JPH11218501A

JPH11218501A - 異物検査装置

Info

Publication number: JPH11218501A
Application number: JP10023155A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Ishida; 潔石田; Makoto Takahashi; 誠高橋
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 1998-02-04
Filing date: 1998-02-04
Publication date: 1999-08-10
Also published as: EP0935133A2; EP0935133A3

Abstract

(57)【要約】【課題】粉煙を防止すると共に安定して均一な粉末薄
層を形成することで誤検を抑制できて信頼性の高い異物
検査装置を得る。【解決手段】絶縁性ドラム２を帯電させる帯電チャー
ジャー１４と、絶縁性ドラム２とは逆極性に粉末３を帯
電させる帯電チャージャー１５とを有し、透明ガラス製
の絶縁性ドラム２上に粉末３を薄層状に静電吸着させる
静電吸着手段５が設けられ、絶縁性ドラム２上に静電吸
着されて薄層化された粉末群を光学的に検査する光学的
検査手段６が設けられているため、絶縁性ドラム２上に
静電吸着させた粉末３は、より均一で安定な薄層を形成
する。したがって、光学的検査手段６によって光学的な
異物検出がより高精度に安定して行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、粉末中に混入して
いる異物を自動的に検査する異物検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の異物検査装置として、粉
末に振動を与えつつ一定量を移送手段上に連続的に供給
して薄層の粉末を形成して異物の有無を検査する異物自
動検知技術について以下の図５に示している。

【０００３】図５は、従来の異物検査装置の構成図であ
る。

【０００４】図５において、複数並設され被検白色系の
粉体５１が内蔵されたホッパーピン５２の底部開口部の
下方には、それらの底部開口部間を移動自在な上部開放
のサブホッパー５３が配設されている。このサブホッパ
ー５３の底部開口部には振動フィーダ５４が連設されて
おり、ホッパーピン５２の被検白色系の粉体５１はサブ
ホッパー５３を経て振動フィーダ５４内にその振動で一
定量づつ受け入れられて平坦な粉体層を形成するように
なっている。その振動フィーダ５４内の被検白色系の粉
体５１は、その排出端部分の下方に配設された移送手段
であるベルトコンベア５５上に投下されて運ばれるよう
になっている。この排出端部分の上方には電気除去手段
５６が配設されており、この電気除去手段５６によって
振動などによる粉体５１の静電気が除去されている。

【０００５】このベルトコンベア５５上の落下点から粉
体５１の搬送方向後方にはスキージ５７が配設されてお
り、ベルトコンベア５５上に落下して堆積した被検白色
系の粉体５１の層をさらに平準化するようになってい
る。このスキージ５７のさらに搬送方向後方のベルトコ
ンベア５５の上方位置には、ガスレーザ走査器５８およ
び受光器５９からなる反射式ガスレーザスキャニング検
出器６０が配設されており、ガスレーザ走査器５８から
のレーザ光は粉体５１で反射して受光器５９内に入射さ
れて光電変換されて制御盤６１に電気信号として入力さ
れる。

【０００６】このとき、ベルトコンベア５５上の被検白
色系の粉体５１の表面層に着色異物が存在すると、その
反射光量に大きな変量を生じ、これを制御盤６１が検出
して欠点情報として処理する。

【０００７】さらに、ベルトコンベア５５の末尾上面に
はパルス発信ロール６２が配設されており、このパルス
発信ロール６２によってベルトコンベア５５による粉体
５１の移動量が検出され、これが制御盤６１で走行長さ
方向の情報として処理されている。この走行長さ方向の
情報と着色異物による欠点情報とがマイクロコンピュー
タで処理され、それが異物情報として検査幅方向の座標
とライン流れ方向の座標とが付加されて演算表示部６３
に表示される。演算表示部６３の表示内容に基づいて吸
引手段などで異物のある粉末部分をバキューマなどで吸
引して取り除くようになっている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
構成では、振動フィーダ５４の振動で粉体５１が一定量
づつベルトコンベア５５上にばら蒔かれた後にスキージ
５７で平準化されているが、多くの場合、ベルトコンベ
ア５５上の粉体５１は均一な薄層にはならず、粉体５１
の層内に異物が埋もれて見逃してしまうという問題があ
った。また、補助手段として一定の高さをもった高さ規
制ブレードであるスキージ５７を粉体５１の進行方向に
直角に、所定の隙間を空けてベルトコンベア５５の上方
位置に配置したが、この場合もブレードであるスキージ
５７が粉末粒に圧をかけることから、粉体５１の材料の
種類によっては粉末粒を破壊してしまうという問題があ
った。さらに、振動フィーダ５４で粉体５１に先に振動
を与える段階で粉煙が発生してしまい、この粉煙が検査
用のカメラレンズなどに付着したり、演算処理用の精密
機器内まで侵入してそれを故障させたりするという問題
があった。

