JPH11214738A - 利得調整可能なアクティブ・ピクセル・センサ - Google Patents

利得調整可能なアクティブ・ピクセル・センサ

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JPH11214738A
JPH11214738A JP10311750A JP31175098A JPH11214738A JP H11214738 A JPH11214738 A JP H11214738A JP 10311750 A JP10311750 A JP 10311750A JP 31175098 A JP31175098 A JP 31175098A JP H11214738 A JPH11214738 A JP H11214738A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電子カメラの光量検出部分に使用されるアクテ
ィブ・ピクセル・センサにおいて、従来のアクティブ・
ピクセル・センサでは受光量が増大するに従って、出力
信号電圧が飽和していく。この飽和領域のため、および
その近傍での受光量と出力電圧との非線型性のために、
アクティブ・ピクセル・センサのダイナミック・レンジ
が制限される。 【解決手段】受光量の強度が、アクティブ・ピクセル・
センサの応答を飽和させる程十分に強い場合には、ゲー
ト・コンデンサが、アクティブ・ピクセル・センサ内に
おいてフォトダイオードと並列に接続される。これによ
り出力電圧の飽和状態を回避できる。低レベルの受光量
の強度においては、ゲート・コンデンサは並列接続され
ないので、高レベルの感度を維持することが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、アクティ
ブ・ピクセル・センサに関するものである。とりわけ、
本発明は、アクティブ・ピクセル・センサの感度が、ア
クティブ・ピクセル・センサが受ける光の強度に従って
調整される、アクティブ・ピクセル・センサに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】電子カメラは、一般に、光イメージを1
組の電子信号に変換する。電子信号は、カメラが受ける
光の色の強度を表すことが可能である。電子カメラに
は、一般に、カメラが受ける光の強度を検出するイメー
ジ・センサまたは感光センサのアレイが含まれている。
イメージ・センサは、一般に、センサが受ける光の強度
に比例した振幅を備える電子信号を発生する。電子信号
に調整を加え、サンプリングを施すことによって、イメ
ージ処理を行えるようにすることが可能である。
【0003】イメージ・センサと信号処理回路要素の一
体化は、イメージング・システムの小型化及び単純化を
可能にするので、いっそう重要になりつつある。イメー
ジ・センサとアナログ及びデジタル信号処理回路要素の
一体化によって、電子カメラ・システムを低コストに
し、コンパクトにし、必要な電力を少なくすることが可
能になる。
【0004】歴史的に、イメージ・センサは、主として
電荷結合素子(CCD)であった。CCDは、比較的小
さく、高充填率を得ることが可能である。しかし、CC
Dは、デジタル及びアナログ回路要素と一体化するのが
極めて困難である。さらに、CCDは、大量の電力を消
費し、イメージのスメア問題に悩まされる。
【0005】CCDセンサに対する代替案が、アクティ
ブ・ピクセル・センサである。アクティブ・ピクセル・
センサは、標準的なCMOSプロセスを利用して製作す
ることが可能である。従って、アクティブ・ピクセル・
センサは、デジタル及びアナログ信号処理回路要素と容
易に一体化することが可能である。さらに、CMOS回
路が消費する電力は少量である。
【0006】図1には、先行技術によるアクティブ・ピ
クセル・センサの略回路図が示されている。アクティブ
・ピクセル・センサは、一般に、アクティブ・ピクセル
・センサのアレイ内に含まれている。アクティブ・ピク
セル・センサには、フォトダイオードD1、リセット・
トランジスタQ1、バイアス・トランジスタQ2、及
び、選択トランジスタQ3が含まれている。フォトダイ
オードD1は、露光すると、電荷を集める。フォトダイ
オードD1は、信号ノードN2に容量負荷を加える固有
の容量Cdを備えている。フォトダイオードD1によっ
て集められた電荷は、フォトダイオードD1のコンデン
サCdによって集積され、フォトダイオードD1が受け
た光の強度に比例したフォトダイオード電圧を生じる。
フォトダイオード電圧は、フォトダイオードD1の陰極
に生じる。
【0007】リセット・トランジスタは、フォトダイオ
ードのコンデンサCdに放電させることによって、フォ
トダイオードD1のリセットを可能にする。パルスでR
ST(リセット)ラインを高電位にして、RSTライン
によるフォトダイオード・コンデンサCdからの放電を
生じさせることによって、フォトダイオードの陰極が所
定のリセット電圧になる。図1に示すアクティブ・ピク
セル・センサに関する所定のリセット電圧は、RSTラ
インの電圧電位からリセット・トランジスタQ1のしき
い値電圧を引いた値である。
【0008】SELECTラインにパルスを加え、選択
トランジスタQ3を導通させることによって、選択トラ
ンジスタQ3は、コントローラが、特定のアクティブ・
ピクセル・センサのPIXOUT出力におけるフォトダ
イオード電圧の選択的サンプリングを行えるようにす
る。
【0009】図2は、図1に示すアクティブ・ピクセル
・センサのフォトダイオードD1の信号電圧に関するプ
ロットである。信号電圧は、基準電圧からPIXOUT
出力の電圧電位を引いた値と定義される。基準電圧は、
信号ノードN2が所定のリセット電圧にリセットされる
時の、PIXOUTの電圧電位と定義される。フォトダ
イオードD1が受ける光の強度が強くなるほど、信号電
圧は高くなる。プロットによって示されるように、フォ
トダイオードによって伝導する電荷が増すにつれて、信
号電圧の飽和が始まる。飽和電圧Vsは、フォトダイオ
ードD1が受ける光の強度の増大が信号電圧に影響しな
い信号電圧である。フォトダイオードD1の飽和は、フ
ォトダイオードD1のダイナミック・レンジを制限す
る。有効に検出可能な、アクティブ・ピクセル・センサ
が受ける光の強度範囲は、アクティブ・ピクセル・セン
サが飽和するという事実によって制限される。アクティ
