を基板3上の配線端
子4に接続することによりICチップ1を基板3に実装
する際に、そのICチップ1の下に配線5と配線5を覆
うレジスト6が存在する場合、図8(同図(a)斜視
図、同図(b)x−x断面図)に示すように、異方性導
電膜10bによってICチップ1のバンプ2を基板3上
の配線端子4に接続することによりICチップ1を基板
3に実装する際に、ICチップ1のバンプ2がICチッ
プ1の周囲だけでなく中央部にも形成されている場合、
図9(同図(a)斜視図、同図(b)x−x断面図)に
示すように、異方性導電膜10bによって複数のICチ
ップ1p、1qのバンプ2p、2qをそれぞれ基板3上
の配線端子4p、4qに接続することによりICチップ
1p、1qを基板3に実装する際に、それらICチップ
1p、1qのバンプ2p、2qの高さが異なる場合等に
おいては、それぞれ使用する異方性導電膜の最適膜厚は
互いに異なるものとなる。
【0006】しかしながら、上述のように、接続部位に
応じて異方性導電膜の最適膜厚が異なる場合でも、それ
ら最適膜厚に対応して膜厚の異なる複数種の異方性導電
膜のリールを用意すると、設備的にもコスト的にも不利
益が大きくなる。そのため、従来は、一種のMCMの製
造に対しては、通常、特定の膜厚の異方性導電膜のリー
ルが一種のみ使用されている。したがって、接続不良の
発生を解消することが困難となっている。
【0007】これに対しては、できる限り単一の膜厚の
異方性導電膜の使用により複数の接続部位で各素子を良
好に実装できるよう、配線に制限を設けることがなされ
ている。しかし、配線に制限を設けても、接続部位ごと
の異方性導電膜の最適膜厚を同一にすることは困難であ
り、接続不良の発生を完全には解消することができな
い。
【0008】本発明は以上のような従来技術の問題点を
解決しようとするものであり、MCM基板に複数のIC
チップ等を異方性導電膜を用いて実装する場合のよう
に、接続部位ごとに当該異方性導電膜に要求される最適
膜厚が異なる場合に、各接続部位に最適膜厚の異方性導
電膜を低コストで提供できるようにすることを目的とし
ている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するため、絶縁性接着剤からなるシート中に導電粒
子が分散されてなる異方性導電膜において、該異方性導
電膜が厚みの異なる複数の領域からなることを特徴とす
る異方性導電膜を提供する。
【0010】特に、この異方性導電膜が剥離フィルム上
に積層されている態様を提供し、そのより好ましい態様
として、異方性導電膜の厚さに対応して剥離フィルム
に、色分けや打ち抜き符号等の厚み表示が施されている
態様を提供する。
【0011】また、この異方性導電膜の製造方法とし
て、均一な厚みの剥離フィルム上に印刷層を該印刷層が
厚みの異なる複数の領域をもつように形成し、その上に
絶縁性接着剤と導電粒子からなる異方性導電接着剤を、
剥離フィルムと印刷層を含む全厚が均一になるように塗
布する方法を提供する。
【0012】この異方性導電膜によれば、一つの異方性
導電膜中に膜厚の異なる複数の領域が形成されているの
で、MCM基板へ複数種のICチップを実装する場合の
ように、実装するICごとに使用する異方性導電膜の最
適膜厚が異なる場合でも、各ICチップに良好な実装を
可能とする異方性導電膜を単一の異方性導電膜のリール
から低コストに提供することができる。
【0013】
【発明の実施の形態様】以下、本発明を図面を参照しつ
つ、詳細に説明する。なお、各図中、同一符号は、同一
又は同等の構成要素を表している。
【0014】図1は、本発明の異方性導電膜の一つの態
様の断面図である。この異方性導電膜20は、剥離フィ
ルム30上に印刷層40を介して積層されている。図2
は、図1の異方性導電膜20のリール50の斜視図であ
る。
【0015】この異方性導電膜20は、絶縁性接着剤か
らなるシート中に導電粒子が分散されたものからなり、
膜厚の異なる領域21、22、23を長手方向に繰り返
し有している。各領域21、22、23の膜厚は、当該
異方性導電膜20を用いて実装する素子間の間隙等に応
じて適宜定めることができるが、例えば、膜厚の最も厚
い領域21を36〜41μm、中間の厚さの領域22を
31〜36μm、最も薄い領域23を25〜31μm程
度とすることができる。