【０００９】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、粉煙を防止すると共に安定して均一な粉末薄層を形
成することで誤検を抑制できて信頼性の高い異物検査装
置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の異物検査装置
は、粉末に混入している異物を検査する異物検査装置に
おいて、絶縁性の検査基体と、この検査基体上に粉末を
静電吸着させる静電吸着手段と、この検査基体上に静電
吸着された粉末を光学的に検査する光学的検査手段とを
有することを特徴とするものである。

【００１１】この構成により、静電気力で検査基体上に
吸着させた粉末だけで粉末検査を行うので、検査基体上
に静電吸着させた粉末は、従来のように薄層化するため
に粉末が圧をかけられてつぶれるようなこともなく、よ
り均一な薄層を形成し、かつ安定しており、従来のよう
に粉末層内に異物が埋もれて見逃してしまうようなこと
はなくなると共に、粉末の静電吸着力によって粉末の粉
煙は防止されてその粉煙によるトラブル（レンズなどへ
の付着や精密機器内への侵入など）も防止される。した
がって、光学的な異物検出がより高精度に安定して行わ
れる。

【００１２】また、好ましくは、本発明の異物検査装置
における静電吸着手段は、検査基体を帯電させる帯電手
段で構成され、非帯電の粉末を強制的に誘電分極させて
検査基体上に静電吸着させるようにしてもよい。また、
好ましくは、本発明の異物検査装置における静電吸着手
段は、検査基体を一方極性に帯電させると共に、粉末を
検査基体の一方極性とは逆極性に帯電させる帯電手段で
構成され、検査基体上に粉末を静電吸着させるようにし
てもよい。

【００１３】この構成により、帯電手段で検査基体や粉
末を帯電させて検査基体上に粉末を静電吸着させるの
で、静電吸着手段の構成をより簡単な構成とすることが
可能となる。この場合、検査基体を一方極性に帯電させ
ると共に、粉末を検査基体の一方極性とは逆極性に帯電
させる方が、検査基体だけを帯電させるよりも静電吸着
力が大きくなって、誘電分極のしにくい粉末材料に対し
ても好適であるが、誘電分極のしやすい粉末材料では、
検査基体だけを帯電させるようにしてもよい。

【００１４】さらに、好ましくは、本発明の異物検査装
置における光学的検査手段は、薄層状の粉末群の粉末画
像を取り込んで画像処理して異物を検知する画像処理装
置を有していてもよい。また、好ましくは、本発明の異
物検査装置における光学的検査手段は、粉体との光学特
性との比較において異物を検知する光電スイッチを有し
ていてもよい。また、好ましくは、その光電スイッチ
は、検査基体の粉末吸着面側およびそれとは反対側のう
ち何れかに設けられた反射式光電スイッチで構成されて
いてもよく、この反射式光電スイッチによって薄層状の
粉末中から異物を検知するようにしてもよい。また、好
ましくは、その光電スイッチは、検査基体壁を挟み込む
ように発光部と受光部を配置した透過式光電スイッチで
構成されていてもよく、この透過式光電スイッチによっ
て薄層状の粉末中から異物を検知するようにしてもよ
い。

【００１５】この構成により、検査基体上に静電吸着さ
せた粉末はより均一に薄層化されるので、画像処理装置
を用いれば、異物検出がより高精度に安定化して行われ
ることになる。また、静電吸着力による粉末の均一な薄
層化で、画像処理装置の代りに反射式光電スイッチや透
過式光電スイッチを用いることも可能となって、その制
御部も含めた構成がより簡単なものとなり低コストとな
る。