ブ・ピクセル・センサのフォトダイオードD1の信号が
飽和すると、アクティブ・ピクセル・センサが受ける光
の強度変化を検出することが不可能になる。さらに、フ
ォトダイオードD1が受ける光の強度が、アクティブ・
ピクセル・センサを飽和させるのに必要な光の強度をほ
んのわずかに下回る場合、フォトダイオードD1の応答
は、極めて非線形性となる。アクティブ・ピクセル・セ
ンサの動作は、フォトダイオードD1の応答が線形であ
る光の強度範囲に制限される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、現在
可能であるよりも広い範囲にわたって、アクティブ・ピ
クセル・センサが受ける検出可能な光の強度の変動を可
能にする、アクティブ・ピクセル・センサを提供するこ
とにある。本発明のもう1つの目的は、現在可能である
よりも広い光の強度範囲にわたって、アクティブ・ピク
セル・センサが受ける光の強度を表すアナログ電圧を発
生する、アクティブ・ピクセル・センサを提供すること
にある。本発明のさらにもう1つの目的は、現存するC
MOS製作プロセスを用いて製造可能なアクティブ・ピ
クセル・センサを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、現在可
能であるよりも広い光の強度のダイナミック・レンジに
わたって、受ける光の検出可能にするアクティブ・ピク
セル・センサが得られる。アクティブ・ピクセル・セン
サが受ける光の強度が、アクティブ・ピクセル・センサ
の応答を飽和させるのに十分に強い可能性のある場合、
ゲート・コンデンサは、アクティブ・ピクセル・センサ
内においてフォトダイオードと並列に接続される。アク
ティブ・ピクセル・センサは、低レベルの受光強度にお
いて、高レベルの感度を維持する。アクティブ・ピクセ
ル・センサは、低コストのCMOS製作プロセスに適合
可能である。
【0012】本発明の第1の実施態様には、アクティブ
・ピクセル・センサが含まれている。アクティブ・ピク
セル・センサには、フォトダイオードが含まれている。
フォトダイオードは、フォトダイオードが受ける光の強
度の関数として電荷を伝導する。フォトダイオードに
は、フォトダイオードが伝導する電荷を集めて、フォト
ダイオード電圧を発生するダイオード・コンデンサが含
まれている。フォトダイオードの電圧が、所定の電圧未
満まで降下すると、スイッチ式コンデンサは、フォトダ
イオードと並列に接続される。スイッチ式コンデンサが
接続されると、スイッチ式コンデンサのキャパシタンス
が、ダイオード・キャパシタンスに加えられる。アクテ
ィブ・ピクセル・センサには、さらに、コントローラが
フォトダイオード電圧のサンプリングを行えるようにす
る電子回路要素が含まれている。
【0013】本発明のもう1つの実施態様は、第1の実
施態様と同様であるが、ゲート・コンデンサであるスイ
ッチ式コンデンサが含まれている。
【0014】本発明の他の態様及び利点については、本
発明の原理を例示した添付の図面に関連して示された、
下記の詳細な説明から明らかになるであろう。
【0015】
【発明の実施の形態】例示を目的とした図面に示すよう
に、本発明はアクティブ・ピクセル・センサによって実
現される。アクティブ・ピクセル・センサは、現在可能
であるよりも広い光強度のダイナミック・レンジにわた
って、受光強度の検出を可能にする。アクティブ・ピク
セル・センサが受ける光の強度が、アクティブ・ピクセ
ル・センサの応答を飽和させるの十分に強い可能性があ
る場合、ゲート・コンデンサは、アクティブ・ピクセル
・センサ内においてフォトダイオードと並列に接続され
る。さらに、アクティブ・ピクセル・センサが受ける光
の強度が弱い場合、ゲート・コンデンサが、アクティブ
・ピクセル・センサ内においてフォトダイオードと並列
にスイッチされることはない。
【0016】図3には、アクティブ・ピクセル・センサ
のフォトダイオードD2と並列に接続されたゲート・コ
ンデンサGCを含む本発明の実施態様が示されている。
ゲート・コンデンサGCには、ゲート・コンデンサ・バ
イアスGCBが含まれている。ゲート・コンデンサGC
は、信号ノードN1においてフォトダイオードD2の陰
極に接続されている。アクティブ・ピクセル・センサに
は、リセット・トランジスタQ4、バイアス・トランジ
スタQ5、及び、選択トランジスタQ6が含まれてい
る。アクティブ・ピクセル・センサには、さらに、電源
電圧Vddが含まれている。
【0017】リセット・トランジスタQ4は、フォトダ
イオード・コンデンサCD2に放電させることによって、
フォトダイオードD1のリセットを可能にする。パルス
でRST(リセット)ラインを高電位にして、RSTラ
インによるフォトダイオード・コンデンサCD2からの放
電を生じさせることによって、フォトダイオードD2の
陰極が所定のリセット電圧になる。図3に示すアクティ
ブ・ピクセル・センサに関する所定のリセット電圧は、
RSTラインの電圧電位からリセット・トランジスタQ
4のしきい値電圧を引いた値である。
【0018】SEL(選択)ラインにパルスを加え、バ
イアス・トランジスタQ5及び選択トランジスタQ6を
導通させる電圧電位にすることによって、バイアス・ト
ランジスタQ5及び選択トランジスタQ6は、コントロ
ーラが、特定のアクティブ・ピクセル・センサのフォト
ダイオード電圧の選択的サンプリングを行えるようにす
る。バイアス・トランジスタQ5及び選択トランジスタ
Q6が導通すると、フォトダイオード電圧は、PIXO
UT出力に結合される。PIXOUT出力がサンプリン
グ可能になる。
【0019】ゲート・コンデンサGCは、NチャネルF
ETのソース及びドレインをフォトダイオードD2の陰
極に接続することによって形成される。ゲート・コンデ
ンサGC内のFETが、電流を導通していない場合、ゲ
ート・コンデンサGCが、信号ノードN1に接続された
インピーダンスに影響することはない。しかし、ゲート
・コンデンサGC内のFETが電流を導通している場
合、ゲート・コンデンサは、信号ノードN1に容量負荷
を加える。ゲート・コンデンサ内のFETが導通してい
る場合、ゲート・コンデンサのキャパシタンスは、フォ
ト・ダイオードD2のキャパシタンスCD2と並列に接続
される。
【0020】ゲート・コンデンサGC内のFETは、ゲ
ート・コンデンサ・バイアスGCBと信号ノードN1の