【0016】このように異方性導電膜20に膜厚の異な
る領域21、22、23を設けることにより、MCM基
板へ複数種のICチップを実装する場合において、当該
ICチップの実装形態が、例えば、図7のICチップ
1、図8のICチップ1、または図9のICチップ1q
の実装のようにICチップと基板との間隙が比較的狭い
場合には領域23を使用し、図5のようにICチップと
基板とが一般的な間隙を有している場合には、領域22
を使用し、図6のICチップ1又は図9のICチップ1
pのようにICチップと基板との間隙が比較的広い場合
には、領域21を使用することが可能となる。したがっ
て、この異方性導電膜20の単一のリール50を用いる
ことにより、各ICチップに対して、良好な実装をする
ことが可能となる。
【0017】異方性導電膜20のいずれの領域21、2
2、23においても、それらを構成する絶縁性接着剤及
び導電粒子自体は、公知の異方性導電膜と同様とするこ
とができる。したがって、例えば、絶縁性接着剤として
は、エポキシ系熱硬化型樹脂を主成分とする接着剤等を
使用することができ、また導電粒子としては、半田粒
子、ニッケル粒子等の金属粒子や、樹脂粒子に金属メッ
キした粒子等を使用することができる。
【0018】一方、異方性導電膜20の下方に位置する
印刷層40は、後述するこの異方性導電膜20の製造方
法にしたがう場合に特徴的に形成されるものであり、異
方性導電膜20の領域21、22、23が順次膜厚が小
さくなっているのに対応して、順次層厚が大きくなって
いる領域41、42、43からなっている。即ち、これ
ら印刷層40と異方性導電膜20とを合わせた厚さは、
各領域において等しくなっている。
【0019】このように印刷層40の各領域41、4
2、43は、異方性導電膜20の各領域21、22、2
3に対応した層厚となっているので、これら印刷層の各
領域41、42、43は、図1及び図2に示すように、
異方性導電膜20の各領域21、22、23に対応させ
て色分けすることが好ましい。これにより、当該ICチ
ップの実装に最適な異方性導電膜20の領域を容易に識
別することが可能となる。
【0020】なお、異方性導電膜20の膜厚の異なる各
領域21、22、23を容易に識別できるようにする厚
み表示としては、印刷層40の各領域41、42、43
を色分けする他、各領域41、42、43が色の濃淡で
区別できるようにしてもよく、文字や図柄などを施すこ
とにより区別できるようにしてもよい。
【0021】本発明において、剥離フィルム30は、公
知の剥離フィルム付き異方性導電膜に使用されている当
該剥離フィルムと同様にポリエステルフィルム等から形
成することができる。また、剥離フィルム30には、異
方性導電膜20の各領域21、22、23の膜厚が容易
に認識できるように厚み表示として、任意の打ち抜き符
号、凹凸符号等を施してもよい。例えば、図3に示すリ
ール51のように、剥離フィルム30に円形、四角形等
の打ち抜き符号31を設けることができる。この他、バ
ーコードを設けてもよい。
【0022】図1及び図2に示した異方性導電膜20の
製造方法としては、まず、均一な厚みの剥離フィルム3
0上に印刷層40をグラビア印刷等により形成する。こ
の場合、印刷層40が厚みの異なる複数の領域41、4
2、43をもち、かつ各領域41、42、43ごとに異
なる色となるようにする。次いで、その上に絶縁性接着
剤と導電粒子からなる異方性導電接着剤を、剥離フィル
ム30と印刷層40を含む全厚が均一になるように塗布
することにより異方性導電膜20を形成する。
【0023】以上、図示した態様に基づいて、本発明を
詳細に説明したが、本発明は、これに限られず種々の態
様をとることができる。例えば、異方性導電膜におけ
る、厚さの異なる領域の形状や配置には特に制限はな
い。したがって、図1及び図2には異方性導電膜20の
膜厚の異なる領域21、22、23をリール50の長手
方向に繰り返し設けた例を示したが、巾方向に膜厚の異
なる領域が順次現れるように形成してもよい。
【0024】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。
【0025】図1の層構成を有する異方性導電膜20の
リール50を次のように作製した。まず、厚さ50μm
の白色PETフィルムを剥離フィルム30とし、この上
に黄色染料、青色染料、赤色染料でそれぞれ着色したポ