【００１６】また、好ましくは、本発明の異物検査装置
において、検査終了後の検査基体上の静電吸着している
粉末に対して静電吸着を解除する除電手段と、この除電
処理後に検査基体上から粉末を分離する分離手段とを有
してもよい。

【００１７】この構成により、検査基体上に薄層状に静
電吸着している良品の粉末を簡単な構成で容易にかつ確
実に回収可能となる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る異物検査装置
の実施形態について図面を参照して説明するが、本発明
は以下に示す実施形態に限定されるものではない。

【００１９】図１は本発明の一実施形態の異物検査装置
の構成図である。

【００２０】図１において、この異物検査装置１は、絶
縁性の検査基体としての絶縁性ドラム２と、この絶縁性
ドラム２上に粉末３を供給する粉末供給手段４と、この
粉末供給手段４で供給された粉末３を絶縁性ドラム２上
に静電吸着させる静電吸着手段５と、この絶縁性ドラム
２上に静電吸着されて薄層化された粉末群を光学的に検
査する光学的検査手段６と、この光学的検査手段６によ
る検査結果に基づいて、それを表示器７で表示すると共
に、薄層状の粉末３中に異物が検知された場合にはその
異物をその周囲の粉末３と共に取り除くように制御する
異物排除制御手段８と、その光学的検査手段６による検
査終了後の良品の粉末３を絶縁性ドラム２上から分離さ
せて回収する粉末回収手段９とを有しており、粉末を薄
層化してその粉末層中の異物を検知して取り除くように
なっている。

【００２１】この絶縁性ドラム２は透明ガラス製の円筒
状に構成されており、粉末供給手段４によって、時計回
りに回転している円筒状の絶縁性ドラム２の頂上よりも
下流側の絶縁性ドラム２上にその所定幅に亘って粉末３
が供給されるようになっている。

【００２２】また、この粉末供給手段４は、絶縁性ドラ
ム２上に所定幅に亘って粉末３を投下供給するガイド部
材１１と、このガイド部材１１に対して底部開口部から
粉末３を投下供給するスキャッター１２と、ガイド部材
１１から絶縁性ドラム２上に投下供給され、絶縁性ドラ
ム２上に静電吸着しなかった粉末３を下方から受けて回
収してスキャッター１２の上部開口部内に投下供給して
戻す粉末循環手段としての粉末リサイクルダクト１３と
を有している。

【００２３】さらに、静電吸着手段５は、絶縁性ドラム
２の底部下方位置に配設され、その絶縁性ドラム２の表
面を所定幅に亘って一方極性（−極性または＋極性）に
帯電させるコロナ放電を利用した第１帯電チャージャー
１４と、ガイド部材１１の上方位置に配設され、ガイド
部材１１上にばら撒かれた粉末３を絶縁性ドラム２の帯
電極性とは逆極性（＋極性または−極性）に帯電させる
コロナ放電を利用した第２帯電チャージャー１５とを有
しており、図２に示すように、例えば絶縁性ドラム２の
表面を第１帯電チャージャー１４で−極性に帯電させ、
粉末３を第２帯電チャージャー１５で＋極性に帯電させ
ることで、絶縁性ドラム２上に粉末３を薄層状に静電吸
着させ、絶縁性ドラム２上に静電吸着していない粉末３
は絶縁性ドラム２の曲面に沿って落下して粉末リサイク
ルダクト１３で受けられるようになっている。

【００２４】さらに、光学的検査手段６は、絶縁性ドラ
ム２上に薄層状に静電吸着された粉末３は絶縁性ドラム
２と共にその頂上部分の検査ステージまで上げられて移
動し、その頂上部分の検査ステージにおいて、絶縁性ド
ラム２上の薄層状の粉末３を照明する反射照明装置１６
と、この反射照明装置１６とは反対側に配設され、光を
透過させて粉末３の未吸着部分のドラム地肌部分をとば
す（地肌部分を粉末と同色（白色）にする）ための透過
照明装置１７と、これらの反射照明装置１６および透過
照明装置１７で粉末３を照明しつつ粉末画像を取り込む
エリア型ＣＣＤカメラやライン型ＣＣＤカメラなどの撮
像装置１８と、この撮像装置１８で取り込んだ粉末画像
を画像処理して薄層状の粉末３中の異物を検知する画像
処理装置である画像処理ユニット１９とを有している。
透過照明装置１７によって粉末３の未吸着部分のドラム
地肌部分を透過させてその地肌部分をとばすようにして
いるため、薄層状の粉末３上に未吸着部分が多少存在し
ていても、その部分を異物を誤検知しないようになって
いる。