間の電圧が、ゲート・コンデンサGC内のFETのしき
い値を超える場合に、電流を導通する。一般に、ゲート
・コンデンサGC内のFETのしきい値電圧は、ゲート
・コンデンサGC内における有効チャネル長とFETの
逆ゲート・バイアスによって決まる、0.8〜1.2ボ
ルトの範囲である。
【0021】フォトダイオードD2は、フォト・ダイオ
ードD2の露光時に、電荷を伝導する。フォトダイオー
ドD2によって伝導される電荷は、信号ノードN1に接
続されたコンデンサに集まる。コンデンサに集められた
電荷は、信号ノードN1に負電圧を発生する。フォトダ
イオードD2によって伝導される電荷量が増すほど、信
号ノードN1における電圧電位の低下が大きくなる。フ
ォトダイオードD2によって伝導される電荷量は、フォ
トダイオードD2が受ける光の強度によって決まる。
【0022】ゲート・コンデンサ・バイアスGCBは、
一般に、固定電圧電位である。従って、フォトダイオー
ドD2が受ける光の強度が十分に強くなると、ゲート・
コンデンサGCがオンになる。ゲート・コンデンサGC
がオンになると、フォトダイオードD2によって集めら
れた電荷が、より大量のキャパシタンスに蓄積される。
従って、信号ノードN1における電圧電位の低下が緩や
かになる。
【0023】図4には、図3に示す実施態様の等価回路
が示されている。ゲート・コンデンサGCは、等価ゲー
ト・コンデンサCGCとスイッチSWによって表されてい
る。スイッチSWは、信号ノードN1の電圧電位が所定
の電圧電位より低くなると、接続される。所定の電圧電
位は、ゲート・コンデンサ・バイアスGCBの電圧電位
からゲート・コンデンサGC内のFETのしきい値電圧
を引いた値である。信号ノードN1の電圧電位が所定の
電圧電位を超える場合には、スイッチSWは接続されな
い。信号ノードN1の電圧電位は、フォトダイオードD
2によって集められた電荷によって直接的に決まる。フ
ォトダイオードD2によって集められる電荷は、フォト
ダイオードが受ける光の強度によって直接的に決まる。
従って、従って、フォトダイオードD2が受ける光の強
度が十分に強い場合、スイッチSWが接続され、等価ゲ
ート・コンデンサCGCが信号ノードN1に接続されるこ
とになる。
【0024】図5は、図3に示すアクティブ・ピクセル
・センサのフォトダイオードD2の信号電圧に関するプ
ロットである。信号電圧は、基準電圧からPIXOUT
出力の電圧電位を引いた値と定義される。基準電圧は、
信号ノードN1が所定のリセット電圧にリセットされる
時の、PIXOUTの電圧電位と定義される。プロット
には、ゲート・コンデンサ・バイアスGCBの2つの異
なる値に関する信号電圧が示されている。曲線51は、
第1のゲート・コンデンサ・バイアスGCBに関する信
号電圧を示すものである。曲線53は、第2のゲート・
コンデンサ・バイアスGCBに関する信号電圧を示すも
のである。ゲート・コンデンサ内のFETは、ゲート・
コンデンサ・バイアスの2つの異なる値に関する信号電
圧の異なる値でオンになる。従って、ゲート・コンデン
サGCのキャパシタンスが信号ノードN1に接続され
る、2つの曲線51、53上のポイントは、異なってい
る。
【0025】両曲線51、53とも、ゲート・コンデン
サGCが信号ノードN1に容量負荷をかけている場合、
アクティブ・ピクセル・センサの感度が変化する。追加
キャパシタンスは、アクティブ・ピクセル・センサが、
信号ノードN1における電圧電位が受光強度の増大につ
れて線形に変化しない、非線形領域に入り込むのを阻止
する。
【0026】図6には、図3に示すアクティブ・ピクセ
ル・センサの実施例が示されている。アクティブ・ピク
セル・センサは、P型基盤610上に形成される。アク
ティブ・ピクセル・センサには、いくつかのnドープ領
域612、614、616、618が含まれている。ア
クティブ・ピクセル・センサには、いくつかのゲート酸
化物領域622、624、626、628も含まれてい
る。さらに、アクティブ・ピクセル・センサには、いく
つかのポリシリコン領域630、632、634、63
6が含まれている。アクティブ・ピクセル・センサに
は、酸化物領域620も含まれている。金属領域640
によって、nドープ領域612とポリシリコン領域63
4が接続される。
【0027】フォトダイオードD2は、nドープ領域6
12とP型基盤610によって形成される。ゲート・コ
ンデンサGCは、ポリシリコン630、酸化物領域62
2、nドープ領域612、及び、P型基盤610によっ
て形成される。リセット・トランジスタQ4は、ポリシ
リコン領域632、ゲート酸化物領域624、nドープ
領域612、P型基盤610、及び、nドープ領域61
4によって形成される。バイアス・トランジスタQ5
は、ポリシリコン領域634、ゲート酸化物領域62
6、nドープ領域614、P型基盤610、及び、nド
ープ領域616によって形成される。選択トランジスタ
Q6は、ポリシリコン領域636、ゲート酸化物領域6
28、nドープ領域616、P型基盤610、及び、n
ドープ領域618によって形成される。電界酸化物領域
620、621によって分離が施される。金属領域64
0によって、nドープ領域612とポリシリコン領域6
34の間の電気的相互接続が施される。
【0028】図7は、アクティブ・ピクセル・センサの
フォトダイオードD2と並列に接続された2つ以上のゲ
ート・コンデンサを含む本発明のもう1つの実施態様で
ある。一般に、第1のゲート・コンデンサGC1の第1
のゲート・コンデンサ・バイアスGCB1は、第2のゲ
ート・コンデンサGC2の第2のゲート・コンデンサ・
バイアスGCB2とは異なる。従って、各ゲート・コン
デンサGC1、GC2は、信号ノードN1の異なる電圧
電位に関して、信号ノードN1に容量負荷をかける。
【0029】図8には、図7に示す実施態様の等価回路
が示されている。第1のゲート・コンデンサは、第1の
等価ゲート・コンデンサCGC1と第1のスイッチSW1
によって表されている。第2のゲート・コンデンサは、
第2の等価ゲート・コンデンサCGC2と第2のスイッチ
SW2によって表されている。
【0030】図9は、図7に示すアクティブ・ピクセル
・センサのフォトダイオードD2の信号電圧に関するプ
ロットである。信号電圧は、基準電圧からPIXOUT
出力の電圧電位を引いた値と定義される。基準電圧は、
信号ノードN1が所定のリセット電圧にリセットされる