リエステル樹脂からなる塗料をグラビア印刷で巾1cm
ずつ繰り返し印刷することにより印刷層40を形成し
た。この場合、黄色染料からなる塗料、青色染料からな
る塗料及び赤色染料からなる塗料は、それぞれ乾燥塗膜
の厚さが10μm(領域41)、15μm(領域4
2)、20μm(領域43)となるようにした。
【0026】次に、印刷層40上にシリコーン系剥離剤
を2μm厚でコーティングすることにより剥離処理し
た。
【0027】一方、異方性導電接着剤として、エポキシ
樹脂からなる絶縁性接着剤中に導電粒子として金メッキ
プラスチック粒子を分散させたものを調製し、これを上
述の剥離処理した印刷層40上に塗布することにより異
方性導電膜20を形成し、リール50とした。この場
合、剥離フィルム30と印刷層40と異方性導電膜20
の全体の厚さを100μmとすることにより、異方性導
電膜20中に膜厚の異なる領域21、22、23を形成
した。
【0028】得られた異方性導電膜20のリール50
を、色感知センサー付きの異方性導電膜仮貼機で用いる
ことにより、異方性導電膜20中の所定の膜厚の領域2
1、22、23を所定の形状にハーフカットし、それぞ
れ図5のような平坦な基板3上の実装部位に貼り付け
た。その結果、印刷層の黄色領域41に対応する異方性
導電膜21の貼着後の厚さは38μmであり、青色領域
42に対応する異方性導電膜22の貼着後の厚さは33
μmであり、赤色領域43に対応する異方性導電膜23
の貼着後の厚さは28μmであった。
【0029】
【発明の効果】本発明によれば、異方性導電膜を用いて
素子間の接続を行う場合において、接続部位ごとに異方
性導電膜に要求される最適膜厚が異なるときに、各接続
部位に最適膜厚の異方性導電膜を単一のリールで低コス
トに提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の異方性導電膜の断面図である。
【図2】本発明の異方性導電膜のリールの斜視図であ
る。
【図3】本発明の異方性導電膜のリールの斜視図であ
る。
【図4】異方性導電膜の一般的な使用方法の説明図であ
る。
【図5】異方性導電膜でICチップを基板に実装する場
合の態様例である。
【図6】異方性導電膜でICチップを基板に実装する場
合の態様例である。
【図7】異方性導電膜でICチップを基板に実装する場
合の態様例である。
【図8】異方性導電膜でICチップを基板に実装する場
合の態様例である。
【図9】異方性導電膜でICチップを基板に実装する場
合の態様例である。
【符号の説明】
1…ICチップ、 2…バンプ、 3…基板、 4…配
線端子、 20…異方性導電膜、 21…異方性導電膜
中の領域、 22…異方性導電膜中の領域、23…異方
性導電膜中の領域、30…剥離フィルム、 40…印刷
層、 41…印刷層中の領域、 42…印刷層中の領
域、 43…印刷層中の領域、 50…リール

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁性接着剤からなるシート中に導電粒
    子が分散されてなる異方性導電膜において、該異方性導
    電膜が厚みの異なる複数の領域からなることを特徴とす
    る異方性導電膜。
  2. 【請求項2】 異方性導電膜が剥離フィルム上に積層さ
    れている請求項1記載の異方性導電膜。
  3. 【請求項3】 異方性導電膜の厚さに対応して剥離フィ
    ルムに厚み表示が施されている請求項2記載の異方性導
    電膜。
  4. 【請求項4】 厚み表示として、異方性導電膜の厚さに
    対応して剥離フィルムに色分けされた印刷層が形成され
    ている請求項3記載の異方性導電膜。
  5. 【請求項5】 厚み表示として、異方性導電膜の厚さに
    対応して剥離フィルムに打ち抜き符号が形成されている
    請求項3記載の異方性導電膜。
  6. 【請求項6】 均一な厚みの剥離フィルム上に印刷層を
    該印刷層が厚みの異なる複数の領域をもつように形成
    し、その上に絶縁性接着剤と導電粒子からなる異方性導
    電接着剤を、剥離フィルムと印刷層を含む全厚が均一に
    なるように塗布する請求項2記載の異方性導電膜の製造
    方法。
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