【００２５】さらに、異物排除制御手段８は、光学的検
査手段６による検査結果に基づいて、それを表示する表
示器７と、検査結果に基づいてバキューマ２１の吸引タ
イミングを演算してバキューマ２１を駆動制御するコン
ピュータ２０と、検出された異物を吸引して取り除くバ
キューマ２１とを有している。また、このコンピュータ
２０は、絶縁性ドラム２、スキャッター１２、粉末リサ
イクルダクト１３、第１帯電チャージャー１４、第２帯
電チャージャー１５、撮像装置１８、反射照明装置１
６、透過照明装置１７、除電チャージャー２２、クリー
ニングブラシ２３およびスクレーバーブレード２４をそ
れぞれ所定のタイミングで駆動制御するようになってい
る。

【００２６】さらに、粉末回収手段９は、検査終了後の
絶縁性ドラム２上の薄層状に静電吸着している粉末３に
対して静電吸着を解除する除電チャージャー２２と、こ
の除電チャージャー２２の後方位置に配設され絶縁性ド
ラム２上の粉末３を掃き落すクリーニングブラシ２３
と、このクリーニングブラシ２３の後方位置に配設され
絶縁性ドラム２上にこびり付いた粉末３を絶縁性ドラム
２上から掻き落すスクレーバーブレード２４と、良品の
粉末３を受けて回収する良品粉末回収箱２５とを有して
いる。

【００２７】上記構成により、以下その動作を説明す
る。

【００２８】図３は図１のコンピュータ２０の動作を示
すフローチャートである。

【００２９】図３に示すように、まず、コンピュータ２
０は、絶縁性ドラム２の回転をスタートさせ（＃１）、
粉末リサイクルダクト１３をオンさせ（＃２）、クリー
ニングブラシ２３の回転をスタートさせ（＃３）、さら
には、第１帯電チャージャー１４、第２帯電チャージャ
ー１５および除電チャージャー２２をそれぞれオン状態
とする（＃４）。さらに、コンピュータ２０は、反射照
明装置１６および透過照明装置１７をオン状態とし（＃
５）、スキャッター１２をオン状態として（＃６）、タ
イマ１をセットする（＃７）。

【００３０】これによって、スキャッター１２内に貯留
された被検粉末３は、その底部開口部からばら撒かれる
ようにガイド部材１１上に供給される。このガイド部材
１１上の粉末３は絶縁性ドラム２側に滑り落ちて行く途
中で、その上方の第２帯電チャージャー１５によって＋
極性または−極性に帯電させられた状態で、時計回りに
ゆっくりと回転している絶縁性ドラム２の傾斜した曲面
上に投下される。

【００３１】一方、絶縁性ドラム２の表面は、予め第１
帯電チャージャー１４によって粉末３とは逆極性の−極
性または＋極性に帯電させられており、絶縁性ドラム２
の傾斜状態の曲面上に投下された粉末３は、絶縁性ドラ
ム２上に薄層状になって静電吸着するかまたは、絶縁性
ドラム２上に静電吸着せず絶縁性ドラム２の曲面に沿っ
て落下する。つまり、例えば静電吸着した薄層状の粉末
３上に粉末３が存在している場合などには、薄層状の粉
末３上に載っている粉末３は静電吸着が弱く絶縁性ドラ
ム２の曲面に沿って滑り落ちることになる。このよう
に、絶縁性ドラム２の傾斜曲面上に投下された粉末３の
うち、絶縁性ドラム２上に静電吸着せずに落下した粉末
３は、粉末リサイクルダクト１３で受けられてスキャッ
ター１２内に回収され、スキャッター１２からガイド部
材１１を介して再び絶縁性ドラム２上に投下供給される
ことになる。

【００３２】また、絶縁性ドラム２上に薄層状になって
静電吸着された被検粉末３は、絶縁性ドラム２の表面上
に載って傾斜曲面を上がってその頂上の検査ステージ部
分に絶縁性ドラム２と共に回動して移動する。