時の、PIXOUTの電圧電位と定義される。プロット
には、第1の折れ点91及び第2の折れ点93が含まれ
ている。折れ点は、第1のゲート・コンデンサGC1内
のFET及び第2のゲート・コンデンサGC2内のFE
Tが、信号ノードN1における電圧電位の低下のために
導通を開始するプロット上のポイントを表している。
【0031】以上、本発明の実施例について詳述した
が、以下、本発明の各実施態様の例を示す。
【0032】(実施態様1) 以下(a)から(c)を
含むことを特徴とする、アクティブ・ピクセル・セン
サ、(a)フォトダイオード(D2)であって、前記フ
ォトダイオード(D2)は、受ける光の強度の関数とし
て電荷を伝導し、フォトダイオード電圧を発生する前記
フォトダイオード(D2)によって伝導した電荷を集め
るダイオード容量を備え、(b)フォトダイオード電圧
が所定の電圧電位未満まで降下すると、フォトダイオー
ド(D2)に並列に接続されるスイッチ式コンデンサで
あって、前記スイッチ式コンデンサの容量は、前記スイ
ッチ式コンデンサが接続されると、前記ダイオード・キ
ャパシタンスに加えられ、(c)前記フォトダイオード
電圧のサンプリング手段。
【0033】(実施態様2) 前記スイッチ式コンデン
サに、ゲート・コンデンサ(GC)が含まれることを特
徴とする、実施態様1に記載のアクティブ・ピクセル・
センサ。
【0034】(実施態様3) 前記スイッチ式コンデン
サ(GC)に、並列に接続された複数のゲート・コンデ
ンサ(GC1,GC2)が含まれることを特徴とする、
実施態様2に記載のアクティブ・ピクセル・センサ。
【0035】(実施態様4) 前記ゲート・コンデンサ
(GC)に、ソース及びドレインが前記フォトダイオー
ド(D2)の陰極に接続されたFETが含まれることを
特徴とする、実施態様2に記載のアクティブ・ピクセル
・センサ。
【0036】(実施態様5) 前記ゲート・コンデンサ
(GC)内のFETのゲート電圧を選択することによっ
て、所定の電圧電位が選択されることを特徴とする、実
施態様4に記載のアクティブ・ピクセル・センサ。
【0037】(実施態様6) 前記各ゲート・コンデン
サ(GC1、GC2)に、ソース及びドレインが前記フ
ォトダイオード(D2)の陰極に接続されたFETが含
まれていることを特徴とする、実施態様3に記載のアク
ティブ・ピクセル・センサ。
【0038】(実施態様7) 前記各ゲート・コンデン
サ(GC1、GC2)内のFETのゲート電圧を選択す
ることによって、複数の所定の電圧電位が選択されるこ
とを特徴とする、実施態様6に記載のアクティブ・ピク
セル・センサ。
【0039】(実施態様8) 前記ゲート電圧が可変的
に調整可能であり、これによって、所定の電圧電位が可
変的に調整されることを特徴とする、実施態様5に記載
のアクティブ・ピクセル・センサ。
【0040】(実施態様9) 前記フォトダイオード電
圧の前記サンプリング手段に、バイアス・トランジスタ
(Q5)と選択トランジスタ(Q6)が含まれることを
特徴とする、実施態様5に記載のアクティブ・ピクセル
・センサ。
【0041】本発明の特定の実施態様に関して説明し、
例示してきたが、本発明は、このように説明し、例示し
てきた部分の特定の形態または構成に制限することはで
きない。本発明は、請求項による制限しか受けない。
【図面の簡単な説明】
【図1】先行技術によるアクティブ・ピクセル・センサ
を示す図である。
【図2】図1に示すアクティブ・ピクセル・センサのフ
ォトダイオードの信号電圧に関するプロット図である。
【図3】アクティブ・ピクセル・センサのフォトダイオ
ードと並列に接続されたゲート・コンデンサを含む本発
明の実施態様を示す図である。
【図4】図3に示す実施態様の等価回路を示す図であ
る。
【図5】図3に示すアクティブ・ピクセル・センサのフ
ォトダイオードの信号電圧に関するプロット図である。
【図6】図3に示すアクティブ・ピクセル・センサの実
施例を示す図である。
【図7】アクティブ・ピクセル・センサのフォトダイオ
ードに並列に接続された2つ以上のゲート・コンデンサ
を含む本発明のもう1つの実施態様の図である。
【図8】図7に示す実施態様の等価回路を示す図であ
る。
【図9】図7に示すアクティブ・ピクセル・センサのフ
ォトダイオードの信号電圧に関するプロット図である。
【符号の説明】
D2:フォトダイオード・コンデンサ CGC:等価ゲート・コンデンサ CGC1:第1の等価ゲート・コンデンサ CGC2:第2の等価ゲート・コンデンサ D1、D2:フォトダイオード GC:ゲート・コンデンサ GC1:第1のゲート・コンデンサ GC2:第2のゲート・コンデンサ GCB:ゲート・コンデンサ・バイアス GCB1:第1のゲート・コンデンサ・バイアス GCB2:第2のゲート・コンデンサ・バイアス N1:信号ノード Q4:リセット・トランジスタ Q5:バイアス・トランジスタ Q6:選択トランジスタ SW:スイッチ SW1:第1のスイッチ SW2:第2のスイッチ 610:P型基板 612、614、616、618:nドープ領域 620:酸化物領域 622、624、626、628:ゲート酸化物領域 630、632、634、636:ポリシリコン領域 640:金属領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エリック・ワイ・チョウ アメリカ合衆国カリフォルニア州フレモン ト レスリー・ストリート 39639 ナン バー189 (72)発明者 キット・エム・チャム アメリカ合衆国カリフォルニア州クパティ ーノ マウント・クレスト・ドライブ 11206

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】以下(a)から(c)を含むことを特徴と
    する、アクティブ・ピクセル・センサ、(a)フォトダ
    イオード(D2)であって、前記フォトダイオード(D
    2)は、受ける光の強度の関数として電荷を伝導し、フ
    ォトダイオード電圧を発生する前記フォトダイオード
    (D2)によって伝導した電荷を集めるダイオード容量
    を備え、(b)フォトダイオード電圧が所定の電圧電位
    未満まで降下すると、フォトダイオード(D2)に並列
    に接続されるスイッチ式コンデンサであって、前記スイ
    ッチ式コンデンサの容量は、前記スイッチ式コンデンサ
    が接続されると、前記ダイオード・キャパシタンスに加
    えられ、(c)前記フォトダイオード電圧のサンプリン
    グ手段。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005117101A (ja) * 2003-10-02 2005-04-28 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
JP2006064525A (ja) * 2004-08-26 2006-03-09 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
JP2006197383A (ja) * 2005-01-14 2006-07-27 Canon Inc 固体撮像装置、その制御方法及びカメラ
JP2006262475A (ja) * 2005-03-14 2006-09-28 Magnachip Semiconductor Ltd パラメトリックリセットを用いる、低いリセットノイズを有し、低い暗電流を生成するcmosイメージセンサーのための3tピクセル
JP2007150818A (ja) * 2005-11-29 2007-06-14 Konica Minolta Holdings Inc 撮像素子および該撮像素子を搭載した撮像装置
JP2011030278A (ja) * 2010-10-28 2011-02-10 Renesas Electronics Corp 撮像装置の駆動方法
JP2012186313A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Sony Corp 光検出回路、光検出方法、表示パネルおよび表示装置
JP2014042167A (ja) * 2012-08-22 2014-03-06 Canon Inc 撮像装置及びその制御方法

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6046444A (en) * 1997-12-08 2000-04-04 Intel Corporation High sensitivity active pixel with electronic shutter
EP0928101A3 (en) * 1997-12-31 2001-05-02 Texas Instruments Incorporated CMOS area array sensors
US6512544B1 (en) * 1998-06-17 2003-01-28 Foveon, Inc. Storage pixel sensor and array with compression
US6410899B1 (en) * 1998-06-17 2002-06-25 Foveon, Inc. Active pixel sensor with bootstrap amplification and reduced leakage during readout
US6757018B1 (en) * 1998-12-18 2004-06-29 Agilent Technologies, Inc. CMOS image sensor with pixel level gain control
US6873363B1 (en) * 1999-02-16 2005-03-29 Micron Technology Inc. Technique for flagging oversaturated pixels
US6697114B1 (en) * 1999-08-13 2004-02-24 Foveon, Inc. Triple slope pixel sensor and arry
US6567124B1 (en) * 1999-12-01 2003-05-20 Ball Aerospace & Technologies Corp. Electronic image processing technique for achieving enhanced image detail
US6809768B1 (en) 2000-02-14 2004-10-26 Foveon, Inc. Double slope pixel sensor and array
US6882367B1 (en) 2000-02-29 2005-04-19 Foveon, Inc. High-sensitivity storage pixel sensor having auto-exposure detection
WO2002011426A1 (en) * 2000-07-28 2002-02-07 Smal Camera Technologies, Inc. Precise mos imager transfer function control for expanded dynamic range imaging
FR2813000A1 (fr) * 2000-11-23 2002-02-15 Commissariat Energie Atomique Circuit de detection de rayonnement electromagnetique et procede de detection de rayonnement electromagnetique
FR2818482B1 (fr) * 2000-12-14 2003-01-17 Commissariat Energie Atomique Circuit de lecture de charges a preamplification adaptative et procede de lecture de charges a preamplification adaptative
US6855937B2 (en) * 2001-05-18 2005-02-15 Canon Kabushiki Kaisha Image pickup apparatus
US20030076431A1 (en) * 2001-10-24 2003-04-24 Krymski Alexander I. Image sensor with pixels having multiple capacitive storage elements