【００３３】次に、図３に示すように、ステップ＃７で
セットされたタイマ１がタイムアップすると、画像処理
ユニット１９に対して画像処理実行命令信号を出力する
（＃８）。このタイマ１がタイムアップする時間は、当
初はスキャッター１２がオン状態となってから最初の粉
末層が頂上の検査ステージ部分に到達するのに必要な時
間であり、その後は、撮像装置１８による撮像エリア毎
の角度だけ絶縁性ドラム２が回動するのに必要な時間で
ある。

【００３４】さらに、ステップ＃８でコンピュータ２０
が、画像処理ユニット１９に対して画像処理実行命令信
号を出力すると、画像処理ユニット１９は撮像装置１８
を制御して、この頂上の検査ステージ部分では、薄層状
になって静電吸着された被検粉末３はその画像を撮像装
置１８によって取り込み、その取り込まれた粉末画像は
画像処理ユニット１９のメモリに転送されて記憶される
と共に、画像処理ユニット１９で各種の画像処理が為さ
れて異物判断が行われる。つまり、画像処理ユニット１
９は、その取り込んだ粉末画像の濃淡二値化を行って異
物を抽出し、ラベリング、その面積測定を行い、その面
積と規格値との比較を行って、除去すべき異物の有無を
確認する。

【００３５】さらに、コンピュータ２０は、除去すべき
異物あると画像処理ユニット１９が判断した場合に出力
される異物除去信号があるまで待ち（＃９）、このステ
ップ＃９で異物除去信号が入力されると、タイマ２をセ
ットする（＃１０）。ステップ＃１０でセットされたタ
イマ２がタイムアップすると、即ち、コンピュータ２０
によって制御されて絶縁性ドラム２の所定の回転角度θ
２だけ回転した時点で、バキューマ２１の吸込口に対向
した絶縁性ドラム２上のエリア内に、検査ステージで検
出した異物が来ていると判断して、バキューマ２１よっ
てその異物をその周囲の粉末３と共に真空吸引して除去
する（＃１１）。

【００３６】さらに、コンピュータ２０は、このシステ
ムが終了したかどうかを判断し（＃１２）、このシステ
ムが終了するまでステップ＃９〜＃１２を繰り返して実
行し、このシステムが終了したと判断した場合には各エ
レメントの終了処理を行う（＃１３）。

【００３７】ここで、以下に、この画像処理ユニット１
９による画像処理動作について、図４を参照しながら以
下に詳細に説明する。

【００３８】図４は図１の画像処理ユニット１９の画像
処理動作を示すフローチャートである。

【００３９】図４に示すように、まず、画像処理ユニッ
ト１９は画像処理がスタートしたかどうかを判断し（＃
２１）、画像処理がスタートしたのであれば、撮像手段
１８としてのＣＣＤカメラのシャッターをオンして粉末
層の画像を取り込む（＃２２）。

【００４０】さらに、画像処理ユニット１９は、その取
り込んだ粉末層の画像に対して濃淡二値化を行って異物
を抽出し（＃２３）、ラベリング（＃２４）、各ラベル
面積の測定を行い（＃２５）、所定の規格値と比較して
除去すべき異物の有無を判断する（＃２６）。

【００４１】さらに、このラベル面積と所定の規格値と
の比較によって、画像処理ユニット１９が、除去すべき
異物が所定の規格値以上あると判断するまで上記ステッ
プ＃２２〜＃２６を繰り返し、除去すべき異物が所定の
規格値以上あると判断した場合には、コンピュータ２０
に対して異物除去信号を出力する（＃２７）。さらに、
画像処理が終了する（＃２８）まで上記ステップ＃２２
〜＃２７の各動作が繰り返される。

【００４２】以上の検査終了後、絶縁性ドラム２の下流
側において、異物がないかまたは、異物が取り除かれた
良品の粉末層は、除電チャージャー２２によって電荷が
除去されて絶縁性ドラム２との静電吸着力を失った後
に、クリーニングブラシ２３によって良品粉末回収箱２
５内に掃き落されて良品の粉末３が回収される。さら
に、絶縁性ドラム２上にこびり付いて残った粉末３に対
しても、クリーニングブラシ２３の後方に配設されたス
クレーパーブレード２４によって良品粉末回収箱２５内
に掻き落されて良品の粉末３として回収される。