US8054357B2 (en) * 2001-11-06 2011-11-08 Candela Microsystems, Inc. Image sensor with time overlapping image output
US7233350B2 (en) * 2002-01-05 2007-06-19 Candela Microsystems, Inc. Image sensor with interleaved image output
US6795117B2 (en) * 2001-11-06 2004-09-21 Candela Microsystems, Inc. CMOS image sensor with noise cancellation
US7145543B2 (en) * 2002-02-06 2006-12-05 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Image display unit
US20030193594A1 (en) * 2002-04-16 2003-10-16 Tay Hiok Nam Image sensor with processor controlled integration time
US7443427B2 (en) * 2002-08-23 2008-10-28 Micron Technology, Inc. Wide dynamic range linear-and-log active pixel
US7327393B2 (en) * 2002-10-29 2008-02-05 Micron Technology, Inc. CMOS image sensor with variable conversion gain
US7015960B2 (en) * 2003-03-18 2006-03-21 Candela Microsystems, Inc. Image sensor that uses a temperature sensor to compensate for dark current
US7075049B2 (en) * 2003-06-11 2006-07-11 Micron Technology, Inc. Dual conversion gain imagers
US7078746B2 (en) * 2003-07-15 2006-07-18 Micron Technology, Inc. Image sensor with floating diffusion gate capacitor
US7414653B2 (en) * 2003-12-19 2008-08-19 Micron Technology, Inc. Dark reduction via feedback control of photodiode bias
KR100997977B1 (ko) * 2004-01-12 2010-12-02 삼성전자주식회사 광센서 및 이를 이용한 표시 장치
US7091531B2 (en) * 2004-04-07 2006-08-15 Micron Technology, Inc. High dynamic range pixel amplifier
KR101292492B1 (ko) 2004-05-11 2013-08-01 이모셔널 브레인 비.브이. 약제학적 제형물 및 여성 성기능 부전의 치료에서 그것의용도
KR20050112878A (ko) * 2004-05-28 2005-12-01 삼성전자주식회사 전기 영동 표시 장치
US7801922B2 (en) * 2004-09-30 2010-09-21 Emc Corporation File index processing
US7193198B2 (en) 2004-10-01 2007-03-20 Omnivision Technologies, Inc. Image sensor and pixel that has variable capacitance output or floating node
US20060103749A1 (en) * 2004-11-12 2006-05-18 Xinping He Image sensor and pixel that has switchable capacitance at the floating node
WO2006109683A1 (ja) * 2005-04-07 2006-10-19 Tohoku University 光センサ、固体撮像装置、および固体撮像装置の動作方法
US7718459B2 (en) * 2005-04-15 2010-05-18 Aptina Imaging Corporation Dual conversion gain pixel using Schottky and ohmic contacts to the floating diffusion region and methods of fabrication and operation
GB2426575A (en) * 2005-05-27 2006-11-29 Sensl Technologies Ltd Photon detector using controlled sequences of reset and discharge of a capacitor to sense photons
US7432540B2 (en) * 2005-08-01 2008-10-07 Micron Technology, Inc. Dual conversion gain gate and capacitor combination
EP1763220A1 (en) * 2005-09-07 2007-03-14 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA Solid-state charge sensor with high sensitivity and improved dynamic range
US7667205B2 (en) * 2005-10-05 2010-02-23 Organisation Europeenne Pour La Recherche Nucleaire Method for determining a particle and sensor device therefor
EP1790343A1 (en) 2005-11-11 2007-05-30 Emotional Brain B.V. Pharmaceuticals formulations and uses thereof in the treatment of female sexual dysfunction
US8279312B2 (en) * 2005-11-24 2012-10-02 Stmicroelectronics S.A. Image sensor element with multiple outputs
US7638749B2 (en) * 2006-06-05 2009-12-29 Fairchild Imaging Capacitive transimpedance amplifier for CCD arrays
KR100782308B1 (ko) * 2006-07-14 2007-12-06 삼성전자주식회사 입사 광량에 따라 광전류 경로를 선택할 수 있는 cmos이미지 센서와 이미지 센싱 방법
EP1925307A1 (en) 2006-11-03 2008-05-28 Emotional Brain B.V. Use of 3-alpha-androstanediol in the treatment of sexual dysfunction
US8487231B2 (en) * 2007-03-05 2013-07-16 Arokia Nathan Sensor pixels, arrays and array systems and methods therefor
EP2051501A3 (en) * 2007-10-15 2012-01-11 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement Photo sensor with a low-noise photo element, sub-linear response and global shutter
CA2628792A1 (en) * 2008-04-10 2009-10-10 Chaji G. Reza High dynamic range active pixel sensor
US20100044552A1 (en) * 2008-08-19 2010-02-25 Lockheed Martin Corporation Automatic simultaneous dual gain readout integrated circuit using threshold voltage shifts of mosfet bulk to source potential
US8174602B2 (en) 2009-01-15 2012-05-08 Raytheon Company Image sensing system and method utilizing a MOSFET
US20100271517A1 (en) * 2009-04-24 2010-10-28 Yannick De Wit In-pixel correlated double sampling pixel
CN101635311B (zh) * 2009-06-09 2011-01-19 上海宏力半导体制造有限公司 一种多阈值场mosfet和多阈值场mosfet组
GB201013783D0 (en) * 2010-08-17 2010-09-29 Isis Innovation Image sensor
GB201102478D0 (en) 2011-02-11 2011-03-30 Isdi Ltd Radiation detector and method
US8724002B2 (en) * 2011-02-28 2014-05-13 Aptina Imaging Corporation Imaging pixels with dummy transistors that reduce reset charge injection
US20140252239A1 (en) * 2011-06-16 2014-09-11 Forstgarten International Holding Gmbh Digital x-ray image sensor drive
US8809913B2 (en) * 2012-11-07 2014-08-19 Semiconductor Components Industries, Llc Pixel architecture and method
US8902343B1 (en) 2013-06-25 2014-12-02 Altasens, Inc. Charge pump for pixel floating diffusion gain control
US9402039B2 (en) * 2014-01-10 2016-07-26 Omnivision Technologies, Inc. Dual conversion gain high dynamic range sensor
US9686490B2 (en) * 2014-04-01 2017-06-20 Sensors Unlimited, Inc. Integrating pixels and methods of operation
GB2525625B (en) 2014-04-29 2017-05-31 Isdi Ltd Device and method
US9774802B2 (en) * 2014-11-10 2017-09-26 Raytheon Company Method and apparatus for increasing pixel sensitivity and dynamic range
CN104394338A (zh) * 2014-12-03 2015-03-04 北京思比科微电子技术股份有限公司 扩展动态范围的三晶体管图像传感器像素结构
JP6663209B2 (ja) * 2015-11-30 2020-03-11 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム及び撮像装置の駆動方法
TWI646821B (zh) 2016-01-30 2019-01-01 原相科技股份有限公司 可獲取較高影像亮度動態範圍的影像感測電路及方法