【００４３】以上のように本発明の実施形態によれば、
絶縁性ドラム２を帯電させる第１帯電チャージャー１４
と、絶縁性ドラム２とは逆極性に粉末３を帯電させる第
２帯電チャージャー１５とを有して、透明ガラス製の絶
縁性ドラム２上に粉末３を薄層状に静電吸着させる静電
吸着手段５が設けられ、絶縁性ドラム２上に静電吸着さ
れて薄層化された粉末群を光学的に検査する光学的検査
手段６が設けられているため、絶縁性ドラム２上に静電
吸着させた粉末は、より均一で安定な薄層を形成し、光
学的検査手段６による光学的な異物検出がより高精度に
安定して行うことができる。

【００４４】また、これらの第１帯電チャージャー１４
および第２帯電チャージャー１５などの帯電手段とする
ことで、静電吸着手段５の構成をより簡単な構成とする
ことができる。

【００４５】さらに、絶縁性ドラム２上に静電吸着させ
た粉末３はより均一に薄層化されるため、光学的検査手
段６を用いて光学的に画像処理すれば、異物検出がより
高精度に安定して行うことができる。

【００４６】さらに、先にコロナ放電を利用した除電チ
ャージャー２２を用いて粉末（粉体）３の静電吸着を解
除し、その後、補助分離手段としてクリーニングブラシ
２３さらにスクレーパーブレード２４を用いて良品の粉
末３を回収するため、絶縁性ドラム２上に薄層状に静電
吸着している良品の粉末３をより簡単な構成で容易かつ
確実に回収することができる。

【００４７】なお、本実施形態では、静電吸着手段５
は、絶縁性ドラム２を一方極性に帯電させる第１帯電チ
ャージャー１４と、粉末３を絶縁性ドラム２の一方極性
とは逆極性に帯電させる第２帯電チャージャー１５とで
構成したが、静電吸着手段５を絶縁性ドラム２を帯電さ
せる第１帯電チャージャー１４だけで構成し、非帯電の
粉末３を強制的に誘電分極させて絶縁性ドラム２上に静
電吸着させるように構成してもよい。

【００４８】また、本実施形態では、静電吸着力で粉末
３を均一な薄層化とし、それを画像として取り込んで画
像処理する画像処理装置である光学的検査手段６を設け
たが、これに限らず、このような光学的検査手段６をに
代えて、粉体との光学特性との比較において異物を検知
する光電スイッチとしての反射式光電スイッチ（反射式
光センサ）や透過式光電スイッチ（透過式光センサ）を
有した光学的検査手段であってもよい。つまり、反射式
光電スイッチを用いた光学的検査手段としては、絶縁性
ドラム２の粉末吸着面側およびそれとは反対側のうちの
何れかに反射式光電スイッチを設け、この反射式光電ス
イッチからの信号によって粉末３中から異物を検知する
構成とすればよい。また、透過式光電スイッチを用いた
光学的検査手段としては、絶縁性ドラム２の壁部を挟み
込むように発光部と受光部を配置した透過式光電スイッ
チを設け、この透過式光電スイッチからの信号によって
粉末３中から異物を検知する構成とすればよい。この場
合には、その制御部も含めた構成をより簡単なものとす
ることができると共に、より低コストとすることができ
る。さらに、これらの反射式光電スイッチ（反射式光セ
ンサ）や透過式光電スイッチ（透過式光センサ）の他に
色味センサなどであってもよい。

【００４９】さらに、本実施形態では、検査基体として
透明ガラス製の絶縁性ドラム２を用いたが、これに限ら
ず、このような絶縁性ドラム２の代りに検査基体として
透明樹脂製の絶縁性ドラムを用いても良いし、検査基体
として粉末搬送用の絶縁性ベルトなどを用いてもよい。
このような絶縁性ベルトの場合には、傾斜した絶縁性ベ
ルト上に粉末３を投下してこの粉末３を絶縁性ベルト上
側に静電吸着させて上に搬送しつつ、静電吸着力で均一
に薄層化した粉末３を光学的に検査するようにすればよ
い。この絶縁性ベルトを傾斜させるのは、絶縁性ドラム
２の場合と同様に、薄層化した粉末３の上に載った粉末
３を滑り落すためであって、より薄い均一な粉末３の薄
層を得るためである。