US9942503B2 (en) * 2016-02-23 2018-04-10 Semiconductor Components Industries, Llc Image sensors having high-efficiency charge storage capabilities
JP6728268B2 (ja) 2018-04-26 2020-07-22 キヤノン株式会社 撮像装置、撮像システム、および、移動体
KR20200117103A (ko) 2019-04-02 2020-10-14 삼성디스플레이 주식회사 이미지 센서 및 이를 구비한 표시 장치
US11658201B2 (en) * 2021-08-25 2023-05-23 Silead Inc. Dual conversion gain image sensor pixels

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2733248A1 (de) * 1976-07-22 1978-01-26 Copal Co Ltd Anordnung zur messung der intensitaet von licht
US4669063A (en) * 1982-12-30 1987-05-26 Thomson Components-Mostek Corp. Sense amplifier for a dynamic RAM
US4583002A (en) 1983-06-06 1986-04-15 Fuji Photo Film Co., Ltd. Imaging sensor with automatic sensitivity control comprising voltage multiplying means
US4839735A (en) * 1986-12-22 1989-06-13 Hamamatsu Photonics K.K. Solid state image sensor having variable charge accumulation time period
US4943839A (en) 1987-08-19 1990-07-24 Ricoh Company, Ltd. Contact type image sensor
US5324958A (en) 1991-02-19 1994-06-28 Synaptics, Incorporated Integrating imaging systgem having wide dynamic range with sample/hold circuits
JPH05160379A (ja) 1991-12-06 1993-06-25 Fuji Xerox Co Ltd イメージセンサ及び画像読取装置
AU713290B2 (en) * 1996-09-27 1999-11-25 Markus Bohm Local autoadaptive optical sensor
US5969758A (en) * 1997-06-02 1999-10-19 Sarnoff Corporation DC offset and gain correction for CMOS image sensor

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005117101A (ja) * 2003-10-02 2005-04-28 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
US7800667B2 (en) 2003-10-02 2010-09-21 Hamamatsu Photonics K.K. Photo-detecting apparatus
JP2006064525A (ja) * 2004-08-26 2006-03-09 Hamamatsu Photonics Kk 光検出装置
JP2006197383A (ja) * 2005-01-14 2006-07-27 Canon Inc 固体撮像装置、その制御方法及びカメラ
JP2006262475A (ja) * 2005-03-14 2006-09-28 Magnachip Semiconductor Ltd パラメトリックリセットを用いる、低いリセットノイズを有し、低い暗電流を生成するcmosイメージセンサーのための3tピクセル
JP2011160460A (ja) * 2005-03-14 2011-08-18 Crosstek Capital Llc パラメトリックリセットを用いる、低いリセットノイズを有し、低い暗電流を生成するcmosイメージセンサーのための3tピクセル
US8508638B2 (en) 2005-03-14 2013-08-13 Intellectual Ventures Ii Llc 3T pixel for CMOS image sensors with low reset noise and low dark current generation utilizing parametric reset
JP2007150818A (ja) * 2005-11-29 2007-06-14 Konica Minolta Holdings Inc 撮像素子および該撮像素子を搭載した撮像装置
JP2011030278A (ja) * 2010-10-28 2011-02-10 Renesas Electronics Corp 撮像装置の駆動方法
JP2012186313A (ja) * 2011-03-04 2012-09-27 Sony Corp 光検出回路、光検出方法、表示パネルおよび表示装置
JP2014042167A (ja) * 2012-08-22 2014-03-06 Canon Inc 撮像装置及びその制御方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4264855B2 (ja) 2009-05-20
US6246436B1 (en) 2001-06-12
GB2330905B (en) 2002-03-27
GB9823626D0 (en) 1998-12-23
DE19836356C2 (de) 2001-02-22
DE19836356A1 (de) 1999-05-12
GB2330905A (en) 1999-05-05

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