【００５０】

【発明の効果】以上のように本発明の請求項１によれ
ば、静電気力で検査基体上に吸着させた粉末だけで粉末
検査を行うため、検査基体上に静電吸着させた粉末は、
従来のように粉末はその薄層化のために圧をかけられて
つぶれるようなこともなくより均一で安定な薄層を形成
することができ、従来のように粉末層内に異物が埋もれ
て見逃してしまうようなことはなくなると共に、静電吸
着力によって粉末の粉煙を抑制することができてその粉
煙によるトラブル（レンズなどへの付着や精密機器内へ
の侵入など）を防止することができる。したがって、光
学的な異物検出がより高精度に安定して行うことができ
る。

【００５１】また、本発明の請求項２，３によれば、静
電吸着手段の構成をより簡単な構成とすることができ
る。

【００５２】さらに、本発明の請求項４〜７によれば、
検査基体上に静電吸着させた粉末はより均一に薄層化さ
れるため、画像処理装置を用いれば、異物検出がより高
精度に安定して行うことができる。また、このような静
電吸着力による粉末の均一な薄層化で、画像処理装置の
代りに反射式光電スイッチや透過式光電スイッチを用い
ることもできて、その制御部も含めた構成をより簡単な
ものとすることができると共に、より低コストとするこ
とができる。

【００５３】さらに、本発明の請求項８によれば、検査
基体上に薄層状に静電吸着している良品の粉末をより簡
単な構成で容易にかつ確実に回収することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の異物検査装置の構成図で
ある。

【図２】図１の異物検査装置における粉末の薄層化のメ
カニズムを示す模式図である。

【図３】図１のコンピュータの動作を示すフローチャー
トである。

【図４】図１の画像処理ユニットの画像処理動作を示す
フローチャートである。

【図５】従来の異物検査装置の構成図である。

【符号の説明】

１異物検査装置２絶縁性ドラム３粉末４粉末供給手段５静電吸着手段６光学的検査手段７表示器８異物排除制御手段９粉末回収手段１１ガイド部材１２スキャッター１３粉末リサイクルダクト１４第１帯電チャージャー１５第２帯電チャージャー１６反射照明装置１７透過照明装置１８撮像装置１９画像処理ユニット２０コンピュータ２１バキューマ２２除電チャージャー２３クリーニングブラシ２４スクレーバーブレード２５良品粉末回収箱

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】粉末に混入している異物を検査する異物
検査装置において、絶縁性の検査基体と、この検査基体
上に粉末を静電吸着させる静電吸着手段と、この検査基
体上に静電吸着された粉末を光学的に検査する光学的検
査手段とを有することを特徴とする異物検査装置。
【請求項２】前記静電吸着手段は、前記検査基体を帯
電させる帯電手段で構成され、非帯電の粉末を強制的に
誘電分極させて前記検査基体上に静電吸着させることを
特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項３】前記静電吸着手段は、前記検査基体を一
方極性に帯電させると共に、粉末を前記検査基体の一方
極性とは逆極性に帯電させる帯電手段で構成したことを
特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項４】前記光学的検査手段は、薄層状の粉末群
の粉末画像を取り込んで画像処理して異物を検知する画
像処理装置を有することを特徴とする請求項１に記載の
異物検査装置。
【請求項５】前記光学的検査手段は、前記粉体との光
学特性との比較において異物を検知する光電スイッチを
有することを特徴とする請求項１に記載の異物検査装
置。
【請求項６】前記光電スイッチは、前記検査基体の粉
末吸着面側およびそれとは反対側のうち何れかに設けら
れた反射式光電スイッチで構成されたことを特徴とする
請求項５に記載の異物検査装置。
【請求項７】前記光電スイッチは、前記検査基体壁を
挟み込むように発光部と受光部を配置した透過式光電ス
イッチで構成されたことを特徴とする請求項５に記載の
異物検査装置。
【請求項８】検査終了後の前記検査基体上の静電吸着
している粉末に対して静電吸着を解除する除電手段と、
この除電処理後に前記検査基体上から粉末を分離する分
離手段とを有したことを特徴とする請求項１に記載の異
物検査装置。